JPH08279106A - 複合型磁気ヘッド及びそのコイル基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッドを小型化して高密度記録を可能に
するとともに、その製造を容易にし、しかも磁束の漏洩
をなくしてノイズの発生を低減した。 【構成】 スライダ板１の所定位置にフロント磁気コア
５が固定され、渦巻き状コイル１５とその端子電極１８
を設けたコイル基板２が前記スライダ板１に重ねられる
とともに、さらに上にバックヨーク７を固定した非磁性
体の裏板３が重ねて接合され、フロント磁気コア５とコ
イル１５とバックヨーク７とで電磁変換素子が構成さ
れ、コイル基板２の端子電極１８が裏板３に覆われない
ように裏板３に切り欠き１１が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主としてコンピュータ
のハードディスクドライブに用いられる複合型磁気ヘッ
ドと、それを構成するコイル基板の製造方法に関し、特
に磁気ヘッドが搭載されたスライダを磁気ディスクに対
して微小間隔で浮上させて、非接触で記録再生を行なえ
るようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】ソフトウエアの大型化、ＣＰＵの処理速
度の高速化に伴う高い転送レートに対応するために、小
型、低インダクタンスの磁気ヘッドが要求されている。
しかし、従来のモノリシック及びコンポジット型ＭＩＧ
（メタルインギャップ）ヘッドでは、その製造法から、
またコイルの巻き線作業が必要な事から小型、低インダ
クタンス化は難しい。一方、薄膜ヘッドでは、小型、低
インダクタンス化は容易であるが、オーバーライト特性
が低く、更にポール部でのアライメント精度やドメイン
コントロールの難しさからサイドリーディングやウィグ
ル等の問題があり、狭トラック化が難しくなっている。
また、狭トラックでの出力を増大させる為にコイルのタ
ーン数が多くなってしまい、場合によっては４０ターン
以上に増大させる必要があり、コイルの多層化が必要と
なっている。コイルを多層化すると、それを形成した面
が大きな段差を有することになって上部磁極の形成およ
び加工はますます困難になる。これらの加工を容易にす
るためにステッパを導入して加工することが可能である
が、ステッパは極めて高価な装置であり、薄膜ヘッドが
高コストになってしまい、さらに、ステッパ等の適用は
本質的な解決でなく、加工精度の問題は残ってしまう。

