JPH04251479A - 磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、浮上型磁気ヘッドに関
し、空気ベアリング面の面内に、空気流入方向に沿って
直線状に延びる凹溝を設け、この凹溝の幅を、両側に形
成される空気ベアリング面の幅よりも小幅とすることに
より、スライダ全体の寸法から独立して、空気ベアリン
グ面の面積を縮小し、低浮上量及び低スペーシングロス
で、高密度記録に適した磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置
を提供できるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置には、磁気
記録媒体の回転によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微小な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する磁気ヘッドが用いられている。従来、この種
の磁気ヘッドは、セラミック構造体でなるスライダの磁
気記録媒体と対向する媒体対向面側に、２本のレール部
を間隔を隔てて設け、このレール部の表面を空気ベアリ
ング面として作用させると共に、磁気記録媒体の回転に
よって生じる空気流の流入端となるレール部の一端部側
に、テーパ部を設けた構造となっていた。レール部間の
凹部は浮上安定性を向上させるために設けられており、
空気ベアリング面の幅よりも大きくなっていた。磁気変
換素子は、テーパ部とは反対側の空気流出端部側に備え
られていた。

【０００３】この種の磁気ヘッドは、磁気記録の高密度
化及び高速化に対応するため、ますます、小型化される
傾向にある。小型化は、高密度記録を達成するのに必要
な浮上量低下及びスペーシングロス減少に有効である上
に、ヘッド．サスペンションとの組合せにおいて、共振
周波数を高め、クラッシュ防止及び耐久性向上に効果が
あり、しかも、動圧と支持バネ圧との間の適正なバラン
スを保ち、姿勢を良好に保ち、安定な浮上特性が得られ
るからである。更に、小型化によるヘッドの質量減少は
、ヘッド．サスペンションを支持するアームのアクセス
運動の高速化をもたらす。

【０００４】しかし、従来の浮上型磁気ヘッドは、媒体
対向面側にレール部及びテーパ部を有する複雑な構造と
なっており、小型化には限界がある。これを解決する手
段として特開昭６４ー２１７１３号公報のように、スラ
イダの媒体対向面を、レール部のない平面状とした磁気
ヘッドが提案されている。図１８はかかる磁気ヘッドの
一例の斜視図であり、１はスライダ、２は磁気変換素子
、３、４は取出電極を示す。

【０００５】スライダ１は、媒体対向面１１にレール部
及びテーパ面を持たない平面状の空気ベアリング面１１
１を有している。

【０００６】磁気変換素子２は、磁気記録媒体の回転に
よって生じる空気流の流出端部側となる端面に備えられ
ている。磁気変換素子２は例えば幅方向の略中間部に配
置されている。

【０００７】磁気ディスク装置として使用する場合は、
媒体対向面１１と対向する面１２を、図示しないヘッド
．サスペンションに接着し、媒体対向面１１を磁気ディ
スクの表面にバネ接触させ、この状態で起動及び停止を
行なう、いわゆる、コンタクト．スタート．ストップ（
以下ＣＳＳと称する）方式によって駆動される。磁気デ
ィスクが静止しているときは、ヘッド支持装置のバネ圧
により空気ベアリング面１１１が磁気ディスクの表面に
押付けられているが、磁気ディスクが回転すると、スラ
イダ１の空気ベアリング面１１１に揚力動圧が発生し、
この動圧とヘッド支持装置のバネ圧と釣り合う浮上量で
動作する。

【０００８】図１８に示す磁気ヘッドは、スライダ１の
空気ベアリング面１１１がレール部のない単純な平面状
となっているため、小型化が容易であり、小型化による
上記利点を確保できる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、特開
昭６４ー２１７１３号公報等に開示された磁気ヘッドは
、浮上量低下とスペーシングロス減少による高密度記録
、共振周波数の高域化及びアクセス運動の高速化等を図
るのに、きわめて有用である。そして、小型化はスライ
ダ１の全幅Ｗ１　、長さＬ１　及び厚みｄ１　を小さく
することによって容易に達成できる。しかしながら、ス
ライダ１の全幅Ｗ１　、長さＬ１　及び厚みｄ１　の縮
小化による小型化には、次のような限界を生じることが
分った。 （Ａ）スライダ１において、磁気変換素子２及び取出電
極３、４の占める面積を確保しなければならない。この
面積は加工時の安全性を考慮した広さに設定される。こ
のため、各ディメンションＷ１　、Ｌ１　及びｄ１　の
縮小化に、磁気変換素子２及び取出電極３、４の占有面
積による制限が加わり、小型化に限界を生じる。 （Ｂ）全体形状が立方体状であるため、空気ベアリング
面１１１のある媒体対向面１１の面積縮小により、媒体
対向面とは反対側の面積も縮小されてしまう。面１２は
ヘッド支持装置が取付けられる部分であるので、面１２
の面積縮小によりヘッド支持装置の取付け面積が小さく
なる。このため、小型化するほど、ヘッド支持装置を取
付けるのに必要な面積が小さくなり、取付けが困難にな
る。

