JPS5835719A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS5835719A JPS5835719A JP13301281A JP13301281A JPS5835719A JP S5835719 A JPS5835719 A JP S5835719A JP 13301281 A JP13301281 A JP 13301281A JP 13301281 A JP13301281 A JP 13301281A JP S5835719 A JPS5835719 A JP S5835719A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- core
- track width
- thin film
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
- G11B5/3146—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding magnetic layers
- G11B5/3153—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding magnetic layers including at least one magnetic thin film coupled by interfacing to the basic magnetic thin film structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3113—Details for improving the magnetic domain structure or avoiding the formation or displacement of undesirable magnetic domains
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、基板上に形成される磁
性膜からなるコアを、特性の異なる２檀類の磁性膜間番
こ介在される非磁性膜との積層構成−こより形成するこ
とにより、高ｔｆ１度の記録、ｐ４生を行なうことがで
きるようにしてなる薄膜Ｓ気ヘッドに関する。
性膜からなるコアを、特性の異なる２檀類の磁性膜間番
こ介在される非磁性膜との積層構成−こより形成するこ
とにより、高ｔｆ１度の記録、ｐ４生を行なうことがで
きるようにしてなる薄膜Ｓ気ヘッドに関する。
従来、電子計算機における情報の書込み、読出し、Φ去
を行なったり、テープレコーダやＶＴＲにおいて録音や
録画、再生、消去を行なうために使用される薄−膜磁気
ヘッドには、例えば第１図（ａ）の平面図、及びそのＡ
−Ａ線に沿う断面図である第１図（ｂ）に示すような構
成のものが知られている。
を行なったり、テープレコーダやＶＴＲにおいて録音や
録画、再生、消去を行なうために使用される薄−膜磁気
ヘッドには、例えば第１図（ａ）の平面図、及びそのＡ
−Ａ線に沿う断面図である第１図（ｂ）に示すような構
成のものが知られている。
同図（ａ） 、 （ｂ）に明示されるように、ｌはＮｉ
−Ｆｅ合金膜等の磁性膜からなるコアであり、これは
基板３上に蒸、着、スパッタリング、メッキ、フォトリ
ソグラフィ等を用いて形成される。２は信号の入出力を
行なうためのコイルである。４及び５はそれぞれ前記コ
アｌを構成している下部コア及び上部コア、６はヘッド
ギャップであり、このヘッドギャップ６は８ｉ０．等の
絶縁膜７により形成される。なお、図中の〜はトラック
巾、Ｌｔはギャップ長を示す。
−Ｆｅ合金膜等の磁性膜からなるコアであり、これは
基板３上に蒸、着、スパッタリング、メッキ、フォトリ
ソグラフィ等を用いて形成される。２は信号の入出力を
行なうためのコイルである。４及び５はそれぞれ前記コ
アｌを構成している下部コア及び上部コア、６はヘッド
ギャップであり、このヘッドギャップ６は８ｉ０．等の
絶縁膜７により形成される。なお、図中の〜はトラック
巾、Ｌｔはギャップ長を示す。
嬉２図は第１図に示す薄膜磁気ヘッドのコア１の動作態
様を説明する概略斜視図であり、第２図に示される矢印
８はトラック巾方向、矢印９はギャップ深さ方向、矢印
１０は磁化方向をそれぞれ示す。このような、第２図に
示す従来例の薄膜磁気ヘッドのコアｌの磁化方向１０は
、非動作時にはトラック巾方向８にあるが、記録、再生
の動作時にはコイル２に流通する記録電流、又は磁気記
録媒体（図示しない）よりの信号磁界によって、磁化方
向ｌＯがトラック巾方向８からギャップ深さ方向９へ向
けて回転する。ここで、記録、再生の動作を高精度に行
なう上で、薄膜磁気ヘッドの非動作時には、コア１の磁
化方向１０はトラック巾方向８と同方向にあることが必
要である。このため、従来例の薄膜磁気ヘッドにおける
コア１０）形成に際しては、基板３上に磁性膜を磁界中
のメッキ、蒸着手段を利用して形成し、これによりコア
１を構成する磁性膜の磁化容易軸方向をトラック巾方向
８に一致させ、非動作時には磁化方向１０がトラック巾
方向８に向くような構成としている。
様を説明する概略斜視図であり、第２図に示される矢印
８はトラック巾方向、矢印９はギャップ深さ方向、矢印
１０は磁化方向をそれぞれ示す。このような、第２図に
