DE69808072T2

DE69808072T2 - Drahtsäge zum schneiden von dünnen scheiben mittels wenigstens zwei einander schneidenden sägedrahtgeweben

Info

Publication number: DE69808072T2
Application number: DE69808072T
Authority: DE
Inventors: Charles Hauser
Original assignee: HCT Shaping Systems SA
Current assignee: Applied Materials Switzerland SARL
Priority date: 1997-05-07
Filing date: 1998-02-13
Publication date: 2003-05-08
Anticipated expiration: 2018-02-14
Also published as: DE69808072D1; EP0980303B1; WO1998050209A1; US6371101B1; EP0980303A1; JP2001524035A; JP3984655B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Drahtsägevorrichtung mit zumindest zwei Drahtführungszylindern, die einen Draht halten, der durch Rillen an Ort und Stelle gehalten wird, die auf der Oberfläche der benannten Drahtführungszylinder vorgesehen sind und den Abstand zwischen den Drähten einer Drahtschicht definieren, wobei der Draht sich hin und her oder kontinierlich vorwärts bewegen kann, während er gegen ein zu sägendes Werkstück drückt, das auf einem Auflagetisch befestigt ist, wobei die Aufwicklung des Drahtes um die Drahtführungszylinder zumindest zwei Drahtschichten hervorbringt, die sich entlang zumindest einer Linie unter einem von null verschiedenen Winkel kreuzen, und der Draht auf jedem der Drahtführungszylinder über zumindest 120º des Zylinderumfangs aufgewickelt ist.
Während das zu sägende Werkstück in feine Scheiben zerschnitten wird, wird der gespannte Draht von den Drahtführungszylindern zugleich geführt und gezogen. In diese allgemein mit einer synthetischen Schicht überzogenen Drahtführungszylinder sind Rillen eingraviert, deren Geometrie und Abmessungen von hoher Genauigkeit sein müssen. Der Draht wird spiralförmig um zwei oder mehr Drahtführungszylinder gewickelt und bildet zwischen zwei Drahtführungszylindern mindestens eine Schicht von parallelen Drähten, in der der Abstand zwischen zwei aufeinanderfolgenden Drähten die Dicke der Scheiben definiert. Wegen der spiralförmigen Aufwicklung bewegen sich alle Drähte der Drahtschicht parallel, wobei sie eine Beanspruchung senkrecht zum Vorschub des Auflagetisches erzeugen und Scher- und Torsionsbeanspruchungen der Haltemechanik des zu sägenden Werkstücks verursachen. Diese Beanspruchungen hängen von der Sägegeschwindigkeit und von den Abmessungen des zu sägenden Werkstücks ab und können bis zum Herunterreissen des zu sägenden Werkstücks von seiner Auflage reichen. Die an der Basis des zu sägenden Werkstücks erzeugten mechanischen Spannungen führen zu Verformungen, die sich nach dem Sägen in Gestalt einer Verspannung der erhaltenen. Scheiben wiederfinden. Des Weiteren liegt in den bekannten Vorrichtungen wie zum. Beispiel der im Dokument WO 91/12915 beschriebenen die Ebene der Drahtschicht allgemein senkrecht zur Sägerichtung, was Welligkeit auf der Oberfläche der Scheiben verursachen kann, wenn sich die Drahtschicht zum Beispiel auf Grund von thermischen Schwankungen allgemein bewegt. Diese Welligkeit, selbst wenn sie nur einige Mikrometer beträgt, genügt, um die Scheiben für bestimmte Anwendungen wie zum Beispiel die des Siliciums in der Halbleiterindustrie unbrauchbar zu machen.
Das Dokument JP 61-288 995 beschreibt eine Vorrichtung, die die Merkmale aufweist, die im Oberbegriff des unabhängigen Anspruchs stehen. In dieser bekannten Vorrichtung erzeugt die Aufwicklung des Drahts um die Drahtführungszylinder zwei Drahtschichten, die sich unter einem von Null verschiedenen Winkel kreuzen. Um zu erreichen, dass die Drähte der einen Schicht in der Richtung des Vorschubs des zu sägenden Werkstücks parallel zu denen der anderen Schicht bleiben, umfasst die bekannte Vorrichtung eine Reihe von Führungsrollen, die zwischen den Drahtführungszylindern angeordnet sind.
