JPH07307019A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 浮上型磁気ヘッドにおいて、小型化、高性能
化が可能でしかも安定した性能が得られるものを提供す
る。 【構成】 非磁性体からなるスライダーを表板と裏板と
で合わせ構成し、裏板の記録媒体側の面に薄膜技術によ
りコイル及びこのコイルの発生する磁束を通す磁気導体
路を形成し、該表板には記録媒体に対向する面に、記録
あるいは再生用のギャップを有する磁性体を一構成要素
とする部分を形成して、裏板の磁気導体路と表板のギャ
ップを有する磁性体とが一つの磁気回路を構成するよう
に裏板と表板をを貼り付けた磁気ヘッド。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主としてコンピュータ
のハードディスクドライブに用いられる磁気ヘッド、即
ち、磁気ヘッドを搭載したスライダのディスク対向面に
おけるヘッドとディスクとの間に微小ギャップを形成し
て非接触で記録再生を行なう磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】ソフトウエアの大型化、CPU速度の高速
化に伴う高い転送レートに対応するために、小型・低イ
ンダクタンスの磁気ヘッドが要求されている。しかし従
来のモノリシック及びコンポジット型MIGヘッドではそ
の製造法とコイルの捲線作業が必要な事から小型・低イ
ンダクタンス化は難しい。 一方、薄膜ヘッドでは小型・低インダクタンス化は容易
であるが、オーバーライト値が低く、更にポール部での
アライメント精度やドメインコントロールの難しさから
サイドリーディングやウィグル等の問題があり、狭トラ
ック化が難しくなっている。また、狭トラックでの出力を
増大させる為にコイルのターン数を40ターン以上に増大
させる必要があり、コイルの多層化が必要となっている。
コイル多層化のために起こる大きな段差のため上部磁
極の加工はますます困難になってきている。これらの加
工を容易にするためにステッパが導入されているが極め
て高価な装置であり、薄膜ヘッドの高コストの一因とな
っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の問題点を解決す
る為に磁気ヘッドのギャップ部には従来のバルクヘッド
を用いこれと小型化が可能な薄膜コイルを組み合せた構
造のヘッドが提案されている。例えば、特開平5-342515
号に開示されているように、薄膜コイルを設置した多結
晶フェライト製のバックボディと単結晶フェライト製の
記録ギャップをを含む表板を貼り合わせた構造の磁気ヘ
ッドを提案している。この構造により、従来バルクヘッ
ドの問題点とされる小型・低インダクタンス化が可能と
なり、また従来薄膜ヘッドでは困難とされるサイドリー
ディングやウイグル等の問題を避けることが出来る。し
かし本公知例においてはフロントチップ及びバックボデ
ィに磁性体を用いており、モノリシックMIGヘッドのか
かえる問題点を合わせ持っている。即ち、磁束がスライ
ダ全体に広がり、ノイズの原因となっていることであ
る。本発明は、浮上型磁気ヘッドにおいて、小型化、高
性能化が可能でしかも安定した性能が得られるものを提
供する。

【０００４】

【課題を解決するための手段】従来の薄膜ヘッド及びバ
ルクヘッドの持つ問題点を解決する為にギャップ部はバ
ルクヘッド、コイルには薄膜プロセスによるコイルを用
い、これらを組み合わせる。非磁性体からなる裏板の記
録媒体側の面に薄膜コイル及びこれを貫通する薄膜磁性
体を形成し、 該裏板の記録媒体に対向する面に、記録再
生ギャップを有する磁性体を含む表板を張り合わせた構
造の磁気ヘッドとする。また、磁束の広がりを防ぐ為に表
板においてギャップ部の周辺のみに磁性体の使用を限定
し、その他の部分は非磁性体を使用し、ギャップ部と貼
り合わせる。裏板においては磁束の大部分は薄膜磁性体
内にのみ存在する事になる。さらにコイルを外部配線と
接続する端子を裏板を貫通する導体路によって形成す
る。 この導体路形成にあたっては薄膜ヘッドにおける上
部磁極に相当する工程は省略できるので薄膜工程におけ
る加工技術上の問題点は発生しない。 具体的には、例えば、図１に示すように、非磁性セラミ
ック製の裏板の記録媒体対向面側に単結晶フェライト製
の張り出し部(MIGギャップ部)９と非磁性の支持体１０
からなる表板２とを接着剤を用いて張り合わせる。裏板
の記録媒体走行方向の尾端側に突出部１ａを設け、薄膜
法（フォトリソグラフィ及びめっき）によりコイル１１
と磁気回路(３ａ、３ｂはその一部）を形成する。表板
は複数状の凸状レール２ａを形成したもので、その記録
媒体走行方向の尾端部に、磁路形成用の磁性体ブロック
７をガラス５で溶着しギャップ８を形成している。

