JPS6018870A - 磁気ヘツドスライダ - Google Patents
磁気ヘツドスライダInfo
- Publication number
- JPS6018870A JPS6018870A JP12603783A JP12603783A JPS6018870A JP S6018870 A JPS6018870 A JP S6018870A JP 12603783 A JP12603783 A JP 12603783A JP 12603783 A JP12603783 A JP 12603783A JP S6018870 A JPS6018870 A JP S6018870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- light
- disk
- floating amount
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は磁気ディスク装置に用いられる磁気へラドスラ
イダに関するものである。
イダに関するものである。
従来の磁気へラドスライダは不透明体であるＭ、Ｚ、フ
ェライトなどのコア材、またはアルミナチタンカーバイ
トなどの耐摺動セラミックスで製作されている。このよ
うな磁気へラドスライダにおけるスライダとディスクと
の間のすき１間（以下浮上量と称す）の測定には、光干
渉の原理を用いた光干渉縞法が利用されている。この光
干渉縞法の改良として、動的挙動の計測可能な多次元測
定法を先に提案した。
ェライトなどのコア材、またはアルミナチタンカーバイ
トなどの耐摺動セラミックスで製作されている。このよ
うな磁気へラドスライダにおけるスライダとディスクと
の間のすき１間（以下浮上量と称す）の測定には、光干
渉の原理を用いた光干渉縞法が利用されている。この光
干渉縞法の改良として、動的挙動の計測可能な多次元測
定法を先に提案した。
上記の光干渉法では、光の干渉を利用して二物体間の空
間を測定するため、この被測定空間を形成する一方側を
光の透過可能な材質、例えばガラス板にする必要がある
ので、実ディスクと実スライダ間の浮上量の測定が困難
であった。
間を測定するため、この被測定空間を形成する一方側を
光の透過可能な材質、例えばガラス板にする必要がある
ので、実ディスクと実スライダ間の浮上量の測定が困難
であった。
また上記浮上量が０．１μｍ以下の極めて微小量のみ浮
上するスライダでは、一方何をガラスにしてもガラス材
質の変更、干渉用単色光源の低波長化（２００ｒ１ｍ前
後またはそれ以下）を紫外線用干渉縞受光装置などの高
価な装置を必要とするばかりでなく、精度の悪化を招く
恐れがある。
上するスライダでは、一方何をガラスにしてもガラス材
質の変更、干渉用単色光源の低波長化（２００ｒ１ｍ前
後またはそれ以下）を紫外線用干渉縞受光装置などの高
価な装置を必要とするばかりでなく、精度の悪化を招く
恐れがある。
さらにスライダがディスク面にはソ平行に浮上するよう
なスライダでは、干渉縞の観察は不可能であり、またス
ライダの空気ベアリング部が複雑な形状の場合には、そ
のスライダの浮上量の測定が困難でおった。
なスライダでは、干渉縞の観察は不可能であり、またス
ライダの空気ベアリング部が複雑な形状の場合には、そ
のスライダの浮上量の測定が困難でおった。
本発明は上記にかんがみ、従来の光干渉縞法では測定不
能であったスライダの浮上特性の測定、極微小の浮上量
の測定、平行浮上スライダの浮上測定および複雑な形状
の空気ベアリング部を有するスライダの浮上量の測定を
可能にすることを目的とするものである。
能であったスライダの浮上特性の測定、極微小の浮上量
の測定、平行浮上スライダの浮上測定および複雑な形状
の空気ベアリング部を有するスライダの浮上量の測定を
可能にすることを目的とするものである。
本発明は磁気ヘッドと、空気ベアリング部によシディス
ク上に浮上されたスライダとからなる磁気へラドスライ
ダにおいて、前記スライダの一部に光の透過可能な板材
を取付けたことを特徴とするものである。
ク上に浮上されたスライダとからなる磁気へラドスライ
ダにおいて、前記スライダの一部に光の透過可能な板材
を取付けたことを特徴とするものである。
以下本発明の実施例を図面について説明する。
第１図および第２図において、１は磁気ヘッド、２は磁
気ヘッド１を搭載したスライダ、３はスライダ２とディ
スク５との間に形成された空気ベアリング部、４ａ、４
ｂはスライダ２０両側面に、かつ空気ベアリング部３の
表面３ａ、３ｂから高さ０〜５μｍの位置に取付けられ
た光の透過可能な板材、例えばガラス板である。このガ
ラス板はスライダ２の一方側の側面にのみ取付けてもよ
い。
気ヘッド１を搭載したスライダ、３はスライダ２とディ
スク５との間に形成された空気ベアリング部、４ａ、４
ｂはスライダ２０両側面に、かつ空気ベアリング部３の
表面３ａ、３ｂから高さ０〜５μｍの位置に取付けられ
た光の透過可能な板材、例えばガラス板である。このガ
ラス板はスライダ２の一方側の側面にのみ取付けてもよ
い。
本実施例は上記のような構成からな見光源（図示せず）
