JPH01267822A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH01267822A JPH01267822A JP9534388A JP9534388A JPH01267822A JP H01267822 A JPH01267822 A JP H01267822A JP 9534388 A JP9534388 A JP 9534388A JP 9534388 A JP9534388 A JP 9534388A JP H01267822 A JPH01267822 A JP H01267822A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium facing
- slider
- groove
- magnetic head
- facing faces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 3
- NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N chloromethane Chemical compound ClC NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、一面側を媒体対向面としたスライダに読み書
ぎ素子を担持させた磁気ヘットに関し、媒体対向面とは
反対側の面に、媒体対向面の平面形状を制御する溝を形
成することにより、スライダの媒体対向面の平面形状を
、例えばｎｍ領域の微小範囲で、容易に制御できるよう
にしたものである。
ぎ素子を担持させた磁気ヘットに関し、媒体対向面とは
反対側の面に、媒体対向面の平面形状を制御する溝を形
成することにより、スライダの媒体対向面の平面形状を
、例えばｎｍ領域の微小範囲で、容易に制御できるよう
にしたものである。
〈従来の技術〉
従来より、磁気ディスク装置には、磁気記録媒体の走行
によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間に
微小な空気ベアリングによる間隙を保って浮上する磁気
ヘッドが用いられている。
によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間に
微小な空気ベアリングによる間隙を保って浮上する磁気
ヘッドが用いられている。
このような浮上型の磁気ヘッドは、例えば特公昭５８−
２８６５０号各公報等で公知であり、その基本的な構成
は、一面側を磁気記録媒体と対向する媒体対向面（浮上
面）としたスライダの空気流出端部側に、読み書き素子
を担持させた構造となっている。第３図は従来のこの種
の磁気ヘッドの斜視図を示し、１は例えばセラミック構
造体でなるスライダ、２は読み書き素子である。スライ
ダ１は磁気記録媒体と対向する側に、間隔をおいて２つ
のレール部１０１．１０２を形成すると共に、レール部
１０１．１０２の表面を平面度の高い媒体対向面１０３
．１０４としである。１０３ａ、１０４ａはテーパ部で
ある。
２８６５０号各公報等で公知であり、その基本的な構成
は、一面側を磁気記録媒体と対向する媒体対向面（浮上
面）としたスライダの空気流出端部側に、読み書き素子
を担持させた構造となっている。第３図は従来のこの種
の磁気ヘッドの斜視図を示し、１は例えばセラミック構
造体でなるスライダ、２は読み書き素子である。スライ
ダ１は磁気記録媒体と対向する側に、間隔をおいて２つ
のレール部１０１．１０２を形成すると共に、レール部
１０１．１０２の表面を平面度の高い媒体対向面１０３
．１０４としである。１０３ａ、１０４ａはテーパ部で
ある。
読み書き素子２はＩＣ製造テクノロジと同様のプロセス
で形成された薄膜磁気ヘッド素子であり、テーパ部１０
３ａ、１０４ａとは反対側の空気流出端部側に付着され
ている。
で形成された薄膜磁気ヘッド素子であり、テーパ部１０
３ａ、１０４ａとは反対側の空気流出端部側に付着され
ている。
磁気ディスク装置として使用する場合は、磁気ヘッドは
図示しないジンバル支持装置の先端部に装着し、スライ
ダ１の媒体対向面１０３．１０４を磁気ディスクの表面
にバネ接触させ、この状態で起動停止を行なう、いわゆ
るコンタクト、スタート、ストップ方式によって駆動さ
れる。磁気ディスクが静止しているときは、バネ圧によ
り媒体対向面１０３．１０４が磁気ディスクの面に押付
けられているが、磁気ディスクが回転すると、第４図に
示すように、スライダ１のテーバ面１０３ａ、１０４ａ
を含む媒体対向面１０３．１０４に揚力動圧が発生し、
この動圧とジンバルのバネ圧Ｐと釣り合う浮上量ｇで浮
上する。
図示しないジンバル支持装置の先端部に装着し、スライ
ダ１の媒体対向面１０３．１０４を磁気ディスクの表面
にバネ接触させ、この状態で起動停止を行なう、いわゆ
るコンタクト、スタート、ストップ方式によって駆動さ
れる。磁気ディスクが静止しているときは、バネ圧によ
り媒体対向面１０３．１０４が磁気ディスクの面に押付
けられているが、磁気ディスクが回転すると、第４図に
示すように、スライダ１のテーバ面１０３ａ、１０４ａ
を含む媒体対向面１０３．１０４に揚力動圧が発生し、
この動圧とジンバルのバネ圧Ｐと釣り合う浮上量ｇで浮
上する。
〈発明が解決しようとした問題点〉
ところで、一般には、媒体対向面１０３．１０４は高度
の平面度を持つように研磨加工されるが、磁気記録再生
装置によっては、媒体との接触条件等から、第５図に示
すように、僅かに凸状のクラウン形状となるようなもの
が要求されることがある。このような要求に対して、特
公昭５８−２１３２９号では、媒体対向面１０３．１０
４の表面を機械研磨して必要なりラウン形状を得ていた