【００１０】このため、従来の磁気ヘッドは、各ディメ
ンションの縮小化による全体形状の小型化に限界があり
、空気ベアリング面１１１の面積も、これらの各ディメ
ンションによって定まる値以下に設定することができな
かった。

【００１１】そこで、本発明の課題は、上述した従来の
問題点を解決し、スライダ全体の寸法から独立して、空
気ベアリング面の面積を縮小し、低浮上量及び低スペー
シングロスで、高密度記録に適した磁気ヘッド及び磁気
ヘッド装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のため
、本発明に係る磁気ヘッドは、スライダと、磁気変換素
子とを有する磁気ヘッドであって、前記磁気変換素子は
、前記スライダの空気流出端側に備えられており、前記
スライダは、媒体対向面側に形成された空気ベアリング
面の面内に、空気流入方向に沿って直線状に延びる凹溝
を有しており、前記凹溝は、前記空気流入方向と直交す
る方向で見た幅が、両側に形成される前記空気ベアリン
グ面の幅よりも小さいことを特徴とする。

【００１３】また、本発明に係る磁気ヘッド装置は、上
記構造の磁気ヘッドを、ヘッド支持装置と組合せたこと
を特徴とする。

【００１４】

【作用】スライダは、媒体対向面側に備えられた空気ベ
アリング面の面内に凹溝を有しているので、凹溝の面積
の分だけ、空気ベアリング面の面積が縮小される。浮上
量は凹溝の面積を減じた空気ベアリング面の面積に対応
した値まで低下する。このため、低浮上量でスペーシン
グロスが少なく、高密度記録に適した磁気ヘッド及び磁
気ヘッド装置が得られる。

【００１５】スライダの媒体対向面と反対側の面は、空
気ベアリング面の面積縮小化による影響を受けない。こ
のため、ヘッド支持装置との間に充分な取付け面積を確
保できる。

【００１６】磁気変換素子を備える空気流出端側の端面
も、凹溝による空気ベアリング面の面積縮小の影響を、
実質的に受けない。このため、磁気変換素子及び取出電
極に必要な面積を確保したままで、空気ベアリング面を
縮小できる。

【００１７】凹溝は、空気流入方向に沿って直線状に延
びているので、空気流入に対する悪影響を与えることが
ない。このため、安定した浮上特性を確保できる。

【００１８】凹溝の空気流入方向と直交する方向で見た
幅が、両側に形成される空気ベアリング面の幅よりも小
さいことにより、スライダの全体形状の限界内での小型
化を図りつつ、必要な空気ベアリング面積を確保できる
。この凹溝は、その幅が両側に形成される空気ベアリン
グ面の幅よりも小さくなっている点で、従来の２レール
タイプの磁気ヘッドにおいて、レール部間に生じる凹部
とは異なる。従来の磁気ヘッドにおいてレール部間の凹
部は、レール部の表面に形成される空気ベアリング面の
幅よりも広くなっていた。このため、スライダの全体形
状の小型化を図りつつ、必要な空気ベアリング面積を確
保することができなかった。

【００１９】

【実施例】図１は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図であ
る。図において、図１８と同一の参照符号は同一性ある
構成部分を示している。ａは磁気ディスクの回転によっ
て生じる空気流の流入方向を示す。スライダ１は、媒体
対向面１１に形成される空気ベアリング面１１１、１１
２の面内に、空気流入方向ａに沿って、長さＬ２　、幅
Ｗ２　及び深さｄ２　で、直線状に延びる凹溝１３が設
けられている。凹溝１３は、幅Ｗ２　が０．１〜０．３
ｍｍ程度、深さｄ２　が０．０５ｍｍ程度である。

