JPH044642B2 - - Google Patents
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- JPH044642B2 JPH044642B2 JP10048382A JP10048382A JPH044642B2 JP H044642 B2 JPH044642 B2 JP H044642B2 JP 10048382 A JP10048382 A JP 10048382A JP 10048382 A JP10048382 A JP 10048382A JP H044642 B2 JPH044642 B2 JP H044642B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録において記録媒体の磁性膜面
に垂直な残留磁化を用いて情報を記録再生するた
めの磁気ヘツドに関するものである。
に垂直な残留磁化を用いて情報を記録再生するた
めの磁気ヘツドに関するものである。
磁気記録媒体に高記録密度（短波長）の信号を
記録する場合、記録媒体の面内方向の磁化によつ
て記録を行なう方法よりも、記録媒体の厚さ方
向、すなわち垂直磁化によつて記録を行なう方法
の方が有利であることが知られている。
記録する場合、記録媒体の面内方向の磁化によつ
て記録を行なう方法よりも、記録媒体の厚さ方
向、すなわち垂直磁化によつて記録を行なう方法
の方が有利であることが知られている。
この垂直磁気記録に用いる記録媒体としては、
垂直磁気異方性を有する高抗磁力の磁性膜が適
し、Co−Cr、Co−Cr−Rh、バリウムフエライ
ト、Co−Ni−Mn−Ｐなどの材料が知られてい
る。
垂直磁気異方性を有する高抗磁力の磁性膜が適
し、Co−Cr、Co−Cr−Rh、バリウムフエライ
ト、Co−Ni−Mn−Ｐなどの材料が知られてい
る。
また、垂直磁気記録用磁気ヘツドとしては、媒
体面に垂直方向の磁界を狭い範囲で鋭く発生する
ことが必要であり、第１図の様な構成のものが適
していることが知られている。この磁気ヘツド
は、高透磁率磁性膜から成る短冊状の主磁極１
と、記録再生用巻線３を有し、かつ主磁極１より
十分厚い磁性体から成る補助磁極２とを、記録媒
体４を挾んで配置した構成のものである。また、
この様な磁気ヘツドを用いる場合には、記録媒体
４と基体５との間に高透磁率磁性薄膜層６を有す
る記録体を用いることによつて、記録再生効率が
非常に向上することも知られている。
体面に垂直方向の磁界を狭い範囲で鋭く発生する
ことが必要であり、第１図の様な構成のものが適
していることが知られている。この磁気ヘツド
は、高透磁率磁性膜から成る短冊状の主磁極１
と、記録再生用巻線３を有し、かつ主磁極１より
十分厚い磁性体から成る補助磁極２とを、記録媒
体４を挾んで配置した構成のものである。また、
この様な磁気ヘツドを用いる場合には、記録媒体
４と基体５との間に高透磁率磁性薄膜層６を有す
る記録体を用いることによつて、記録再生効率が
非常に向上することも知られている。
前記の様な構造の磁気ヘツドは、主磁極と補助
磁極との間隔が小さいほど、記録再生効率が向上
することから、磁気テープあるいはフレキシブル
デイスクなど薄い基体を有する磁気記録体に適し
ている。
磁極との間隔が小さいほど、記録再生効率が向上
することから、磁気テープあるいはフレキシブル
デイスクなど薄い基体を有する磁気記録体に適し
ている。
一方、リジツド磁気デイスクの様に、比較的厚
い基体を有する磁気記録体に対しては、その片面
側だけで記録再生ができる磁気ヘツドの方が適し
ているので、これまでは、従来のリングヘツドが
そのままの形で用いられてきた。
い基体を有する磁気記録体に対しては、その片面
側だけで記録再生ができる磁気ヘツドの方が適し
ているので、これまでは、従来のリングヘツドが
そのままの形で用いられてきた。
しかし、リングヘツドは、元来、面内記録磁化
の記録再生に適したものであるため、垂直記録磁
化に対する記録再生は十分ではなかつた。
の記録再生に適したものであるため、垂直記録磁
化に対する記録再生は十分ではなかつた。
本発明の目的は、垂直磁気記録再生用磁気ヘツ
ドにおいて、記録再生時の磁束を効率よく導く様
に形成した磁極の近傍に記録再生用の巻線を設け
ることによつて、媒体の片面側だけで効率よく、
記録再生ができる磁気ヘツドを提供することにあ
る。
ドにおいて、記録再生時の磁束を効率よく導く様