Durch das Vorhandensein dieser Rollen wird der Aufbau kompliziert und beansprucht allgemein mehr Platz. Beträchtliche Beanspruchungen werden ausserdem an diesen Führungsrollen hervorgerufen, die eine rasche Abnutzung erleiden.
Die vorliegende Erfindung hat das Ziel, diese Nachteile abzustellen und eine Sägevorrichtung mit zumindest zwei gekreuzten Drahtschichten zu schaffen, die es gestattet, ohne den Einsatz von Führungsrollen gesägte Scheiben mit parallelen und ebenen Oberflächen zu erhalten.
Die der vorliegenden Erfindung entsprechende Vorrichtung ist deshalb dadurch gekennzeichnet, dass sie Mittel aufweist, um eine Relativbewegung des zu sägenden Werkstücks gegenüber den Drahtschichten in einer Richtung der Relativbewegung zu bewirken, sowie Einstellmittel, um den Neigungswinkel zwischen der benannten Richtung der benannten Relativbewegung und einer Senkrechten zu einer Arbeitsebene einzustellen, die die Achsen von zwei benachbarten Drahtführungszylindern enthält, wobei dieser Neigungswinkel so festgelegt und angepasst wird, dass Scheiben mit parallelen Seiten erhalten werden.
Durch diese Merkmale erhält man eine Sägevorrichtung von wenig komplizierten Aufbau und verringerter allgemeiner Platzbeanspruchung, die jedoch das Sägen von Scheiben mit parallelen und ebenen Oberflächen erlaubt. Durch eine genaue Einstellung des benannten Neigungswinkels kann, ohne auf Führungsrollen zurückzugreifen, eine vollkommene Parallelität der Seiten der gesägten Scheiben erhalten werden.
Es werden somit zumindest zwei Drahtschichten eingesetzt, die einen genügend grossen Winkel zur Schnittrichtung bilden. Das Kreuzen der Schichten verbessert das Problem der Welligkeiten, da diese nicht mehr parallel verlaufen, sondern sich zwischen den beiden Seiten der erhaltenen Scheiben in ihrem Winkel voneinander unterscheiden, was die Möglichkeit einer nachfolgenden Korrektur durch Läppen oder Schleifen mit sich bringt. Indem zwei Drahtführungen gemäss einer bevorzugten Ausführungsform in der Drahtsägevorrichtung zum Einsatz kommen, können durch eine gekreuzte Aufwicklung des Drahtes in Gestalt einer Acht zwischen den beiden Drahtführungen auf einfache Art und Weise die beiden Sägerichtungen mit einem genügend grossen Winkel zueinander realisiert werden, um die erforderliche Wirkung zu erzeugen, damit das Problem eventueller Welligkeiten verringert wird. Es ist besonders wichtig hervorzuheben, dass in dieser Konfiguration die Scherbeanspruchungen, die auf der Auflage durch die beiden Schichten induziert werden, die andere Richtungswinkel als die Richtung des Sägens und daher des Vorschubs des Auflagetisches haben, beträchtlich verringert sind. Des Weiteren wird durch die Winkellage der Drahtschichten gegenüber dem Vorschub des Auflagetisches und daher auch gegenüber dem Vorschub des zu sägenden Werkstücks der Schneiddruck auf der Oberfläche des zu sägenden Werkstücks verringert und eine höhere Schneidgeschwindigkeit ermöglicht, wobei sich gleichzeitig die Produktivität der Drahtsägevorrichtung erhöht. Der zwischen den beiden Schichten erforderliche Winkel muss mindestens 20º betragen, wenn die Kreuzung eine fühlbare Wirkung haben soll. Allerdings beginnt die Schnittzeit jenseits von 90º, das wirtschaftliche Interesse an gekreuzten Schichten herabzusetzen.
