JPS59195311A - 垂直磁気ヘツド - Google Patents
垂直磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS59195311A JPS59195311A JP6948083A JP6948083A JPS59195311A JP S59195311 A JPS59195311 A JP S59195311A JP 6948083 A JP6948083 A JP 6948083A JP 6948083 A JP6948083 A JP 6948083A JP S59195311 A JPS59195311 A JP S59195311A
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- Japan
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- magnetic
- recording
- reproduction
- film
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録において記録媒体の磁性膜面に垂直な
残留磁化を用いて情報を記録再生するための磁気ヘッド
に関するものである。
残留磁化を用いて情報を記録再生するための磁気ヘッド
に関するものである。
磁気記録媒体に高記録密度（短波長）の信号を記録する
場合、記録媒体の面内方向の磁化によって記録を行なう
方法よりも、記録媒体の厚さ方向、すなわち垂直磁化に
よって記録を行なう方法の方が有利であることが知られ
ている。
場合、記録媒体の面内方向の磁化によって記録を行なう
方法よりも、記録媒体の厚さ方向、すなわち垂直磁化に
よって記録を行なう方法の方が有利であることが知られ
ている。
この垂直磁気記録に用いる記録媒体としては垂直磁気異
方性を有する高抗磁力の磁性膜が適し、Ｃｏ−Ｃｒ、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｈ、バリウムフェライト、Ｃｏ−Ｎｉ
−１’ｖｉｎ−Ｐなどが知られている。
方性を有する高抗磁力の磁性膜が適し、Ｃｏ−Ｃｒ、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｈ、バリウムフェライト、Ｃｏ−Ｎｉ
−１’ｖｉｎ−Ｐなどが知られている。
また、垂直磁気記録用磁気ヘッドとしては、媒体面に垂
直方向の磁界を狭い範囲で鋭く発生することが必要であ
り、第１図の様な構成のものが適していることが知られ
ている。この磁気ヘッドは高透磁率磁性膜から成る短冊
状の主磁極１と、記録再生用巻線３を有し、かつ主磁極
１より十分厚い磁性体から成る補助磁極２とを、記録媒
体４を挾んで配置した構成のものであ不。また、この様
な磁気ヘッドを用いる場合には、記録媒体４と基体５と
の間に高透磁率磁性膜層６を有する記録体を用いること
によって、記録再生効率が非常に向上することも知られ
ている。
直方向の磁界を狭い範囲で鋭く発生することが必要であ
り、第１図の様な構成のものが適していることが知られ
ている。この磁気ヘッドは高透磁率磁性膜から成る短冊
状の主磁極１と、記録再生用巻線３を有し、かつ主磁極
１より十分厚い磁性体から成る補助磁極２とを、記録媒
体４を挾んで配置した構成のものであ不。また、この様
な磁気ヘッドを用いる場合には、記録媒体４と基体５と
の間に高透磁率磁性膜層６を有する記録体を用いること
によって、記録再生効率が非常に向上することも知られ
ている。
前記のような構造の磁気ヘッドは主磁極と補助磁極との
間隔が小さいほど、記録再生効率か向上することから、
磁気テープあるいはフレキシフルティスフなど薄い基体
を有する磁気記録体に適している。
間隔が小さいほど、記録再生効率か向上することから、
磁気テープあるいはフレキシフルティスフなど薄い基体
を有する磁気記録体に適している。
一方、リジッド磁気ディスクのように、比較的厚い基体
を有する磁気記録体に対しては、その片面側だけで記録
再生ができる磁気ヘッドの方が適しているので、これま
では従来のリングヘッド力）そのままの形で用いられて
きた。
を有する磁気記録体に対しては、その片面側だけで記録
再生ができる磁気ヘッドの方が適しているので、これま
では従来のリングヘッド力）そのままの形で用いられて
きた。
しかし、リンクヘッドは、元来、面内記録磁化の記録再
生に適したものであるため、垂直記録磁化に対、する特
性は十分ではなかった。
生に適したものであるため、垂直記録磁化に対、する特
性は十分ではなかった。
本発ＩＪＪの目的は垂直磁気記録再生用磁気ヘッドにお