示す従来例の薄膜磁気ヘッドのコアｌの磁化方向１０は
、非動作時にはトラック巾方向８にあるが、記録、再生
の動作時にはコイル２に流通する記録電流、又は磁気記
録媒体（図示しない）よりの信号磁界によって、磁化方
向ｌＯがトラック巾方向８からギャップ深さ方向９へ向
けて回転する。ここで、記録、再生の動作を高精度に行
なう上で、薄膜磁気ヘッドの非動作時には、コア１の磁
化方向１０はトラック巾方向８と同方向にあることが必
要である。このため、従来例の薄膜磁気ヘッドにおける
コア１０）形成に際しては、基板３上に磁性膜を磁界中
のメッキ、蒸着手段を利用して形成し、これによりコア
１を構成する磁性膜の磁化容易軸方向をトラック巾方向
８に一致させ、非動作時には磁化方向１０がトラック巾
方向８に向くような構成としている。
しかるに、通常薄膜磁気ヘッドのコア１はトラック巾方
向８では短かく、ギャップ深さ方向９には長い形状を呈
しており、この結果、上述のようにコア１の磁性膜の磁
化容易軸方向をトラック巾方向８に一致させるような処
置を行なったとしても、反磁界による形状磁気異方性に
より、コア１の磁化方向１０は非動作時においてトラッ
ク巾方向８の方向へ必ずしも揃わず、このために記録、
再生の動作を高精度に行なうことができないという欠点
があった。
向８では短かく、ギャップ深さ方向９には長い形状を呈
しており、この結果、上述のようにコア１の磁性膜の磁
化容易軸方向をトラック巾方向８に一致させるような処
置を行なったとしても、反磁界による形状磁気異方性に
より、コア１の磁化方向１０は非動作時においてトラッ
ク巾方向８の方向へ必ずしも揃わず、このために記録、
再生の動作を高精度に行なうことができないという欠点
があった。
本発明は上述のような欠点を除去するために発明された
ものであり、基板上に蒸着、スパッタリング、メッキ、
フォトリソグラフィ等により形成される磁性膜からなる
コアを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記磁性膜から
なるコアを、高透磁率で大きな飽和磁束密度を持つ第１
ａ性膜と、大きな抗磁力を持ちトラック巾方向に着磁さ
れた第２磁性膜と、これら第１及び第２ｍ性膜間に介在
された非磁性膜との積層構成により形成してなる構成を
有しており、極めて高精度の記録、再生を可能ならしめ
た薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
ものであり、基板上に蒸着、スパッタリング、メッキ、
フォトリソグラフィ等により形成される磁性膜からなる
コアを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記磁性膜から
なるコアを、高透磁率で大きな飽和磁束密度を持つ第１
ａ性膜と、大きな抗磁力を持ちトラック巾方向に着磁さ
れた第２磁性膜と、これら第１及び第２ｍ性膜間に介在
された非磁性膜との積層構成により形成してなる構成を
有しており、極めて高精度の記録、再生を可能ならしめ
た薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
以下、図面に基づき本発明を実施例によって詳細に説明
する。
する。
第３図は本発明の一実施例である薄膜磁気ヘッドの第１
図（ｂ）と同様な断面図、第４図は第３図に示す薄膜磁
気ヘッドのコアの動作興様を説明する第２図と同様な艙
略斜視図で、第１図（ｂ）及び第２図と同等部分は同一
符号を用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する
。第３図及び第４図に示される１１は、コアｌを構成し
ている下部コア４及び上部コア５のそれぞわの一部を構
成する第１磁性膜であり、これは、例えばＮｉ−Ｆｅ合
金膜等の透磁率、飽和磁束密度が共に大きな材料によっ
て形成される。１２は同じく下部コア４及び上部コア５
のそれぞれの一部を構成するＶｊ２磁性膜であり、これ
は、例えばｒ−Ｆｅｚｅ３等の抗磁力の大きな材料によ
って形成され、第４図に示すようにトラック巾方向８に
着磁されている。１３は第１磁性膜１１と第２磁性・膜
１２との間に介在される非磁性膜であり、これにより下
部コア４及び上部コア５は、それぞれ第１磁性膜１１．
非磁性膜１３、＠２磁性ＩＩ傷１２とをもって構成され
る。
図（ｂ）と同様な断面図、第４図は第３図に示す薄膜磁
気ヘッドのコアの動作興様を説明する第２図と同様な艙
略斜視図で、第１図（ｂ）及び第２図と同等部分は同一
符号を用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する
。第３図及び第４図に示される１１は、コアｌを構成し
ている下部コア４及び上部コア５のそれぞわの一部を構
成する第１磁性膜であり、これは、例えばＮｉ−Ｆｅ合
金膜等の透磁率、飽和磁束密度が共に大きな材料によっ
て形成される。１２は同じく下部コア４及び上部コア５
のそれぞれの一部を構成するＶｊ２磁性膜であり、これ
は、例えばｒ−Ｆｅｚｅ３等の抗磁力の大きな材料によ
って形成され、第４図に示すようにトラック巾方向８に
着磁されている。１３は第１磁性膜１１と第２磁性・膜
１２との間に介在される非磁性膜であり、これにより下
部コア４及び上部コア５は、それぞれ第１磁性膜１１．
非磁性膜１３、＠２磁性ＩＩ傷１２とをもって構成され
る。
