JPH06150601A - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents
磁気ヘッドスライダInfo
- Publication number
- JPH06150601A JPH06150601A JP32744092A JP32744092A JPH06150601A JP H06150601 A JPH06150601 A JP H06150601A JP 32744092 A JP32744092 A JP 32744092A JP 32744092 A JP32744092 A JP 32744092A JP H06150601 A JPH06150601 A JP H06150601A
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- Japan
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- positive pressure
- slider
- magnetic head
- air bearing
- pressure air
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ヘッドスライダにおける電磁変換エレメ
ントの浮上量変動を極小化すること。 【構成】 磁気記録媒体と対向するスライダ１０の一方
の面１１に複数の正圧浮上面１２，１３，１４が形成さ
れている。また、正圧浮上面１３，１４におけるスライ
ダ１０の後端には負圧発生用溝２１，２２がそれぞれ形
成されているとともに、これら正圧浮上面１３，１４に
挟まれるスライダ１０の後端部中央に電磁変換エレメン
ト１６を備えた島状平面１５が形成されている。この島
状平面１５は、正圧浮上面と同一の平坦度を有してい
る。また、正圧浮上面１３，１４，１５は、必要に応じ
て、その一部外周形状が円弧状に形成される。
ントの浮上量変動を極小化すること。 【構成】 磁気記録媒体と対向するスライダ１０の一方
の面１１に複数の正圧浮上面１２，１３，１４が形成さ
れている。また、正圧浮上面１３，１４におけるスライ
ダ１０の後端には負圧発生用溝２１，２２がそれぞれ形
成されているとともに、これら正圧浮上面１３，１４に
挟まれるスライダ１０の後端部中央に電磁変換エレメン
ト１６を備えた島状平面１５が形成されている。この島
状平面１５は、正圧浮上面と同一の平坦度を有してい
る。また、正圧浮上面１３，１４，１５は、必要に応じ
て、その一部外周形状が円弧状に形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に用い
られる磁気ヘッドスライダに係り、特に、磁気記録媒体
に対する磁気ヘッドの位置を高精度に制御することので
きる磁気ヘッドスライダに関する。
られる磁気ヘッドスライダに係り、特に、磁気記録媒体
に対する磁気ヘッドの位置を高精度に制御することので
きる磁気ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、磁気記録再生装置では、信号の
記録密度は記録再生を行う磁気ヘッドのギャップと記録
媒体との相対距離によって大きく影響され、この距離を
小さくするほど記録密度を高くすることができる。そし
て、高速ランダムアクセス用磁気記憶装置として広く使
われている磁気ディスク装置では、磁気ヘッドと磁気記
録媒体との距離は磁気ヘッドの浮上量であり、この浮上
量をいかに小さく保つかが高記録密度の決め手となる。
記録密度は記録再生を行う磁気ヘッドのギャップと記録
媒体との相対距離によって大きく影響され、この距離を
小さくするほど記録密度を高くすることができる。そし
て、高速ランダムアクセス用磁気記憶装置として広く使
われている磁気ディスク装置では、磁気ヘッドと磁気記
録媒体との距離は磁気ヘッドの浮上量であり、この浮上
量をいかに小さく保つかが高記録密度の決め手となる。
【０００３】このような小さな浮上量を保つためには、
従来から空気膜潤滑による正圧発生スライダ技術が使用
されている。この技術は更に改良されて磁気ヘッドの小
型化、磁気ヘッド浮上面と磁気記録媒体面の面粗さの改
善、ダスト除去技術の向上等がなされ、現在では０．１
ミクロンの浮上量が達成されている。そして更に新しい
試みとして、負圧スライダまたはゼロ荷重スライダが提
案されている。（例えば特願昭５１−１１３４９７号公
報、特開昭５７−１１７８９号公報、特開平２−１８３
４７８号公報）。これらのスライダは、二つの正圧を発