Da der Draht auf jedem der Drahtführungszylinder über mindestens 120º des Zylinderumfangs aufgewickelt ist und geradlinig von einem Drahtführungszylinder zum anderen läuft, also ohne über Führungsorgane wie zum Beispiel einen Führungs- oder Ablenkzylinder zu laufen, erreicht man einen erhöhten Kreuzungswinkel der Schichten und eine sehr gute Ausrichtung sowie eine optimale Parallelität der Drähte einer Schicht. Die Erfindung gestattet es also, eine leistungsfähige Drahtsägevorrichtung zu verwirklichen, die eine erhöhte Produktivität sowie wegen der Verringerung der geometrischen Fehler und der Verringerung der inneren Spannungen in dem zu sägenden Werkstück (das oft aus einem gegenüber äusseren Beanspruchungen sehr empfindlichen Material besteht) während des Sägens eine höhere mittlere Präzision liefert.
Es ist günstig, wenn dieser Neigungswinkel in Abhängigkeit vom Abstand zwischen zwei benachbarten Rillen auf den Drahtführungszylindern, vom Durchmesser dieser Zylinder und vom Abstand zwischen den Zylindern festgelegt und eingestellt wird.
Bei einer Veränderung eines dieser drei Parameter besteht daher Grund, den Neigungswinkel anzupassen, wodurch erneut Scheiben mit genau parallelen Seiten erhalten werden können.
Weitere Vorteile gehen aus den Merkmalen hervor, die in den abhängigen Ansprüchen und der Beschreibung ausgedrückt werden, die im folgenden die Erfindung eingehender mit Hilfe von Zeichnungen vorstellt, die schematisch und beispielhaft eine Ausführungsform und Abwandlungen darstellen.
Fig. 1 veranschaulicht perspektivisch das Prinzip der Erfindung.
Fig. 2 veranschaulicht eine Ausführungsform mit zwei Drahtführungszylindern.
Fig. 3 ist eine Draufsicht senkrecht zu den Drahtführungszylindern.
Fig. 4a ist eine Seitenansicht eines geneigten Drahtführungszylinders, während Fig. 4b eine Draufsicht der geneigten Drahtführungszylinder ist, in der die Projektionen der Drähte parallel erscheinen.
Fig. 5 ist eine Vorderansicht der zwei Drahtführungszylinder.
Fig. 6 bis 8 zeigen drei mögliche Abwandlungen, um einen Neigungswinkel zwischen der Vorschubrichtung des zu sägenden Werkstücks und einer Senkrechten zur Arbeitsebene zu bewirken.
Fig. 9a bis 9c veranschaulichen schematisch die Aufwicklung der Drähte auf den Drahtführungszylindern in drei Abwandlungen.
Fig. 1 veranschaulicht perspektivisch das zu sägende Werkstück 1, das gegen die gekreuzten Drahtschichten 2 gedrückt wird, die von den Drahtführungszylindern 4 gehalten werden. Der Auflagetisch 3, auf dem das zu sägende Werkstück 1 befestigt ist, bewegt sich in der Richtung 5. Die Schichten kreuzen sich entlang der Geraden 6 unter einem Winkel â.
Fig. 2 veranschaulicht die Aufwicklung des Drahtes 2 auf den Drahtführungszylindern 4. Der Draht 2 läuft über den oberen Teil des ersten Zylinders zur Linken, erreicht geradlinig den unteren Teil des zweiten Zylinders, wird auf dem Umfang dieses zweiten Zylinders über einen Winkel von mindestens 120º, hier ungefähr 200º, aufgewickelt, um dann geradlinig zum unteren Teil des ersten Zylinders zurückzukehren, wo er ebenfalls etwa 200º des Umfanges dieses Zylinders einnimmt, und so fort. Durch diese Aufwicklung in Gestalt einer Acht bilden sich also zwei Drahtschichten 2, deren Drähte sich geradlinig von einem Zylinder zum anderen erstrecken, ohne durch ein Führungs- oder Ablenkorgan abgelenkt zu werden, und sich unter einem von Null verschiedenen Winkel â kreuzen, der in allen Fällen grösser als 20º ist, um eine gleichmässige Aufwicklung in Gestalt einer Acht zu bilden. Der Winkel â wird durch den Durchmesser der Zylinder 4 und durch den Abstand zwischen den Achsen der Zylinder bestimmt.