次に、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの動作？Ｉ！！（ポ
について述べる。前述したように、本発明の薄膜出猟ヘ
ッドのコア１を構−成するところの下部コア４及び上部
コア５は、それぞれ非磁性膜１３を介し第１磁性嗅１１
．第２磁性膜１２との積層構成により形成されているの
で、これら２種類の第１及び第２磁性膜１１及び１２の
間で第４図に矢印で示す閉出路１４を形成することがで
きる。ここで、第２磁性膜１２は抗磁力が大きく、トラ
ック巾方向８に着出されてなる磁性膜であることから、
何等の外部磁界が存在しない時、すなわち非動作時には
、下部コア４及び上部コア５はそれぞれのコア内で閉磁
路１４を形成することになり、その各磁化方向１０はト
ラック巾方向８に揃えられる。
について述べる。前述したように、本発明の薄膜出猟ヘ
ッドのコア１を構−成するところの下部コア４及び上部
コア５は、それぞれ非磁性膜１３を介し第１磁性嗅１１
．第２磁性膜１２との積層構成により形成されているの
で、これら２種類の第１及び第２磁性膜１１及び１２の
間で第４図に矢印で示す閉出路１４を形成することがで
きる。ここで、第２磁性膜１２は抗磁力が大きく、トラ
ック巾方向８に着出されてなる磁性膜であることから、
何等の外部磁界が存在しない時、すなわち非動作時には
、下部コア４及び上部コア５はそれぞれのコア内で閉磁
路１４を形成することになり、その各磁化方向１０はト
ラック巾方向８に揃えられる。
一方、記録、再生時には、第２磁性膜１２との磁気的結
合による閉磁路１４−を形成し、かつ、トラック巾方向
８へ向いていた第１磁性膜１１の磁化方向１０は、コイ
ル２に流通する記録電流、又は磁気記録媒体よりの信号
磁界によって、磁化方向１０はトラック巾方向８からギ
ャップ深さ方向９へ向けて回転してその動作を行なう。
合による閉磁路１４−を形成し、かつ、トラック巾方向
８へ向いていた第１磁性膜１１の磁化方向１０は、コイ
ル２に流通する記録電流、又は磁気記録媒体よりの信号
磁界によって、磁化方向１０はトラック巾方向８からギ
ャップ深さ方向９へ向けて回転してその動作を行なう。
なお、上記実施例で説明した下部コア４及び上部コア５
は、それぞれ基板３に向けて第１出性映１１、非磁性膜
１３．第２磁性膜１２の順序で積層構成されているが、
前記第１磁性膜１１と第２磁性膜１２の積層構成の順序
を変えても良く、この際にも上記実施例と同様の目的を
達成し得るものである。
は、それぞれ基板３に向けて第１出性映１１、非磁性膜
１３．第２磁性膜１２の順序で積層構成されているが、
前記第１磁性膜１１と第２磁性膜１２の積層構成の順序
を変えても良く、この際にも上記実施例と同様の目的を
達成し得るものである。
以上詳述したように、本発明の薄膜磁気ヘッドは基板上
に形成される磁性膜からなるコアを、非磁性膜を介して
高透磁率で大きな飽和磁束密度を持つ第１磁性膜と、大
きな抗磁力を持ちトラック巾方向に着磁された第２ａ性
膜との積層構成によって形成した構成を有するので、本
発明ではこのような極めて簡単な構成をもって、非動ｒ
゛１時におけるコアの磁化方向をトラック巾方向へ８易
に揃えることができるから、これにより記録、再生時に
は、従来例のこの釉の薄膜磁気ヘッドに比べて高精兜の
記録、再生を行なうことができるようにした格別に優れ
た効果を奏するものである。
に形成される磁性膜からなるコアを、非磁性膜を介して
高透磁率で大きな飽和磁束密度を持つ第１磁性膜と、大
きな抗磁力を持ちトラック巾方向に着磁された第２ａ性
膜との積層構成によって形成した構成を有するので、本
発明ではこのような極めて簡単な構成をもって、非動ｒ
゛１時におけるコアの磁化方向をトラック巾方向へ８易
に揃えることができるから、これにより記録、再生時に
は、従来例のこの釉の薄膜磁気ヘッドに比べて高精兜の
記録、再生を行なうことができるようにした格別に優れ
た効果を奏するものである。
第１図（ａ）及び（ｂ）は従来例の薄ｍｓ気ヘッドを示
す平面図、及びそのＡ−Ａ線に沿う断面図、第２図は笛
１図に示す薄膜磁気ヘッドのコアの動作神様を轡、明す
る概略斜視図、第３図は本発明の一実施例である薄ｌｌ
ｔ！磁気ヘッドの第１図（ｂｌと同様な断面図、第４図
は第３図に示す薄膜磁気ヘッドのコアのＱ作輯様を説明
する第２図と同様な概略斜視図である。 １・・・・・・・コア、２・・・−・−・コイル、３・
・・・・・・・Ｘｉ、４・・・・・・下部コア、５・・
・・・・・・上部コア、６・・・・・・・・ヘッドギャ
ップ、７・・・・・・・−・絶縁膜、８・・・・・・・
トラック巾方向、９・・・・・・・・ギャップ探さ方向
、１０・・・・・・磁化方向、１１・・・・・・・第１
碍性膜、１２ ・・・・第２磁性ル（、Ｉ３・・・・・
・・非磁性膜、１４・・・・・・・・・閉碍路。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代 理 人 葛 野 信 −第１図 １ ”’ −ｄＬｇ）” 第３図 第４図
す平面図、及びそのＡ−Ａ線に沿う断面図、第２図は笛
１図に示す薄膜磁気ヘッドのコアの動作神様を轡、明す
る概略斜視図、第３図は本発明の一実施例である薄ｌｌ
ｔ！磁気ヘッドの第１図（ｂｌと同様な断面図、第４図
は第３図に示す薄膜磁気ヘッドのコアのＱ作輯様を説明
する第２図と同様な概略斜視図である。 １・・・・・・・コア、２・・・−・−・コイル、３・
