KR100234652B1

KR100234652B1 - 얕은 에치 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더 및 그의 제조방법

Info

Publication number: KR100234652B1
Application number: KR1019960051773A
Authority: KR
Inventors: 샌포드 에이 볼라스나; 로렌스 에스 사무엘슨
Original assignee: 포만 제프리 엘; 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
Priority date: 1996-03-01
Filing date: 1996-11-04
Publication date: 2000-01-15
Also published as: DE69723749D1; JPH09265750A; CN1173695A; EP0793229B1; MY116853A; US5825587A; SG50784A1; EP0793229A1; CN1102284C; US6421908B1; TW419648B; DE69723749T2

Abstract

본 발명의 슬라이더에는 그 슬라이더가 기록 디스크에 보다 근접하여 부상하는 것을 가능하게 하고 또 좌우요동에 덜 민감한 얕은 에치부분이 레일의 후단부에 형성되어 있다. 이 슬라이더는 지지 구조체와, 상기 지지 구조체 위로 돌출된 측면부 및 공기 베어링 표면을 갖는 적어도 하나의 레일을 포함한다. 상기 레일중 적어도 하나는 지지 구조체상에 배치된 자기소자를 포함한다. 자기소자에 인접한 레일의 연부는 디스크위로 자기소자의 부상 높이(fly height)를 최소화함과 아울러 좌우요동 상태중에 레일의 디스크와의 충돌을 방지하도록 에칭되어 있다. 레일의 에칭된 부분은 자기소자에 인접한 레일의 연부가 공기 베어링 표면보다는 낮지만 지지 구조체보다는 높게 되어 있는 양각된 후단부분(relieved trailing edge portions)을 형성한다. 공기 베어링 표면내의 얕은 에치부분은 최소 기계적 슬라이더/디스크의 간격과 자기 헤드/디스크의 간격간의 차이를 최소화하여 변환기의 간격을 최적화 할 수 있다. 자기소자에 인접한 공기 베어링 표면의 연부는 반응 이온 에칭 또는 이온 밀링에 의해서 단축되어 있다.

Description

얕은 에치 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더 및 그의 제조방법

본 발명은 일반적으로 기록 매체와 함께 사용하기 위한 공기 베어링 슬라이더(air bearing slider)에 관한 것으로, 특히 최소 기계적 슬라이더/디스크의 간격과 자기 헤드/디스크의 간격간의 차이를 최소화하는 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더에 관한 것이다.

종래의 자기 디스크 드라이브는 정보 저장장치이며, 이러한 정보 저장장치는 동심 데이타 트랙을 갖는 적어도 하나의 회전가능한 자기 매체 디스크와, 각종 트랙상의 데이타를 판독하고 그 트랙상에 데이타를 기록하기 위한 판독/기록 변환기와, 변환기를 매체위에서 부상 모드(flying mode)로 대체로 트랙에 인접하게 유지하기 위한 공기 베어링 슬라이더와, 공기 베어링 슬라이더와 변환기를 데이타 트랙위에 탄성적으로 유지하는 서스펜션(suspension)과, 변화기를 매체를 가로질러서 소망의 데이타 트랙으로 이동시키고 또한 판독 또는 기록동작 동안에 변환기를 데이타 트랙위에 유지하기 위해 서스펜션에 접속된 위치설정 액츄에이터(positioning actuator)를 이용한다.

자기 기록 기술에 있어서, 정보가 기록될 수 있고 신뢰성 있게 판독될 수 있는 면적밀도를 개선하는 것이 끊임없이 요망되고 있다. 자기 디스크 드라이브의 기록밀도는 변환기와 자기 매체간의 거리에 의해서 제한되기 때문에, 공기 베어링 슬라이더의 설계목표는 공기 베어링 슬라이더를 자기 매체에 가능한 근접하게“부상(fly)”시킴과 동시에 매체와의 물리적 충격을 방지하는 것이다. 변환기가 디스크상의 밀접하게 이격된 영역으로부터 방사되는 자계를 구별할 수 있도록 보다 작은 간격 또는“부상 높이(fly heights)”가 바람직하다.