Fig. 3 zeigt eine Draufsicht senkrecht zur Arbeitsebene 16, die durch die Achsen 20 der beiden Drahtführungszylinder 4 festgelegt wird.
Es ist ersichtlich, dass die Scheiben 10, 11, 12 usw., die mit einer Vorschubrichtung 5 des zu sägenden Werkstücks gesägt werden, die einer Senkrechten 15 zur Arbeitsebene entspricht, keilförmige nichtparallele Seiten besitzen.
Wenn gewünscht wird, Scheiben mit parallelen Seiten zu erhalten, ist es also erforderlich, den Winkel zwischen der benannten Vorschubrichtung 5 und der Senkrechte zur Arbeitsebene 16 abzuändern. Dies kann erreicht werden, indem man einen vorbestimmten Neigungswinkel ä zwischen der Vorschubrichtung 5 und der Senkrechten 15 zur Arbeitsebene 16 einreguliert, wie in Fig. 4a zu sehen. Dieser vorbestimmte Neigungswinkel ä liegt in einer Einstellebene 17, die senkrecht zur Arbeitsebene 16 und parallel zu den Achsen der beiden Drahtführungszylinder 4 ist. Dieser Winkel ä kann durch die Formel
δ = arctan P/2d
bestimmt werden, worin
P = Abstand zwischen zwei benachbarten Rillen 14 auf den Drahtführungszylindern 4;
d = Abstand zwischen der oberen und unteren Geraden 18, 19, die die tangentialen Berührungspunkte der beiden Schichten auf einem Drahtführungszylinder 4 verbinden.
Fig. 5 zufolge ist der Abstand d durch die Formel
gegeben, worin
D = Durchmesser der Drahtführungszylinder 4;
L = Abstand zwischen den Achsen 20 der Drahtführungszylinder 4.
Somit ist im Falle der Fig. 4b die Vorschubrichtung 5 senkrecht zur Papierebene, und die Senkrechte 15 zur Arbeitsebene 16 ist unter einem vorbestimmten Winkel ä gegen die Vorschubrichtung 5 geneigt. Desgleichen sind die Achsen 20 der Drahtführungszylinder unter einem Winkel ä zur Papierebene geneigt. In dieser Lage erscheinen die Drähte der beiden Schichten 2 in Projektion parallel, und die erhaltenen Scheiben besitzen daher sehr wohl zwei parallele Seiten.
Im Falle der gewöhnlichsten Anwendungen und Maschinen ist der Neigungswinkel ä sehr klein, nämlich von der Grössenordnung von 20 .
Die Dicke e der erhaltenen Scheiben entspricht im Wesentlichen der Hälfte der mit einer einfachen, nicht gekreuzten Drahtschicht eines Abstandes P erhaltenen:
e = P/2 cos ä - ef,
worin ef die Dicke des mit Schleifmittel bestrichenen Drahtes ist.
Somit ist es möglich, mit gekreuzten Drahtschichten gesägte Scheiben mit vollkommen parallelen Seiten zu erhalten, wenn ein Neigungswinkel ä angelegt wird, der vorbestimmten Werten von P, D und L entspricht.
Einmal berechnet, kann der Neigungswinkel ä in verschiedener Weise an die Sägevorrichtung angelegt werden:
- durch Neigung der Arbeitsebene, wobei der Vorschub des Auflagetisches unverändert bleibt, zum Beispiel vertikal,
- durch mechanische Neigung der Vorschubrichtung des Auflagetisches und des zu sägenden Werkstückes, wobei die Arbeitsebene unverändert bleibt,/ zum Beispiel horizontal,
- durch gleichzeitige, gesteuerte Bewegungen des zu sägenden Werkstücks in einer Richtung Y parallel zu den Achsen 20 der Drahtführungszylinder 4 und in der Richtung Z vertikal und senkrecht zur Sägeebene, wobei die Geschwindigkeiten der Bewegungen Z und Y so gesteuert werden, dass sie einem Vorschub des zu sägenden Werkstücks entsprechen, der mit dem Neigungswinkel ä erfolgt.
Die in Fig. 6 dargestellte Sägevorrichtung besitzt ein Chassis 30, auf das der das zu sägende Werkstück 1 tragende Auflagetisch 3 gleitend montiert ist. Ein Motor 31 erlaubt es, den Auflagetisch 3 in einer vertikalen, unveränderlichen Richtung Z zu bewegen.