。しかしながら、クラウン形状で要求される凸状は、例
えば１０ｎｍ〜３００ｎｍ前後の微小凸状であり、この
ような微小凸状となるように、連続して機械研磨するこ
とは非常に困難である。しかも、高密度記録対応のため
の低浮上量化により、スライダ１が小型化される傾向に
あり、クラウン形状の機械研磨作業が益々困難になりつ
つある。
の平面度を持つように研磨加工されるが、磁気記録再生
装置によっては、媒体との接触条件等から、第５図に示
すように、僅かに凸状のクラウン形状となるようなもの
が要求されることがある。このような要求に対して、特
公昭５８−２１３２９号では、媒体対向面１０３．１０
４の表面を機械研磨して必要なりラウン形状を得ていた
。しかしながら、クラウン形状で要求される凸状は、例
えば１０ｎｍ〜３００ｎｍ前後の微小凸状であり、この
ような微小凸状となるように、連続して機械研磨するこ
とは非常に困難である。しかも、高密度記録対応のため
の低浮上量化により、スライダ１が小型化される傾向に
あり、クラウン形状の機械研磨作業が益々困難になりつ
つある。
く問題点を解決するための手段〉
上述する従来の問題点を解決するため、本発明は、第１
図に示すように、一面側を磁気記録媒体との媒体対向面
１０３．１０４としたスライダ１に、読み書き素子２を
担持させた磁気ヘッドにおいて、前記媒体対向面１０３
．１０４とは反対側の面１０５に、媒体対向面１０３．
１０４の平面形状を制御する溝３を形成したことを特徴
とする。
図に示すように、一面側を磁気記録媒体との媒体対向面
１０３．１０４としたスライダ１に、読み書き素子２を
担持させた磁気ヘッドにおいて、前記媒体対向面１０３
．１０４とは反対側の面１０５に、媒体対向面１０３．
１０４の平面形状を制御する溝３を形成したことを特徴
とする。
〈作用〉
スライダの媒体対向面とは反対側の面に溝を形成すると
、溝のある部分と溝のない部分とで、加工歪等に起因し
て、歪差を生じる。この歪差を利用して、スライダの媒
体対向面の平面度を、例えばクラウン形状等に制御でき
る。媒体対向面の平面度は、溝の位置、深さ、幅及び形
状等に応じて変化させることができるから、溝による平
面制御は、媒体対向面を直接研磨加工して平面形状を制
御する場合に比べて極めて容易であり、しかもｎｍ領域
の微小範囲で容易に制御できる。
、溝のある部分と溝のない部分とで、加工歪等に起因し
て、歪差を生じる。この歪差を利用して、スライダの媒
体対向面の平面度を、例えばクラウン形状等に制御でき
る。媒体対向面の平面度は、溝の位置、深さ、幅及び形
状等に応じて変化させることができるから、溝による平
面制御は、媒体対向面を直接研磨加工して平面形状を制
御する場合に比べて極めて容易であり、しかもｎｍ領域
の微小範囲で容易に制御できる。
〈実施例〉
第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。図に
おいて、第３図と同一の参照符号は同一性ある構成部分
を示している。この実施例では、アルティック等のセラ
ミック構造体でなるスライダ１の媒体対向面１０３．１
０４と対向する面１０５に溝３を形成しである。スライ
ダ１は溝３のある部分と、ない部分との歪の差により、
例えば第２図に示す如く、媒体対向面１０３．１０４が
最大変化幅△ｄのクラウン形状となるように制御される
。実施例のクラウン形状に制御する場合には、溝３は、
空気流出方向ａで見て、スライダ１の全長ｆｌ＋からテ
ーパ部１０３ａ、１０４ａを除いた長さλ２の略中間部
に、その全幅Ｗ１に亙って形成するのが望ましい。クラ
ウン形状の平面度は、スライダ１の外形寸法に対する溝
３の深さｄ２、幅Ｗ２等によって制御できる。例えば、
第１図において、 ｆ！、、＝４ｍｍ 、Ｉ２２＝３．６２ｍｍ Ｗ、＝３．２ｍｍ ｄ、＝０．８５＋ｎｍ のスライダ１を使用した磁気ヘッドにおいて、１２の中
間部であるｆＬ！ ＝ １１４の位置に、深さｄ２＝２
５μｍ〜２＝２＋１１．幅Ｗ、＝２ｍｍ前後の溝３を形
成すると、媒体対向面１０３．１０４の平面度を最大変
化幅△ｄ＝５０ｎｍ〜３００ｎｍのクラウン形状とする
ことができる。図示は省略したが、溝３の内部または外
部に、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂または電子線硬化性
樹脂等の硬化性樹脂を付着させ、溝３による歪と硬化性
樹脂の硬化収縮力とを併用して、媒体対向面１０３．１
０４の平面度を制御することも可能である。
おいて、第３図と同一の参照符号は同一性ある構成部分
を示している。この実施例では、アルティック等のセラ
ミック構造体でなるスライダ１の媒体対向面１０３．１
０４と対向する面１０５に溝３を形成しである。スライ
ダ１は溝３のある部分と、ない部分との歪の差により、
例えば第２図に示す如く、媒体対向面１０３．１０４が
最大変化幅△ｄのクラウン形状となるように制御される
。実施例のクラウン形状に制御する場合には、溝３は、
空気流出方向ａで見て、スライダ１の全長ｆｌ＋からテ
ーパ部１０３ａ、１０４ａを除いた長さλ２の略中間部
に、その全幅Ｗ１に亙って形成するのが望ましい。クラ
ウン形状の平面度は、スライダ１の外形寸法に対する溝
３の深さｄ２、幅Ｗ２等によって制御できる。例えば、
第１図において、 ｆ！、、＝４ｍｍ 、Ｉ２２＝３．６２ｍｍ Ｗ、＝３．２ｍｍ ｄ、＝０．８５＋ｎｍ のスライダ１を使用した磁気ヘッドにおいて、１２の中
間部であるｆＬ！ ＝ １１４の位置に、深さｄ２＝２
５μｍ〜２＝２＋１１．幅Ｗ、＝２ｍｍ前後の溝３を形
成すると、媒体対向面１０３．１０４の平面度を最大変
化幅△ｄ＝５０ｎｍ〜３００ｎｍのクラウン形状とする
ことができる。図示は省略したが、溝３の内部または外