영역 비트 기록(zone bit recording)은 자기 디스크 저장화일의 성능 및 용량을 상당히 개선시킬 수 있다. 이러한 기술을 용이하게 하기 위해서는, 디스크의 내경(ID)으로부터 외경(OD)까지의 모든 영역을 가로질러서 판독/기록 헤드와 디스크 사이에 일정한 간격을 유지하는 것이 바람직하다. 또한, 크기(amplitude) 및 해상도를 증가시키고 또 면적밀도와 화일용량을 더욱 증가시키기 위해서는 데이터 영역을 가로질러서 가능한 한 낮게 부상시키는 것이 바람직하다. 그러나, 낮은 부상높이는 기동/정지 수명과 장기간의 비행능력에 대해 화일의 기계적 신뢰성에 관한 관심을 불러 일으킨다.

회전 디스크에 의해서 형성되는 공기속도는 회전형 액츄에이터 화일의 모든 반경에서 공기 베어링 슬라이더에 대한 크기 및 방향이 변화하기 때문에, 데이타 영역을 가로질러서 부상 높이를 일정하게 한다는 것은 슬라이더의 설계에 대한 상당한 도전을 제공한다.

공기 베어링 슬라이더는 또한 좌우요동(roll)으로 인해서 부상 높이가 변화된다. 디스크의 회전에 대하여 영(제로)의 기울기(무경사)(skew)를 갖는 공기 베어링 슬라이더의 경우에, 좌우요동은 공기 베어링 슬라이더의 종축선을 중심으로 하는 회전각도의 기준이다. 탄성적으로 설치된 슬라이더에 경사진 공기유동이 발생하거나 또는 액츄에이터가 디스크와 충돌할 때, 좌우요동의 변화가 발생한다. 공기 베어링 슬라이더의 중요한 요건은 좌우요동의 변화에 대해 둔감해야 한다.

최종적으로, 공기 베어링 슬라이더는 디스크의 여러부분위의 데이타를 억세스하기 때문에 액츄에이터의 고속 방사상 운동중에 상태가 변화한다. 액츄에이터가 디스크를 가로질러서 고속운동을 하면, 슬라이더의 좌우요동과 상하요동(pitch) 및 경사요동(skew)을 크게 하며, 그 결과 부상의 변화를 야기시킬 수 있다. 이것은 공기 베어링 슬라이더가 좌우요동과 상하요동 및 경사요동의 변화에 둔감해야 하는 다른 한가지 이유이다.

통상의 경사진 납작한 유형(taper-flat type)의 슬라이더는 영역 비트 기록을 위한 일정한 간격의 요건을 만족시킬 수 없다. 대부분의 회전형 액츄에이터의 구성에 있어서, 헤드가 내경(ID)으로부터 이동할 때, 경사진 납작한 슬라이더의 부상 높이는 급격히 증가한다. 슬라이더가 데이타 밴드의 중간부에 접근할 때, 이 슬라이더는 초기 내경(ID) 부상 높이의 2배까지 될 수도 있는 최대 간격에 도달한다. 공기 베어링 슬라이더가 디스크의 외측 림(rim)을 향해 이동할 때, 간격은 상기 최대 간격으로부터 감소된다.

부상 높이에 있어서 임의의 전술한 변화가 발생할 때, 이러한 변화는 공기 베어링 슬라이더와 급속히 회전하는 기록매체간의 접촉을 유발할 수도 있다. 임의의 이러한 접촉은 공기 베어링 슬라이더와 기록표면의 마모를 유발하고 또 잠재적으로는 파손시키는 결과를 가져온다.

종래기술의 슬라이더는, 공기 베어링 슬라이더에 발생할 수도 있는 가변 조건하에서 일정한 부상 높이를 갖는 공기 베어링 슬라이더를 제조하기 위하여, 하나 또는 그 이상의 전술한 감도(sensitivity)를 고려함으로써 이러한 문제점을 극복하도록 설계되어 왔다. 공기 베어링 표면의 다른 설계는 요구되는 공기역학적 성능을 제공하도록 개발되어 왔다. 더우기, 이러한 설계는 소망의 편평한 헤드/디스크의 간격을 달성하기 위해서 슬라이더의 상하요동과 좌우요동간의 타협(trade off)을 자주 이용하고 있다. 그러나, 공기 베어링 표면을 제공하는 레일의 폭(rail width)은 판독/기록 변환기를 수용할 수 있어야 한다. 따라서, 슬라이더의 비행자세(flying attitude)의 변화는 기계적 슬라이더/디스크의 간격을 보다 작게할 수도 있고, 이에 상응하게 자기 헤드/디스크의 간격을 증가시킬 수 있다.