Die Drahtführungszylinder 4 sind auf einen Rahmen 32 montiert, der senkrecht zu der benannten Einstellebene um eine Welle 33 drehbar am Chassis 30 befestigt ist. Ein Einstellmechanismus 35 mit Mikrometerschraube erlaubt es, den Neigungswinkel ä der Normalen 15 zur Arbeitsebene 16 bezüglich der Vertikalen 2 genau einzustellen. Dieser Neigungswinkel ä bleibt für gegebene Werte von P, D und L unverändert.
In der in Fig. 7 dargestellten Abwandlung ist die Normale 15 zur Sägeebene fixiert. Hingegen besitzt das Chassis 30 einen oberen Abschnitt 37, der durch eine Welle 39, die zu der benannten Einstellebene senkrecht verläuft, schwenkbar auf einen Sockel 38 montiert ist. Ein Einstellmechanismus 40 mit Mikrometerschraube gestattet es, den Neigungswinkel ä der Bewegungsrichtung Z bezüglich der Normalen 15 zur Arbeitsebene 16 genau einzustellen. Man erhält mit gekreuzten Schichten somit ebenfalls Scheiben mit vollkommen parallelen Seiten.
Die Ausführungsvariante der Fig. 8 besitzt ein feststehendes Chassis 30, auf das ein Auflagetisch 3 montiert ist, der in einer unveränderlichen vertikalen Richtung Z bewegt werden kann. Die zwei Drahtführungszylinder 4 haben ebenfalls feststehende, nicht neigbare Achsen.
Das zu sägende Werkstück 1 wird auf einen Schiebetisch 42 montiert, der durch einen Motor 43 in einer Richtung Y parallel zu den Achsen der Drahtführungszylinder 4 bewegt werden kann. Die Bewegung in der Y-Richtung wird genau gesteuert, um einen kombinierten Vorschub des zu sägenden Werkstücks in den Richtungen Z und Y in der Einstellebene 17 zu bewirken, die genau dem Neigungswinkel ä entspricht, der durch die Beziehung:
tan δ = VY/VZ
gegeben ist, worin VY und VZ die Geschwindigkeiten der Bewegung in der Y- und Z- Richtung sind.
Es versteht sich, dass die Bewegung in der Y-Richtung sehr viel geringer als die in der Z-Richtung ist, zum Beispiel 170-mal kleiner. Dennoch ist diese genau gesteuerte Bewegung in der Y-Richtung nötig, um Scheiben mit parallelen Seiten zu erhalten.
Natürlich ist es möglich, andere Mechanismen zu finden, mit denen der Neigungswinkel ä genau hergestellt werden kann.
Fig. 9a bis 9c zeigen weitere Typen der Kreuzung von Schichten mit mehr als zwei Drahtführungszylindern.
Fig. 9a stellt in Seitenansicht eine mehrfache Kreuzung von drei Drahtschichten 2 im Punkt 6 unter Verwendung von drei Drahtführungszylindern 4 dar. Die Drahtschichten 2 kreuzen sich unter Winkeln â1 und â2. Der Draht 2 läuft um den linken oberen Zylinder, erreicht geradlinig den unteren Zylinder, um zum rechten oberen Zylinder zurückzusteigen, und kehrt dann geradlinig zum linken oberen Zylinder zurück. Der Draht wird auf jedem der Zylinder über einen Winkel von etwa 240º des Umfangs aufgewickelt und bildet somit drei Drahtschichten, die sich einer einzigen Geraden entlang kreuzen.
Fig. 9b stellt in Seitenansicht eine mehrfache Kreuzung von drei Drahtschichten 2 zwischen vier Drahtführungszylindern 4 dar. Die Drahtschichten 2 kreuzen sich im Punkt 6 unter Winkeln â1 und â2.
Fig. 9c stellt in Seitenansicht eine Möglichkeit dar, eine Kreuzung von zwei Drahtschichten 2 zwischen vier Drahtführungszylindern 4 zu realisieren. Die Kreuzung 6 erfolgt unter einem Winkel â. Der Draht ist auf jedem der vier Zylinder über einen Winkel von 180º aufgewickelt, was eine gute Führung und Parallelität der Drähte der beiden Schichten ermöglicht. Ausserdem verlangt dieser Typ der Aufwicklung keine Korrekturen des Neigungswinkels ä.