【０００３】上記の問題点を解決するために、磁気ヘッ
ドのギャップ部には従来のバルクヘッドを用い、コイル
としては小型化が可能な薄膜コイルを用いて、それらを
組合わせた構造の磁気ヘッドが提案されている。例え
ば、特開平５−３４２５１５号公報には、図８に示すよ
うに薄膜コイル５１を設置した多結晶フェライト製のバ
ックボディ５２と、単結晶フェライト製の記録ギャップ
５３を含むフロントチップ５４とを張り合わせた構造の
磁気ヘッドが記載されている。この構造により、従来バ
ルクへッドの問題点とされていた小型で低インダクタン
ス化を可能にしている。また従来の薄膜ヘッドでは困難
とされるサイドリーディングやウィグル等の問題をなく
している。また特開平６−２７４８２６号公報には、図
９に示すようにスライダ基板５５に設けられた２つの磁
気コア部分５６の背面側に薄膜コイル５７を設けるとと
もに、前記の２つの磁気コア部分５６の背面を軟磁性薄
膜よりなる背面磁気コア５８で接続した構成の磁気ヘッ
ドが記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たように、薄膜コイルを設置したバックボディと、記録
ギャップを含むフロントチップを張り合わせた構造（図
８）にして、磁気ヘッドを小型で低インダクタンス化し
たものがある。しかし、その磁気ヘッドは、フロントチ
ップ５４とバックボディ５２は磁性体で作成されている
ため、モノリシックＭＩＧヘッドがかかえる問題即ち、
磁束がスライダ全体に広がり、ノイズの原因となってい
る。また、２つの磁気コア部分を背面磁気コア５８で接
続した構成の磁気ヘッド（図９）は、小型になるが、２
つの磁気コア部分を有するスライダ基板に薄膜コイルや
背面磁気コアを作成することになり、製造能率がよいも
のではない。そこで、本発明は、磁気ヘッドを小型化し
て高密度記録を可能にするとともにその製造を容易に
し、しかも磁束の漏洩をなくしてノイズの発生を低減す
ることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
した複合型磁気ヘッドである。それは、バックヨークを
固定した非磁性体の裏板と、一対の磁性体コア片を接合
して磁気ギャップを形成させたフロント磁気コアの磁気
ギャップ側を磁気記録媒体に対向配置した非磁性体から
成るスライダ板と、渦巻き状コイルとその電極を設けた
コイル基板とから構成される。そして、バックヨークと
フロント磁気コアとコイル基板とが電磁変換素子を構成
するように裏板とコイル基板とスライダ板とが接合固定
され、裏板がコイル基板上の電極部分を覆わない形状に
構成されている。上記の複合型磁気ヘッドは、コイル基
板上の電極部分が裏板によって覆われないように裏板に
切り欠きを設けることにより、コイルの端子電極と外部
回路との電気的接続が裏板側から直接接続できる。ま
た、コイル基板の構成を、単数または複数のコイル層を
持ち且つ絶縁層を介在させた一体化構造にして、渦巻き
状コイルの中央付近には電磁変換素子の磁気回路が貫通
できる孔を設けると共に、コイルの端子電極をコイルか
ら離れた位置に形成するのが好ましい。裏板に設けられ
ているバックヨークは断面略コ字型に形成し、その両突
端部のそれぞれをフロント磁気コアの各コア片に接合し
て電磁変換素子の磁気回路を構成することができる。コ
イル基板には、電磁気的に一個のコイルとして作用する
ように構成接続された２個のコイルが設けられ、且つ２
個のコイルはバックヨークとフロント磁気コアの接合部
付近に配されると共に、２個のコイルのターン数の比
は、電磁変換素子の磁気回路を磁気ギャップの中央で２
分割した場合のそれぞれの分割部分に対応した磁気抵抗
の比とほぼ同一にすることができる。このように構成す
れば、電磁気的にバランスした電磁変換素子とすること
ができ、小型で高性能な特性を得ることができる。ま
た、一対のフロント磁気コアは、それぞれを同一形状に
作成することにより、両側部分の磁気回路をバランス良
く、高効率に動作させることができ、より一層の高性能
化を図ることができる。さらに、書き込み時には読み出
し時に比べてターン数を減じることができるような中間
タップと、その電極をそれぞれのコイルに設け、それら
電極とコイルはともにコイル基板を構成する絶縁膜上に
設けることができる。この場合、給電する中間タップ、
即ち、ターン数を適宜に選択することにより、書き込み
時にインダクタンスを小さくでき、また読み出し時に誘
起電圧いわゆる読み出し電圧を上げて特性を向上させる
ことができる。このようにすることで、読み出し時、書
き込み時のターン数を最適化でき、従来の磁気ヘッドで
は対応できなかった高周波域にまで適用可能になる。

【０００６】複合型磁気ヘッドのコイル基板の製造方法
は、前記の複合型磁気ヘッドを構成するコイル基板を製
造する方法に関し、基板上にダミー層、絶縁層の順に形
成し、次に前記絶縁層の上にコイルパターンを作成して
その上に絶縁層を形成する工程を、所要のターン数を得
られるまで繰り返し行なった後、ダミー層より上側のコ
イル基板をダミー層のエッチング等の方法により基板か
ら分離させて作成する。このようなコイル基板は、導体
層と絶縁層の積層されたもので、従来における基板を除
くことが可能であるため、非常に薄く小型化されたもの
と言える。この製造方法において、ダミー層は絶縁層と
エッチングの選択性がある材質を用いることができる。