【００２０】従って、凹溝１３の面積の分だけ、空気ベ
アリング面積が縮小される。浮上量は凹溝１３の面積を
減じた空気ベアリング面１１１、１１２の面積に対応し
た値まで低下する。このため、低浮上量でスペーシング
ロスが少なく、高密度記録に適した磁気ヘッド及び磁気
ヘッド装置が得られる。図３は凹溝１３の幅Ｗ２　と浮
上量との関係を示す図である。浮上量は、凹溝１３の幅
Ｗ２が増大すると低下し、減少すると大きくなる。

【００２１】スライダ１の媒体対向面１１と面１２は、
空気ベアリング面１１１、１１２の面積縮小化による影
響を受けない。このため、ヘッド支持装置との間に充分
な取付け面積を確保できる。

【００２２】磁気変換素子２を備える空気流出端側の端
面も、凹溝１３による空気ベアリング面１１１の面積縮
小の影響を、実質的に受けない。このため、磁気変換素
子２及び取出電極３、４に必要な面積を確保したままで
、空気ベアリング面１１１、１１２の面積を縮小できる
。凹溝１３は、空気流入方向ａに沿って直線状に延びて
いるので、空気流入に対する悪影響を与えることがない
。このため、安定した浮上特性を確保できる。

【００２３】凹溝１３は、空気流入方向ａと直交する方
向で見た幅Ｗ２　が、両側に形成される空気ベアリング
面１１１、１１２の幅Ｗ３１、Ｗ３２よりも小さい。こ
れにより、スライダ１の全体形状の限界内での小型化を
図りつつ、必要な空気ベアリング面積を確保できる。

【００２４】次に、図１実施例において付加されている
他の構成部分について述べる。空気流入端側において空
気ベアリング面１１１、１１２と側端面１４とが形成す
る稜角部は、面取された傾斜面１５となっている。この
ためＣＳＳ動作において、容易にスタートできるように
なり、ヘッドクラッシュ、媒体損傷等を生じにくくなる
。図示の傾斜面１５は空気ベアリング面１１１、１１２
の全周に設けられているので、全方向においてヘッドク
ラッシュ、媒体損傷の防止作用が得られる。

【００２５】図４は空気流入端側の拡大図で、傾斜面１
５は、空気ベアリング面１１１、１１２とのなす外角θ
が６０分以下の角度となるように選定されている。傾斜
面の角度を前述したような値に選定すると、ＣＳＳ方式
で駆動する場合において、数ｍ／ｓ以下の低い安定した
相対速度で浮上を開始し、または浮上を停止するように
なる。

【００２６】外角θは次にように定義する。空気ベアリ
ング面１１１、１１２と傾斜面１５との境界をＰ１　と
し、側端面１４と傾斜面１５との境界をＰ２　とし、空
気ベアリング面１１１、１１２の延長線と側端面１４の
延長線との交点をＰ０　とする。点Ｐ０　から点Ｐ１　
、Ｐ２　までの各距離をｄ１　、ｄ２　とし、外角θは
、θ＝ｔａｎ−１（ｈ２／ｈ１） と定義する。そして、角度θを６０分以下となるように
選定する。

【００２７】傾斜面１５は、図４の平面状の他に、図５
に示すように、弧状に形成してもよい。この場合も、外
角θ＝ｔａｎ−１（ｈ２／ｈ１）の関係を満たし、６０
分以下の角度となるように設定する。外角θは６０分以
下の微小角度であるから、傾斜面１５が弧状であっても
、実質的に平面と見なして取扱うことができる。

【００２８】図６はＣＳＳ方式で駆動した場合の傾斜面
１５のなす角度θ（分）と着地速度（ｍ／ｓ）との関係
を示すデータである。着地速度（ｍ／ｓ）は浮上開始と
浮上停止とでほぼ同じと見ることができる。図６のデー
タから、外角θが６０分よりも小さい間は数ｍ／ｓのほ
ぼ安定した着地速度に保たれているが、６０分を超える
と、着地速度が急激に上昇している。従って、外角θ＝
６０分の付近に臨界点があることは明らかである。着地
速度が大きくなる程、磁気ヘッドと磁気ディスクとの間
に働く衝撃が大きくなるから、外角が６０分を超える範
囲では、耐久性が低くなる。これに対して外角が６０分
以下の範囲では、数ｍ／ｓのほぼ一定した着地速度に保
たれているから、耐久性が向上すると共に、ある範囲の
耐久性保証が可能である。