Der Sägedraht, der die gekreuzten Drahtschichten 2 zwischen den Drahtführungszylindern 4 bildet, besteht aus Federstahl mit einem Durchmesser zwischen 0,1 und 0,2 mm, um Blöcke aus harten Materialien oder aus Material besonderer Zusammensetzung wie Silicium, Keramik, Verbindungen von Elementen der Gruppen III und V, GGG (Gadolinium-Gallium-Granate), Saphir usw. in Scheiben von etwa 0,1 bis 5 mm Dicke zu zersägen. Das Schleifmittel ist ein handelsübliches Erzeugnis und kann Diamant, Siliciumcarbid, Aluminiumoxid usw. in auf dem Draht fixierter oder schlickerartig freier Form sein.
Mit dem Konzept von gekreuzten Drahtschichten ohne ein zusätzliches, auf die Drähte einwirkendes und in die Drahtsägevorrichtung integriertes Ablenkorgan lässt sich eine leistungsfähigere Baugruppe realisieren, die Scheiben einer besseren Qualität durch einfache oder mehrfache Kreuzung von Drahtschichten 2 zwischen zwei oder mehr feststehenden oder beweglichen Drahtführungszylindern erzeugen kann, ohne dass dies zum Nachteil der Beriebskosten oder Produktivität erfolgte.
Es versteht sich, dass die oben beschriebenen Ausführungsformen keinerlei einschränkenden Charakter haben und in dem Rahmen, wie er durch Anspruch 1 definiert wird, alle wünschenswerten Abwandlungen erfahren können. Insbesondere können andere Typen von Kreuzungen der Drahtschichten 2 in Betracht gezogen werden, die durch die Stellung der Drahtschichten 2 bezüglich der Schnittrichtung zu unterschiedlichen Neigungen der durch thermische oder mechanische Bewegungen der Drahtsägevorrichtung hervorgerufenen Welligkeiten auf den beiden Seiten der Scheiben führen. Zum Beispiel kann die Aufwicklung des Drahtes um mehr als zwei Drahtführungszylinder 4 drei verschiedene Drahtschichten 2 erzeugen, was zu einem mehrfachen Kreuzen führt, das entlang einer oder mehrerer Geraden erfolgen kann. Die verschiedenen Drahtschichten 2 können sich entlang ein und derselben Geraden kreuzen, oder sie können sich eventuell in unabhängiger Art und Weise paarweise auf verschiedenen Geraden kreuzen. Die Aufwicklung des Drahtes 2 auf den Drahtführungszylindern 4 kann vollständig oder teilweise sein. Sie ist jedoch grösser als 120º und vorzugsweise ideal grösser als 150º, damit eine ausgezeichnete Haltung des Drahtes auf den Zylindern und daher eine optimale Parallelität der Drähte einer Schicht erreicht wird.
Andere Kombinationen können dem Konzept von gekreuzten Drahtschichten 2 ebenfalls gerecht werden, indem sie den Gedanken der Erfindung bewahren, die Scherbeanspruchungen, die durch das Schneiden der Scheiben auf der Auflage des zu sägenden Werkstücks 1 erzeugt werden, auf ein Minimum zu reduzieren und auf den beiden Seiten der Scheiben eine unterschiedliche, also gekreuzte Ausrichtung der Fehler hervorzubringen, die eventuell durch unkontrollierte Bewegungen der Drahtsägevorrichtung induziert werden. Man kann sich auch Drahtsägevorrichtungen vorstellen, deren Drahtführungszylinder 4 durch Mittel bewegt werden können, die es gestatten, den Kreuzungswinkel â zwischen den Drahtschichten 2 zu variieren, entweder in feststehender Art und Weise oder kontinuierlich während des Betriebs. Eine Stellung mit einem Kreuzungswinkel, der praktisch null ist, erleichtert zum Beispiel das automatische Laden des Drahtes, wobei der Winkel zwischen den Drahtschichten dann nach der Erzeugung der Drahtschichten 2 durch die Relativbewegung der Drahtführungszylinder 4 gegeben ist. Diese Mittel, zum Beispiel Winden, die auf die Achse von zumindest einem der Drahtführungszylinder wirken, könnten manuell, elektrisch, pneumatisch oder hydraulisch betätigt werden.

