JPS6324115A - 磁気ヘツドの浮上量測定方法及びその装置 - Google Patents
磁気ヘツドの浮上量測定方法及びその装置Info
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- JPS6324115A JPS6324115A JP61167650A JP16765086A JPS6324115A JP S6324115 A JPS6324115 A JP S6324115A JP 61167650 A JP61167650 A JP 61167650A JP 16765086 A JP16765086 A JP 16765086A JP S6324115 A JPS6324115 A JP S6324115A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000005188 flotation Methods 0.000 abstract 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ヘッド、特に磁気ディスクをメディアとし
て使用し、そのメディアの動きへの追従性が優れ、ヘッ
ド圧も小さくて済むジンへルタイプの磁気ヘッドの浮上
量、即ち、ピッチアングルやバランス等の浮上姿勢の静
的挙動及び浮−ヒ変動や周波数変動等の動的挙動を容易
にしかも正確に測定し、極く低浮上の場合でもその測定
を可能とする測定方法及びその装置に関する。
て使用し、そのメディアの動きへの追従性が優れ、ヘッ
ド圧も小さくて済むジンへルタイプの磁気ヘッドの浮上
量、即ち、ピッチアングルやバランス等の浮上姿勢の静
的挙動及び浮−ヒ変動や周波数変動等の動的挙動を容易
にしかも正確に測定し、極く低浮上の場合でもその測定
を可能とする測定方法及びその装置に関する。
従来、上記したような磁気ヘッドの浮上量を測定するに
は、主にピッチアングルやバランス等の浮上姿勢、即ち
静的挙動についてなされ、光源として白色光を用いて回
転するガラスディスクと磁気ヘッドのメディアとの対向
面との空隙に発生する干渉縞の色相変化を目視で判別し
たり、単色光によってｒｊｌ気ヘッドのメディアとの対
向面の干渉縞の強度から計算によって浮Ｊ：量を測定す
る等の方法が採用されていた。
は、主にピッチアングルやバランス等の浮上姿勢、即ち
静的挙動についてなされ、光源として白色光を用いて回
転するガラスディスクと磁気ヘッドのメディアとの対向
面との空隙に発生する干渉縞の色相変化を目視で判別し
たり、単色光によってｒｊｌ気ヘッドのメディアとの対
向面の干渉縞の強度から計算によって浮Ｊ：量を測定す
る等の方法が採用されていた。
ここで、その従来の技術の代表的な一例を第４図をもっ
て説明する。即ち、第４図は従来例を示すプロ・ンク図
であり、図中１はジンへル２によって支持された磁気ヘ
ッドである。
て説明する。即ち、第４図は従来例を示すプロ・ンク図
であり、図中１はジンへル２によって支持された磁気ヘ
ッドである。
又、図中３はレーザー光源であり、このレーザー光源か
ら発射されたレーザービームはビームスプリッタ−４に
よって略直角方向に反射され、そのビームスプリッタ−
４によって反射されたレーザービームは、そのビームス
プリッタ−４と前記磁気へラドｌのメディアとの対向面
との間で水平方向に回転されるガラスディスク５を介し
て磁気へラドｌのメディアとの対向面の任意の一点に照
射される。尚、ガラスディスク５は光学的特性の不均一
の小さな石英ガラスが採用されているもので、図中６は
そのガラスディスク５の駆動モーターである。
ら発射されたレーザービームはビームスプリッタ−４に
よって略直角方向に反射され、そのビームスプリッタ−
４によって反射されたレーザービームは、そのビームス
プリッタ−４と前記磁気へラドｌのメディアとの対向面
との間で水平方向に回転されるガラスディスク５を介し
て磁気へラドｌのメディアとの対向面の任意の一点に照
射される。尚、ガラスディスク５は光学的特性の不均一
の小さな石英ガラスが採用されているもので、図中６は
そのガラスディスク５の駆動モーターである。
こうしてガラスディスク５を介してレーザービームを磁
気へラド１のメディアとの対向面に照射すると、その磁
気へラド１のメディアとの対向面とガラスディスク５と
の空隙に干渉縞が発生し、この干渉縞をホトセンサー等
の光電変換素子７によって光電変換させ、Ａ／Ｄ変換部
８を通してコンピュータからなる演算部９によって計算
させ、磁気ヘッド１の任意の一点の浮丘量と振動等によ
る浮ト変動量を測定するものとなっていた。
気へラド１のメディアとの対向面に照射すると、その磁
気へラド１のメディアとの対向面とガラスディスク５と
の空隙に干渉縞が発生し、この干渉縞をホトセンサー等
の光電変換素子７によって光電変換させ、Ａ／Ｄ変換部
８を通してコンピュータからなる演算部９によって計算
させ、磁気ヘッド１の任意の一点の浮丘量と振動等によ
る浮ト変動量を測定するものとなっていた。
尚、図中２１はど−ムエクスパングー、２２は対物レン
ズ、２３は結像レンズを示す。
ズ、２３は結像レンズを示す。
しかしながら、ト、記したような従来の技術にあって第
４図に示した従来例の場合には磁気ヘッド１のピッチア
ングルやバランスの測定は光学系全体を駆動させレーザ
ービームスポットを移動する必要があり、操作のわずら
れしさとともに、高速の移動が困難であるという問題が
あった。又、白色光を用いて干渉縞の色相変化によって
目視で測定する場合には、可視光望城以下となる極く低
浮−Ｆの領域の測定が不可能なものとなっていた。
４図に示した従来例の場合には磁気ヘッド１のピッチア