【０００７】

【作用】上記の複合型磁気ヘッドでは、フロント磁気コ
アを有するスライダ板と、渦巻き状コイル等を有するコ
イル基板と、バックヨークを有する裏板とが別個に形成
されてそれらが、バックヨークとフロント磁気コアとコ
イル基板とで電磁変換素子を構成するように接合固定さ
れて複合型磁気ヘッドが作成されているので、高密度記
録に対応した小型の磁気ヘッドを容易に製造することが
できる。また、コイル基板は、薄膜コイルを絶縁膜に設
けた構成にしているので、磁気ヘッドが小型になり、イ
ンダクタンスが低くなって記録再生特性を飛躍的に向上
させることができる。さらにフロント磁気コア部分が設
けられているスライダ板は非磁性であり、また、バック
ヨークが設けられている裏板も非磁性であるので、磁束
が磁気コア部分以外に漏れにくく、ノイズの発生を防止
することができる。

【０００８】

【実施例】本発明の複合型磁気ヘッドの実施例を図１〜
４により説明する。複合型磁気ヘッドは、図１に示すよ
うにフロント磁気コア５を有するスライダ板１と、渦巻
き状コイル１５を有するコイル基板２と、バックヨーク
７を有する非磁性の裏板３とが別個に形成されて、それ
らが、フロント磁気コア５とコイル基板１５とバックヨ
ーク７とで電磁変換素子を構成するように（図２のよう
に）前記順序で重ね合わせて接合固定されている。そし
て、複合型磁気ヘッドの裏板３が図４に示すように、保
持部材Ｈの先端部に設けたバネ材に接着固定され、スラ
イダ板１が磁気記録媒体に対向されて、磁気ヘッドと磁
気記録媒体との相互間で記録、再生作用をするようにな
っている。スライダ板１は非磁性セラミックで作成さ
れ、磁気ディスク対向面に２本のエアーレール４が設け
られ、一方のエアーレール４のスライダ流出端に設けた
切り溝にフロント磁気コア５が嵌合接着されている。フ
ロント磁気コア５は、図３に示すように２つの磁気コア
部分５ａ、５ｂがギャップ６を介して接合され、２つの
コア部分５ａ、５ｂの背面側は離れていて、後記するバ
ックヨーク７により接続されるようになっている。な
お、フロント磁気コア５を構成する磁気コア部分５ａ、
５ｂは、図３では非対称であるが、それらを同一形状に
することが製造上、都合がよい。

【０００９】裏板３は非磁性板からなり、スライダ板１
に設けられているフロント磁気コア５の位置に対応して
バックヨーク７が設けられている。バックヨーク７は、
断面略コ字形に形成され、両突出部がそれぞれフロント
コア５の２つのコア部分５ａ、５ｂの背面部に接合され
て、磁気回路を形成するようになっている。なお、裏板
３には、バックヨーク７に対向した位置に突起８が設け
られ、裏板３をガタつくことなくスライダ板１に接合で
きるようになっている。本実施例のバックヨーク７は、
非磁性のセラミック板７ａに磁性フェライト板７ｂが接
着され、磁性フェライト板７ｂを切削加工することによ
り、バックヨーク７が断面略コ字形に形成されている。
またバックヨーク７は、磁性フェライトの中でも単結晶
フェライトあるいは磁性金属膜で作成することにより高
周波域にまで特性の低減をなくすことができ、より望ま
しい特性を得ることができる。

【００１０】裏板３はバックヨーク７の周縁に切削溝２
３が形成されて、バックヨーク７が他の磁性フェライト
板７ｂから切り離されている。さらに裏板３は、コイル
付近を除いたコイル基板２のほぼ上面に対応する部分に
切り欠き１１が設けられ、それにより、後記するコイル
基板２の電極端子部分が外に露出するるようにしてい
る。なお、本実施例の裏板３は、非磁性のセラミック板
７ａに磁性フェライト板７ｂを接着後に研削加工してバ
ックヨーク７を作成したが、セラミック板７ａに磁性フ
ェライト板７ｂを接合することなく、別個にバックヨー
ク７を作成してセラミック板に接合してもよい。その場
合、バックヨーク７の高さと同一の非磁性板をセラミッ
ク板７ａの残りの部分に接合して裏板３を、ガタつくこ
となくスライダ板１に接合させる。