Claims

1. Drahtsägevorrichtung, die zumindest zwei drahtführende Zylinder (4) aufweist, welche einen Draht (2) halten, der mittels auf der Oberfläche der besagten drahtführenden Zylinder (4) vorgesehener Rillen, die das Intervall zwischen den Drähten einer Schicht von Drähten definieren, in Position gehalten wird, wobei der Draht geeignet ist, sich gemäß einer alternierenden oder kontinuierlichen Bewegung aufdrückend auf ein zu sägendes Stück (1), das auf einem Haltetisch (3) befestigt ist, zu verschieben, wobei die Wicklung des Drahts auf die drahtführenden Zylinder (4) zumindest zwei Schichten von Drähten erzeugt, die sich zumindest entlang einer Linie (6) unter einem von Null verschiedenen Winkel (â) kreuzen, wobei der Draht auf jedem der drahtführenden Zylinder (4) auf zumindest 120º des Umfanges des Zylinders aufgewickelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß sie Mittel (31) aufweist, um eine Relativverschiebung (5) zwischen dem zu sägenden Stück (1) und den Schichten von Drähten (2) entlang einer Richtung der Relativverschiebung (Z; YZ) auszuführen, und Einstellungsmittel (35, 40, 43) zur Einstellung des Neigungswinkels (ä) zwischen besagter Richtung (Z; YZ) der besagten Relativverschiebung (5) und einer Senkrechten (15) auf eine Arbeitsebene (16), in welcher die Achsen (20) von zwei benachbarten drahtführenden Zylindern (4) liegen, wobei dieser Neigungswinkel (ä) derart bestimmt und eingestellt wird, daß Scheiben mit parallelen Seiten erhalten werden.