生する平坦なレール状の浮上面と、それらを結合するク
ロスレール部と、クロスレール部の後端側に設けられる
とともに、走行方向に沿う後端部で開口部となっている
５μｍ〜１０μｍの浅い溝とを備えて構成されている。
従来から空気膜潤滑による正圧発生スライダ技術が使用
されている。この技術は更に改良されて磁気ヘッドの小
型化、磁気ヘッド浮上面と磁気記録媒体面の面粗さの改
善、ダスト除去技術の向上等がなされ、現在では０．１
ミクロンの浮上量が達成されている。そして更に新しい
試みとして、負圧スライダまたはゼロ荷重スライダが提
案されている。（例えば特願昭５１−１１３４９７号公
報、特開昭５７−１１７８９号公報、特開平２−１８３
４７８号公報）。これらのスライダは、二つの正圧を発
生する平坦なレール状の浮上面と、それらを結合するク
ロスレール部と、クロスレール部の後端側に設けられる
とともに、走行方向に沿う後端部で開口部となっている
５μｍ〜１０μｍの浅い溝とを備えて構成されている。
【０００４】このような構成とされた負圧型の磁気ヘッ
ドスライダでは、磁気ヘッドと磁気ディスクとの相対速
度が増すにつれ、正圧と同時に溝部に負圧が発生するた
め、相対速度に大きく依存しない浮上量を保つことがで
きる。即ち、磁気ヘッドに大きな荷重を加えることな
く、所定の相対速度下で目的の浮上量と良好な追従性を
得ることができる。
ドスライダでは、磁気ヘッドと磁気ディスクとの相対速
度が増すにつれ、正圧と同時に溝部に負圧が発生するた
め、相対速度に大きく依存しない浮上量を保つことがで
きる。即ち、磁気ヘッドに大きな荷重を加えることな
く、所定の相対速度下で目的の浮上量と良好な追従性を
得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記磁
気ヘッドスライダは、各種改良設計が提案されていなが
ら（IEEE MAG.２３Ｎｏ．５米岡他参照）、磁気ディス
ク装置として実用化されなかった。その理由は、信頼性
が低く、実用環境下においても記録媒体と磁気ヘッドと
が高速接触によって破壊する、いわゆるヘッドクラッシ
ュを引き起こすという致命的な欠陥を有していたためで
ある。
気ヘッドスライダは、各種改良設計が提案されていなが
ら（IEEE MAG.２３Ｎｏ．５米岡他参照）、磁気ディス
ク装置として実用化されなかった。その理由は、信頼性
が低く、実用環境下においても記録媒体と磁気ヘッドと
が高速接触によって破壊する、いわゆるヘッドクラッシ
ュを引き起こすという致命的な欠陥を有していたためで
ある。
【０００６】このような従来の磁気ヘッドスライダの欠
点は、特に、次の二つの点にあるといえる。その一は、
浮上時のピッチング角が小さすぎること。つまり、負圧
を発生させるためスライダ前端部浮上量を小さく保つ必
要があり、結果的にスライダ全面に亘って浮上量が低く
なっていること。その二は、スライダ全体の垂直方向の
空気膜剛性が高くなり、特に後端部を回転中心とするピ
ッチング振動の剛性が極めて高くなっていることであ
る。このため、スライダとディスク間に侵入してくる異
物やディスク面上の突起或いはディスクのうねり振動が
ある場合、スライダはピッチ角を変化してこれを乗り切
ることができず、そのまま衝突してしまうか或いは正
圧、負圧のバランスが崩れるほど大きくピッチ角が変化
し、そのままスライダ全体が浮上状態を保てなくなりク
ラッシュしてしまうからである。
点は、特に、次の二つの点にあるといえる。その一は、
浮上時のピッチング角が小さすぎること。つまり、負圧
を発生させるためスライダ前端部浮上量を小さく保つ必
要があり、結果的にスライダ全面に亘って浮上量が低く
なっていること。その二は、スライダ全体の垂直方向の
空気膜剛性が高くなり、特に後端部を回転中心とするピ
ッチング振動の剛性が極めて高くなっていることであ
る。このため、スライダとディスク間に侵入してくる異
物やディスク面上の突起或いはディスクのうねり振動が
ある場合、スライダはピッチ角を変化してこれを乗り切
ることができず、そのまま衝突してしまうか或いは正
圧、負圧のバランスが崩れるほど大きくピッチ角が変化
し、そのままスライダ全体が浮上状態を保てなくなりク
ラッシュしてしまうからである。
【０００７】更に、従来の磁気ヘッドスライダの欠点
は、信号の読み書きをする磁気変換エレメントが正圧発
生用のレールの後端部に設けられていることである。こ
のため、磁気ヘッドの横方向の振動が発生した際の正圧
発生用のレール後端部の浮上量変動がそのまま磁気変換