ングルやバランスの測定は光学系全体を駆動させレーザ
ービームスポットを移動する必要があり、操作のわずら
れしさとともに、高速の移動が困難であるという問題が
あった。又、白色光を用いて干渉縞の色相変化によって
目視で測定する場合には、可視光望城以下となる極く低
浮−Ｆの領域の測定が不可能なものとなっていた。
そこで、本発明は係る従来の技術の問題点に着目してな
されたもので、かかる問題点を解消して、８ｉ〈低浮上
している磁気ヘッドのピッチアングルやバランス等の静
的挙動に加えて、浮上変動や周波数変動等の動的挙動の
測定を可能とし、しかもその測定時間が短くて済み、Ｓ
／Ｎ比の高いより正確な測定を可能とする測定方法及び
その装置を提供することを目的としている。
されたもので、かかる問題点を解消して、８ｉ〈低浮上
している磁気ヘッドのピッチアングルやバランス等の静
的挙動に加えて、浮上変動や周波数変動等の動的挙動の
測定を可能とし、しかもその測定時間が短くて済み、Ｓ
／Ｎ比の高いより正確な測定を可能とする測定方法及び
その装置を提供することを目的としている。
〔問題点を解決しようとするための手段〕この目的を達
成するために、本発明に係る磁気ヘッドの浮上量測定方
法及びその装置は、回転するガラスディスクを介して磁
気ヘッドのメディアとの対向面にレーザービーム等の単
色光を走査（スキャニング）させ、前記磁気ヘッドのメ
ディ陣 アとの対向面と前記ガラスディスクとの交会に発生する
干渉縞の光強度分布を光電変換素子によって検出するこ
とと、レーザー等の単色光光源と。
成するために、本発明に係る磁気ヘッドの浮上量測定方
法及びその装置は、回転するガラスディスクを介して磁
気ヘッドのメディアとの対向面にレーザービーム等の単
色光を走査（スキャニング）させ、前記磁気ヘッドのメ
ディ陣 アとの対向面と前記ガラスディスクとの交会に発生する
干渉縞の光強度分布を光電変換素子によって検出するこ
とと、レーザー等の単色光光源と。
回転するガラスディスクと、光スキャン部と、光電変換
素子及び干渉光強度計測部（波形記憶部、演算部）とを
有していることとを特徴としている。
素子及び干渉光強度計測部（波形記憶部、演算部）とを
有していることとを特徴としている。
本発明は上記のように、磁気ヘッドのメディアとの対向
面にレーザー等の単色光をスキャンさせて、干渉縞光強
度分布を測定することにより、磁気ヘッドの浮上量を測
定することとしているので、磁気ヘッドのピッチアング
ルやバランス等の静的挙動に加えて、浮と変動や周波数
変動等の動的挙動も測定することが回旋となり、極〈低
浮上の領域も勿論測定が精度よく可能で、測定時間を短
くし、Ｓ／Ｎ比の高い測定を可能としているのである。
面にレーザー等の単色光をスキャンさせて、干渉縞光強
度分布を測定することにより、磁気ヘッドの浮上量を測
定することとしているので、磁気ヘッドのピッチアング
ルやバランス等の静的挙動に加えて、浮と変動や周波数
変動等の動的挙動も測定することが回旋となり、極〈低
浮上の領域も勿論測定が精度よく可能で、測定時間を短
くし、Ｓ／Ｎ比の高い測定を可能としているのである。
Ｃ実施例〕
次に、本発明の実施の一例を第１図乃至第３図を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第１図は本発明の実施例を示すブロック図であり、図中
１０はジンバルｌｌによって支持された磁気ヘッドであ
る。
１０はジンバルｌｌによって支持された磁気ヘッドであ
る。
又、図中１２はレーザー光源であり、このレーザー光源
１２より発射されたレーザービームは光スキャン部１３
へ入射される。レーザービームをスキャニングする機構
は種々知られているが、本実施例にあっては二枚のミラ
ー１３ａ・１３ｂを相互に直交する座標軸を中心として
回動振動させる方式を採用している。この光スキャン部
１３を通ったレーザービームはビームスプリッタ−１４
で略直角に反射され、そのビームスプリッタ−１４と前
記磁気ヘッド１０のメディアとの対向面の間で駆動モー
ター１５によって水平方向に回転される石英ガラス製の
ガラスディスク１６を介して磁気ヘッド１０のメディア
との対向面をスキャンしながら照射される。このレーザ
ービームで磁気ヘッド１０のメディアとの対向面をスキ
ャンすることによって、磁気ヘッド１０のメディアとの
対向面と前記ガラスディスク１６との空隙で干渉を起こ
し、対向面上に干渉１ｉｔ４Ａ・Ａ・・・が発生し、そ
の干渉縞を入射経路と逆に送り戻し、ビームスプリッタ
−１４ａで反射させてホトセンサー等の光電変換素子１
７によって検出し、波形記憶部１８を通してその強度分
布をコンピュータ等から成る演算部１９で測定するもの
としている。尚、図中２１ａはビームエクスパングー、
２２ａは対物レンズ、２３ａは結像レンズを示している
。
１２より発射されたレーザービームは光スキャン部１３
へ入射される。レーザービームをスキャニングする機構
は種々知られているが、本実施例にあっては二枚のミラ
ー１３ａ・１３ｂを相互に直交する座標軸を中心として
回動振動させる方式を採用している。この光スキャン部
１３を通ったレーザービームはビームスプリッタ−１４
で略直角に反射され、そのビームスプリッタ−１４と前
記磁気ヘッド１０のメディアとの対向面の間で駆動モー
ター１５によって水平方向に回転される石英ガラス製の
ガラスディスク１６を介して磁気ヘッド１０のメディア
との対向面をスキャンしながら照射される。このレーザ
ービームで磁気ヘッド１０のメディアとの対向面をスキ
ャンすることによって、磁気ヘッド１０のメディアとの
対向面と前記ガラスディスク１６との空隙で干渉を起こ
