JPS63281284A - 浮上型磁気ヘッドの浮上量測定用ディスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ディスク型磁気記録再生装置に用いられる浮
上型磁気ヘッドの浮上量測定方法に用いられる浮上量測
定用ディスクに関するものである。

〔従来技術〕

ディスク型磁気記録薄生装置においては、この磁気記録
回生装置本体に装着されるディスクと、このディスクの
上面に対してｊｌｌｌｌ可能に配備される浮上型磁気ヘ
ッド（以下ヘッド）とを有して構成されており、上記デ
ィスクが回転駆動された時、このディスクの上面と、上
記ヘッドのスライド部との間に形成される空気ベアリン
グ層の作用によって、このヘッドがディスク上面に対し
て僅かに浮上し、このヘッドと上記ディスクとの間で情
報の伝達が行われる。

近年、上記ディスクの記録の高密度化に伴い、上記ヘッ
ドの低浮上量化が進んでいる。そこで、このヘッドの上
記ディスクの上面に対する低浮上量化を実現するために
低浮上量領域における上記ヘッドの浮上量及び浮上姿勢
を正確に測定することが必要不可欠となっている。

上記ヘッドの浮上量測定方法としては、例えば光干渉を
利用する方法が広く知られている。

これは、光に対する透過性を有する、例えばガラスによ
って形成された浮上１ｉ！Ｉ定用デイスクを用い、この
浮上ＩＩＳ定用ディスクを回転駆動することにより前記
ヘッドを浮上させ、このヘッドのスライド部と上記浮上
量測定用ディスクとに光を照射した時に生ずる干渉縞が
この浮上量測定用ディスクとヘッドとの間の距離、即ち
浮上量により変化する性質を利用するものである。

即ち、第２図において、光源ｌより発っせられた光が、
例えば干渉フィルタ３により単色化され、ビームスプリ
ッタ４を介してガラスからなる浮上量測定用ディスク５
の上面で浮上するヘッド６のスライド部６．に照射され
る。このスライド部６、で反射された光と、上記浮上量
測定用ディスク５の上面で反射された光とが干渉して、
スライド部６１と浮上量測定用ディスク５の上面との間
の距離に対応した干渉光（干渉縞）■Ｌが生じる。

そして、この干渉光ＩＬは、上記ビームスプリンタ４を
通過した状態で観測、測定される。

尚、同図において、２及び７は集光、結像用のレンズ系
である。

上記干渉光ＩＬにおいては、スライド部６．と浮上量測
定用ディスク５の上面との間の距離、即ち浮上量をｄ、
また、照射された単色光の波長をズとすると、例えば干
渉光ＩＬの最小強度、即ち暗線が生ずるのは ｄ＝ｎ−λ／２　　　（ｎ＝０．１，２．　・＝）−■
が満足される時であり 干渉光ＩＬの最大強度、即ち明線が生ずるのはｄ＝　（
２ｎ＋１）　λ／４　　（ｎ＝ｏ、１，２．−）・・・
■ が満足される時である。

従って、上記■、■式を用いることにより、暗線或いは
明線の位置における上記浮上量測定用ディスク５の上面
に対するへ７ド６の浮上ｉ１ｄを求めることができる。

更に上記浮上ｌｉｄの精度を上げるために、以下に示す
方法が知られている。

ここで、第３図は多重反射干渉により求められた干渉光
強度と、前記浮上量ｄ、波長λとの関係を表す理論曲線
図である。

即ち、前記干渉光ＩＬの強度分布を測定し、上記第３図
における理論曲線と比較対象することにより、前記スラ
イド部６１の任意の点での前記浮上量測定用ディスク５
の上面に対する浮上ｉ１ｄを求めることができる。

また、上記スライド部６．の面内における各点の浮上量
ｄを求めることにより、ヘンドロの上記浮上量測定用デ
ィスク５の上面に対する浮上姿勢を知ることができる。

上記したようにして浮上量測定用ディスク５の上面に対
するヘンドロの浮上量及び浮上姿勢が求められる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記ディスク型磁気記録再生装置においては、上述の如
く、浮上量測定用ディスク５の停止時に、ヘンドロのス
ライド部６．が浮上量測定用ディスク５の上面と接触し
、この浮上量測定用ディスク５が回転すると共に浮上す
る、いわゆるコンタクト・スタート・ストップ（Ｃ３Ｓ
）方式が一般的に採用されているため、浮上量測定用デ
ィスク５が回転し、この浮上量測定用ディスク５の上面
と、ヘッド６のスライド部６１との間に形成される空気
ベアリング層め作用によって上記ヘッドが完全に浮上す
るまでの間、この・＼ラド６のスライド部６．が上記浮
上量測定用ディスク５の上面を摺動する状態が発生する
。

特に、上記従来の浮上量測定用ディスク５においては、
自己潤滑性の極めて乏しいガラスを材料として用いられ
ているため、上記摺動時には、この浮上量測定用ディス
ク５の上面と、ヘッド６のスライド部６１との間に極め
て大きな摩擦力が発生する。