예를들면, 제1(a)도는 선단부(leading edge)(12)와, 후단부(trailing edge)(14)와, 2개의 측면부(side edges)(16)(18)를 갖는 종래기술의 슬라이더(10)를 도시한 것이다.

디스크가 회전을 시작할 때, 슬라이더는 상하요동을 하며, 그에 따라 선단부(12)는 제1(a)도에 도시된 바와같이 후단부(14)에 대해서 상승하게 된다. 제1(a)도에 도시된 슬라이더는 소정의 성능표준을 위해 2개의 측면 레일(20)(22)와 중앙 레일(24)을 포함하고 있다. 2개의 측면 레일(20)(22)과 중앙 레일(24)은 지지 구조체(26)위에 배치되어 있다. 변환기(28)는 디스크상에서 판독/기록 동작을 수행하기 위하여 후단부(14)에서 중앙 레일(24)상에 설치되어 있다. 제1(b)도는 슬라이더(10)의 후단부(14)에서 중앙 레일(24)을 확대하여 도시하고 있다. 변환기(28)의 헤드 간극(gap)(32)도 도시되어 있다. 전술한 조건하에서, 슬라이더는 종방향 변위각(34)으로 표시된 좌우요동을 겪을 수도 있으며, 이러한 좌우요동은 보다 작은 기계적 슬라이더/디스크의 간격으로 인하여 슬라이더를 회전 디스크와 접촉시킬 수도 있다. 제2도는 공칭 좌우 요동 각도(34)가 중앙 레일 연부(42)의 기계적 간격이 자기 간극의 부상 높이보다 실질적으로 작게 되도록 유발하는 경위를 도시한 것이다.

제2도는 종래기술의 슬라이더를 제1(a)도의 A-A선을 따라 후방에서 바라본 도면이다. 제2도는 명료성을 위해 과장되게 표현되어 있다. 제2도에서, 중앙 레일(24)은 지지 구조체(26)상에 배치된 것으로 도시되어 있다. 슬라이더(10)가 공칭 좌우요동 각도(34)로 기울어질 때, 중앙 레일(24)의 연부(42)와 디스크(44) 사이의 기계적 간격(40)이 감소됨과 아울러, 헤드 간극(48)과 디스크(44) 사이의 자기 간격(46)도 작은 각도로 감소되며, 좌우요동의 축선이 슬라이더의 중앙 종축선으로부터 변위되는지의 여부에 의존하여 상기 상태를 유지하거나 또는 더 커진다. 제2도는 헤드 간극(48)과 디스크(44)간의 자기 간격(46)이 보다 커지는 경우를 도시한 것이다. 기계적 간격(40)과 자기 간격의 부상 높이(48)간의 차이의 크기는 상당할 수 있다. 예를들면, 후단부의 레일 폭이 400㎛이고, 부상의 좌우요동 자세가 공칭 50μrad인 슬라이더는 자기 간격(46)보다 10나노미터(nm) 낮은 최소 기계적 간격(40)을 가지므로, 마모 저항을 증가시키도록, 즉 수명을 증가시키도록 슬라이더를 상승시켜야 될 것이다.

따라서, 최소 기계적 슬라이더/디스크의 간격과 자기 헤드/디스크의 간격간의 차이를 최소화하는 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더가 필요하다.

또한, 변환기의 간격을 최적화할 수 있는 얕은 에치 형상부(shallow etch feautres)를 갖는 슬라이더가 필요하다.

또한, 좁은 후단 레일을 구비한 반면, 판독/기록 변환기용 적절한 영역을 여전히 제공하여 최소 기계적 슬라이더/디스크의 간격과 자기헤드/디스크의 간격간의 차이를 최소화하는 슬라이더를 포함한 디스크 드라이브가 필요하다.

전술한 종래기술의 제한사항을 극복하고 그리고 본 명세서를 읽고 이해함으로써 명백하게 되는 기타 제한사항을 극복하기 위하여, 본 발명은 슬라이더가 기록매체에 보다 근접하여 비행하는 것을 허용하는 얕은 에치(shallow etch)를 후단 레일에 갖는 슬라이더를 제공한다.

