JPH06274827A - 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH06274827A JPH06274827A JP5066892A JP6689293A JPH06274827A JP H06274827 A JPH06274827 A JP H06274827A JP 5066892 A JP5066892 A JP 5066892A JP 6689293 A JP6689293 A JP 6689293A JP H06274827 A JPH06274827 A JP H06274827A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 垂直磁気記録に於いて、媒体からの残留磁束
をより多く検出することにより、より記録再生特性の優
れた垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド及びその製造方法を
提供することを目的とする。 【構成】 主磁極、補助磁極、該主磁極と該補助磁極と
を結合するコア及びコイルを有してなる垂直磁気記録用
薄膜磁気ヘッドにおいて、該主磁極の全体長が５０μｍ
以下であって、その周囲にコイルを形成することによっ
て、漏れ磁束を減少し、再生出力に有効な磁束量の多い
磁気回路を形成することができるので、再生出力の高い
垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドを得ることができる。コ
イルが主磁極先端部に配置されている時その効果は著し
い。この磁気ヘッドの製造方法の特徴は、主磁極、補助
磁極、該主磁極と該補助磁極とを結合するコア及びコイ
ルのいずれも媒体対向面に対して垂直の方向から薄膜法
によって形成することができるので精度のよいものを効
率よく製造することができる。
をより多く検出することにより、より記録再生特性の優
れた垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド及びその製造方法を
提供することを目的とする。 【構成】 主磁極、補助磁極、該主磁極と該補助磁極と
を結合するコア及びコイルを有してなる垂直磁気記録用
薄膜磁気ヘッドにおいて、該主磁極の全体長が５０μｍ
以下であって、その周囲にコイルを形成することによっ
て、漏れ磁束を減少し、再生出力に有効な磁束量の多い
磁気回路を形成することができるので、再生出力の高い
垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドを得ることができる。コ
イルが主磁極先端部に配置されている時その効果は著し
い。この磁気ヘッドの製造方法の特徴は、主磁極、補助
磁極、該主磁極と該補助磁極とを結合するコア及びコイ
ルのいずれも媒体対向面に対して垂直の方向から薄膜法
によって形成することができるので精度のよいものを効
率よく製造することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録再生用の磁気記
録ヘッドに関し、特に磁気記録密度が高い垂直磁気記録
法に好適な垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドに関する。
録ヘッドに関し、特に磁気記録密度が高い垂直磁気記録
法に好適な垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】垂直磁気記録法は磁気記録媒体の磁性層
を厚さ方向に磁化させることにより記録再生を行うもの
であり、従来一般的であった面内磁気記録法に比して記
録密度を高くすることができるという利点がある。
を厚さ方向に磁化させることにより記録再生を行うもの
であり、従来一般的であった面内磁気記録法に比して記
録密度を高くすることができるという利点がある。
【０００３】面内磁気記録法においては、磁気記録媒体
上に被着形成された磁性層をその面に平行に磁化させ、
この面内方向での残留磁化により記録再生を行う。しか
し、この面内磁気記録の場合には、記録信号が短波長に
なるにつれて、即ち記録密度が高くなるにつれて、記録
媒体内の反磁界が増加し残留磁束密度が減衰するため、
再生出力が低下するという欠点がある。これに対し、垂
直磁気記録の場合には、記録密度が高くなってもこのよ