・・・・・・・Ｘｉ、４・・・・・・下部コア、５・・
・・・・・・上部コア、６・・・・・・・・ヘッドギャ
ップ、７・・・・・・・−・絶縁膜、８・・・・・・・
トラック巾方向、９・・・・・・・・ギャップ探さ方向
、１０・・・・・・磁化方向、１１・・・・・・・第１
碍性膜、１２ ・・・・第２磁性ル（、Ｉ３・・・・・
・・非磁性膜、１４・・・・・・・・・閉碍路。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代 理 人 葛 野 信 −第１図 １ ”’ −ｄＬｇ）” 第３図 第４図
Claims (1)
- 基板上に蒸着、スパッタリング、メッキ、フォトリング
ラフィ等により形成される磁性膜からなるコアを有する
薄膜磁気ヘッドにおいて、前記磁性膜からなるコアを、
高透磁率で大きな飽和磁束密度を持つ第１ｉＢ性膜と、
大きな抗磁力を持ちトラック巾方向に着磁された第２８
８性膜と、これら第１及び第２ｉ性膜間に介在された非
磁性膜との積層構成により形成したことを特徴とする薄
膜−気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13301281A JPS5835719A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13301281A JPS5835719A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835719A true JPS5835719A (ja) | 1983-03-02 |
Family
ID=15094724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13301281A Pending JPS5835719A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835719A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61293494A (ja) * | 1985-06-24 | 1986-12-24 | ジャガー株式会社 | ミシン |
| JPS6210888U (ja) * | 1985-07-03 | 1987-01-23 | ||
| JPS63121077U (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-05 | ||
| US5108837A (en) * | 1987-12-04 | 1992-04-28 | Digital Equipment Corporation | Laminated poles for recording heads |
| JPH04507271A (ja) * | 1989-08-17 | 1992-12-17 | キャタピラー インコーポレイテッド | 自動掘削制御装置及び方法 |
| EP0585930A2 (en) * | 1992-09-04 | 1994-03-09 | Read-Rite Corporation | Thin film magnetic head |
-
1981
- 1981-08-25 JP JP13301281A patent/JPS5835719A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61293494A (ja) * | 1985-06-24 | 1986-12-24 | ジャガー株式会社 | ミシン |
| JPH0318480B2 (ja) * | 1985-06-24 | 1991-03-12 | Maruzen Sewing Machine | |
| JPS6210888U (ja) * | 1985-07-03 | 1987-01-23 | ||
| JPH0314146Y2 (ja) * | 1985-07-03 | 1991-03-29 | ||
| JPS63121077U (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-05 | ||
| JPH0337588Y2 (ja) * | 1987-01-30 | 1991-08-08 | ||
| US5108837A (en) * | 1987-12-04 | 1992-04-28 | Digital Equipment Corporation | Laminated poles for recording heads |
| JPH04507271A (ja) * | 1989-08-17 | 1992-12-17 | キャタピラー インコーポレイテッド | 自動掘削制御装置及び方法 |
| EP0585930A2 (en) * | 1992-09-04 | 1994-03-09 | Read-Rite Corporation | Thin film magnetic head |
| EP0585930A3 (en) * | 1992-09-04 | 1995-11-22 | Read Rite Corp | Thin film magnetic head |
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