【００１１】コイル基板２は、膜状であって渦巻き状の
コイル１５が絶縁膜１６上に２個設けられるとともに各
コイル１５は電磁気的に一個のコイルとして作用するよ
うに構成接続されている。各コイル１５は、単数または
複数のコイル層が絶縁層を介して一体的に積層された構
造になっており、上下のコイルはその中心部の接続端子
１５ａを介して接続される。またコイル基板２を前記の
ように裏板３とスライダ板１の間に配置して電磁変換素
子を構成するため、コイル基板２における渦巻き状コイ
ル１５の中央位置に、バックヨーク７を貫通させる通孔
１７が設けられ、図３に示すようにバックヨーク７の２
つの突端部はコイル基板２の通孔１７を貫通してフロン
ト磁気コア５のそれぞれのコア部分５ａ、５ｂの背面に
接合される。このようにして各コイル１５は、バックヨ
ーク７とフロント磁気コア５の接合部付近に配され、各
コイル１５は前記バックヨーク７の各突端部に巻いた関
係となるように配置される。

【００１２】また、２個のコイル１５は、電磁変換素子
の磁気回路を磁気ギャップの中央で２分割した場合のそ
れぞれの分割部分に対応した磁気抵抗にほぼ比例するタ
ーン数に巻かれている。なお、２分割した磁気回路は等
価的に等しくて、２個のコイル１５のターン数も同一に
するのが電磁気特性上、望ましい。コイル基板２におけ
るコイル１５の端子電極１８はコイル部分から離れた絶
縁膜１６の上に形成され、端子電極１８は、裏板３の前
記切り欠き１１に対応する位置に配置されて覆われるこ
とがなく、ハードディスク装置本体に接続される外部回
路に容易に接続できるようになっている。さらに、磁気
ヘッドの書き込み時には、読み出し時に比べてターン数
を減じることができるように、各コイル１５に中間タッ
プを設けるとともに、各中間タップの電極をそれぞれ設
けて、任意の中間タップ位置から電流を供給できるよう
にしてもよい。このような工程は、パターンマスクを使
用するので、容易に量産できるものである。

【００１３】次に前記の裏板３とコイル基板２の製造方
法を説明する。なおスライダ板１は、従来のコンポジッ
トコアを作成した後、背面を研削することにより得られ
る。裏板３の製造法を図５により説明する。非磁性セラ
ミック板７ａの一方の面に磁性フェライト板７ｂをガラ
ス接着法により接着する（図５（ａ））。外周スライサ
を用いてコイル溝１９、磁極分割溝２０を穿つ（図５
（ｂ））。この場合、磁極分割溝２０は下層の非磁性セ
ラミック板７ａまで穿つ深さであり、これによりフェラ
イト板７ｂはその分離溝２０により磁気的に分離され
る。その後、裏板３は所定の長さに切断される（図５
（ｃ））。切断面を研摩後、磁極分離溝２０と直角方向
にもう１本の磁極分離溝２１を穿ち、断面コ字形のバッ
クヨーク７が形成される（図５（ｄ））。次に、磁極分
離溝２１と平行に、スリット溝２２を穿つ（図５
（ｅ））。さらにスリット溝２２と垂直方向に切断し
て、図５（ｆ）に示すように切り欠き１１を形成する。
なおスリット溝２２は、切り欠き１１を形成する際のク
ラック発生を防止する役割をも担っている。

【００１４】次に、コイル基板の製造方法を図６により
説明する。厚さ０．５〜２ｍｍのガラス（又はセラミッ
ク）基板３０上に素子剥離用のダミー層３１を、真空蒸
着、めっき等の薄膜形成法により厚さ１〜２μｍに成膜
する（図６（ａ））。ダミー層３１は、後記する絶縁膜
３２とエッチングの選択性がある材質を用いるが、本実
施例ではＣｕ等の金属を用いる。次にダミー層３１の上
に、レジスト塗布、パターニング、ハードベークの諸工
程を経ることによりレジストを硬化させて第１絶縁膜３
２を形成し、その工程で第１絶縁膜３２に、バックヨー
ク７を通すための通孔３３も明けられる（図６
（ｂ））。ハードベークでは、窒素気流中で２５０〜３
００℃に加熱することによりレジストを硬化させる。