うな不都合が生じないため、面内方向磁化に比して記録
密度を高くすることができる。
上に被着形成された磁性層をその面に平行に磁化させ、
この面内方向での残留磁化により記録再生を行う。しか
し、この面内磁気記録の場合には、記録信号が短波長に
なるにつれて、即ち記録密度が高くなるにつれて、記録
媒体内の反磁界が増加し残留磁束密度が減衰するため、
再生出力が低下するという欠点がある。これに対し、垂
直磁気記録の場合には、記録密度が高くなってもこのよ
うな不都合が生じないため、面内方向磁化に比して記録
密度を高くすることができる。
【０００４】図６は、従来の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘ
ッド（以下、磁気ヘッドという）の構造を示したもので
ある。記録媒体に平行な面を媒体対向面２とし、その面
に対し垂直な方向に主磁極下部１、主磁極上部４が配置
され、コイル３を挟んで主磁極に対向した位置に補助磁
極５が配置され、その補助磁極５と主磁極上部４を磁気
的に結合するコア６が配置されている。コイル３は前記
コア６を軸として渦巻上に１層ないしは数層配置されて
いる。この構造の磁気ヘッドは、ディスク基板上の高透
磁率の軟磁性層１６の上に形成された垂直磁化層１５を
有する垂直磁気記録媒体と組み合わせて使用され、記録
再生時には前記磁気ヘッドの主磁極下部１、主磁極上部
４、コア６、補助磁極５と磁気記録媒体の軟磁性層１６
を通って磁気的閉回路が形成されることにより、記録媒
体の垂直磁化層１５に対して高密度の垂直磁気記録と再
生を可能にしている。
ッド（以下、磁気ヘッドという）の構造を示したもので
ある。記録媒体に平行な面を媒体対向面２とし、その面
に対し垂直な方向に主磁極下部１、主磁極上部４が配置
され、コイル３を挟んで主磁極に対向した位置に補助磁
極５が配置され、その補助磁極５と主磁極上部４を磁気
的に結合するコア６が配置されている。コイル３は前記
コア６を軸として渦巻上に１層ないしは数層配置されて
いる。この構造の磁気ヘッドは、ディスク基板上の高透
磁率の軟磁性層１６の上に形成された垂直磁化層１５を
有する垂直磁気記録媒体と組み合わせて使用され、記録
再生時には前記磁気ヘッドの主磁極下部１、主磁極上部
４、コア６、補助磁極５と磁気記録媒体の軟磁性層１６
を通って磁気的閉回路が形成されることにより、記録媒
体の垂直磁化層１５に対して高密度の垂直磁気記録と再
生を可能にしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の磁気ヘッドには、以下に示すような欠点があ
る。
の従来の磁気ヘッドには、以下に示すような欠点があ
る。
【０００６】すなわち、磁気記録媒体からの再生は、磁
気記録媒体の垂直磁化膜に記録された磁気信号１７を前
記磁気ヘッドの主磁極、補助磁極、コア及び前記磁気記
録媒体との間で形成される磁気回路の磁束の時間変化と
して、電圧という形で前記コイルで検出することによっ
て行われる。
気記録媒体の垂直磁化膜に記録された磁気信号１７を前
記磁気ヘッドの主磁極、補助磁極、コア及び前記磁気記
録媒体との間で形成される磁気回路の磁束の時間変化と
して、電圧という形で前記コイルで検出することによっ
て行われる。
【０００７】しかしながら、前記磁束の量は、前記磁気
回路の磁気抵抗の逆数に比例する。すなわち、磁束量を
Φ、磁気ヘッドの主磁極、補助磁極及びコアの磁気抵抗
をそれぞれ、Ｒp 、Ｒr 、Ｒc 、磁気記録媒体の軟磁性
層の磁気抵抗をＲu 、主磁極と下地層間及び補助磁極と
下地層間の磁気抵抗をそれぞれＲs1、Ｒs2とすると、磁
束量Φは次式で表される。 Φ＝ｋ・｛１／（Ｒp ＋Ｒp ＋Ｒc ＋Ｒu ＋Ｒs1＋Ｒs2）｝ ここで、ｋは比例定数である。従って、媒体からの残留
磁束を多く検出するためには磁気ヘッドの各部の磁気抵
抗をできる限り小さくする必要がある。
回路の磁気抵抗の逆数に比例する。すなわち、磁束量を
Φ、磁気ヘッドの主磁極、補助磁極及びコアの磁気抵抗
をそれぞれ、Ｒp 、Ｒr 、Ｒc 、磁気記録媒体の軟磁性
層の磁気抵抗をＲu 、主磁極と下地層間及び補助磁極と
下地層間の磁気抵抗をそれぞれＲs1、Ｒs2とすると、磁
束量Φは次式で表される。 Φ＝ｋ・｛１／（Ｒp ＋Ｒp ＋Ｒc ＋Ｒu ＋Ｒs1＋Ｒs2）｝ ここで、ｋは比例定数である。従って、媒体からの残留
磁束を多く検出するためには磁気ヘッドの各部の磁気抵