エレメントの電気的特性の変動となってしまうため、安
定した信号品質が必ずしも保たれていなかった。
は、信号の読み書きをする磁気変換エレメントが正圧発
生用のレールの後端部に設けられていることである。こ
のため、磁気ヘッドの横方向の振動が発生した際の正圧
発生用のレール後端部の浮上量変動がそのまま磁気変換
エレメントの電気的特性の変動となってしまうため、安
定した信号品質が必ずしも保たれていなかった。
【０００８】
【発明の目的】本発明は、このような従来の欠点を改善
するためになされたものであり、その目的は、浮上時の
ピッチ姿勢を大きく保つとともに、後端部に負圧を発生
させて後端部の浮上量の安定化を確保し、ピッチング振
動の剛性を低く保つことによって侵入する異物やディス
ク上の突起やディスク面の振動に対してもクラッシュす
る虞を回避することができる磁気ヘッドスライダを提供
することにある。
するためになされたものであり、その目的は、浮上時の
ピッチ姿勢を大きく保つとともに、後端部に負圧を発生
させて後端部の浮上量の安定化を確保し、ピッチング振
動の剛性を低く保つことによって侵入する異物やディス
ク上の突起やディスク面の振動に対してもクラッシュす
る虞を回避することができる磁気ヘッドスライダを提供
することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気記録媒体
との間に空気膜を生じさせて浮上可能に設けられた磁気
ヘッドスライダにおいて、前記磁気記録媒体と対向する
スライダの一方の面に複数の正圧浮上面を形成するとと
もに、この正圧浮上面における後方に負圧発生用溝を形
成し、かつ、前記スライダの後端部中央に電磁変換エレ
メントを備えた島状平面を形成する、という手法を採っ
ている。これによって前述の目的を達成しようとするも
のである。
との間に空気膜を生じさせて浮上可能に設けられた磁気
ヘッドスライダにおいて、前記磁気記録媒体と対向する
スライダの一方の面に複数の正圧浮上面を形成するとと
もに、この正圧浮上面における後方に負圧発生用溝を形
成し、かつ、前記スライダの後端部中央に電磁変換エレ
メントを備えた島状平面を形成する、という手法を採っ
ている。これによって前述の目的を達成しようとするも
のである。
【００１０】
【作用】本発明においては、スライダ後方、即ち、正圧
浮上面に負圧発生用溝を形成しているため、スライダが
浮上する時に、スライダ後半部の浮上量を前半部よりも
低くすることができ、従って、負圧発生用溝による負圧
を安定して発生させつつスライダ後半部の浮上量を一定
に維持することができる。
浮上面に負圧発生用溝を形成しているため、スライダが
浮上する時に、スライダ後半部の浮上量を前半部よりも
低くすることができ、従って、負圧発生用溝による負圧
を安定して発生させつつスライダ後半部の浮上量を一定
に維持することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
説明する。
【００１２】図１には、本発明の第一の実施例に係る負
圧型磁気ヘッドスライダの斜視図を示されている。この
図において、スライダ１０における図示しない磁気ディ
スクの面と相対する一方の面であるスライダ面１１には
三角島状に配置された正圧浮上面１２，１３，１４が形
成されている。このスライダ１０は、本実施例では、長
さ約２ｍｍのいわゆるナノスライダであり、その材質
は、Al2O3-TiCとされているが、その大きさや材質は限
定的なものではなく、目的に応じて自由に変えることが
できる。
圧型磁気ヘッドスライダの斜視図を示されている。この
図において、スライダ１０における図示しない磁気ディ
スクの面と相対する一方の面であるスライダ面１１には
三角島状に配置された正圧浮上面１２，１３，１４が形
成されている。このスライダ１０は、本実施例では、長
さ約２ｍｍのいわゆるナノスライダであり、その材質
は、Al2O3-TiCとされているが、その大きさや材質は限
定的なものではなく、目的に応じて自由に変えることが
できる。
【００１３】三つの正圧浮上面１２，１３，１４のう
ち、正圧浮上面１３，１４間におけるスライダ１０の後
端には、電磁変換エレメント１６を支持する島状平面１
５が形成されている。浮上面１２，１３，１４は正圧を
発生するために必要とされる十分に大きな面積を有して
いるが、島状平面１５は逆に圧力が発生しないように小
さな面積に設定されている。正圧浮上面１２，１３，１
４及び島状平面１５は、これらをマスクによってカバー
し、スライダ面１１をイオンミリングすることにより形