し、対向面上に干渉１ｉｔ４Ａ・Ａ・・・が発生し、そ
の干渉縞を入射経路と逆に送り戻し、ビームスプリッタ
−１４ａで反射させてホトセンサー等の光電変換素子１
７によって検出し、波形記憶部１８を通してその強度分
布をコンピュータ等から成る演算部１９で測定するもの
としている。尚、図中２１ａはビームエクスパングー、
２２ａは対物レンズ、２３ａは結像レンズを示している
。
レーザービームによって磁気ヘッド１０のメディアとの
対向面をスキャンすると、その干渉光強度は第２図に示
すように正弦波と似たカーブを描く。その波形は例えば
第２図に示すように角度αの傾きとされた磁気へラド１
０ａと角度βとされた磁気へラドｆｏｂとでは異なり、
対応する第３Ａ図、第３Ｂ図に示されるように干渉縞Ａ
−Ａ・・・の分布が異なってくる。これは磁気ヘッドの
傾斜が急になるにつれて、波形が密、即ち高周波となる
ためで、これは４／λの点で波形のピークまたはボトム
が発生することによる。この光強度分布と浮上量の関係
は（１）式により、ピークとボトムの光強度を求めるこ
とにより、任意の浮り量を計算で求めることができる。
対向面をスキャンすると、その干渉光強度は第２図に示
すように正弦波と似たカーブを描く。その波形は例えば
第２図に示すように角度αの傾きとされた磁気へラド１
０ａと角度βとされた磁気へラドｆｏｂとでは異なり、
対応する第３Ａ図、第３Ｂ図に示されるように干渉縞Ａ
−Ａ・・・の分布が異なってくる。これは磁気ヘッドの
傾斜が急になるにつれて、波形が密、即ち高周波となる
ためで、これは４／λの点で波形のピークまたはボトム
が発生することによる。この光強度分布と浮上量の関係
は（１）式により、ピークとボトムの光強度を求めるこ
とにより、任意の浮り量を計算で求めることができる。
Ｉ、＝１＋ｒｓ−２７ＦＴｃｏｓ （４πｈ、Ａ、）・
・・（１）式 ％式％ ここで、ｒニガラスディスクの反射率 Ｓニスライダ（ヘッド）の反射率 入：レーザー波長 ■、：光検出器出力（光強度） ｈ、：浮上量 を各々示している。
・・（１）式 ％式％ ここで、ｒニガラスディスクの反射率 Ｓニスライダ（ヘッド）の反射率 入：レーザー波長 ■、：光検出器出力（光強度） ｈ、：浮上量 を各々示している。
尚、本実施例にあって光スキャン部１３を二枚のミラー
を振動させる機構としたが、これにこだわらず他の機構
とすることは勿論可能であり、又、高速性を無視すれば
一般的な浮上量測定装置における光学系を駆動させてス
キャニングさせることもできる。
を振動させる機構としたが、これにこだわらず他の機構
とすることは勿論可能であり、又、高速性を無視すれば
一般的な浮上量測定装置における光学系を駆動させてス
キャニングさせることもできる。
上述したように本発明によれば、レーザービーム等の単
色光を磁気ヘッドのメディアとの対向面に沿ってスキャ
ンさせ、干渉光の強度分布を検出することにより測定を
行なうので、極〈低浮りの場合でもピッチアングルやバ
ランス等の静的挙動に加えて浮」二変動、周波数変動等
の動的挙動も精度高く測定でき、レーザースポットで一
点づつを測定するのに比しはるかに測定時間が短くて済
み、Ｓ／Ｎ比の高い測定が可能となっている。
色光を磁気ヘッドのメディアとの対向面に沿ってスキャ
ンさせ、干渉光の強度分布を検出することにより測定を
行なうので、極〈低浮りの場合でもピッチアングルやバ
ランス等の静的挙動に加えて浮」二変動、周波数変動等
の動的挙動も精度高く測定でき、レーザースポットで一
点づつを測定するのに比しはるかに測定時間が短くて済
み、Ｓ／Ｎ比の高い測定が可能となっている。
第１図は本発明の実施の一例を示すブロック図、第２図
は同干渉光強度を表わすグラフ、第３Ａ図、第３Ｂ図は
各々第２図と対応する干渉縞の分布状態を示す平面図、
第４図は従来例を示すブロック図である。 １０争１０ａΦ１０ｂ・・・磁気ヘッド１２・・・レー
ザー光源 １３・・・光スキャン部１６・・・ガラスデ
ィスク １７・・・光電変換素子１８・・・波形記憶部
１９・・・演算部２１ａ・・・ビームエクスパングー ２２ａ・・・対物レンズ ２３ａ・・・結像レンズＡ・
・・干渉縞 第１図 第２図
は同干渉光強度を表わすグラフ、第３Ａ図、第３Ｂ図は
各々第２図と対応する干渉縞の分布状態を示す平面図、
第４図は従来例を示すブロック図である。 １０争１０ａΦ１０ｂ・・・磁気ヘッド１２・・・レー
ザー光源 １３・・・光スキャン部１６・・・ガラスデ
ィスク １７・・・光電変換素子１８・・・波形記憶部
１９・・・演算部２１ａ・・・ビームエクスパングー ２２ａ・・・対物レンズ ２３ａ・・・結像レンズＡ・
・・干渉縞 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）回転するガラスディスクを介して磁気ヘッドのメ
ディアとの対向面にレーザービーム等の単色光を走査（
スキャニング）させ、前記磁気ヘッドのメディアとの対
向面と前記ガラスディスクとの空隙に発生する干渉縞の
光強度分布を光電変換素子によって検出することを特徴
とする磁気ヘッドの浮上量測定方法。 - （２）レーザー等の単色光光源と、回転するガラスディ
スクと、光スキャン部と、光電変換素子及び干渉光強度
計測部（波形記憶部、演算部）とを有していることを特
徴とする磁気ヘッドの浮上量測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61167650A JPS6324115A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 磁気ヘツドの浮上量測定方法及びその装置 |