【０００５】

【作用】上述のように本発明の磁気ヘッドは裏板に薄膜
技術によるコイル及びこれを貫通する薄膜磁性体を形成
し、これとギャップを有する表板を張り合わせて記録再
生作用をなす磁気回路を形成している。

【０００６】

【実施例】図１は本発明による磁気ヘッドの一実施例の
裏板１と表板２とを貼り合わせる前の状態を示す斜視図
である。非磁性セラミック製裏板の記録媒体対向面上にN
iFe薄膜による磁気回路を形成する。突出部３ａ、３ｂは
この磁気回路と表板を磁気的に接続する為に用いる。突
出部３ｂの回りに薄膜法によりスパイラルコイルを形成
する。コイルは裏板の貫通導体路４ａ, ４ｂを経て裏板
媒体対向面の反対側から外部配線と接続される。単結晶
フェライト製の表板２に磁性薄膜６ｂを形成し、単結晶
フェライト製の磁性体片7に磁性薄膜６ａを形成した後
ガラス５で溶着する。６ａ、６ｂの磁性薄膜としては飽
和磁束密度の高い例えばセンダスト、パーマロイ等の磁
性金属膜を用いる。本実施例では貼り合わせ前にトラッ
ク幅加工、複数レール２ａ加工を行なっているが、表板
２が非常に薄くて単独では加工が困難な場合、貼り合わ
せの後でこれらの加工を行なってもよい。また、磁束の
広がりを防ぐため、張り出し部９を磁性体で、支持体１
０を非磁性体としこれらを貼り合わせて表板２を構成す
ると更に良い性能が得られる。

【０００７】図２に薄膜法による磁気回路の作成プロセ
スの手順を示す。図２ではコイルの巻数を２９ｔｕｒｎ
として描いてあるがコイルの層数を３とし巻数を40turn
以上とし総磁路長を350μｍ以下にすることによりコイ
ルのインダクタンスは薄膜ヘッドと同程度、再生出力は
従来のバルクヘッドの２倍近い値が得られる。

【０００８】

【発明の効果】本発明によれば、薄膜技術により裏板に
コイルと磁気回路を形成するので、小型化が図れ、磁束
の拡散によるノイズの発生も少ない。そのため高密度記
録に適した磁気ヘッドを製造出来る。また表板において
磁性体を使用する部位を限定することにより磁束の拡散
を最小限に止める事によりノイズの発生を防ぐことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの一実施例の裏板と表
板とを貼り合わせる前の状態を示す斜視図。

【図２】薄膜法による磁気回路とコイルの製造プロセス
順を示す図。

【符号の説明】

１ 裏板、１ａ 張りだし部、２ 表板、３ａ 突出
部、３ｂ 突出部、４ａ 貫通導体路、４ｂ 貫通導体
路、５ ガラス、６ａ 磁性金属膜、６ｂ 磁性金属
膜、７ 磁性体ブロック、８ ギャップ部、９ 張り出
し部、１０ 支持体、１１ コイル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性体からなるスライダーを表板と裏
   板とで合わせ構成し、裏板の記録媒体側の面に薄膜技術
   によりコイル及びこのコイルの発生する磁束を通す磁気
   導体路を形成し、該表板には記録媒体に対向する面に、
   記録あるいは再生用のギャップを有する磁性体を一構成
   要素とする部分を形成して、裏板の磁気導体路と表板の
   ギャップを有する磁性体とが一つの磁気回路を構成する
   ように裏板と表板をを貼り付けた構造であることを特徴
   とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 総磁路長が350μｍ以下である請求項１
   記載の磁気ヘッド。