その結果、上記浮上量測定用ディスク５の上面やヘッド
６のスライド部６．に損傷を与えるという問題点があっ
た。

そこで、本発明は、上記事情に鑑みて創案されたもので
あり、浮上量測定用ディスクの上面に対するヘッドの浮
上量の測定を行う場合に、ヘッドのスライド部や浮上量
測定用ディスクの上面に損傷を与えることのない浮上量
測定用ディスクの提供を目的とするものである。

〔発明の構成〕

上記目的を達成するために、本発明が採用する主たる手
段は、その要旨とするところが、回転するディスクの上
面及びこのディスク上面に対して離接可能に配備される
ヘッドのスライド部に向かって光を照射し、反射する上
記光の干渉により生ずる干渉縞の状態からディスク上面
とヘッドのスライド部との距離を測定するヘッドの浮上
量測定方法に用いられるディスクにおいて、上記ディス
クの上面に、自己潤滑層を形成してなる点に係る浮上量
測定用ディスクである。

〔作用〕

上記したようにして本発明に係る浮上量測定用ディスク
は構成されているため、この浮上量測定用ディスクの上
面にヘッドのスライド部が摺接しても、このスライド部
と浮上量測定用ディスクの上面との間には大きな摩擦力
は作用しない。

〔実施例〕

以下、添付図面を参照して本発明を具体化した実施例に
付き説明し、本発明の理解に供する。

なお、以下の実施例は本発明を具体化した一例であって
、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。

ここに第１図は本発明の一実施例に係る浮上量測定用デ
ィスクの側断面図である。

この実施例に係る浮上量測定用ディスク８は、同図に示
す如く、ガラスからなるディスク本体９の上面に、自己
潤滑効果の極めて高い、例えば炭素膜からなる自己潤滑
層ｌＯを形成することにより構成されている。

上記自己潤滑層ｌＯは、炭素膜をスパッタリングでディ
スク本体９の上面にコーティングすることにより形成さ
れている。

上記したようにして浮上量測定用ディスク８は構成され
ているため、この浮上量測定用ディスク８を使用してヘ
ッドの浮上量の測定を行った場合には、浮上量測定用デ
ィスク８の回転開始時及び停止時において、ヘッド６の
スライド部６．（第２図参照）がこの浮上量測定用ディ
スク８の上面に摺接しても、浮上量測定用ディスク８は
滑らかに回転することができ、この浮上量測定用ディス
ク８の上面や上記ヘッド６のスライド部６１には損傷は
生じないのである。

なお、この場合、前記第３図に示したヘッドの浮上量を
求めるための干渉光強度の理論曲線は、上記自己潤滑層
１０内における光の反射、干渉成分をも考慮したものが
用いられる。

また、上記したようにして構成される浮上量測定用ディ
スク８は、上述の浮上量測定用ディスク８の回転開始時
及び停止時において、ヘッド６のスライド部６．や浮上
量測定用ディスク８の上面への損傷を防止するのみなら
ず、極低浮上時の外的要因等に基づいて上記へ７ド６の
スライド部６゜と浮上量測定用ディスク８の上面とが接
触した場合にも、このスライド部６．や浮上量測定用デ
ィスク８の上面への損傷を防止することができる。

〔発明の効果〕

本発明は、上記したように、回転するディスクの上面及
びこのディスク上面に対して離接可能に配備される浮上
型磁気へラドのスライド部に向かって光を照射し、反射
する上記光の干渉により生ずる干渉縞の状態からディス
ク上面と浮上型磁気ヘッドのスライド部との距離を測定
する浮上型磁気へラドの浮上量測定方法に用いられるデ
ィスクにおいて、上記ディスクの上面に、自己１ｆＩｅ
層を形成してなることを特徴とする浮上型磁気ヘッドの
浮上量測定用ディスクであるから、上記浮上量測定用デ
ィスクの上面にヘッドのスライド部が摺接しても、上記
スライド部や浮上量測定用ディスクの上面には損傷は生
じない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る浮上量測定用ディスク
の側断面図、第２図はディスク型磁気記録再生装置のヘ
ッドの浮上量の測定方法が実施される場合の光学系を表
す模式図、第３図は上記ヘッドの浮上量に対する干渉光
強度変化を表す理論曲線図である。 〔符号の説明〕 ６・・・ヘッド ６、・・・スライド部 ８・・・浮上量測定用ディスク ９・・・ディスク本体 ｌＯ・・・自己ｉ′１１涜層 ＩＬ・・・干渉光。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転するディスクの上面及びこのディスク上面に
   対して離接可能に配備される浮上型磁気ヘッドのスライ
   ド部に向かって光を照射し、反射する上記光の干渉によ
   り生ずる干渉縞の状態からディスク上面と浮上型磁気ヘ
   ッドのスライド部との距離を測定する浮上型磁気ヘッド
   の浮上量測定方法に用いられるディスクにおいて、上記
   ディスクの上面に、自己潤滑層を形成してなることを特
   徴とする浮上型磁気ヘッドの浮上量測定用ディスク。
2. （２）上記自己潤滑層が炭素膜からなる特許請求の範囲
   第１項記載の浮上量測定用ディスク。