2. Vorrichtung gemäß dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie zwei drahtführende Zylinder (4) aufweist, und daß der Draht auf den zwei drahtführenden Zylindern aufgewickelt ist, indem er vom oberen Teil eines ersten drahtführenden Zylinders in gerader Linie zum unteren Teil des zweiten drahtführenden Zylinders verläuft, um vom oberen Teil dieses letzteren in gerader Linie zum unteren Teil des ersten Drahtführers zurückzukehren, derart, daß eine Wicklung in Form einer Acht erzeugt wird, welche zwei Schichten von Drähten (2) bildet, die sich unter besagtem Winkel (â) kreuzen.

3. Vorrichtung gemäß dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellungsmittel (35, 40, 43) derart gestaltet sind, daß besagter Neigungswinkel (ä) in einer Einstellungsebene (17) eingestellt wird, die senkrecht auf die Arbeitsebene (16) und parallel zu den Achsen (20) der zwei benachbarten drahtführenden Zylindern (4) ist.

4. Vorrichtung gemäß dem Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß besagter Neigungswinkel (ä) in Abhängigkeit von der Entfernung (P) zwischen zwei benachbarten Rillen (14) auf den drahtführenden Zylindern (4), vom Durchmesser (D) dieser letzteren und von der Entfernung (L) zwischen diesen letzteren bestimmt und eingestellt wird.

5. Vorrichtung gemäß dem Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Neigungswinkel (ä) gemäß der Formel

ä = arc tan P/2d

bestimmt und eingestellt wird, wobei

P die Entfernung zwischen zwei benachbarten Rillen (14) der drahtführenden Zylinder (4) ist;

d die Entfernung zwischen den oberen und unteren Geraden (18, 19), welche an den tangentialen Berührungspunkten der zwei gekreuzten Schichten auf einem drahtführenden Zylinder (4) anliegen, ist;

wobei d bestimmt wird gemäß der Formel:

d = D · cos (arc sin D/L)

wo D der Durchmesser der drahtführenden Zylinder (4) und L die Entfernung zwischen den Achsen dieser letzteren ist.

6. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellungsmittel einen derart gestalteten Mechanismus (35) aufweisen, daß er die Gesamtheit der drahtführenden Zylinder (4) um eine Drehachse (33), die senkrecht zu besagter Einstellungsebene (17) steht, dreht.

7. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellungsmittel einen derart gestalteten Mechanismus (40) aufweisen, daß er die besagte Richtung (Z) der Relativverschiebung (5) um eine Drehachse (39), die senkrecht zu besagter Einstellungsebene (17) steht, dreht.

8. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellungsmittel einen derart gestalteten Mechanismus (43) aufweisen, daß er das zu sägende Stück (1) in der besagten Einstellungsebene (17) entlang einer Richtung (Y), die senkrecht zu der besagten Richtung (Z) der Relativverschiebung steht, verschiebt.

9. Vorrichtung gemäß dem Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der besagte Winkel (â) durch den Durchmesser der drahtführenden Zylinder (4) und die die Achsen der letzteren trennende Entfernung bestimmt wird.

10. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1, 2 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß der besagte Winkel (â) zumindest 20º beträgt.

11. Sägevorrichtung gemäß dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie Mittel aufweist, um den besagten Kreuzungswinkel (â) der Schichten von Drähten (2) zu ändern.

12. Sägevorrichtung gemäß dem Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Änderung des Winkels (â) dazu geeignet sind, zumindest einen drahtführenden Zylinder (4) zu verschieben.

13. Sägevorrichtung gemäß dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie zumindest drei Schichten von Drähten (2) aufweist, die sich entlang ein und derselben Gerade (6) kreuzen.

14. Sägevorrichtung gemäß dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie zumindest drei Schichten von Drähten (2) aufweist, die sich jeweils zu zweit entlang verschiedener Geraden kreuzen.

15. Vorrichtung gemäß dem Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel, um den Kreuzungswinkel (â) der Schichten von Drähten (2) zu ändern, manuell, elektrisch, pneumatisch oder hydraulisch angetrieben werden.