본 발명의 원리에 따른 시스템은 기록매체의 운동에 대해서 측면부와 선단부 및 후단부를 갖는 지지 구조체와, 상기 지지 구조체위로 돌출된 측면부 및 공기 베어링 표면을 갖는 적어도 하나의 레일(rail)을 포함하고 있다. 상기 레일중 적어도 하나는 자기소자를 포함하며, 이 자기소자에 인접한 레일의 연부는 디스크위로 자기소자의 부상 높이를 최소화하는 반면에, 좌우요동중에 레일의 디스크와의 충돌을 방지하도록 에칭되어 있다. 레일의 에칭된 형상부는 양각된 후단부분(relieved trailing edge portions)을 형성하는데, 상기 양각된 후단부분에 있어서, 자기소자에 인접한 레일의 연부는 다른 공기 베어링 표면보다 낮지만 지지 구조체보다는 더 높다.

본 발명의 한 실시예는 슬라이더가 최소 기계적 슬라이더/디스크의 자기 헤드/디스크의 간격간의 차이를 최소화하는 공기 베어링 형상부를 구비하는 것이다.

본 발명의 다른 하나의 실시예는 슬라이더가 변환기(자기소자)의 간격을 최적화하는 얕은 에치 형상부를 구비하는 것이다.

본 발명의 또 다른 하나의 실시예는 좁은 후단부를 갖는 레일을 구비함과 아울러 판독/기록 변환기용 적절한 영역을 제공하여 최소 기계적 슬라이더/디스크의 간격과 자기 헤드/디스크의 간격간의 차이를 최소화하는 슬라이더를 포함하는 디스크 드라이브에 관한 것이다.

다른 실시예에서, 자기소자에 인접한 공기 베어링 표면의 연부는 에칭 또는 이온 밀링에 의해서 단축된다. 즉, 이들 연부는 후단부까지 완전하게 연장되지 않는다.

본 발명을 특징짓는 이들 및 그밖의 다른 장점 및 특징들은 첨부된 청구범위에 기재되어 있고 본 발명의 일부를 형성한다. 그러나, 본 발명과 그의 장점 및 그의 사용목적을 보다 잘 이해하기 위해서, 본 발명에 따른 장치의 특정한 실시예를 설명하고 도시하는 하기 상세한 설명과 본 발명의 일부를 형성하는 도면을 참조해야 한다.

제1(a)도는 종래기술의 슬라이더를 나타낸 도면.

제1(b)도는 제1도의 종래기술의 슬라이더의 중앙 레일의 후단부를 나타낸 도면.

제2도는 종래기술의 슬라이더를 제1(a)도의 A-A선을 따라 후방에서 바라본 도면.

제3(a)도는 본 발명에 따른 얕은 에치 형상부를 갖는 슬라이더를 나타낸 도면.

제3(b)도는 본 발명에 따른 얕은 에치 형상부를 갖는 슬라이더의 중앙 레일의 후단부를 나타낸 도면.

제4도는 본 발명에 따른 얕은 에치 형상부를 갖는 슬라이더를 제3(a)도의 B-B선을 따라 후방에서 바라본 도면.

제5(a)도는 자기 변환기가 후단부에 장착되지 않은 상태에서의 부압 슬라이더의 구조를 도시한 도면.

제5(b)도는 제5(a)도에 도시한 슬라이더의 공기 베어링 표면의 기하학적 구조를 구비한 본 발명에 따른 얕은 에치 형상부를 갖는 슬라이더를 도시한 도면.

제6도는 제5(a)도 및 제5(b)도에 도시된 슬라이더의 최소 기계적 간격과, 최소 간극간격과, 이들 간격간의 차이에 대한 모델링한 결과를 나타낸 도표.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10,100,200,300 : 슬라이더 12,112,212,312 : 선단부

14,114,214,314 : 후단부

16,18,116,118,216,218,316,318 : 측면부

20,22,120,122 : 측면 레일 24,124 : 중앙 레일

26,126,226 : 지지 구조체 128 : 자기소자(자기 헤드)

150 : 얕은 에치부분 152 : 노치

154 : 양각된 후단부분 156 : 공기 베어링 표면

본 발명의 일부를 형성하고 또 본 발명을 실시할 수 있는 특정의 실시예를 예시적으로 도시한 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다. 도면들을 통해서 유사한 참조부호는 상응하는 부재들을 나타낸다. 구조적인 변경이 본 발명의 범위를 이탈하지 않고 이루어질 수 있으므로 다른 실시예들도 이용될 수 있음을 이해하여야 한다.