抗をできる限り小さくする必要がある。
【０００８】しかしながら、垂直磁化膜に記録された磁
気信号１７から発生する残留磁束は、殆どが主磁極部
１、４の周辺で１９ａ、１９ｂに示すように磁気回路１
８の外に漏れてしまい、再生のための電圧を誘起する、
主磁極と補助磁極とこれを結ぶコアを通って形成される
磁気回路は、媒体からの残留磁束全体のうち、ごく一部
であることが知られている。従って、従来の磁気ヘッド
では実際に電圧として検出される量は残留磁束全体から
期待されるものよりはるかに小さく、十分な再生出力が
得られていない。
気信号１７から発生する残留磁束は、殆どが主磁極部
１、４の周辺で１９ａ、１９ｂに示すように磁気回路１
８の外に漏れてしまい、再生のための電圧を誘起する、
主磁極と補助磁極とこれを結ぶコアを通って形成される
磁気回路は、媒体からの残留磁束全体のうち、ごく一部
であることが知られている。従って、従来の磁気ヘッド
では実際に電圧として検出される量は残留磁束全体から
期待されるものよりはるかに小さく、十分な再生出力が
得られていない。
【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、上記漏れ磁束を少なくし媒体からの残留磁
束をより多く検出することにより、より記録再生特性の
優れた磁気ヘッドを提供することを目的とする。
のであって、上記漏れ磁束を少なくし媒体からの残留磁
束をより多く検出することにより、より記録再生特性の
優れた磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、主磁
極、補助磁極、該主磁極と該補助磁極とを結合するコア
及びコイルを有してなる磁気ヘッドにおいて、該主磁極
の全体長が５０μｍ以下であり、その周囲にコイルが形
成されていることにある。又このコイルが主磁極の先端
部の周囲に形成されている前記構成の磁気ヘッドであ
る。そしてその製造方法は、主磁極、補助磁極、コア及
びコイルを、該磁気ヘッドの媒体対向面に対して垂直な
方向から薄膜法によって形成することを特徴とするもの
である。
極、補助磁極、該主磁極と該補助磁極とを結合するコア
及びコイルを有してなる磁気ヘッドにおいて、該主磁極
の全体長が５０μｍ以下であり、その周囲にコイルが形
成されていることにある。又このコイルが主磁極の先端
部の周囲に形成されている前記構成の磁気ヘッドであ
る。そしてその製造方法は、主磁極、補助磁極、コア及
びコイルを、該磁気ヘッドの媒体対向面に対して垂直な
方向から薄膜法によって形成することを特徴とするもの
である。
【００１１】 〔発明の詳細な説明〕以下、本発明についてさらに詳細
に説明する。本発明でいう主磁極の全体長とは図１に示
した主磁極下部１と主磁極上部４からなる全体の長さｄ
をさし、主磁極の先端部とは主磁極の全体長ｄに対し、
媒体対向面２からｄの１／２の高さ以下の範囲内をい
う。主磁極の全体長が５０μｍより長くなると磁気回路
の大きさが大きくなるとともに外部への漏れ磁束が多く
なり十分な再生出力が得られない。短すぎるとコイルが
形成できないので、下限は少なくとも一層のコイルが形
成できる長さ又は高さが必要である。コイルが主磁極の
先端部に配置される時、再生出力の向上は著しい。
に説明する。本発明でいう主磁極の全体長とは図１に示
した主磁極下部１と主磁極上部４からなる全体の長さｄ
をさし、主磁極の先端部とは主磁極の全体長ｄに対し、
媒体対向面２からｄの１／２の高さ以下の範囲内をい
う。主磁極の全体長が５０μｍより長くなると磁気回路
の大きさが大きくなるとともに外部への漏れ磁束が多く
なり十分な再生出力が得られない。短すぎるとコイルが
形成できないので、下限は少なくとも一層のコイルが形
成できる長さ又は高さが必要である。コイルが主磁極の
先端部に配置される時、再生出力の向上は著しい。
【００１２】また電圧検出用のコイルの形状は、大きく
分けて渦巻型と螺旋型がありそのいずれを用いても良い
が、主磁極先端部近くにより集中して巻回するためには
渦巻型の方が好ましい。
分けて渦巻型と螺旋型がありそのいずれを用いても良い
が、主磁極先端部近くにより集中して巻回するためには
渦巻型の方が好ましい。
【００１３】又、本発明の製造方法において、該磁気ヘ
ッドの主磁極、補助磁極、コア及びコイルを、該磁気ヘ
ッドの媒体対向面に対して垂直な方向から薄膜法によっ