からの光■φを第２図に示すようにスライダ２に入射さ
せると、この入射光重φはガラス板４ａ、４ｂの下面か
ら反射して反射光重１を生ずると共に、ディスク５の表
面から反射して反射光■２を生ずる。この両反射光Ｉｆ
’、Ｉ２による干渉縞より、ガラス板４ａ、４ｂとディ
スク５との間のすき間を測定する。
からの光■φを第２図に示すようにスライダ２に入射さ
せると、この入射光重φはガラス板４ａ、４ｂの下面か
ら反射して反射光重１を生ずると共に、ディスク５の表
面から反射して反射光■２を生ずる。この両反射光Ｉｆ
’、Ｉ２による干渉縞より、ガラス板４ａ、４ｂとディ
スク５との間のすき間を測定する。
一方、スライダ２の浮上量りは、スライダ空気ベアリン
グ部３の表面３ａ、３ｂとガラス板４ａ。
グ部３の表面３ａ、３ｂとガラス板４ａ。
４ｂとの高さｈａｆｔを予じめめておき、これを差し引
くことによ請求めることができる。これより実ディスク
と実スライダとの組合によシ、スライダ２の浮上量の測
定が可能となる。
くことによ請求めることができる。これより実ディスク
と実スライダとの組合によシ、スライダ２の浮上量の測
定が可能となる。
また、ガラス板４ａ、４ｂの高さｈａｆｔを０．２μｍ
以上に設定すれば、スライダ２の極く微小な浮上量を測
定することができる。さらに、前記多次元測定法を用い
ると、実ディスクと実スライダにおけるスライダの動的
挙動、すなわち上、下ピッチングおよびローリングなど
の測定が可能となる。
以上に設定すれば、スライダ２の極く微小な浮上量を測
定することができる。さらに、前記多次元測定法を用い
ると、実ディスクと実スライダにおけるスライダの動的
挙動、すなわち上、下ピッチングおよびローリングなど
の測定が可能となる。
第３図に示す第２実施例は、ガラス板４ａ。
４ｂを空気ベアリング部表面３ａ、３ｂのそれぞれに対
し、１度以下の微小角度αだけ傾斜して取付けた点が前
記第１実施例（第１，２図）と異なシ、その他の構造は
同一であるから説明を省略する。
し、１度以下の微小角度αだけ傾斜して取付けた点が前
記第１実施例（第１，２図）と異なシ、その他の構造は
同一であるから説明を省略する。
従来の磁気へラドスライダでは、スライダがディスクに
対してはソ平行に浮上する場合、空気ベアリング部表面
で観察可能な干渉縞は０〜１本となるから測定できる。
対してはソ平行に浮上する場合、空気ベアリング部表面
で観察可能な干渉縞は０〜１本となるから測定できる。
ところが、上記第２実施例によれば、ガラス板４ａ、４
ｂの傾斜角度αを１゜以下の適当な角度に設定すれば、
測定に必要な干渉縞をうろことができる。
ｂの傾斜角度αを１゜以下の適当な角度に設定すれば、
測定に必要な干渉縞をうろことができる。
第４図に示す第３実施例は、スライダ２の前面にガラス
板４ａを、後面にガラス板４ｂ、４Ｃにそれぞれ取付け
た点が前記第１実施例と異なり、その他の構造は同一で
あるから説明を省略する。
板４ａを、後面にガラス板４ｂ、４Ｃにそれぞれ取付け
た点が前記第１実施例と異なり、その他の構造は同一で
あるから説明を省略する。
このように構成すれば、スライダ２のローリング方向の
浮上量の差および変動を測定できる利点がある。
浮上量の差および変動を測定できる利点がある。
第５図に示す第４実施例は、ガラス板４ａ。
４ｂを空気ベアリング部表面３ａ、３ｂ部分と磁気ヘッ
ド１との間に介在させ、かつ一体化してスライダ２を構
成した点が前記第１実施例と異なシ、その他の構造は同
一であるから説明を省略する。
ド１との間に介在させ、かつ一体化してスライダ２を構
成した点が前記第１実施例と異なシ、その他の構造は同
一であるから説明を省略する。
以上説明したように本発明によれば、スライダに光の透
明可能な板材を取付けることによシ、従来の光干渉縞法
では測定不能であったスライダの浮上特性の測定、極微
小の浮上量の測定、平行浮上スライダの浮上測定および
複雑な形状の空気ベアリング部を有するスライダの浮上
量の測定を行うことができる。
明可能な板材を取付けることによシ、従来の光干渉縞法
では測定不能であったスライダの浮上特性の測定、極微
小の浮上量の測定、平行浮上スライダの浮上測定および
複雑な形状の空気ベアリング部を有するスライダの浮上
量の測定を行うことができる。
第１図および第２図は本発明の磁気へッドスラィダの一
実施例を示す平面図および正面図、第３図ないし第５図
はそれぞれ本発明に係わる他の各実施例を示す正面図お
よび平面図である。 １・・・磁気ヘッド、２・・・スライダ、３ａ、３ｂ・
・・空気ベアリング部表面、４８〜４ｃ・・・板材、５
・・・ディスク。 ■ １ 図 第 ２ 図 ＝４３１
実施例を示す平面図および正面図、第３図ないし第５図
はそれぞれ本発明に係わる他の各実施例を示す正面図お
よび平面図である。 １・・・磁気ヘッド、２・・・スライダ、３ａ、３ｂ・
・・空気ベアリング部表面、４８〜４ｃ・・・板材、５
・・・ディスク。 ■ １ 図 第 ２ 図 ＝４３１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気ヘッドと、空気ベアリング部によりディスク上