いて、記録再生時の磁束を効率良く導く様に形成した磁
極の近傍に、記録揚土用の巻線を設けることによって、
媒体の片面側だけで、効率良く記録再生ができる磁気ヘ
ッドを提供することにある。
いて、記録再生時の磁束を効率良く導く様に形成した磁
極の近傍に、記録揚土用の巻線を設けることによって、
媒体の片面側だけで、効率良く記録再生ができる磁気ヘ
ッドを提供することにある。
すなわち、本発明は高透磁率磁性体から成る基体上に、
この基体面に対して垂直でない斜面を有する導電体の突
起部が形成され、該導電体突起部はその一端の回りを互
いに絶縁層を介してうずまき状に周回するように形成さ
れており、該導電体突起部の最内周部近傍において、前
記基体面に対し垂直でない突起部斜面に絶縁層を介して
高透磁率磁性膜が形成され、しかも該高透磁率磁性膜の
一部は前記高透磁率磁性体からなる基体表面と接してい
る構造を具備することを特徴とする垂直磁気ヘッドであ
る。
この基体面に対して垂直でない斜面を有する導電体の突
起部が形成され、該導電体突起部はその一端の回りを互
いに絶縁層を介してうずまき状に周回するように形成さ
れており、該導電体突起部の最内周部近傍において、前
記基体面に対し垂直でない突起部斜面に絶縁層を介して
高透磁率磁性膜が形成され、しかも該高透磁率磁性膜の
一部は前記高透磁率磁性体からなる基体表面と接してい
る構造を具備することを特徴とする垂直磁気ヘッドであ
る。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第２図は、本発明による垂直磁気ヘッドを示す図である
。また、第３図は第２図のＸＸ′部分の断面図である。
。また、第３図は第２図のＸＸ′部分の断面図である。
これらの図に示すように、本発明の垂直磁気ヘッドでは
、Ｍｎ −Ｚｎ フェライトやＮｉ −Ｚｎフェライト
等の高透磁率磁性体から成る基体８の上に、ＡｕやＣｕ
等から成る記録再生用導電体層９が、基体面に対して垂
直でない斜面を有する断面形状を有し、しかもうず巻状
に形成され、このうす巻の最内周付近で、絶縁層１１を
隔てた前記斜面の１つ及び直接基体面に接するように１
つのＮｉ−Ｆｅ合金やＣｏ−Ｚｒ合金の高透磁率磁性膜
１０が幅Ｗとなる様に蒸着スパッタリングなどによって
形成される。さらに、５ｉｎ２やＡ−１２０３等の絶縁
体１２が前記うずまき状導電体層間に形成された後、研
磨によって高透磁率磁性膜１０がトラック幅Ｗ１走向方
向の幅ｔを有するヘッド端面が形成する。
、Ｍｎ −Ｚｎ フェライトやＮｉ −Ｚｎフェライト
等の高透磁率磁性体から成る基体８の上に、ＡｕやＣｕ
等から成る記録再生用導電体層９が、基体面に対して垂
直でない斜面を有する断面形状を有し、しかもうず巻状
に形成され、このうす巻の最内周付近で、絶縁層１１を
隔てた前記斜面の１つ及び直接基体面に接するように１
つのＮｉ−Ｆｅ合金やＣｏ−Ｚｒ合金の高透磁率磁性膜
１０が幅Ｗとなる様に蒸着スパッタリングなどによって
形成される。さらに、５ｉｎ２やＡ−１２０３等の絶縁
体１２が前記うずまき状導電体層間に形成された後、研
磨によって高透磁率磁性膜１０がトラック幅Ｗ１走向方
向の幅ｔを有するヘッド端面が形成する。
ここで基体８の上に設けられる、基体面に対して垂直で
ない斜面を有する導電体９の形成法を、導電体９として
Ａｕを用いた場合について説明する。例えば、第４図に
示す様にＭｎ−Ｚｎ フェライトもしくはＮｉ −Ｚｎ
フェライトから成る基体８の上に厚さ４５μｍのＡ
ｕを形成し、この上に厚さ５μｍでうず巻形状のホトレ
ジス） ＡＺ １３５０ Ｊ（商品名）１３を形成した
後、アルゴン圧ＰＭ：２Ｘ１０４ Ｔｏｒｒ、電圧５ｏ
ｏｎ、電流密度０．８ｍＡ／ｃＩｒＬ２テ約５０分間イ
オンミリングを行うと、第５図に示す様に基体８上に高
さ４．５μｍ１角度約６０°の斜面を有する導電体層９
が形成される。この上に、絶縁層１１を隔てて高透磁率
磁性膜１０を厚さ数千オング°ストローム〜数ミクロン
形成ずれば、研磨端面における、磁極の走行方向の幅ｔ
は数千オンクストローム〜数ミクロンとなり、又、磁極
の突出量りも数ミクロンオーダの小さい値に設定するこ
とができる。
ない斜面を有する導電体９の形成法を、導電体９として
Ａｕを用いた場合について説明する。例えば、第４図に
示す様にＭｎ−Ｚｎ フェライトもしくはＮｉ −Ｚｎ
フェライトから成る基体８の上に厚さ４５μｍのＡ
ｕを形成し、この上に厚さ５μｍでうず巻形状のホトレ
ジス） ＡＺ １３５０ Ｊ（商品名）１３を形成した
後、アルゴン圧ＰＭ：２Ｘ１０４ Ｔｏｒｒ、電圧５ｏ
ｏｎ、電流密度０．８ｍＡ／ｃＩｒＬ２テ約５０分間イ
オンミリングを行うと、第５図に示す様に基体８上に高