| US07/020,080 US4813782A (en) | 1986-07-16 | 1987-02-27 | Method and apparatus for measuring the floating amount of the magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61167650A JPS6324115A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 磁気ヘツドの浮上量測定方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324115A true JPS6324115A (ja) | 1988-02-01 |
Family
ID=15853694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61167650A Pending JPS6324115A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 磁気ヘツドの浮上量測定方法及びその装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4813782A (ja) |
| JP (1) | JPS6324115A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104977300A (zh) * | 2015-07-16 | 2015-10-14 | 成都光明光电有限责任公司 | 光学玻璃预制件的条纹检测装置及其检测方法 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4931630A (en) * | 1989-04-04 | 1990-06-05 | Wyko Corporation | Apparatus and method for automatically focusing an interference microscope |
| US5204734A (en) * | 1991-06-12 | 1993-04-20 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
| US5133601A (en) * | 1991-06-12 | 1992-07-28 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
| DE4124223C2 (de) * | 1991-07-22 | 2001-07-26 | Zeiss Carl | Verfahren zur Auswertung von Interferogrammen und Interferometer |
| US5280340A (en) * | 1991-10-23 | 1994-01-18 | Phase Metrics | Method and apparatus to calibrate intensity and determine fringe order for interferometric measurement of small spacings |
| US5257093A (en) * | 1991-11-12 | 1993-10-26 | Guziktechnical Enterprises, Inc. | Apparatus for measuring nanometric distances employing frustrated total internal reflection |
| US5673110A (en) * | 1993-01-26 | 1997-09-30 | Phase Metrics, Inc. | Multiplexed laser interferometer for non-dispersed spectrum detection in a dynamic flying height tester |
| US5677805A (en) * | 1995-06-07 | 1997-10-14 | Guzik Technical Enterprises | Apparatus for determining the dynamic position and orientation of a transducing head relative to a storage medium |
| US5715060A (en) * | 1996-03-11 | 1998-02-03 | Carnegie Mellon University | Apparatus and method for measuring linear nanometric distances using evanescent radiation |
| US5880840A (en) * | 1996-09-23 | 1999-03-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Alumina recession determination using a flying height tester |
| US5781299A (en) * | 1996-09-24 | 1998-07-14 | Phase Metrics | Determining the complex refractive index phase offset in interferometric flying height testing |
