JPS62195508A - 微小隙間測定装置 - Google Patents
微小隙間測定装置Info
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- JPS62195508A JPS62195508A JP3951186A JP3951186A JPS62195508A JP S62195508 A JPS62195508 A JP S62195508A JP 3951186 A JP3951186 A JP 3951186A JP 3951186 A JP3951186 A JP 3951186A JP S62195508 A JPS62195508 A JP S62195508A
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- Japan
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- head
- magnetic disk
- minute clearance
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- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract 3
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims abstract 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 16
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、実使用状態と等しい条件下で、フレキシブル
磁気ディスクと磁気ヘッドの微小隙間を連続的に測定す
る微小隙間測定装置の改良に関する。
磁気ディスクと磁気ヘッドの微小隙間を連続的に測定す
る微小隙間測定装置の改良に関する。
磁気ディスク装置においては、磁気ヘッドと磁気ディス
クとの隙間の変動は、電磁変換特性に大きな影箒を与え
る。フレキシブル磁気ディスク装置ではディスクの表面
粗さ、うねシ、磁気ヘッドの振動などの要因で磁気ヘッ
ドとフレキシブル磁気ディスクの間に微小な隙間が生じ
る場合がある。
クとの隙間の変動は、電磁変換特性に大きな影箒を与え
る。フレキシブル磁気ディスク装置ではディスクの表面
粗さ、うねシ、磁気ヘッドの振動などの要因で磁気ヘッ
ドとフレキシブル磁気ディスクの間に微小な隙間が生じ
る場合がある。
一方磁気ディスクの高密度化に伴って磁気ヘッドと磁気
ディスクの隙間は０．１μＦ１％以Ｆで安定に走行させ
なけれはならず、この隙ｉｌ＆ｉを高精度に且つ連続的
に測定する必要がある。このような微小〉李 隙間を測定する方法として、光の干渉による干働縞をｖ
Ｍ、測する糊知の方法の応用がある。即ちフレキシブル
磁気ディスク装置において、その磁気へラドをそれとほ
ぼ同大の透光性材料からなる光学的ヘッドとツ、きかえ
た状態でフレキシブル磁気ティスフ装ｅを駆動する。磁
気ディスク装置は磁気ヘッド材質以外は正ち使用状態と
変るところがないので、これを駆動しながらフレキシブ
ル磁気ディスクと光学的ヘッドの隙間の変動状態が連続
親１測できる。フレキシブル磁気ディスク表面は平滑で
充分に光を反射するから、光の干渉による曲：定が可能
となるわけである。この装置を微小隙間測定装置と呼ぶ
。第２図は前記による微小隙間測定装置のうち、光学的
ヘッドの部分を示したもので、それ以外の部分は同類の
フレキシブル磁気ディスク装置と同じであるから省略し
である。光学的ヘッド（以後これを微小隙ｒｇｔＪ＃Ｊ
定用ヘッドと呼ぶ）４をフレキシブル磁気ディスク６に
近接配置し１、その上方から波長λの入射光２を微小隙
間１ｌＩＪ定用ヘツド４を通してフレキシブル磁気ディ
スク表面６ａに照射する。該ヘッド４の下面４ａと磁気
ディスク表面６ａでそれぞれ反射した反射光２ａ。
ディスクの隙間は０．１μＦ１％以Ｆで安定に走行させ
なけれはならず、この隙ｉｌ＆ｉを高精度に且つ連続的
に測定する必要がある。このような微小〉李 隙間を測定する方法として、光の干渉による干働縞をｖ
Ｍ、測する糊知の方法の応用がある。即ちフレキシブル
磁気ディスク装置において、その磁気へラドをそれとほ
ぼ同大の透光性材料からなる光学的ヘッドとツ、きかえ
た状態でフレキシブル磁気ティスフ装ｅを駆動する。磁
気ディスク装置は磁気ヘッド材質以外は正ち使用状態と
変るところがないので、これを駆動しながらフレキシブ
ル磁気ディスクと光学的ヘッドの隙間の変動状態が連続
親１測できる。フレキシブル磁気ディスク表面は平滑で
充分に光を反射するから、光の干渉による曲：定が可能
となるわけである。この装置を微小隙間測定装置と呼ぶ
。第２図は前記による微小隙間測定装置のうち、光学的
ヘッドの部分を示したもので、それ以外の部分は同類の
フレキシブル磁気ディスク装置と同じであるから省略し