さ４．５μｍ１角度約６０°の斜面を有する導電体層９
が形成される。この上に、絶縁層１１を隔てて高透磁率
磁性膜１０を厚さ数千オング°ストローム〜数ミクロン
形成ずれば、研磨端面における、磁極の走行方向の幅ｔ
は数千オンクストローム〜数ミクロンとなり、又、磁極
の突出量りも数ミクロンオーダの小さい値に設定するこ
とができる。
尚、導電体端子Ａ、Ｈの外部への取り出しは、図の繁雑
さをさけるため省略したが、例えば次の、様にずれはよ
い。すなわち、基体８に表から英に貫通する２つの穴を
設け、この穴をメッキ番こよってＡｕやＣｕ等の導電体
でうめておき、この穴の上に導電体端子Ａ、Ｂがくるよ
うにすると、基体８の裏面から、外部へ端子を取り出す
ことができる。
さをさけるため省略したが、例えば次の、様にずれはよ
い。すなわち、基体８に表から英に貫通する２つの穴を
設け、この穴をメッキ番こよってＡｕやＣｕ等の導電体
でうめておき、この穴の上に導電体端子Ａ、Ｂがくるよ
うにすると、基体８の裏面から、外部へ端子を取り出す
ことができる。
本発明の垂直磁気ヘッドでは、記録時に導電体層９の端
子Ａ、Ｂ間に記録電流を流すことによって、磁極を成す
高透磁率磁性膜１０内に磁束を生じこれが磁極の突端か
ら記録媒体の方向へ垂直磁界を発生する。再生時には記
録媒体内の磁化から生じる磁束を磁極突端で取りこんで
、高透磁率磁性膜１０及び高透磁率磁性体から成る基体
８へ導き、この磁束の変化を導電体層９の端子電圧とし
て検出する。ここで、高透磁率磁性体８が、ヘッド端面
（媒体対向面）から数ミクロンオーダという、極めて近
い位置に設けられているので、磁、極を成す高透磁率磁
性膜１０は記録再生時の磁束を効率良く集束することが
できる。さらに記録再生用導電体層９は、この磁極及び
ヘッド端面（媒体対向面）に近接して設けられているの
で、記録磁束の発生及び再生磁束の検出を効率良く行う
ことができる。
子Ａ、Ｂ間に記録電流を流すことによって、磁極を成す
高透磁率磁性膜１０内に磁束を生じこれが磁極の突端か
ら記録媒体の方向へ垂直磁界を発生する。再生時には記
録媒体内の磁化から生じる磁束を磁極突端で取りこんで
、高透磁率磁性膜１０及び高透磁率磁性体から成る基体
８へ導き、この磁束の変化を導電体層９の端子電圧とし
て検出する。ここで、高透磁率磁性体８が、ヘッド端面
（媒体対向面）から数ミクロンオーダという、極めて近
い位置に設けられているので、磁、極を成す高透磁率磁
性膜１０は記録再生時の磁束を効率良く集束することが
できる。さらに記録再生用導電体層９は、この磁極及び
ヘッド端面（媒体対向面）に近接して設けられているの
で、記録磁束の発生及び再生磁束の検出を効率良く行う
ことができる。
第６図は、本発明の第２の実施例を示す図であり、又第
７図は、第６図のＸＸ２部分の断面図である。ここでは
、ます、基体８上にうず巻状導電体層の中で基体面に対
して垂直でない斜面を有する＝Ｓ電体から成る突起部分
９のみが形成される。次いで、絶縁層１１を隔てた前記
斜面の１つ及び基体面にわたって冒透磁率磁性膜１０が
形成され、前記突起部分９に直列に、導電体層の他の部
分９′が、前記高透磁率磁性膜１０を絶縁層ＩＹを隔て
て、囲む様に形成される。さらに第１の実施例と同様ζ
ここ研磨によって、高透磁率磁性膜１０がトラック幅Ｗ
１走向方向の幅ｔを有Ｔるへ、ド端面が形成される。
７図は、第６図のＸＸ２部分の断面図である。ここでは
、ます、基体８上にうず巻状導電体層の中で基体面に対
して垂直でない斜面を有する＝Ｓ電体から成る突起部分
９のみが形成される。次いで、絶縁層１１を隔てた前記
斜面の１つ及び基体面にわたって冒透磁率磁性膜１０が
形成され、前記突起部分９に直列に、導電体層の他の部
分９′が、前記高透磁率磁性膜１０を絶縁層ＩＹを隔て
て、囲む様に形成される。さらに第１の実施例と同様ζ
ここ研磨によって、高透磁率磁性膜１０がトラック幅Ｗ
１走向方向の幅ｔを有Ｔるへ、ド端面が形成される。
この場合、第１の実施例に比べて、導電体Ｎ９゜９′が
、磁極を成す高透磁率磁性膜１０に近い位置に設けられ
ているので、記録再生時に磁極に生じる磁束をより効率
良く導くことができる。
、磁極を成す高透磁率磁性膜１０に近い位置に設けられ
ているので、記録再生時に磁極に生じる磁束をより効率
良く導くことができる。
以上述べた様に、本発明によれば記録媒体の片面側だけ
で記録再生ができ、しかもその効率が冒い垂直磁気記録
再生用磁気ヘッドを提供することができる。
で記録再生ができ、しかもその効率が冒い垂直磁気記録
再生用磁気ヘッドを提供することができる。
第１図は、従来の垂直磁気記録再生用磁気ヘッドを示す
図、漉２図、第６図は本発明の実施例を示す図、第３図
、第７図はそれぞれ、第２図、第６図のＸ７部分の断面