【００２９】更に、空気流入方向ａと直交する幅方向の
両端縁に、空気流入方向に沿う凹部１６、１７を有して
いる。凹部１６、１７の深さｄ３　及び幅Ｗ４１、Ｗ４
２は、スライダ１の全幅Ｗ１　を１．２ｍｍ、全長Ｌ１
　を１．１ｍｍ、厚み１　ｄを０．５５ｍｍに選定した
場合、０．１ｍｍ程度が適当である。

【００３０】磁気変換素子２は、長さ方向の一端側にお
いて空気ベアリング面１１１にギャップが位置するよう
に配置されている。

【００３１】上述の凹部１６、１７により、空気ベアリ
ング面１１１、１１２の面積が縮小される。このため、
低浮上量化が一層促進され、スペーシングロスが少なく
、高密度記録に適した磁気ヘッドが得られる。

【００３２】また、加工歪の残り易い幅方向の両端縁に
、長さ方向に沿って凹部１６、１７が設けられていて、
加工歪部分が除去されるため、ヘッドクラッシュ等を生
じにくい耐久性の高い磁気ヘッドが得られる。

【００３３】図７は本発明に係る磁気ヘッドの更に別の
実施例を示す斜視図である。この実施例では、２本の凹
溝１３１、１３２を有し、凹溝１３１ー１３２間の空気
ベアリング面１３２に磁気変換素子２を位置させてある
。凹溝１３１、１３２の各幅Ｗ２１、Ｗ２２は、その両
側の空気ベアリング面１１１、１１２、１１３の各幅Ｗ
３１、Ｗ３２、Ｗ３３よりも狭くなっている。

【００３４】上記各実施例（図１及び図７）における磁
気変換素子２は、モノリシック型、コンポジット型また
は薄膜素子の何れでもよい。本実施例では薄膜素子を使
用した薄膜磁気ヘッドの例を図８に示す。図において、
２１は下部磁性膜、２２はアルミナ等でなるギャップ膜
、２３は上部磁性膜、２４は導体コイル膜、２５はノボ
ラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、２６、２
７はリード電極、２８は保護膜である。

【００３５】下部磁性膜２１及び上部磁性膜２３の先端
部は微小厚みのギャップ膜２２を隔てて対向するポール
部２１１、２３１となっており、ポール部２１１、２３
１において読み書きを行なう。２１２、２３２はヨーク
部であり、ポール部２１１、２３１とは反対側にあるバ
ックギャップ部において、磁気回路を完成するように互
いに結合されている。

【００３６】絶縁膜２５は複数層の絶縁膜２５１〜２５
３から構成されていて、絶縁膜２５１、２５２の上に、
ヨーク部２１２、２３２の結合部のまわりを渦巻状にま
わるように、導体コイル膜２４を形成してある。リード
電極２６、２７は、一端側が導体コイル膜２４の両端に
それぞれ導通接続されており、他端側に取出電極３、４
が形成されている。

【００３７】実施例では、面内記録再生用の磁気ヘッド
を示したが、垂直磁気記録再生用の磁気ヘッドにも、本
発明は適用できるし、実施例に示す２端子型の磁気ヘッ
ドに限らず、センタータップを有する３端子型の磁気ヘ
ッド、モノリシック型磁気ヘッドまたはコンポジット型
磁気ヘッドにも適用できる。また、磁気変換素子の個数
、位置または取出電極の導出方向または位置等は、任意
に選定でき、図示の状態に限定されない。

【００３８】図９は本発明に係る磁気ヘッドを使用した
磁気録再生装置の要部における正面図、図１０は同じく
平面図である。図において、５はヘッド支持装置、６は
位置決め装置、７は磁気ヘッド、８は磁気ディスクであ
る。磁気ディスク８は図示しない回転駆動装置により、
矢印ａの方向に回転駆動される。磁気ヘッド７は、ヘッ
ド支持装置５により荷重を加えてピッチ運動及びロール
運動を許容するように支持する。