に形成した磁極の近傍に記録再生用の巻線を設け
ることによつて、媒体の片面側だけで効率よく、
記録再生ができる磁気ヘツドを提供することにあ
る。
本発明の磁気ヘツドは、その基体面から離れる
につれて互いに近づくような２つの斜面を有する
突起が形成された非磁性基体と、この基体上に形
成された高透磁率磁性膜、さらにこの磁性膜上に
形成された絶縁層上に、前記突起を囲む様に形成
された導電体層を有する構成であることを特徴と
する。
につれて互いに近づくような２つの斜面を有する
突起が形成された非磁性基体と、この基体上に形
成された高透磁率磁性膜、さらにこの磁性膜上に
形成された絶縁層上に、前記突起を囲む様に形成
された導電体層を有する構成であることを特徴と
する。
次に、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第２図は、本発明による磁気ヘツドを示す図で
ある。また、第３図は、第２図のＸ，X′間の断
面図である。これらの図に示すように、本発明の
磁気ヘツドは、基体面から離れるにつれて互いに
近づくような２つの斜面を有する屋根状の突起１
３が形成された非磁性基体８の上に高透磁率磁性
膜９が形成され、さらに記録再生用導電体層１１
が、絶縁層１０を隔てて、前記突起１３を囲む様
に形成した構造である。
ある。また、第３図は、第２図のＸ，X′間の断
面図である。これらの図に示すように、本発明の
磁気ヘツドは、基体面から離れるにつれて互いに
近づくような２つの斜面を有する屋根状の突起１
３が形成された非磁性基体８の上に高透磁率磁性
膜９が形成され、さらに記録再生用導電体層１１
が、絶縁層１０を隔てて、前記突起１３を囲む様
に形成した構造である。
さらに、この上に絶縁層１２を形成した後、研
磨によつて、記録媒体の寸法に合わせるように走
向方向の幅ｔ、これと直角方向のトラツク幅ｗの
高透磁率磁性膜９の端面を形成した。尚、導電体
端子Ａ，Ｂの外部への取り出しは、図の繁雑さを
さけるため省略してある。
磨によつて、記録媒体の寸法に合わせるように走
向方向の幅ｔ、これと直角方向のトラツク幅ｗの
高透磁率磁性膜９の端面を形成した。尚、導電体
端子Ａ，Ｂの外部への取り出しは、図の繁雑さを
さけるため省略してある。
高透磁率磁性膜９は、パーマロイヤやCo−Zr
等を蒸着やスパツタリングにより形成したものか
ら成り、非磁性基体８としては、セラミツク、
SiO2、Al2O3、シリコン等が用いられ、絶縁層１
０及び１２としては、SiO2、Al2O3等が用いられ
る。さらに、導電体層１１は蒸着やメツキもしく
はスパツタリングをした金や銅を、マスク処理を
施して上記形状に形成される。
等を蒸着やスパツタリングにより形成したものか
ら成り、非磁性基体８としては、セラミツク、
SiO2、Al2O3、シリコン等が用いられ、絶縁層１
０及び１２としては、SiO2、Al2O3等が用いられ
る。さらに、導電体層１１は蒸着やメツキもしく
はスパツタリングをした金や銅を、マスク処理を
施して上記形状に形成される。
ここで非磁性基体８上に設けられる、基体面か
ら離れるにつれて互いに近づくような２つの斜面
を有する屋根状の突起１３の形成法を、非磁性基
体８としてSiO2を用いた場合について説明する。
例えば、第４図に示す様に、SiO2基体８上に、
厚さ1.5μｍ、幅3μｍ、長さ20μｍの形状にポジタ
イプフオトレジスタ１４を形成した後、アルゴン
圧PAr＝２×10-4Torr、電圧500V電流密度0.8ｍ
Ａ／cm2で45分間イオンミリングを行うと、第５図
に示す様に、高さ1.5μｍ、頂上での幅0.8μｍ×
18μｍ、角度約58゜の斜面を有する屋根状突起１３
が形成される。この上に、例えば、パーマロイや
Co−Zr等の高透磁率磁性膜９を、厚さ、数μｍ
形成した後、絶縁層１０を隔てて、幅及び厚みが
数千〜数ミクロンの記録再生用導電体層１１を前
記突起１３を囲む様に形成し、さらに、絶縁層１
２を形成した後研磨すると、記録媒体走行方向の
幅ｔ、数ミクロン、トラツク幅約20μｍの端面を
有する磁極が形成される。
ら離れるにつれて互いに近づくような２つの斜面
を有する屋根状の突起１３の形成法を、非磁性基
体８としてSiO2を用いた場合について説明する。
例えば、第４図に示す様に、SiO2基体８上に、
厚さ1.5μｍ、幅3μｍ、長さ20μｍの形状にポジタ
イプフオトレジスタ１４を形成した後、アルゴン