図、第４図、第５図は、実施例の磁気ヘッドの作製方法
を説明するための図である。 図において、１は主磁極、２は補助磁極、３は記録再生
用巻線、４は垂直磁気異方性を有する磁性膜、５は基体
、６は高透磁率磁性層、７は磁気記録体、８は両速磁率
磁性体から成る基体、９．９′は導電体層、１０は高透
磁率磁性膜、ｌ’ｌ 、 １．１’。 １２は絶縁体層、１３はレジストを示す。 ギ ２ 口
図、漉２図、第６図は本発明の実施例を示す図、第３図
、第７図はそれぞれ、第２図、第６図のＸ７部分の断面
図、第４図、第５図は、実施例の磁気ヘッドの作製方法
を説明するための図である。 図において、１は主磁極、２は補助磁極、３は記録再生
用巻線、４は垂直磁気異方性を有する磁性膜、５は基体
、６は高透磁率磁性層、７は磁気記録体、８は両速磁率
磁性体から成る基体、９．９′は導電体層、１０は高透
磁率磁性膜、ｌ’ｌ 、 １．１’。 １２は絶縁体層、１３はレジストを示す。 ギ ２ 口
Claims (1)
- 高透磁率磁性体から成る基体上に、この基体面に対して
垂直でないｆＪ、＋面を有する導電体の突起部が形成さ
れ、該導電体突起部はその一端の回りを互いに絶縁層を
介してうずまき状に周回するように形成されており、該
導電体突起部の最内周部近傍において、前記基体面に対
し垂直でない突起部斜面に絶縁層を介して高透磁率磁性
膜か形成され、しかも該高透磁率磁性膜の一部は前記高
透磁率磁性体からなる基体表面と接している構造を具備
することを特徴とする垂直磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6948083A JPS59195311A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 垂直磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6948083A JPS59195311A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 垂直磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195311A true JPS59195311A (ja) | 1984-11-06 |
Family
ID=13403895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6948083A Pending JPS59195311A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 垂直磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195311A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001022407A1 (en) * | 1999-09-20 | 2001-03-29 | Seagate Technology, Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6560069B1 (en) | 1999-11-29 | 2003-05-06 | Seagate Technology, Llc | Perpendicular recording head defining the trackwidth by material deposition thickness |
| US6646827B1 (en) | 2000-01-10 | 2003-11-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with write pole which reduces flux antenna effect |
| US6693768B1 (en) | 2000-03-15 | 2004-02-17 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head having a flux focusing main pole |
| US6717770B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-04-06 | Seagate Technology Llc | Recording head for applying a magnetic field perpendicular to the magnetizations within magnetic storage media |
