JPS6220187A - 磁気デイスク装置 - Google Patents

磁気デイスク装置

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JPS6220187A
JPS6220187A JP60159350A JP15935085A JPS6220187A JP S6220187 A JPS6220187 A JP S6220187A JP 60159350 A JP60159350 A JP 60159350A JP 15935085 A JP15935085 A JP 15935085A JP S6220187 A JPS6220187 A JP S6220187A
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JP
Japan
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magnetic disk
slider
magnetic
disk plate
disk device
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Application number
JP60159350A
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English (en)
Inventor
Masahiro Kubo
雅裕 久保
Yasuro Otsubo
大坪 康郎
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/10Indicating arrangements; Warning arrangements

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、磁気ディスク装置に係り、特に、高密度記録
再生の実現に寄与できるようにした磁気ディスク装置に
関する。
〔発明の技術的背崇とその問題点] 周知のように、la気ディスク装置は、計算機の外部記
憶Hffiとして広く使用されている。
このような磁気ディスク装置の主要部は、一般に1回転
駆動源によって回転駆動される磁気ディスク板と、この
磁気ディスク板に沿って移動可能に設けられたスライダ
と、このスライダに固定されて磁気ディスク板への書き
込みおよび読み出しを行なう磁気ヘッドとで構成されて
いる。一般に。
高速回転している磁気ディスク板にスライダや磁気ヘッ
ドを直接接触させることは好ましいことではない。この
ようなことから、従来の磁気ディスク装置では、スライ
ダに、!i気ヘッドを支持する機能と、磁気ディスク板
に対向している状態で磁気ディスク板が回転したときデ
ィスク面との間に圧縮空気流を形成し、この動圧でスラ
イダそのものを浮上させ、これによってスライダおよび
磁気ヘッドがディスク面に直接接触するのを防止する機
能とを発揮させている。そして9通常は、スライダに発
生した揚力とバネ材等による押付は力とが平衡した点に
磁気ヘッドを位置させる方式が採用されている。
ところで、最近では記録密度の充分に高い磁気ディスク
装置の出現が望まれており、このような要望を満たす1
つの手段として垂直磁気記録媒体の使用が考えられてい
る。このように、垂直磁気記録媒体を使用する場合、こ
の記録媒体の特徴を最大限に発揮させるには磁気ヘッド
と磁気ディスク板との間のすきまを0.1μm以下に抑
え、しかもその変動を非常に小さな値に抑える必要があ
る。
上記のように、動圧によって浮上するスライダに磁気ヘ
ッドを固定する方式を採用し、かつ磁気ヘッドと磁気デ
ィスク板との間のすきま、つまりスライダの浮上量を0
.1μm以下に設定すれば。
磁気ヘッドヤ磁気ディスク板に悪影響を与えることなく
高密度記録を実現できる。これを実現するにはスライダ
の浮上量を厳しく管理する必要があり、製品組立て時に
全量あるいは一部抜き取り検査を行なって所定の浮上(
至)仕様を満たしているか否かを確認する必要がある。
しかし、浮上量そのものが0.1μmと言うオーダのた
め、たとえば公知の光干渉法で測定しようとしても干渉
縞が現われず測定することができない。このため、実際
の製品におけるスライダの浮上量、浮上姿勢等の情報を
得ることができず、これが原因して高密度記録の実現を
困難化しているのが実状である。
〔発明の目的〕
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、スライダ自身に。
このスライダの浮上量の正確な測定に寄与できる要素を
備え、これによって組立て時に浮上量の高精度な管理を
実行でき、もって高密度な記録を実現できる磁気ディス
ク装置を提供することにある。
〔発明の慨要〕
本発明によれば1回転駆動源によって回転駆動される磁
気ディスク板と、この磁気ディスク仮に沿って移動゛可
能に設けられ上記磁気ディスク板の回転に伴って上記磁
気ディスク板との間に発生する動圧で浮上するスライダ
と、このスライダに固定され前記磁気ディスク板への書
き込みおよび読み出しを行なう磁気ヘッドと、前記スラ
イダに前記動圧を発生させる滑走面より反ディスク面側
へ微小段差を隔てて形成された参照用の鏡面部とを漏え
た磁気ディスク装置が提供される。
さらに詳しく説明すると、上記微小段差は0.1〜2μ
mの範囲に設定されている。
〔発明の効果〕
本発明に係る磁気ディスク装置では、スライダ自身に、
滑走面より反ディスク面側へ微小段差を隔てて参照用の
鏡面部を有している。したがって。
今、微小段差が1μmであるとすると、滑走面がディス
ク面から061μm浮上しているときにはディスク面と
鏡面部との間のすきまは1.1μmとなる。このすきま
量は、光干渉法を適用するするのに充分な値である。す
なわち、干渉縞を発生させ1qる値である。したがって
9組立て前に製品に組込まれる磁気ヘッド付きスライダ
およびスライダを支持するサスペンションと透明材で形
成された疑似磁気ディスク板とを組合せて光干渉法で滑
走面の浮上量および浮上姿勢を確認することが可能とな
る。このように、スライダの浮上量および浮上姿勢を確
認して厳しく管理することができるので、高密度記録に
必要な浮上量に設定でき、結局。
高密度記録を実現することができる。
〔発明の実施例〕〕 以下1本発明の実施例を図面を参照しながら説明づる。
第1図は、1枚の磁気ディスク板だけを有する磁気ディ
スク装置に本発明を適用した例の概略構成を示すもので
ある。
すなわち9図中1は磁気ディスク板であり、この磁気デ
ィスク板1は、軸2の外周に固定されている。軸2は回
転駆動源3に連結され、この回転駆動源3は制御装置4
によって制御される。磁気ディスク板1の図中上面には
垂直磁気記録媒体で構成された記録媒体層が形成されて
いる。そして。
上記記81体層は位置決め用およびデータ用として使用
されるようになっている。