圧PAr＝２×10-4Torr、電圧500V電流密度0.8ｍ
Ａ／cm2で45分間イオンミリングを行うと、第５図
に示す様に、高さ1.5μｍ、頂上での幅0.8μｍ×
18μｍ、角度約58゜の斜面を有する屋根状突起１３
が形成される。この上に、例えば、パーマロイや
Co−Zr等の高透磁率磁性膜９を、厚さ、数μｍ
形成した後、絶縁層１０を隔てて、幅及び厚みが
数千〜数ミクロンの記録再生用導電体層１１を前
記突起１３を囲む様に形成し、さらに、絶縁層１
２を形成した後研磨すると、記録媒体走行方向の
幅ｔ、数ミクロン、トラツク幅約20μｍの端面を
有する磁極が形成される。
第６図及び第７図は、本発明による磁気ヘツド
の記録及び再生の動作を定性的に説明するための
図である。すなわち、本磁気ヘツドでは記録時
に、導電体層１１の端子Ａ・Ｂ間に、例えば、図
示した方向（非磁性基体８側から見て時計まわり
方向）に記録電流を流すと、磁極を成す高透磁率
磁性膜９内に、磁束１５を生じ、これが磁極の突
端から媒体７の方向へ垂直磁界１６を発生させる
（第６図）。再生時には、媒体内磁化１８から生じ
る磁束１９を、磁極突端でとりこんで、高透磁率
磁性膜９内に導き、この磁束の変化を導電体層１
１の端子電圧として検出する（第７図）。ここで
磁極を成す高透磁率磁性膜９は、媒体内の磁化１
８から生じる磁束にそつた形をしており、しかも
媒体対向面から数ミクロン程度という媒体に極め
て近い位置に形成されているので、記録時の磁束
１５及び再生時の磁束１９を、効率良く導くこと
ができる。さらに、記録再生用導電体層１１はこ
の磁極及び媒体に近接して設けられているので、
記録磁束の発生及び再生磁束の検出が効率良く行
うことができる。
の記録及び再生の動作を定性的に説明するための
図である。すなわち、本磁気ヘツドでは記録時
に、導電体層１１の端子Ａ・Ｂ間に、例えば、図
示した方向（非磁性基体８側から見て時計まわり
方向）に記録電流を流すと、磁極を成す高透磁率
磁性膜９内に、磁束１５を生じ、これが磁極の突
端から媒体７の方向へ垂直磁界１６を発生させる
（第６図）。再生時には、媒体内磁化１８から生じ
る磁束１９を、磁極突端でとりこんで、高透磁率
磁性膜９内に導き、この磁束の変化を導電体層１
１の端子電圧として検出する（第７図）。ここで
磁極を成す高透磁率磁性膜９は、媒体内の磁化１
８から生じる磁束にそつた形をしており、しかも
媒体対向面から数ミクロン程度という媒体に極め
て近い位置に形成されているので、記録時の磁束
１５及び再生時の磁束１９を、効率良く導くこと
ができる。さらに、記録再生用導電体層１１はこ
の磁極及び媒体に近接して設けられているので、
記録磁束の発生及び再生磁束の検出が効率良く行
うことができる。
又、ここで述べた磁極の形状は、イオンミリン
グ条件及び高透磁率磁性膜の厚さ及び研磨条件を
適宜選ぶことによつて、所望の形に成形できる。
グ条件及び高透磁率磁性膜の厚さ及び研磨条件を
適宜選ぶことによつて、所望の形に成形できる。
なお非磁性基体上に形成される突起上の基体面
から離れるに従つて互いに近づくような２つの斜
面は図面に示したような平面である必要はなく、
曲面であつてもよい。また該突起の断面は図示し
たような左右対称でなくともよい。
から離れるに従つて互いに近づくような２つの斜
面は図面に示したような平面である必要はなく、
曲面であつてもよい。また該突起の断面は図示し
たような左右対称でなくともよい。
また突起上端は図のような平面である必要はな
くエツジ状になつていてもかまわない。
くエツジ状になつていてもかまわない。
図面に示した絶縁層１２は磁気記録媒体７が本
発明の磁気ヘツドのごく近傍を走行することを考
慮すると形成されていることが望ましいが、形成
しない場合でも原理的には本発明の優れた効果が
失なわれることはない。
発明の磁気ヘツドのごく近傍を走行することを考
慮すると形成されていることが望ましいが、形成
しない場合でも原理的には本発明の優れた効果が
失なわれることはない。
以上述べたように、本発明によれば記録媒体の
片面側だけで記録再生ができ、しかも、その効率
が高い垂直記録再生用磁気ヘツドを提供すること
ができる。
片面側だけで記録再生ができ、しかも、その効率
が高い垂直記録再生用磁気ヘツドを提供すること
ができる。
第１図は、従来の垂直磁気記録再生用磁気ヘツ
ドを示す図、第２図は、本発明による磁気ヘツド