て形成するということは、その幅には関係なくめっき
法、スパッタリング法、イオンビーム法などの薄膜法に
よって形成される膜の厚さ方向が媒体対向面にたいして
垂直の方向であるということを意味する。
ッドの主磁極、補助磁極、コア及びコイルを、該磁気ヘ
ッドの媒体対向面に対して垂直な方向から薄膜法によっ
て形成するということは、その幅には関係なくめっき
法、スパッタリング法、イオンビーム法などの薄膜法に
よって形成される膜の厚さ方向が媒体対向面にたいして
垂直の方向であるということを意味する。
【００１４】
【作用】上述したように、主磁極部１、４、補助磁極５
及びコア６からなり、コアの周囲にコイルを有する従来
の磁気ヘッドにおいては、再生時に媒体から発生する磁
束の大部分が主磁極先端付近で主磁極の外へ漏れてしま
い、コアを通って形成される磁束の量が減少することが
知られている（IEEE Trans. Mag. Vol27. 1991,4927〜4
929）。又、主磁極の長さによって再生時に形成される
磁気回路の大きさが左右されるが、主磁極の長さを短く
することによって形成される磁気回路を小さくすること
ができ、外部への漏れ磁束を少なくすることができ、再
生特性を向上させることができる。さらに従来の様にコ
イルをコア周囲に配置するかわりに、コイルを主磁極の
周囲特に主磁極先端部に配置することにより漏れ磁束の
量を低減することができるので、再生出力を従来の数倍
に増加させることができる。特に、主磁極先端部にコイ
ルを巻回すればその効果は顕著である。
及びコア６からなり、コアの周囲にコイルを有する従来
の磁気ヘッドにおいては、再生時に媒体から発生する磁
束の大部分が主磁極先端付近で主磁極の外へ漏れてしま
い、コアを通って形成される磁束の量が減少することが
知られている（IEEE Trans. Mag. Vol27. 1991,4927〜4
929）。又、主磁極の長さによって再生時に形成される
磁気回路の大きさが左右されるが、主磁極の長さを短く
することによって形成される磁気回路を小さくすること
ができ、外部への漏れ磁束を少なくすることができ、再
生特性を向上させることができる。さらに従来の様にコ
イルをコア周囲に配置するかわりに、コイルを主磁極の
周囲特に主磁極先端部に配置することにより漏れ磁束の
量を低減することができるので、再生出力を従来の数倍
に増加させることができる。特に、主磁極先端部にコイ
ルを巻回すればその効果は顕著である。
【００１５】
（実施例１〜３及び比較例１〜２）以下、本発明の実施
例について添付の図面を参照して具体的に説明する。図
１は、本発明の実施例２に係る磁気ヘッドの構造を示す
ものであって、２は磁気ヘッドの媒体対向面、１は主磁
極下部、４は主磁極上部、５は補助磁極、６はコア、３
はコイルである。コイルは２０ターンで１層形成されて
いる。
例について添付の図面を参照して具体的に説明する。図
１は、本発明の実施例２に係る磁気ヘッドの構造を示す
ものであって、２は磁気ヘッドの媒体対向面、１は主磁
極下部、４は主磁極上部、５は補助磁極、６はコア、３
はコイルである。コイルは２０ターンで１層形成されて
いる。
【００１６】ここで、主磁極の長さ、コイルの位置等の
条件を表１の実施例１〜３及び比較例２に示すように変
えた構成の磁気ヘッドを作製した。
条件を表１の実施例１〜３及び比較例２に示すように変
えた構成の磁気ヘッドを作製した。
【００１７】比較例１として、実施例と同じ２０ターン
のコイルを有する従来の構造を有する磁気ヘッド（図
６）を作製し、上記実施例の構造の磁気ヘッドととも
に、記録密度１５ｋｆｃｉ及び６０ｋｆｃｉに於ける再
生出力を市販のサーティファイヤーで、１ＭＨｚに於け
るインダクタンス及び抵抗をインピーダンスアナライザ
ーで測定した。その結果をを表１に示す。
のコイルを有する従来の構造を有する磁気ヘッド（図
６）を作製し、上記実施例の構造の磁気ヘッドととも
に、記録密度１５ｋｆｃｉ及び６０ｋｆｃｉに於ける再
生出力を市販のサーティファイヤーで、１ＭＨｚに於け
るインダクタンス及び抵抗をインピーダンスアナライザ
ーで測定した。その結果をを表１に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】表１からわかるように、実施例のようにコ
イルを主磁極周囲全体（実施例１）、主磁極先端周囲
（実施例２、３；媒体対向面と媒体対向面からｃμｍの