제3(a)도는 제1(a)도에 도시된 종래기술의 슬라이더와 유사한 본 발명에 따른 슬라이더(100)를 도시한 것이다. 본 발명에 따른 슬라이더(100)는 선단부(leading edge)(112)와, 후단부(trailing edge)(114)와, 2개의 측면부(two side edges)(116)(118)를 포함하고 있다. 소정의 공기역학적 성능표준을 위해 2개의 측면 공기 베어링 표면 또는 레일(120)(122)과 중앙 레일(124)이 지지 구조체(126)상에 배치되어 있다. 변환기(transducer)(128)는 디스크상에서 판독/기록 동작을 수행하기 위해서 후단부(114)에서 중앙 레일(124)상에 배치되어 있다. 그러나, 중앙 레일(124)은 자기소자(128)에 인접해 있는 얕은 에치 형상부(shallow etch features)(150)를 구비하는데, 상기 얕은 에치 형상부는 중앙 레일(124)의 일부를 지지 구조체(126)의 후단부(114)에 대해서 소정의 거리만큼 단축시키는 작용을 한다. 따라서, 얕은 에칭은 자기 헤드 간극(132)이 배치되는 중앙 레일(124)의 후단부(114)에 노치(152)를 형성한다.

제3(b)도는 슬라이더(100)의 후단부(114)에서 중앙 레일(124)을 확대하여 도시한 것이다. 그러나, 본 발명에 따르면, 각도(134)로 표시된 전술한 좌우요동 상태는 기계적 슬라이더/디스크의 간격과 자기 헤드/디스크의 간격 사이에 큰 차이를 초래하지는 않는다.

얕은 에치부분(150)은 후단부(114)에서 중앙 레일(124)의 폭을 효율적으로 좁게하는 반면에, 판독/기록 변환기(128)용 적절한 영역을 여전히 제공한다. 중앙 레일(124)의 얕은 에치부분(150)은 자기소자(128)에 인접한 양각된 후단부분(154)을 포함하는데, 여기서 중앙 레일(124)의 부분들이 제거되므로 중앙 레일(124)의 나머지 공기 베어링 표면(156)과 동일한 레벨로 지지 구조체(126)위로 돌출되지 않는다. 바람직하게는, 에칭 계단부의 깊이는 변환기 또는 공기 베어링 구조에 대한 충격을 최소화하기 위해서 소자 구조체와의 간섭을 방지하기에 충분할 정도로 얕아야 한다. 대표적으로, 에칭 계단부의 깊이는 0.5㎛ 또는 그 이하이다. 얕은 에칭공정은 이온 밀링(ion milling), 반응 이온 에칭, 또는 슬라이더 제조 기술분야의 당업자에게 공지된 다른 적절한 기법에 의해서 수행될 수도 있다. 제4도는 공칭 좌우요동 각도(134)가 본 발명에 따른 슬라이더의 기계적 및 자기 전극 간격에 어떤 영향을 미치는가를 도시한 것이다.

제4도는 슬라이더(100)를 제3(a)도의 B-B선을 따라서 후방에서 바라본 도면이다. 다시 말하면, 제4도는 명료성을 위해 과장하여 도시한 것이다. 제4도에 있어서, 중앙 레일(124)은 지지 구조체(126)상에 배치된 것으로 도시되어 있다. 슬라이더(100)가 공칭 좌우요동 각도(134)로 기울어질 때, 중앙 레일(124)의 연부(노치)(152)와 디스크(144) 사이의 기계적 간격(140)은 최소 기계적 간격에 영향을 미치지 않는다. 그에 따라, 얕은 에치부분(150)은 간극(148)에서 공기 베어링 표면의 폭을 효율적으로 감소시킨다. 따라서, 슬라이더의 최소 기계적 간격(140)은 자기 헤드 간극(148)이 위치되는 중앙 레일(124)의 선단에 있는 노치(152)의 연부에서 형성된다. 그 결과, 최소 기계적 간격(140)의 위치는 자기 간격(146)에 보다 가깝게 이동하고, 최소 기계적 간격(140)과 최소 자기 간격(146)간의 차이는 감소된다. 예를들면, 0.125㎛의 에치 깊이와 80㎛의 결과적인 노치 폭을 가지며 그리고 공칭 50μrad의 부상 좌우요동 자세를 나타내는 슬라이더는 소망의 자기 간격(146)보다 2나노미터(nm) 낮은 최소 기계적 간격(40)을 가질 것이다.