【００１５】次に第１絶縁膜３２上にＣｕをめっきする
ことにより、第１コイル３４を形成する。孤立パターン
にめっきする際の導通用の膜（シード膜）としてスパッ
タ法により全面にＣｒを２０ｎｍ、Ｃｕを８０ｎｍ成膜
する。レジストを全面に塗布した後、パターニングを行
ない、コイル３４、リード線、及び端子電極３５のめっ
きをする領域に窓を明け、その窓内に３μｍの厚さでＣ
ｕを電解めっきする。コイル３４のライン／スペースは
２．５／２．５μｍ、コイル巻き回数は１６にする（図
６（ｃ））。コイル３４は、両方の通孔３３の回りに連
続して８巻きづつ均等にダブルコイルとして巻いている
が、シングルコイルにしてもよい。なおコイルはダブル
コイルの方が効率がよい。

【００１６】次に、第１コイル３４の上から第２絶縁膜
３６を、第１絶縁膜と同様の方法により成膜して、リー
ド線も覆うが、通孔３３と端子電極３５は覆わない。ま
た第１コイル３４と第２コイル３７とを接続するために
第２絶縁膜３６に、窓３８が明けてある（図６
（ｄ））。図６（ｅ）に示す第２コイル３７は第１コイ
ル３４と同様にの方法で作成される。第２コイル３７の
巻き数はシングルコイルでは１４、ダブルコイルではそ
れぞれ７である。コイル３７のめっきの際、リード線の
端子電極３５も同時にめっきされる。めっき膜厚は３μ
ｍである。そして第２コイル３７の上から第３絶縁膜３
９を前記と同様の方法で作成する（図６（ｆ））。その
際、リード線を覆うが、通孔３３と端子電極３５は覆わ
ない。この後、更に端子電極３５の部分にＣｕパッド３
９と、金パッド４０をコイルと同様にめっき法により作
成する（図６（ｇ、ｈ））。この後、積層状の基板全体
をＣｕのエッチング液に浸漬することによりダミー層３
１を形成しているＣｕを溶解して、ダミー層３１より上
側のコイル基板２をガラス基板３０から分離する（図５
（ｉ））。

【００１７】前記により作成した、スライダ板１の上に
コイル基板２と裏板３を重ねて接合した後、図７示すよ
うにスライダ板１の磁気ディスク対向面にエアーレール
４が加工され、さらにラップした後、浮上角ラップ５１
を作成し、バック研削をしてスライダの厚さを所望の厚
さに作成する。

【００１８】

【発明の効果】本発明の複合型磁気ヘッドは、スライダ
板とコイル基板と非磁性の裏板とが別個に形成されて、
それらが重ね合わされて接合されることにより複合型磁
気ヘッドが作成されているので、高密度記録の可能な小
型の磁気ヘッドを容易に製造することができる。また、
コイル基板は、薄膜コイルを絶縁膜に設けた構成にして
いるので、製造が容易になるとともに、磁気ヘッドを小
型にかつ、低インダクタンスに作成でき、記録再生特性
の低下を防止できる。さらにフロント磁気コア部分が設
けられているスライダ板は非磁性であり、また、バック
ヨークが設けられている裏板も非磁性であるので、磁束
が磁気コア部分以外に漏れにくく、ノイズの発生を防止
することができる。本発明のコイル基板の製造方法で
は、基板にダミー層と絶縁層を設けてその上にコイル層
を設け、ダミー層のエッチングなどの方法により基板を
外してコイル基板としているので、小さくて厚さの薄い
コイル基板を容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の複合型磁気ヘッドの分解斜視図とコイ
ル基板の拡大平面図とコイル部分の拡大図である。