| US6771462B1 (en) | 1999-09-20 | 2004-08-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head including concave tip |
| US6798615B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-09-28 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with return poles which reduce flux antenna effect |
| US6876519B1 (en) | 1999-09-20 | 2005-04-05 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6898053B1 (en) | 1999-10-26 | 2005-05-24 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with trackwidth defined by plating thickness |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP6948083A patent/JPS59195311A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001022407A1 (en) * | 1999-09-20 | 2001-03-29 | Seagate Technology, Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6771462B1 (en) | 1999-09-20 | 2004-08-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head including concave tip |
| US6876519B1 (en) | 1999-09-20 | 2005-04-05 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6898053B1 (en) | 1999-10-26 | 2005-05-24 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with trackwidth defined by plating thickness |
| US6560069B1 (en) | 1999-11-29 | 2003-05-06 | Seagate Technology, Llc | Perpendicular recording head defining the trackwidth by material deposition thickness |
| US6646827B1 (en) | 2000-01-10 | 2003-11-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with write pole which reduces flux antenna effect |
| US6693768B1 (en) | 2000-03-15 | 2004-02-17 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head having a flux focusing main pole |
| US6717770B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-04-06 | Seagate Technology Llc | Recording head for applying a magnetic field perpendicular to the magnetizations within magnetic storage media |
| US6798615B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-09-28 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with return poles which reduce flux antenna effect |
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