당업자는 얕은 에치 부분이, 자기소자가 슬라이더의 후단부에 인접하여 위치되는 중앙 레일 또는 레일위에 형성되는 것에만 제한되지 않음을 인식할 것이다. 자기소자가 슬라이더의 후단부에 인접하여 위치되지 않은 평면형 헤드 구조의 경우에도 이와 유사한 결과를 얻을 수 있다.

제5(a)도는 선단부(212)와, 후단부(214)와, 2개의 측면부(216)(218)를 갖는 표준 부압 슬라이더 구조(200)를 도시한 것이다. 소정의 성능표준을 위해 2개의 측면 레일(220)(222)이 지지 구조체(226)상에 배치되어 있다. 우측 측면 레일(220)은 디스크상에서 판독/기록 동작을 수행하는 변환기 또는 자기 헤드소자(228)를 지지하기 위하여 후단부에서 넓은 영역(260)을 포함하고 있다. 헤드의 간극(248)은 우측 측면 레일(220)의 후단부(214)에 있는 것으로 도시되어 있다. 각각의 측면 레일(220)(222)은 크로스 바아 부분(cross bar section)(262)과 서브레일(subrail)(264)을 구비하여, 부압포켓(negative pressure pocket)(266)을 형성한다. 또한, 2개의 측면 레일(220)(222)은 채널(268)에 의해서 분리되어 있다.

제5(b)도는 제5(a)도의 슬라이더의 공기 베어링 표면의 기하학적 구조를 갖는 본 발명에 따른 슬라이더(300)를 도시한 것이다. 그러나, 제5(b)도에 도시된 바와같이, 얕은 에치부분(350)은 자기소자(328)에 인접하여 우측 측면 레일(320)에 형성되어 있다. 그러나, 자기소자(328)는 슬라이더(300)의 후단부(314)에 배치되어 있지 않다. 제5(b)도에서 얕은 에치부분(350)의 형상은 슬라이더(300)에 대하여 최소의 좌우요동 및 상하요동 자세의 감응성을 제공한다.

제6도는 제5(a)도의 표준 부압 슬라이더 구조(410)와 제5(b)도의 얕은 에치부분을 갖는 부압 슬라이더 구조(412)에 대한 모델링한 결과(400)를 나타낸 것이다. 제6도로부터 알 수 있는 바와같이, 2개의 부압 슬라이더 구조에 대한 최소 기계적 부상 높이(440)는 실질적으로 같다. 그러나, 제5(b)도의 얕은 에치부분을 갖는 부압 슬라이더 구조(412)는 제5(a)도의 표준 부압 슬라이더 구조(410)보다 낮은 최소 간격의 부상 높이(446)를 갖는다. 결국, 본 발명에 따른 얕은 에치부분을 갖는 슬라이더는 표준 슬라이더보다 약 4nm 더 낮은 판독/기록 헤드 간극 간격(470)을 갖는다. 따라서, 얕은 에치부분을 갖는 슬라이더는 자기 성능을 개선한다.

본 발명의 바람직한 실시예 및 다른 실시예의 상기 설명은 도시 및 설명의 목적으로 제시하였다. 이러한 실시예들은 본 발명을 개시된 사항에만 제한하려는 의도는 아니다. 상기 개시내용에 비추어, 본 발명에 대한 다양한 수정 및 변경이 가능하다. 따라서, 본 발명의 범위는 상세한 설명에 제한되는 것은 아니다.

본 발명은 슬라이더에 얕은 에치부분을 형성하여 최소 기계적 슬라이더/디스크의 간격과 자기 헤드/디스크의 간격간의 차이를 최소화함과 아울러 슬라이더의 요동중에 디스크 표면과의 충돌을 방지할 수 있고, 디스크 드라이브의 성능을 개선할 수 있다.