【図２】本発明の複合型磁気ヘッドの組立て状態の斜視
図である。

【図３】本発明の複合型磁気ヘッドの側面断面図であ
る。

【図４】複合型磁気ヘッドを保持部材に取付けた状態の
斜視図である。

【図５】複合型磁気ヘッドの裏板の製造を示す説明図で
ある。

【図６】複合型磁気ヘッドのコイル基板の製造を示す説
明図である。

【図７】複合型磁気ヘッドのスライダ板の製造を示す説
明図である。

【図８】従来例の磁気ヘッドのうち上下の２分割部分を
接合して組立てられるタイプの分解斜視図である。

【図９】従来例の磁気ヘッドのうち２つの磁気コア部分
を背面磁気コアで接続したタイプの斜視図と断面図であ
る。

【符号の説明】

１ スライダ板 ２ コイル基板 ３ 裏板 ５ フロント磁気コア ７ バックヨーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川井 哲郎 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内 (72)発明者 古市 眞治 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内 (72)発明者 吉村 邦明 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内 (72)発明者 中島 清 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内 (72)発明者 小池 修治 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バックヨークを固定した非磁性体の裏板
   と、一対の磁性体コア片を接合して磁気ギャップを形成
   させたフロント磁気コアの磁気ギャップ側を磁気記録媒
   体に対向配置した非磁性体から成るスライダ板と、渦巻
   き状コイルとその電極を設けたコイル基板とから構成さ
   れる複合型磁気ヘッドであって、バックヨークとフロン
   ト磁気コアとコイル基板とが電磁変換素子を構成するよ
   うに裏板とコイル基板とスライダ板とが接合固定され、
   裏板がコイル基板上の電極部分を覆わない形状に構成さ
   れていることを特徴とする複合型磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１において、コイル基板上の電極
   部分が裏板によって覆われないように裏板に切り欠きが
   設けられて、コイルの端子電極と外部回路との電気的接
   続が裏板側から直接接続できることを特徴とする複合型
   磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、コイル基板は
   単数または複数のコイル層を持ち且つ絶縁層を介在させ
   た一体化構造であり、渦巻き状コイルの中央付近には電
   磁変換素子の磁気回路が貫通できる孔があると共に、コ
   イルの端子電極がコイルから離れた位置に形成されてい
   ることを特徴とする複合型磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項２又は３において、裏板に設けら
   れているバックヨークは断面略コ字型に形成して、その
   両突端部のそれぞれをフロント磁気コアの各コア片に接
   合して電磁変換素子の磁気回路を構成することを特徴と
   する複合型磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 請求項２乃至４において、コイル基板に
   は、電磁気的に一個のコイルとして作用するように構成
   接続された２個のコイルが設けられ、且つ２個のコイル
   はバックヨークとフロント磁気コアの接合部付近に配さ
   れると共に、２個のコイルのターン数の比は、電磁変換
   素子の磁気回路を磁気ギャップの中央で２分割した場合
   のそれぞれの分割部分に対応した磁気抵抗の比とほぼ同
   一にされていることを特徴とする複合型磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項５において、２分割した磁気回路
   は等価的に等しくて、２個のコイルのターン数も同数で
   あることを特徴とする複合型磁気ヘッド。
7. 【請求項７】 請求項６において、一対のフロント磁気
   コアは、それぞれ同一形状であることを特徴とする複合
   型磁気ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項５〜７において、書き込み時には
   読み出し時に比べてターン数を減じることができるよう
   な中間タップとその電極がそれぞれのコイルに設けら
   れ、それらの電極はコイルとともにコイル基板を構成す
   る絶縁膜上に設けられていることを特徴とする複合型磁
   気ヘッド。
9. 【請求項９】 バックヨークを固定した非磁性体の裏板
   と、一対の磁性体コア片を接合して磁気ギャップを形成
   させたフロント磁気コアの磁気ギャップ側を磁気記録媒
   体に対向配置した非磁性体から成るスライダ板と、渦巻
   き状コイルとその電極を設けたコイル基板とが、バック
   ヨークとフロント磁気コアとコイル基板とで電磁変換素
   子を構成するように接合固定される複合型磁気ヘッドの
   コイル基板の製造方法であって、 基板上にダミー層、絶縁層の順に形成し、次に前記絶縁
   層の上にコイルパターンを作成してその上に絶縁層を形
   成する工程を、所要のターン数を得られるまで繰り返し
   行なった後、ダミー層より上側のコイル基板をダミー層
   のエッチング等の方法により基板から分離させることを
   特徴とするた複合型磁気ヘッドのコイル基板の製造方
   法。
10. 【請求項１０】 請求項９において、ダミー層は絶縁層
    とエッチングの選択性がある材質を用いることを特徴と
    する複合型磁気ヘッドのコイル基板の製造方法。