である。光学的ヘッド（以後これを微小隙ｒｇｔＪ＃Ｊ
定用ヘッドと呼ぶ）４をフレキシブル磁気ディスク６に
近接配置し１、その上方から波長λの入射光２を微小隙
間１ｌＩＪ定用ヘツド４を通してフレキシブル磁気ディ
スク表面６ａに照射する。該ヘッド４の下面４ａと磁気
ディスク表面６ａでそれぞれ反射した反射光２ａ。
２ｂは互に干渉して、両者の距１１１１ｄが明線となる
ような干渉縞を作る。ただしｎは干渉次数である。この
干渉縞をＹｔａｌｌＯＬながらこの装置を駆動すること
によつ°Ｃ両者の距離ｄを高精度且つ連続的に測定でき
る。しかし微小隙間測定用ヘッド４の下面４ａとフレキ
シブル磁気ディスク表面６ａの反射率が大危く異なると
鮮明な干渉縞が観測できず、測定精度が悪くなるという
欠点があった。
ような干渉縞を作る。ただしｎは干渉次数である。この
干渉縞をＹｔａｌｌＯＬながらこの装置を駆動すること
によつ°Ｃ両者の距離ｄを高精度且つ連続的に測定でき
る。しかし微小隙間測定用ヘッド４の下面４ａとフレキ
シブル磁気ディスク表面６ａの反射率が大危く異なると
鮮明な干渉縞が観測できず、測定精度が悪くなるという
欠点があった。
この発明はＥ記従来の微小隙間測定装置が持っていた、
微小隙間測定用ヘッド下面とフレキシブル磁気ディスク
表面の反射率の相違によシ生ずる干渉縞の不鮮明さとい
う欠点を解決し、種々の反射率の磁気ディスクに対して
よシ精密な測定が可能な微小隙間測定装置を提供するこ
とを目的とする。
微小隙間測定用ヘッド下面とフレキシブル磁気ディスク
表面の反射率の相違によシ生ずる干渉縞の不鮮明さとい
う欠点を解決し、種々の反射率の磁気ディスクに対して
よシ精密な測定が可能な微小隙間測定装置を提供するこ
とを目的とする。
ここで反射率の相違による反射光の強度と干渉縞の鮮明
さの間係を述べる。今微小隙間測定用ヘッドの下面で反
射した光の強度を１１、フレキシブル磁気ディスク表面
で反射した光の強度’ｅｈとすると、この二面間の干渉
光強度の極大値Ｒｍａｘ、及び砥小値Ｒｍｉｎは次式で
表わされる。
さの間係を述べる。今微小隙間測定用ヘッドの下面で反
射した光の強度を１１、フレキシブル磁気ディスク表面
で反射した光の強度’ｅｈとすると、この二面間の干渉
光強度の極大値Ｒｍａｘ、及び砥小値Ｒｍｉｎは次式で
表わされる。
Ｒｍａｘ ＝ Ｉ ｔ ＋ Ｉ ２ ＋ ２ 、Ｗ■ｔ
となシ、１１＝Ｉ２ 即ち両反射光強度が等しい時に干
渉縞は最も鮮明になる。本装置において社、測定用ヘッ
ド下面での反射光強度が弱＜Ｉｔ＜Ｉ２のため干渉縞は
不鮮明であった。そこで測定用ヘッド下面にフッ化マグ
ネジリムの反射膜を蒸着して両反射光強度をほぼ等しく
した結果、鮮明な干渉縞が得られ測定精度が向−ヒした
。
となシ、１１＝Ｉ２ 即ち両反射光強度が等しい時に干
渉縞は最も鮮明になる。本装置において社、測定用ヘッ
ド下面での反射光強度が弱＜Ｉｔ＜Ｉ２のため干渉縞は
不鮮明であった。そこで測定用ヘッド下面にフッ化マグ
ネジリムの反射膜を蒸着して両反射光強度をほぼ等しく
した結果、鮮明な干渉縞が得られ測定精度が向−ヒした
。
本発明の実施例を第１図に示す。光源１からの入射光２
はビームスプリッタ３で反射し透光性の微小隙間測定用
ヘッド４を通ってフレキシブル磁気ディスク６の表面６
ａを照射する。８は微小隙間測定用ヘッドをその先端に
取付けた可動基台、９は固定基台でこれらの構成は周知
のフレキシブル磁気ディスク装置と同じであるから簡略
化し、又フレキシブル磁気ディスクをその面内で回転さ
せるモータや該ヘッドを移動させる＠構は省略している
。微小１１ｔｌＪ測定用ヘツド４の下面には光線２０反
射光線２ａの強度を増すためフッ化マグネジリムの反射
膜５を蒸着した。蒸着膜厚は５ｎｍ〜２０ｎｍの間で５
ｎｍごとに４櫨類作った。これはフレキシブル磁気ディ
スク表面の反射率が種類やロットによってちがうため、
最も干渉縞が明瞭に見えるものを選ぶことができるため
である。
はビームスプリッタ３で反射し透光性の微小隙間測定用
ヘッド４を通ってフレキシブル磁気ディスク６の表面６
ａを照射する。８は微小隙間測定用ヘッドをその先端に
取付けた可動基台、９は固定基台でこれらの構成は周知
のフレキシブル磁気ディスク装置と同じであるから簡略
化し、又フレキシブル磁気ディスクをその面内で回転さ
せるモータや該ヘッドを移動させる＠構は省略している
。微小１１ｔｌＪ測定用ヘツド４の下面には光線２０反
射光線２ａの強度を増すためフッ化マグネジリムの反射
膜５を蒸着した。蒸着膜厚は５ｎｍ〜２０ｎｍの間で５
ｎｍごとに４櫨類作った。これはフレキシブル磁気ディ
スク表面の反射率が種類やロットによってちがうため、
最も干渉縞が明瞭に見えるものを選ぶことができるため
である。
−例としてフレキシブル磁気ディスク面の反射率を６０
％とする。微小隙間測定用ヘッド４の下面及び反射膜５
による光の吸収はないものとすると、測定用ヘッド下面
に約３０％の反射率を有する反射膜を設けると最も干渉
性がよくなり測定精度が向とする。
％とする。微小隙間測定用ヘッド４の下面及び反射膜５