【００３９】ヘッド支持装置５は位置決め装置６に取付
けられる剛性アーム部５１に、弾性金属薄板でなる支持
体５２の一端を、結合具５１１、５１２によって取付け
固定すると共に、支持体５２の長手方向の一端にある自
由端に可撓体５３を取付け、この可撓体５３の下面に、
磁気ヘッド７を取付けた構造となっている。支持体５２
は剛性アーム部５１に取付けられる部分が弾性バネ部５
２１となっていて、弾性バネ部５２１に連続して剛性ビ
ーム部５２２を形成してある。ヘッド支持装置５は位置
決め装置６により、回転直径Ｏ１　上で、矢印ｂ１　ま
たはｂ２　の方向に駆動されて位置決めされ、それによ
っ所定のトラッにおいて、磁気ディスク８と磁気ヘッド
７との間で磁気記録．再生が行なわれる。

【００４０】磁気ヘッド７はヘッド支持装置５により荷
重を加えてピッチ運動及びロール運動を許容するように
支持する。

【００４１】磁気ディスク８は図示しない回転駆動装置
により、矢印ａの方向に回転駆動される。磁気ディスク
８としては、従来より知られているもの、またはこれか
ら提案されることのあるものを広く用いることができる
。例として、表面粗さＲｍａｘ　が１０ｎｍ以下、例え
ば５ｎｍ以下の表面性の良好な媒体が、本発明に係る磁
気ヘッドとの組合せから望ましい。このような磁気ディ
スク８は剛性基体の表面に真空成膜法によって磁気記録
層を形成することによって得られる。磁気記録層はｒ−
Ｆｅ２Ｏ３　またはＣｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｃｒ等の磁性薄
膜として形成する。真空成膜法によって形成される磁気
記録層の膜厚は０．５μｍ　程度以下であるので、剛性
基体の表面性がそのまま記録層の表面性として反映され
る。従って、剛性基体としては、表面粗さＲｍａｘ　が
１０ｎｍ以下のものを使用する。そのような剛性基体の
具体例としては、ガラス、化学強化されたソーダアルミ
ノ珪酸ガラスまたはセラミックを主成分とする剛性基体
が適している。表面粗さＲｍａｘ　が１０ｎｍ以下、特
に５ｎｍ以下の範囲では、準接触の動作の場合でも、磁
気ディスク８と磁気ヘッド７との衝突を回避し、耐久性
を向上させることができる。

【００４２】磁気記録層は、γ−Ｆｅ２Ｏ３　等の磁性
酸化鉄や磁性窒化物で構成することができる。また、磁
性層が金属や合金等の場合には、表面に酸化物層、窒化
物層を設けるか、または表面を酸化皮膜とするのが望ま
しい。 こうすることにより、磁気記録層の耐久性が向上し、磁
気ディスク８の損傷を防止できる。酸化物層及び窒化物
層は、反応性スパッタ、反応性蒸着等によって形成でき
る。また、表面の酸化皮膜は、Ｃｏ−ＣｒまたはＣｏ−
Ｎｉ等のように、鉄、コバルト、ニッケルのうち、少な
くとも一種を含む金属または合金でなる磁気記録層の表
面を、反応性プラズマ処理等により、意図的に酸化して
形成できる。磁気ディスク８は、磁気記録層の記録残留
磁化が膜面に対して垂直方向の成分を主成分とする垂直
記録、膜面内成分を主成分とする面内記録のいずれであ
ってもよい。図示は省略したが、磁気記録層の表面に潤
滑剤を塗布してもよい。

【００４３】図１１及び図１２は磁気ヘッド７とヘッド
支持装置５の組立構造を示す図で、支持体５２の自由端
に設けられた可撓体５３の下面に、磁気ヘッド７を取付
けた構造となっている。支持体５２の剛性ビーム部５２
２は両側に折曲げ形成したフランジ５２２ａ、５２２ｂ
を有している。