成される。また、正圧浮上面１２，１３，１４及び島状
平面１５の高さが約５０μｍとなるようにエッチングす
ることによりスライダ面１１には圧力が発生せず、浮上
には寄与しないようになっている。なお、スライダ材料
として単結晶フェライトを使う場合はケミカルエッチも
可能である。
ち、正圧浮上面１３，１４間におけるスライダ１０の後
端には、電磁変換エレメント１６を支持する島状平面１
５が形成されている。浮上面１２，１３，１４は正圧を
発生するために必要とされる十分に大きな面積を有して
いるが、島状平面１５は逆に圧力が発生しないように小
さな面積に設定されている。正圧浮上面１２，１３，１
４及び島状平面１５は、これらをマスクによってカバー
し、スライダ面１１をイオンミリングすることにより形
成される。また、正圧浮上面１２，１３，１４及び島状
平面１５の高さが約５０μｍとなるようにエッチングす
ることによりスライダ面１１には圧力が発生せず、浮上
には寄与しないようになっている。なお、スライダ材料
として単結晶フェライトを使う場合はケミカルエッチも
可能である。
【００１４】正圧浮上面１２におけるスライダ１０の前
端部にはチャンファ部１７が形成されており、このチャ
ンファ部１７によって図示しない磁気ディスクが回転し
た時にスライダ１０に浮上圧力を与えるようになってい
る。本実施例では、チャンファ部１７の傾斜角度は約２
０度であるが、必要により当該角度は増減することがで
きる。
端部にはチャンファ部１７が形成されており、このチャ
ンファ部１７によって図示しない磁気ディスクが回転し
た時にスライダ１０に浮上圧力を与えるようになってい
る。本実施例では、チャンファ部１７の傾斜角度は約２
０度であるが、必要により当該角度は増減することがで
きる。
【００１５】浮上面１２，１３，１４の外形部分は緩や
かな円弧面、いわゆるクラウンが形成されている。その
高さ、即ち正圧浮上面１２のチャンファ部１７との境界
部と、正圧浮上面１３，１４の後端部を結ぶ仮想線から
の仮想円弧面の頂点までの高さは０．０３μｍとなって
いる。
かな円弧面、いわゆるクラウンが形成されている。その
高さ、即ち正圧浮上面１２のチャンファ部１７との境界
部と、正圧浮上面１３，１４の後端部を結ぶ仮想線から
の仮想円弧面の頂点までの高さは０．０３μｍとなって
いる。
【００１６】正圧浮上面１３，１４には、スライダ後端
部位置に負圧発生用溝２１と２２が形成されている。こ
れらの負圧発生用浅溝２１，２２の深さは目的とする浮
上量を得るためにおよそ３〜１０μｍ程度に決定され
る。この浅溝２１，２２はイオンミリングでエッチング
することにより正確にエッチングされる。
部位置に負圧発生用溝２１と２２が形成されている。こ
れらの負圧発生用浅溝２１，２２の深さは目的とする浮
上量を得るためにおよそ３〜１０μｍ程度に決定され
る。この浅溝２１，２２はイオンミリングでエッチング
することにより正確にエッチングされる。
【００１７】このように、負圧発生用浅溝２１，２２が
スライダ１０後端部に形成されている磁気ヘッドスライ
ダでは、浮上時においてスライダ１０がピッチ角を保っ
ていることにより後端部の浮上量は前端部より低くなっ
ているため、常に安定した負圧が発生することになる。
特に、クラウンを有するスライダ１０の場合は、正圧浮
上面１３，１４の局部的なピッチ角は極めて小さくな
り、磁気ディスク面に平行に近付く。このため、負圧発
生用浅溝２１，２２には更に安定した負圧が発生し、ス
ライダ１０後端部の浮上量をより正確に一定に保つこと
ができる。
スライダ１０後端部に形成されている磁気ヘッドスライ
ダでは、浮上時においてスライダ１０がピッチ角を保っ
ていることにより後端部の浮上量は前端部より低くなっ
ているため、常に安定した負圧が発生することになる。
特に、クラウンを有するスライダ１０の場合は、正圧浮
上面１３，１４の局部的なピッチ角は極めて小さくな
り、磁気ディスク面に平行に近付く。このため、負圧発
生用浅溝２１，２２には更に安定した負圧が発生し、ス
ライダ１０後端部の浮上量をより正確に一定に保つこと
ができる。
【００１８】次に、本発明の第二の実施例を図２を参照
しながら説明する。なお、以下の説明において、第一実
施例と同一もしくは同等の構成部分については、同一符
号を用いるものとし、説明を省略もしくは簡略にする。
しながら説明する。なお、以下の説明において、第一実
施例と同一もしくは同等の構成部分については、同一符
号を用いるものとし、説明を省略もしくは簡略にする。
【００１９】この第二実施例は、二つのレール状の正圧