磁気ディスク板1の図中上面近傍には、磁気ヘッド5が
配置されており、この磁気ヘッド5は。
スライダ6、サスペンション機構7およびアクセスアー
ム8を介してキャリッジ9に支持されている。キャリッ
ジ9は、υ制御装置4によって制御されるアクチュエー
タ10に支持されており1図中矢印11で示づ方向に選
択的に移動制御される。
制0′l]装置4による回転駆動′gA3およびアクチ
ュエータ10の制御は、公知のものと同様の方式が採用
されている。
前記スライダ6は、サスペンション[7との関連におい
て動圧で浮上する方式のもので、具体的には第2図に示
すように構成されている。すなわち、スライダブロック
12の磁気ディスク板1に対向する面に、磁気ディスク
板1の回転方向に沿った比較的深い溝13.1’4を平
行に設けるとともにこれら@13,14の存在によって
形成された3本の突条15.16.17の磁気ディスク
lf1の回転方向を基準にして反回転方向側に位置する
端部に反回転方向に向かうにしたがってディスク面から
徐々に離れる傾斜面18,19.20を設けている。上
記突条15.16.17の磁気ディスク板1に対向して
いる面には、動圧を発生させるための滑走面に供される
。また、突条15゜17の外側には、滑走面により反デ
ィスク面側へ微小段差Sを隔てて参照用の鏡面部21.
22が形成されている。なお、微小段差Sは、0.1〜
2μmの範囲のある値、たとえば0.1μmに設定され
ている。一方、磁気ヘッド5は、スライダ6の前記磁気
ディスク板1の回転方向を基準にして回転方向側に位置
する端面で突条16の側方位置に上記突条16と面一の
レベルに磁気ギャプGが位置するように固定されたヨー
ク23と、このヨーク23の外周に巻装されたコイル2
4とで構成されている。
このような構成であると、磁気ディスク板1が回転する
と、スライダ6に形成された滑走面にと磁気ディスク板
1との間に圧縮空気流が形成され。
この動圧でスライダ6が浮上する。したがって。
浮上量が、たとえば0.1μm程度以下になるように、
予め各部条件を設定しておきさえすれば垂直磁気記録媒
体の特徴を最大限に発揮させることができ、記録密度を
大幅に向上させることができる。
ところで、上記のように垂直磁気記録媒体の特徴を最大
限に発揮させるには、1i気ディスク装置を組立てる前
に、実際に組込まれるスライダ6が所定の浮上面仕様を
満たしているか否かを確認する必要があるが、上記構成
であると、この確認を次のようにして簡単に行なうこと
ができる。すなわち、第3図に示すように、測定装置3
1を用意しておく。この測定装置31は、大きく分けて
透明材で形成された疑似磁気ディスク板32と。
この疑似磁気ディスク板32を回転駆動する回転駆動機
構33と、光干渉計34とから構成されている。光干渉
計34は、疑似磁気ディスク板32の下面所定範囲に向
けて単色光あるいは白色光を照射する光源装置35と、
この光源装置35と疑似磁気ディスク板32との間に介
在したビームスプリッタ−36と、このビームスプリッ
タ−36を介して得られた前記疑似磁気ディスク板32
側からの反射光を観察するマイクロスコープ37および
それをVa影するカメラ38とで構成されている。この
測定装置31を使用し次のようにして測定する。すなわ
ち、まず、実際の磁気ディスク装置に組込む磁気ヘッド
付きスライダ6をサスペンション機構7とともに組込む
ときの条件を一致させて第3図に示すように疑似磁気デ
ィスク板32上にセットする。この状態で疑似磁気ディ
スク板32を規定の回転数で回転させると疑似磁気ディ
スク板32とスライダ6の滑走面にとの間に圧縮空気蒲
が形成され、この動圧によってスライダ6が浮上する。
このとき、光源装置35から光を照射してマイクロスコ
ープ37でスライダ6の底面を観察すると、第4図に示
すように、参照用の鏡面部21.22に干渉縞Aが観察
される。この場合、鏡面部21.22は滑走面により反
ディスク面側に0.1μmの微小段差Sだけ隔てている
ので。
たとえスライダ6の浮上量が0.1μm以下であっても
、必ず鏡面部21.22に干渉縞Aを観察することがで
きる。したがって、この干渉縞Aを使用して公知の手法
で疑似磁気ディスク板32と鏡面部21.22との間の
ずきまを求めることができ、また鏡面部21.22と滑
走面にとの間の微小段差Sは既知であることからしてス
ライダ6の浮上間を知ることができる。第5図はこのよ
うにして測定された一例を示すもので、Bが滑走面にの
浮上量を示し、ch<vt面部21.22の浮上量を示
し、Hが磁気ヘッド5の磁気ギヤラフG部分の位置を示
している。
このように、スライダ6の浮上間が0.1μm以下の場
合でも、その浮上量を確実に測定できるので、このスラ
イダを実装置に組込んだとき高密度記録を実現し得るも
のか否かを簡単に検定できる。
したがって、高密度記録を実現する信頼性の高い装置の
出現に寄与することができ、結局、前述した効果を発揮
させることができる。
なお2本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。すなわち、鏡面部を設ける位置は。
突条15,17の外側に限らず、たとえば第6図に示す
ように、中央に位置する突条16を斜めに研削し、この
面41を鏡面部としてもよい。また。
鏡面部は走行方向に階段上であってもよく、平坦面であ
る必要もない。さらに、微小段差は流体の流入側が流出
側よりも大であってもよく、浮上時にスライダが傾いて
も充分な数の干渉縞が得られればよい。また、微小段差
Sの最大値は光源に白色光を用いるときには経験的に2
μmが限界である。また、単色光を用いれば微小段差S
は2μm以上でもよい。ざらに、磁気ヘッドとして11
9gヘッドを使用してもよい。その他1本発明の要旨を
逸脱しない範囲で種々変形することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係る磁気ディスク装置の慨
略構成図、第2図は同装置におけるスライダを取り出し
て示す斜視図、第3図はスライダの浮上量を測定する装
置の一例を説明するための図、第4図は光干渉法で浮上
量を測定したときスライダの底面に観測される干渉縞の
一例を示す図。 第5図は実測されたスライダの浮上量と参照用の鏡面部
との関係を示す図、第6図はスライダの変形例の示す斜
視図、第7図は第6図におけるX方向からみた局部的側
面図である。 1・・・磁気ディスク板、2・・・軸、3・・・回転駆
動源。 4・・・制御装置、5・・・磁気ヘッド、6.6a・・
・スライダ、7・・・サスペンション機構、8・・・ア
クセスアーム、9・・・キャリッジ、10・・・アクチ
ュエータ。 13.14・・・溝、15.16.17・・・突条、2
1゜22.41・・・鏡面部、23・・・ヨーク、24
・・・コイル、K・・・滑走面。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 牙1図 第4図