部に、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂または電子線硬化性
樹脂等の硬化性樹脂を付着させ、溝３による歪と硬化性
樹脂の硬化収縮力とを併用して、媒体対向面１０３．１
０４の平面度を制御することも可能である。
〈発明の効果〉
以上述べたように、本発明は、一面側を媒体対向面とし
たスライダに銹み書き素子を担持させた磁気ヘッドにお
いて、媒体対向面とは反対側の面に、媒体対向面の平面
形状を制御する溝を形成したから、スライダの媒体対向
面の平面形状を、例えばｎｍ領域の微小範囲で容易に制
御し得るようにした磁気ヘッドを提供できる。
たスライダに銹み書き素子を担持させた磁気ヘッドにお
いて、媒体対向面とは反対側の面に、媒体対向面の平面
形状を制御する溝を形成したから、スライダの媒体対向
面の平面形状を、例えばｎｍ領域の微小範囲で容易に制
御し得るようにした磁気ヘッドを提供できる。
第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は同
じく溝による媒体対向面の制御状態を示す図、第３図は
従来の磁気ヘッドの斜視図、第４図は磁気ヘッドの動作
状態を示す図、第５図は従来の磁気ヘッドの別の例を示
す図である。 １・・・スライダ ２・・・読み書き素子 １０３．１０４・・・媒体対向面 ３・・・溝
じく溝による媒体対向面の制御状態を示す図、第３図は
従来の磁気ヘッドの斜視図、第４図は磁気ヘッドの動作
状態を示す図、第５図は従来の磁気ヘッドの別の例を示
す図である。 １・・・スライダ ２・・・読み書き素子 １０３．１０４・・・媒体対向面 ３・・・溝
Claims (1)
- （１）一面側を媒体対向面としたスライダに、読み書き
素子を担持させた磁気ヘッドにおいて、前記媒体対向面
とは反対側の面に、前記媒体対向面の平面形状を制御す
る溝を形成したことを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9534388A JPH01267822A (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9534388A JPH01267822A (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01267822A true JPH01267822A (ja) | 1989-10-25 |
Family
ID=14135040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9534388A Pending JPH01267822A (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01267822A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03250475A (ja) * | 1990-01-16 | 1991-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘッドスライダ |
| JPH0684312A (ja) * | 1992-02-25 | 1994-03-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気ヘッド・スライダのクラウンとキャンバとを個別に制御することができる磁気ヘッド・スライダの製作方法 |
| US5687042A (en) * | 1994-11-03 | 1997-11-11 | International Business Machines Corporation | Slider having shifted crown peak for reduced fly height sensitivity |
| US6125004A (en) * | 1992-05-29 | 2000-09-26 | Tdk Corporation | Magnetic head and method of manufacturing a magnetic head |
-
1988
- 1988-04-18 JP JP9534388A patent/JPH01267822A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03250475A (ja) * | 1990-01-16 | 1991-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘッドスライダ |
| JPH0684312A (ja) * | 1992-02-25 | 1994-03-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気ヘッド・スライダのクラウンとキャンバとを個別に制御することができる磁気ヘッド・スライダの製作方法 |
| US6125004A (en) * | 1992-05-29 | 2000-09-26 | Tdk Corporation | Magnetic head and method of manufacturing a magnetic head |
| US5687042A (en) * | 1994-11-03 | 1997-11-11 | International Business Machines Corporation | Slider having shifted crown peak for reduced fly height sensitivity |
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