Claims

이동 기록매체 위에서 변환기를 지지하는 슬라이더에 있어서, ① 상기 기록매체의 운동에 대해서 측면부와 선단부 및 후단부를 갖는 지지 구조체(a support structure)와, ② 상기 지지 구조체위로 돌출된 측면부 및 공기 베어링 표면을 갖는 적어도 하나의 레일(at least one rail)을 포함하되, 상기 레일중의 적어도 하나는 자기소자(a magnetic element)를 구비하며, 상기 자기소자에 인접한 레일의 연부(edges)는 상기 기록매체위로 자기소자의 부상 높이(flight height)를 최소화하고 그리고 상기 레일의 연부와 상기 기록매체 사이의 간격(clearance)을 최대화하여 상기 레일의 상기 기록매체와의 충돌을 방지하도록 에칭되어 있는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 자기소자는 상기 지지 구조체의 후단부에 지지되어 있는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 레일은 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 연부가 상기 지지 구조체의 후단부에 대해서 단축되어 있는 양각된 후단부분(relieved trailing edge portions)을 더 포함하는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 자기소자를 그 위에 지지한 상기 레일은 상기 지지 구조체의 측면부 사이에서 슬라이더의 중앙에 위치되어 있는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 자기소자를 그 위에 지지한 상기 레일은 상기 지지 구조체의 한 측면부를 따라서 배치되어 있는 슬라이더.
제1항에 있어서, 슬라이더의 공기역학적 제어(aerodynamic control)를 제공하기 위한 적어도 하나의 추가 레일을 더 포함하는 슬라이더.
제3항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 단축된 연부는 상기 지지 구조체의 레벨(level)까지 완전히 제거되어 있는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 연부는 반응 이온 에칭(reactive ion etching) 기법에 의해서 에칭되는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 연부는 이온 밀링(ion milling)에 의해서 에칭되는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 자기소자의 양측면에 인접한 공기 베어링 표면의 연부는 제거되어 있는 슬라이더.
제10항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 상기 공기 베어링 표면 아래의 레벨까지 제거되고 상기 지지 구조체위의 레벨까지 제거되어 있는 슬라이더.
제1항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 상기 공기 베어링 표면 아래의 레벨까지 제거되고 상기 지지 구조체위의 레벨까지 제거되어 있는 슬라이더.
변환기를 지지하고, 이동 기록 디스크 위로 부상하며, 기계적 디스크/슬라이더의 간격과 자기 헤드/디스크의 간격을 갖는 슬라이더에 있어서, ① 상기 기록 디스크의 운동에 대해서 측면부와 선단부 및 후단부를 갖는 지지 구조체와, ② 상기 기록 디스크에 대면하여 상기 지지 구조체상에 배치된 적어도 하나의 공기 베어링 표면을 포함하되, 상기 공기 베어링 표면중 적어도 하나는 자기헤드용 장착 표면을 제공하며, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 적어도 하나의 연부는 상기 디스크와 상기 슬라이더간의 기계적 간격을 증가시키도록 제거되어 있는 슬라이더.
제13항에 있어서, 상기 자기헤드의 양측면에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 제거되어 있는 슬라이더.
제13항에 있어서, 상기 자기헤드를 장착하기 위한 표면을 제공하는 상기 공기 베어링 표면은 슬라이더의 중앙에 설치되어 있는 슬라이더.
제15항에 있어서, 상기 자기헤드의 양측면에 인접한 공기 베어링 표면의 연부는 제거되어 있는 슬라이더.
제16항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 상기 지지 구조체를 노출하도록 완전하게 제거되어 있는 슬라이더.
제16항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 상기 공기 베어링 표면 아래의 레벨까지 제거되고 상기 지지 구조체위의 레벨까지 제거되어 있는 슬라이더.
제16항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 반응 이온 에칭기법에 의해서 제거되어 있는 슬라이더.
제16항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 이온 밀링에 의해서 제거되어 있는 슬라이더.
제13항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 반응 이온 에칭에 의해서 제거되어 있는 슬라이더.
제13항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 이온 밀링에 의해서 제거되어 있는 슬라이더.
제13항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 일부는 상기 지지 구조체의 후단부에 대해서 단축되고, 상기 자기헤드는 상기 후단부로부터 오목하게 되어 있는 슬라이더.