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)回転駆動源によって回転駆動される磁気ディスク
    板と、この磁気ディスク板に沿って移動可能に設けられ
    上記磁気ディスク板の回転に伴って上記磁気ディスク板
    との間に発生する動圧で浮上するスライダと、このスラ
    イダに固定され前記磁気ディスク板への書き込みおよび
    読み出しを行なう磁気ヘッドと、前記スライダに前記動
    圧を発生させる滑走面より反ディスク面側へ微小段差を
    隔てて形成された参照用の鏡面部とを具備してなること
    を特徴とする磁気ディスク装置。
  2. (2)前記微小段差は、0.1〜2μmの範囲であるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気ディス
    ク装置。
  3. (3)前記微小段差は、流体流入端側が流体流出端側よ
    り大に設定されてなることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項または第2項記載の磁気ディスク装置。
  4. (4)前記鏡面部は、前記滑走面に隣接して設けられて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気
    ディスク装置。
  5. (5)前記鏡面部は、前記スライダの中央部に設けられ
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁
    気ディスク装置。
  6. (6)前記磁気ヘッドは、薄膜ヘッドであることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の磁気ディスク装置。
  7. (7)前記磁気ディスク板は、記録層が垂直磁気記録媒
    体で構成されたものであることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の磁気ディスク装置。
JP60159350A 1985-07-19 1985-07-19 磁気デイスク装置 Pending JPS6220187A (ja)

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