【００４４】可撓体５３は支持体５２の長手方向軸線と
略平行して伸びる２つの外側可撓性枠部５３１、５３２
と、支持体５２から離れた端において外側可撓性枠部５
３１、５３２を連結する横枠５３３と、横枠５３３の略
中央部から外側可撓性枠部５３１、５３２に略平行する
ように伸びていて先端を自由端とした中央舌状部５３４
とを有して構成され、横枠５３３のある方向とは反対側
の一端を、支持体５２の自由端付近に溶接等の手段によ
って取付けてある。

【００４５】可撓体５３の中央舌状部５３４の上面には
、例えば半球状等の荷重用突起５３５が設けられていて
、この荷重用突起５３５により、支持体５２の自由端か
ら中央舌状部５３４へ荷重を伝えるようにしてある。 中央舌状部５３４の下面には磁気ヘッド７を接着等の手
段によって固着してある。

【００４６】磁気ヘッド７のヘッド支持装置５に取付け
る場合、空気流入方向ａで見た荷重点Ｐｆ　に対し、磁
気ヘッド７の位置を選定することにより、ピッチ角を制
御することができる。ピッチ角は、図１３に示すように
、空気流入方向ａで見た磁気ディスク８に対する磁気ヘ
ッド７の傾き角βである。

【００４７】図１４は荷重点Ｐｆ　に対する磁気ヘッド
の取付け位置とピッチとの関係を示すデータである。横
軸にとられたｘ方向位置（μｍ　）　は、図１２におい
て、磁気ヘッド７の空気流入方向における中心点が荷重
点Ｐｆに一致している場合を基準値＝０とし、磁気ヘッ
ド７の中心点がｘ軸に付された矢印方向に移動した場合
を（＋）、逆方向に移動した場合を（−）として示して
ある。縦軸にとられたピッチ（μｍ　）　は、図１３に
おいて、空気ベアリング面１１１、１１２の最低部と最
高部との高低差Ｈ１　であり、間接的にピッチ角βを表
示している。

【００４８】図１４に示すように、荷重点Ｐｆ　に対す
る磁気ヘッド７の取付け位置を選定することにより、そ
の位置に応じたピッチ角βまたはピッチＨ１　を得るこ
とができる。ピッチ角βの選定は、スペーシングロス減
少、それによる高記録密度化、ヘッドクラッシュ防止、
浮上特性の安定化等に関して、極めて重要な事項である
。

【００４９】図１５及び図１６は図１及び図７に示した
磁気ヘッドの製造方法を示す図である。図において、７
は磁気ヘッド、９１は弾性シート、９２は研磨シート、
９３は加工台、９４は治具である。

【００５０】磁気ヘッド７は、その複数個を接着等の手
段によって治具９４に取付けてある。そして、図１７に
拡大して示すように、治具９４に荷重Ｆ１　を加えなが
ら、スライダ１の媒体対向面１１側を、弾性シート９１
によって支持された研磨シート９２の面上に接触させ、
スライダ１を研磨シート９２に対して、矢印Ｃ１　、Ｃ
２　のように相対的に移動させる。これにより、空気ベ
アリング面１１１、１１２と側端面とが形成する稜角部
が面取され、所定の傾斜面が形成される。荷重Ｆ１　、
弾性シート９１の弾力性等によって、傾斜面の角度を制
御できる。

【００５１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）スライダは、媒体対向面側に備えられた空気ベア
リング面の面内に凹溝を有しているので、低浮上量でス
ペーシングロスが少なく、高密度記録に適し、共振周波
数を高め、クラッシュを防止し、耐久性を向上させ、ア
クセス運動の高速化を図った磁気ヘッド及び磁気ヘッド
装置を提供できる。 （ｂ）スライダの媒体対向面と反対側の面は、空気ベア
リング面にの面積縮小化による影響を受けないから、ヘ
ッド支持装置との間に充分な取付け面積を確保し得る組
立の容易な磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置を提供できる
。 （ｃ）磁気変換素子及び取出電極に必要な面積を確保し
たままで、空気ベアリング面を縮小化し、低浮上量化を
図った磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置を提供できる。 （ｄ）凹溝は、空気流入方向に沿って直線状に延びてい
るので、安定した浮上特性を確保し得る磁気ヘッド及び
磁気ヘッド装置を提供できる。 （ｅ）凹溝は空気流入方向と直交する方向で見た幅が、
両側に形成される空気ベアリング面の幅よりも小さいの
で、スライダの全体形状の限界内での小型化を図りつつ
、必要な空気ベアリング面積を確保し得る磁気ヘッド及
び磁気ヘッド装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。