| US5808736A (en) * | 1996-09-24 | 1998-09-15 | Phase Metrics, Inc. | Thin film flying height calibration disk for calibrating flying height testers |
| US5932887A (en) * | 1996-10-24 | 1999-08-03 | Guzik Technical Enterprises | Apparatus for measuring the flying height and orientation of a magnetic head relative to a transparent medium based on frustrated total internal reflection |
| US5789756A (en) * | 1996-10-24 | 1998-08-04 | Guzik Technical Enterprises | Apparatus for measuring the flying height and orientation of a magnetic head relative to transparent medium based on frustrated total internal reflection |
| US7342717B1 (en) * | 1997-07-10 | 2008-03-11 | Ruprecht Karts Universitaet Heidelberg | Wave field microscope with detection point spread function |
| US6624892B1 (en) * | 2000-06-01 | 2003-09-23 | Seagate Technolgy Llc | Method and apparatus for fly height testing using light emitting diodes |
| US6687008B1 (en) | 2000-10-19 | 2004-02-03 | Kla-Tencor Corporation | Waveguide based parallel multi-phaseshift interferometry for high speed metrology, optical inspection, and non-contact sensing |
| US6489762B2 (en) | 2001-04-26 | 2002-12-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method to detect junction induced signal instability from GMR/MR heads |
| US6804010B1 (en) | 2002-01-14 | 2004-10-12 | Seagate Technology Llc | Optical coating thickness optimization for fly height test media |
| US7528958B2 (en) * | 2005-12-30 | 2009-05-05 | Honeywell International Inc. | Optical scanner for measuring sheet properties |
| CN107246902A (zh) * | 2017-07-05 | 2017-10-13 | 歌尔股份有限公司 | 一种3d打印液体材料的液面高度检测方法和系统 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4627733A (en) * | 1981-12-25 | 1986-12-09 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Flatness measuring apparatus |
| US4593368A (en) * | 1984-06-04 | 1986-06-03 | Kollmorgen Technologies Corporation | Technique for measuring very small spacings |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP61167650A patent/JPS6324115A/ja active Pending
-
1987
- 1987-02-27 US US07/020,080 patent/US4813782A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104977300A (zh) * | 2015-07-16 | 2015-10-14 | 成都光明光电有限责任公司 | 光学玻璃预制件的条纹检测装置及其检测方法 |
| CN104977300B (zh) * | 2015-07-16 | 2019-04-09 | 成都光明光电有限责任公司 | 光学玻璃预制件的条纹检测装置及其检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4813782A (en) | 1989-03-21 |
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