間）に巻回することにより、規格化再生出力は従来の構
造の薄膜磁気ヘッド（比較例１）に比べ、前者の場合約
１.4倍、後者の場合約１.5〜２.4倍に増加させることが
できる。またそのとき分解能の悪化や抵抗、インダクタ
ンスの増加などの悪影響はみられない。
イルを主磁極周囲全体（実施例１）、主磁極先端周囲
（実施例２、３；媒体対向面と媒体対向面からｃμｍの
間）に巻回することにより、規格化再生出力は従来の構
造の薄膜磁気ヘッド（比較例１）に比べ、前者の場合約
１.4倍、後者の場合約１.5〜２.4倍に増加させることが
できる。またそのとき分解能の悪化や抵抗、インダクタ
ンスの増加などの悪影響はみられない。
【００２０】次に本発明磁気ヘッドの製造方法の１例を
図を用いて概略的に説明する。図２〜図５にその製造工
程を示す。
図を用いて概略的に説明する。図２〜図５にその製造工
程を示す。
【００２１】非磁性セラミックスからなる基板１１に１
２に示すような穴を機械加工で形成する〔図２
（ａ）〕。次に基板１１全体を銅めっきした後フォトエ
ッチング法により電気導通用パターン９を形成する〔図
２（ｂ）〕。
２に示すような穴を機械加工で形成する〔図２
（ａ）〕。次に基板１１全体を銅めっきした後フォトエ
ッチング法により電気導通用パターン９を形成する〔図
２（ｂ）〕。
【００２２】次にワイヤー接続用の金パッド１０をフォ
トエッチング法及び金めっきを用いて形成する〔図２
（ｃ）〕。
トエッチング法及び金めっきを用いて形成する〔図２
（ｃ）〕。
【００２３】次に電気導通用パターン７ａを銅めっき及
びフォトエッチング法を用い電気導通用パターン９上に
形成した後、スパッタリング法によりアルミナ膜８ａで
素子全体を覆う〔図２（ｄ）〕。
びフォトエッチング法を用い電気導通用パターン９上に
形成した後、スパッタリング法によりアルミナ膜８ａで
素子全体を覆う〔図２（ｄ）〕。
【００２４】アルミナ膜８ａを機械研磨により平坦化し
パターン７ａを露出させた後、銅めっきとフォトエッチ
ング法により電気導通用パターン７ｂを７ａ上に形成す
る。またＮｉＦｅ膜のコア６をめっき法で形成し、フォ
トエッチング法により所定の形状に加工する。次に素子
全体をスパッタリング法を用いアルミナ膜８ｂで覆う
〔図２（ｅ）〕。
パターン７ａを露出させた後、銅めっきとフォトエッチ
ング法により電気導通用パターン７ｂを７ａ上に形成す
る。またＮｉＦｅ膜のコア６をめっき法で形成し、フォ
トエッチング法により所定の形状に加工する。次に素子
全体をスパッタリング法を用いアルミナ膜８ｂで覆う
〔図２（ｅ）〕。
【００２５】次に研磨によりアルミナ膜８ｂを平坦化し
パターン７ｂ及び６を露出させる。次にその上に電気導
通用パターン７ｃを銅めっき、フォトエッチング法を用
いて形成する。また補助磁極５ａと主磁極上部の一部４
ａをＮｉＦｅめっき法、フォトエッチング法を用い。次
にスパッタリング法を用いアルミナ膜８ｃで素子全体を
覆う〔図３（ｆ）〕。
パターン７ｂ及び６を露出させる。次にその上に電気導
通用パターン７ｃを銅めっき、フォトエッチング法を用
いて形成する。また補助磁極５ａと主磁極上部の一部４
ａをＮｉＦｅめっき法、フォトエッチング法を用い。次
にスパッタリング法を用いアルミナ膜８ｃで素子全体を
覆う〔図３（ｆ）〕。
【００２６】次に研磨によりアルミナ膜８ｃを平坦化し
素子７ｃ、４ａ、５ａを露出させる。次に主磁極上部の
一部４ｂと補助磁極５ｂをＮｉＦｅめっき法とフォトエ
ッチング法で形成する。次にコイル３を銅めっき法とフ
ォトエッチング法をもちいて主磁極上部４ｂの周りに渦
巻状に形成する。この時コイル３はあらかじめ作成して
おいた電気導通用パターン７ｃと接続するように形成さ
れる。。次にスパッタリング法を用いアルミナ膜８ｄで
素子を覆う〔図３（ｇ）〕。
素子７ｃ、４ａ、５ａを露出させる。次に主磁極上部の
一部４ｂと補助磁極５ｂをＮｉＦｅめっき法とフォトエ
ッチング法で形成する。次にコイル３を銅めっき法とフ
ォトエッチング法をもちいて主磁極上部４ｂの周りに渦
巻状に形成する。この時コイル３はあらかじめ作成して
おいた電気導通用パターン７ｃと接続するように形成さ
れる。。次にスパッタリング法を用いアルミナ膜８ｄで
素子を覆う〔図３（ｇ）〕。
【００２７】次にアルミナ膜８ｄを素子３、４ｂ、５ｂ
が露出するまで平坦化を行った後、５μｍのアルミナ層
８ｅをスパッタリング法で形成する〔図３（ｈ）〕。