浮上面１３，１４とした点に特徴を有する。これらの正
圧浮上面１３，１４の間におけるスライダ１０の中央部
にもレール２５が形成されているが、このレールは、最
後端部の島状平面１５を残し、他の部分は全て削り落と
されている。これらの正圧浮上面１３，１４及びレール
２５は全て機械加工により形成され、真空装置や化学エ
ッチング装置は必要としない。正圧浮上面１３，１４に
は負圧発生用浅溝２１，２２が形成されており、これら
の浅溝２１，２２はイオンミリング、つまり真空装置に
よって加工されるようになっている。
浮上面１３，１４とした点に特徴を有する。これらの正
圧浮上面１３，１４の間におけるスライダ１０の中央部
にもレール２５が形成されているが、このレールは、最
後端部の島状平面１５を残し、他の部分は全て削り落と
されている。これらの正圧浮上面１３，１４及びレール
２５は全て機械加工により形成され、真空装置や化学エ
ッチング装置は必要としない。正圧浮上面１３，１４に
は負圧発生用浅溝２１，２２が形成されており、これら
の浅溝２１，２２はイオンミリング、つまり真空装置に
よって加工されるようになっている。
【００２０】中央レール２５の後端部の島状平面１５に
は電磁変換エレメント１６が支持され、この島状平面１
５は、二つの正圧浮上面１３，１４の後端部と同一平坦
度を有するようにラップ研磨されている。その他の構成
は前述した図１の実施例と同一となっている。
は電磁変換エレメント１６が支持され、この島状平面１
５は、二つの正圧浮上面１３，１４の後端部と同一平坦
度を有するようにラップ研磨されている。その他の構成
は前述した図１の実施例と同一となっている。
【００２１】このように形成されるスライダ１０によれ
ば、前記第一実施例の効果に加え、正圧浮上面の形成を
機械加工することができ、これにより大幅に製造コスト
を低下させることができるという利点がある。
ば、前記第一実施例の効果に加え、正圧浮上面の形成を
機械加工することができ、これにより大幅に製造コスト
を低下させることができるという利点がある。
【００２２】なお、第一の実施例においては、スライダ
１０の前端部に一つの正圧浮上面１２を形成するものと
したが、本発明はこれに限らず、スライダ１０の幅方向
二箇所位置に正圧浮上面を形成するものであってもよ
い。
１０の前端部に一つの正圧浮上面１２を形成するものと
したが、本発明はこれに限らず、スライダ１０の幅方向
二箇所位置に正圧浮上面を形成するものであってもよ
い。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成され、か
つ、作用するので、これによると、浮上時のピッチ姿勢
を大きく保つことができ、かつ、スライダ後端部に負圧
が発生し、後端部の浮上量は安定化させることができ
る。このため、ピッチング振動の剛性が低く、侵入する
異物やディスク上の突起やディスク面の振動に対しても
クラッシュすることなくこれを回避することができるた
め高い信頼性を得るという、従来にない優れた磁気ヘッ
ドスライダを提供することができる。
つ、作用するので、これによると、浮上時のピッチ姿勢
を大きく保つことができ、かつ、スライダ後端部に負圧
が発生し、後端部の浮上量は安定化させることができ
る。このため、ピッチング振動の剛性が低く、侵入する
異物やディスク上の突起やディスク面の振動に対しても
クラッシュすることなくこれを回避することができるた
め高い信頼性を得るという、従来にない優れた磁気ヘッ
ドスライダを提供することができる。
【図１】本発明に係る磁気ヘッドスライダの第一の実施
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る磁気ヘッドスライダの第二の実施
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
１０ 磁気ヘッドスライダ １２ 正圧浮上面 １３ 正圧浮上面 １４ 正圧浮上面 ２１ 負圧発生用浅溝 ２２ 負圧発生用浅溝 １５ 島状平面 １６ 電磁変換エレメント
Claims (4)
- 【請求項１】 磁気記録媒体との間に空気膜を生じさせ
て浮上可能に設けられたスライダを有する磁気ヘッドス
ライダにおいて、前記スライダの前記磁気記録媒体と対
向する面に、前記磁気記録媒体に対する相対的移動方向
に沿った中心線を基準として対称に複数の正圧浮上面を
設けると共に、この正圧浮上面の後方に位置する正圧浮
上面上に負圧発生用浅溝を設け、前記スライダの後端部
中央に、電磁変換エレメントを備えた島状平面を形成し
たことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記複数の正圧浮上面は、その内の一の
正圧浮上面が前記スライダの先端部中央に、また他の二
つの正圧浮上面が前記スライダの後端部に所定間隔隔て
て配置されていることを特徴とする請求項１記載の磁気
ヘッドスライダ。 - 【請求項３】 前記複数の正圧浮上面は、前記磁気記録
媒体に対する相対的移動方向に沿って所定間隔隔ててほ
ぼ平行に配置された二つの正圧浮上面により構成されて
いることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項４】 前記複数の正圧浮上面は、前記磁気記録
媒体に対向する面全体が、前記磁気記録媒体に対する相
対的移動方向に直交する方向に中心線を有する比較的大
きい仮想円筒面の一部を成すように形成され配置されて
いることを特徴とする請求項１，２又は３記載の磁気ヘ
ッドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32744092A JPH06150601A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 磁気ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32744092A JPH06150601A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 磁気ヘッドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06150601A true JPH06150601A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=18199197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32744092A Pending JPH06150601A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 磁気ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06150601A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5623383A (en) * | 1994-06-30 | 1997-04-22 | International Business Machines | Magnetic slider design for precision wear-in |
| US5726830A (en) * | 1995-04-07 | 1998-03-10 | Fujitsu Limited | Air-bearing electromagnetic head slider having negative pressure generating means |
| US5898540A (en) * | 1995-05-25 | 1999-04-27 | Hitachi, Ltd | Magnetic head and slider configuration for contact recording having a plurality of tapered surfaces |
| JP2012009101A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | ヘッドおよびこれを備えたディスク装置 |
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| JPH02173988A (ja) * | 1988-12-26 | 1990-07-05 | Nec Corp | 浮動ヘッドスライダ |
| JPH0417176A (ja) * | 1990-05-10 | 1992-01-21 | Nec Corp | 浮動ヘッドスライダ |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP32744092A patent/JPH06150601A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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