を示す図、第３図は、第２図のＸ，X′間の断面
図、第４図、第５図は作製方法を説明するための
図、第６図、第７図は、本発明の動作を説明する
ための図である。 図において、１は、主磁極、２は、補助磁極、
３は、記録再生用巻線、４は、垂直磁気異方性を
有する磁性薄膜、５は、基体、６は、高透磁率磁
性層、７は、磁気記録媒体、８は、非磁性基体、
９は、高透磁率磁性膜、１０，１２は絶縁層、１
１は、記録再生用導電体層、１３は、非磁性基体
上の突起、１４はレジスト、１５，１６，１９は
磁束、１７は媒体走行方向、１８は記録磁化を示
す。
ドを示す図、第２図は、本発明による磁気ヘツド
を示す図、第３図は、第２図のＸ，X′間の断面
図、第４図、第５図は作製方法を説明するための
図、第６図、第７図は、本発明の動作を説明する
ための図である。 図において、１は、主磁極、２は、補助磁極、
３は、記録再生用巻線、４は、垂直磁気異方性を
有する磁性薄膜、５は、基体、６は、高透磁率磁
性層、７は、磁気記録媒体、８は、非磁性基体、
９は、高透磁率磁性膜、１０，１２は絶縁層、１
１は、記録再生用導電体層、１３は、非磁性基体
上の突起、１４はレジスト、１５，１６，１９は
磁束、１７は媒体走行方向、１８は記録磁化を示
す。
Claims (1)
- １ 基体面から離れるにつれて互いに近づくよう
な２つの斜面を有する突起が形成された非磁性基
体とこの基体上に形成された高透磁率磁性膜、さ
らにこの磁性膜上に形成された絶縁層上に、前記
突起を囲む様に形成された導電体層を有する構成
であることを特徴とする磁気ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10048382A JPS58218018A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10048382A JPS58218018A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58218018A JPS58218018A (ja) | 1983-12-19 |
| JPH044642B2 true JPH044642B2 (ja) | 1992-01-29 |
Family
ID=14275168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10048382A Granted JPS58218018A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58218018A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2575577B1 (fr) * | 1984-12-28 | 1989-07-07 | Bull Sa | Transducteur magnetique d'ecriture/lecture pour enregistrement perpendiculaire |
| FR2586851B1 (fr) * | 1985-09-04 | 1989-09-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'une tete magnetique horizontale enterree et tete magnetique obtenue par ce procede |
| JPH11507162A (ja) * | 1995-06-07 | 1999-06-22 | シーゲート テクノロジー，インコーポレテイッド | パターン化した磁極を備えたヘッド上の滑らかな微細構成ヘッド面 |
| JP5611590B2 (ja) * | 2007-08-08 | 2014-10-22 | セイコーインスツル株式会社 | 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 |
-
1982
- 1982-06-11 JP JP10048382A patent/JPS58218018A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58218018A (ja) | 1983-12-19 |
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