が露出するまで平坦化を行った後、５μｍのアルミナ層
８ｅをスパッタリング法で形成する〔図３（ｈ）〕。
【００２８】次にアルミナ膜８ｅにフッ化水素を用いた
フォトエッチングで主磁極上部４ｂ上に図に示すような
台形上の窪み１３を形成する〔図３（ｉ）〕。次に３０
００Åの厚さを持つ主磁極と同じ材質であるＣｏＺｒＮ
ｂ層１４を形成した後〔図４（ｊ）〕、フォトエッチン
グ法でトラック幅７μｍの主磁極先端部１を形成する
〔図４（ｋ）〕。
フォトエッチングで主磁極上部４ｂ上に図に示すような
台形上の窪み１３を形成する〔図３（ｉ）〕。次に３０
００Åの厚さを持つ主磁極と同じ材質であるＣｏＺｒＮ
ｂ層１４を形成した後〔図４（ｊ）〕、フォトエッチン
グ法でトラック幅７μｍの主磁極先端部１を形成する
〔図４（ｋ）〕。
【００２９】このようにフッ化水素を用いたアルミナの
等方的化学エッチングを行うことにより図４の１３に示
したような深さ数μｍ、傾斜４５度の窪みを作ることが
でき、この程度の窪みであれば図１の媒体対向面２の方
向からフォトエッチングを行っても３μｍ程度のトラッ
ク幅の主磁極パターンの形成まで対応することができ、
媒体対向面方向からの主磁極形成が可能である。
等方的化学エッチングを行うことにより図４の１３に示
したような深さ数μｍ、傾斜４５度の窪みを作ることが
でき、この程度の窪みであれば図１の媒体対向面２の方
向からフォトエッチングを行っても３μｍ程度のトラッ
ク幅の主磁極パターンの形成まで対応することができ、
媒体対向面方向からの主磁極形成が可能である。
【００３０】次にアルミナ膜８ｆを形成した後〔図５
（ｌ）〕、主磁極１の先端が露出するまで研磨を行う
〔図５（ｍ）〕。最後に媒体対向面２が浮上面あるいは
摺動面になるように磁気ヘッドを切り出すことにより、
図１に示した構造の磁気ヘッドが得られた。
（ｌ）〕、主磁極１の先端が露出するまで研磨を行う
〔図５（ｍ）〕。最後に媒体対向面２が浮上面あるいは
摺動面になるように磁気ヘッドを切り出すことにより、
図１に示した構造の磁気ヘッドが得られた。
【００３１】なお上記の説明において材料、数値を示し
たがこれらは一例にすぎず、本発明がこれによって限定
されるものではない。
たがこれらは一例にすぎず、本発明がこれによって限定
されるものではない。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば主
磁極長さを短くし、磁束変化検出用のコイルを主磁極の
周囲、特に主磁極先端部に巻回することによって、従来
に比較しより大きな再生出力が得られ、高密度記録が可
能な垂直磁気記録媒体に適した磁気ヘッドを得ることが
できる。
磁極長さを短くし、磁束変化検出用のコイルを主磁極の
周囲、特に主磁極先端部に巻回することによって、従来
に比較しより大きな再生出力が得られ、高密度記録が可
能な垂直磁気記録媒体に適した磁気ヘッドを得ることが
できる。
【図１】本発明の磁気ヘッドの構造の一例を示す。
【図２】本発明の製造方法の工程の一部を示す。
【図３】本発明の製造方法の工程の一部を示す。
【図４】本発明の製造方法の工程の一部を示す。
【図５】本発明の製造方法の工程の一部を示す。
【図６】従来の磁気ヘッドの断面図を示す
１ ：主磁極下部 ２ ：媒体対向面 ３ ：コイル ４ ：主磁極 ４ａ、４ｂ：主磁極上部 ５ ：補助磁極 ５ａ、５ｂ：補助磁極の一部 ６ ：コア ７ ：電気導通用パターン ７ａ、７ｂ、７ｃ：電気導通用パターンの一部 ８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆ：アルミナ膜 ９ ：電気導通用パターン １０：金パッド １１：非磁性材基板 １２：基板に形成された穴 １３：主磁極下部形成用の窪み １４：ＣｏＺｒＮｂ層 １５：垂直磁化層 １６：軟磁性層 １７：磁気信号 １８：記録再生用磁気回路 １９ａ、１９ｂ：漏れ磁気回路
Claims (3)
- 【請求項１】 主磁極、補助磁極、該主磁極と該補助磁
極とを結合するコア及びコイルを有してなる垂直磁気記
録用薄膜磁気ヘッドにおいて、該主磁極の全体長が５０
μｍ以下であり、その周囲にコイルが形成されているこ
とを特徴とする垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 コイルが主磁極先端部の周囲に形成され
てなることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用
薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】 主磁極、補助磁極、コア及びコイルを有
する垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの製造方法におい
て、主磁極、補助磁極、コア及びコイルを、該薄膜磁気
ヘッドの媒体対向面に対して垂直な方向から薄膜法によ
って形成することを特徴とする垂直磁気記録用薄膜磁気
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5066892A JPH06274827A (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5066892A JPH06274827A (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06274827A true JPH06274827A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13329027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5066892A Pending JPH06274827A (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06274827A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100373672B1 (ko) * | 1999-09-24 | 2003-02-26 | 가부시끼가이샤 도시바 | 자기 헤드, 그 제조 방법 및 수직 자기 기록 장치 |
| US6819531B2 (en) | 1998-08-20 | 2004-11-16 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording and reading device having 50 mb/s transfer rate |
-
1993
- 1993-03-25 JP JP5066892A patent/JPH06274827A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6819531B2 (en) | 1998-08-20 | 2004-11-16 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording and reading device having 50 mb/s transfer rate |
| US7177115B2 (en) | 1998-08-20 | 2007-02-13 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic recording and reading device |
| US7339762B2 (en) | 1998-08-20 | 2008-03-04 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic recording and reading device |
| US7782566B2 (en) | 1998-08-20 | 2010-08-24 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic recording and reading device |
| US7903374B2 (en) | 1998-08-20 | 2011-03-08 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic recording and reading device |
| KR100373672B1 (ko) * | 1999-09-24 | 2003-02-26 | 가부시끼가이샤 도시바 | 자기 헤드, 그 제조 방법 및 수직 자기 기록 장치 |
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