による光の吸収はないものとすると、測定用ヘッド下面
に約３０％の反射率を有する反射膜を設けると最も干渉
性がよくなり測定精度が向とする。
このように構成して、磁気ディスクをその面内で回転さ
せながら測定用ヘッドを磁気ディスクの旧篠に沿って移
−りさせ顕微鏡７で１＝１１することによって連続的に
測定することができた。
せながら測定用ヘッドを磁気ディスクの旧篠に沿って移
−りさせ顕微鏡７で１＝１１することによって連続的に
測定することができた。
〔発明−手轡の効果］
以上説明したように、微小隙間測定用ヘッド下面に反射
膜を設けることによシ、微小隙間測定用ヘッド下面と、
フレキシブル磁気ディスク表面の両度射光の干渉性を向
上させて干渉縞ヲ岬明ｅこ鋺測することがでさ、微小隙
間測定用ヘッド下面とフレキシブル磁気ディスク表面間
の微小隙［ｒａｌｌｌｆ度よく測定することができた。
膜を設けることによシ、微小隙間測定用ヘッド下面と、
フレキシブル磁気ディスク表面の両度射光の干渉性を向
上させて干渉縞ヲ岬明ｅこ鋺測することがでさ、微小隙
間測定用ヘッド下面とフレキシブル磁気ディスク表面間
の微小隙［ｒａｌｌｌｆ度よく測定することができた。
尚反射膜の反射率の範囲は被測定面の反射率によって異
なるが、肢測定フレキシブル磁気ディスクがメタルフロ
ッピーディスクの場合で２０％〜３０％が望ましい。
なるが、肢測定フレキシブル磁気ディスクがメタルフロ
ッピーディスクの場合で２０％〜３０％が望ましい。
第１図は本発明の実施例の部分断面図。
第２図は従来の微小隙間測定装置のうち微小隙間測定用
ヘッドとフレキシブル磁気ディスク部分の光線進路説明
図でちる。 １・・・光源 ３・・・ビームスプリッタ ４・・
・微小隙間測定ヘッド ５・・・反射ＩＸ ６・・
・フレキシブル磁気ディスク ７・・・顕微鏡 訃
・・可動基台 ９・・・固定基台
ヘッドとフレキシブル磁気ディスク部分の光線進路説明
図でちる。 １・・・光源 ３・・・ビームスプリッタ ４・・
・微小隙間測定ヘッド ５・・・反射ＩＸ ６・・
・フレキシブル磁気ディスク ７・・・顕微鏡 訃
・・可動基台 ９・・・固定基台
Claims (1)
- （１）面内で回転連動しているフレキシブル磁気ディス
クに、透光性材料からなる微小隙間測定用ヘッドを近接
配置し、微小隙間測定用ヘッドを介して磁気ディスク面
に光を照射し、磁気ディスク面と該ヘッド下面の反射光
の干渉を利用して両面間の微小隙間を連続的に測定する
装置において、該微小隙間測定用ヘッドの下面にフッ化
マグネシウムの反射膜を設けたことを特徴とする微小隙
間測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3951186A JPS62195508A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | 微小隙間測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3951186A JPS62195508A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | 微小隙間測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62195508A true JPS62195508A (ja) | 1987-08-28 |
Family
ID=12555062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3951186A Pending JPS62195508A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | 微小隙間測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62195508A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350707A (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-03 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘツドスライダ−の浮上量測定方法 |
-
1986
- 1986-02-24 JP JP3951186A patent/JPS62195508A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350707A (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-03 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘツドスライダ−の浮上量測定方法 |
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