정보를 저장하고 검색하기 위한 시스템에 있어서, ① 데이타를 기록하기 위한 기록표면을 갖는 적어도 하나의 회전가능한 디스크와, ② 상기 디스크를 보호하도록 상기 디스크에 결합된 하우징과, ③ 상기 하우징에 결합된 액츄에이터 아암 조립체와, ④ 상기 회전가능한 디스크의 기록표면에 인접하여 상기 액츄에이터 아암 조립체에 결합되고, 상기 액츄에이터 아암 조립체에 의해서 상기 회전가능한 디스크의 표면위로 선택적으로 위치설정될 수 있으며, 상기 디스크의 운동에 대해서 측면부와 선단부 및 후단부를 갖는 지지 구조체와, ⑤ 상기 지지 구조체위로 돌출된 측면부 및 공기 베어링 표면을 갖는 적어도 하나의 레일을 포함하되, 상기 레일중 적어도 하나는 레일의 후단부에 인접하게 장착된 자기소자를 구비하며, 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 연부는 디스크위로 상기 자기소자의 부상 높이를 최소화하고 그리고 상기 레일의 연부와 상기 디스크간의 간격을 최대화하여 상기 레일의 상기 디스크와의 충돌을 방지하도록 상기 지지 구조체의 후단부에 대해 소정의 거리만큼 단축되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 레일은 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 연부가 상기 지지 구조체의 후단부에 대해서 단축되어 있는 양각된 후단부분을 더 포함하는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 자기소자를 그 위에 지지한 상기 레일은 상기 지지 구조체의 측면부 사이에서 슬라이더의 중앙에 위치되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 자기소자를 그 위에 지지한 상기 레일은 상기 지지구조체의 한 측면부를 따라서 배치되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 슬라이더의 공기역학적 제어를 제공하기 위한 적어도 하나의 추가 레일을 더 포함하는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 단축된 연부는 상기 지지 구조체의 레벨까지 완전하게 제거되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 연부는 반응 이온 에칭에 의해서 단축되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 레일의 연부는 이온 밀링에 의해서 단축되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 자기소자의 양측면에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 제거되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제32항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 상기 공기 베어링 표면 아래의 레벨까지 제거되고, 상기 지지 구조체위의 레벨까지 제거되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
제24항에 있어서, 상기 자기소자에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부는 상기 공기 베어링 표면 아래의 레벨까지 제거되고 상기 지지 구조체위의 레벨까지 제거되어 있는 정보 저장 및 검색 시스템.
디스크에 대한 헤드의 간격을 최적화하기 위한 슬라이더의 제조방법에 있어서, ① 측면부와 선단부 및 후단부를 갖는 지지 구조체를 형성하는 단계와, ② 상기 디스크와 대면하고 또 자기헤드용 장착표면을 제공하는 적어도 하나의 공기 베어링 표면을 상기 지지 구조체상에 형상하는 단계와, ③ 상기 디스크와 상기 슬라이더 사이의 기계적 간격을 증가시키기 위하여 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 적어도 하나의 연부를 제거하는 단계를 포함하는 슬라이더의 제조방법.
제35항에 있어서, 상기 자기헤드의 양측면에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부를 제거하는 단계를 더 포함하는 슬라이더의 제조방법.
제35항에 있어서, 상기 자기헤드용 장착표면을 제공하는 상기 단계는 상기 슬라이더의 중앙에 상기 자기헤드를 설치하는 단계를 더 포함하는 슬라이더의 제조방법.
제35항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부를 제거하는 상기 단계는 상기 지지 구조체를 노출하도록 상기 연부를 완전하게 제거하는 단계를 포함하는 슬라이더의 제조방법.
제35항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부를 제거하는 상기 단계는 상기 연부를 상기 공기 베어링 표면 아래의 레벨까지 제거하되, 상기 지지 구조체위의 레벨까지 제거하는 단계를 포함하는 슬라이더의 제조방법.
제35항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부를 제거하는 상기 단계는 반응 이온 에칭기법에 의해서 상기 연부를 제거하는 단계를 더 포함하는 슬라이더의 제조방법.
제35항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 연부를 제거하는 상기 단계는 이온 밀링에 의해서 상기 연부를 제거하는 단계를 더 포함하는 슬라이더의 제조방법.
제35항에 있어서, 상기 자기헤드에 인접한 상기 공기 베어링 표면의 일부를 제거하는 상기 단계는 상기 지지 구조체의 후단부에 대해서 상기 공기 베어링 표면을 단축시키고 그리고 상기 후단부로부터 상기 자기헤드를 오목하게 하는 단계를 더 포함하는 슬라이더의 제조방법.