【図２】本発明に係る磁気ヘッドの拡大正面図である。

【図３】本発明に係る磁気ヘッドの凹溝幅と浮上量との
関係を示す図である。

【図４】本発明に係る磁気ヘッドの空気流入端側の拡大
図である。

【図５】本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例における
空気流入端側の拡大図である。

【図６】ＣＳＳ方式で駆動した場合の傾斜面の角度θ（
分）と着地速度（ｍ／ｓ）との関係を示すデータである
。

【図７】本発明に係る磁気ヘッドの別の例を示す斜視図
である。

【図８】発明に係る磁気ヘッドを構成し得る磁気変換素
子の構成を示す拡大断面図である。

【図９】本発明に係る磁気ヘッドを使用した磁気録再生
装置の要部における正面図である。

【図１０】本発明に係る磁気ヘッドを使用した磁気録再
生装置の要部における平面図である。

【図１１】図９及び図１０に示した磁気記録再生装置に
おける磁気ヘッドとヘッド支持装置の組立構造を示す正
面拡大図である。

【図１２】図９及び図１０に示した磁気記録再生装置に
おける磁気ヘッドとヘッド支持装置の組立構造を示す底
面図である。

【図１３】ピッチ角の説明をする図である。

【図１４】荷重点に対する磁気ヘッドの取付け位置とピ
ッチとの関係を示すグラフである。

【図１５】図１または図７に示した磁気ヘッドの製造方
法を示す正面図である。

【図１６】図１または図７に示した磁気ヘッドの製造方
法を示す平面図である。

【図１７】図１または図７に示した磁気ヘッドの製造方
法において磁気ヘッドに対する研磨作用を説明する図で
ある。

【図１８】従来の磁気ヘッドの斜視図である。

【符号の説明】

１　　　　　　　　　　スライダ ２　　　　　　　　　　磁気変換素子 １１　　　　　　　　媒体対向面

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　スライダと、磁気変換素子とを有する
   磁気ヘッドであって、前記磁気変換素子は、前記スライ
   ダの空気流出端側に備えられており、前記スライダは、
   媒体対向面側に形成される空気ベアリング面の面内に空
   気流入方向に沿って直線状に延びる凹溝を有しており、
   前記凹溝は、前記空気流入方向と直交する方向で見た幅
   が、両側に形成される空気ベアリング面の幅よりも小さ
   いことを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】　　前記凹溝は、１本であることを特徴と
   する請求項１に記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】　　前記凹溝は、複数本であることを特徴
   とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】　　前記スライダは、少なくとも空気流入
   端側において前記空気ベアリング面と側端面とが形成す
   る稜角部が面取された傾斜面となっており、前記傾斜面
   は、前記空気ベアリング面とのなす外角が６０分以下の
   角度となるように選定されていることを特徴とする請求
   項１、２または３に記載の磁気ヘッド。
5. 【請求項５】　　前記スライダは、媒体対向面の空気流
   入方向と直交する幅方向の両端縁に空気流入方向に沿う
   凹部を有していることを特徴とする請求項１、２、３ま
   たは４に記載の磁気ヘッド。
6. 【請求項６】　　磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを含
   む磁気ヘッド装置であって、前記磁気ヘッドは、スライ
   ダと、磁気変換素子とを有しており、前記磁気変換素子
   は、前記スライダの空気流出端側に備えられており、前
   記スライダは、媒体対向面側に形成される空気ベアリン
   グ面の面内に空気流入方向に沿って直線状に延びる凹溝
   を有しており、前記凹溝は、前記空気流入方向と直交す
   る方向で見た幅が、両側に形成される空気ベアリング面
   の幅よりも小さいことを特徴とする磁気ヘッド装置。
7. 【請求項７】　　前記ヘッド支持装置は、前記磁気ヘッ
   ドに対しロール運動及びピッチ運動を許容するように前
   記磁気ヘッドを支持し、前記スライダの媒体対向面側と
   は反対側の面から前記磁気ヘッドに対して荷重を加えて
   おり、空気流入方向で見た荷重点の位置に応じてピッチ
   角を制御することを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘ
   ッド装置。