に浮上されたスライダとからなる磁気へラドスライダに
おいて、前記スライダの一部に光の透過可能な板材を取
付けたことを特徴とする磁気へラドスライダ。 ２、上記板材を空気ベアリング部表面に対し、適宜角度
傾斜して取付けたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の磁気へラドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12603783A JPS6018870A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 磁気ヘツドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12603783A JPS6018870A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 磁気ヘツドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6018870A true JPS6018870A (ja) | 1985-01-30 |
Family
ID=14925104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12603783A Pending JPS6018870A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 磁気ヘツドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6018870A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0209140A2 (en) * | 1985-07-19 | 1987-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | A method of measuring a minute flying height of an object and a magnetic disk apparatus |
| US8883054B2 (en) | 2009-06-18 | 2014-11-11 | Progressive Components International Corporation | Mold monitoring |
| US8899955B2 (en) | 2009-06-18 | 2014-12-02 | Progressive Components International Corporation | Electronic cycle counter |
| US10715464B2 (en) | 2009-06-18 | 2020-07-14 | Progressive Components International Corporation | System and method for monitoring tooling activities |
-
1983
- 1983-07-13 JP JP12603783A patent/JPS6018870A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0209140A2 (en) * | 1985-07-19 | 1987-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | A method of measuring a minute flying height of an object and a magnetic disk apparatus |
| US8883054B2 (en) | 2009-06-18 | 2014-11-11 | Progressive Components International Corporation | Mold monitoring |
| US8899955B2 (en) | 2009-06-18 | 2014-12-02 | Progressive Components International Corporation | Electronic cycle counter |
| US9555570B2 (en) | 2009-06-18 | 2017-01-31 | Progressive Components International Corporation | Electronic cycle counter |
| US10715464B2 (en) | 2009-06-18 | 2020-07-14 | Progressive Components International Corporation | System and method for monitoring tooling activities |
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