JPS6350707A - 磁気ヘツドスライダ−の浮上量測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は磁気ディスク装置の磁気ヘッドスライダ−の浮
上量を測定する方法であって、スライダーを透明又は半
透明の材料で成形するとともに、スライダーの底面に金
属化合膜を形成し、スライダーを介して磁気ディスク装
置に実用される記録媒体の上面に光を照射し、スライダ
ー底面と記録媒体上面より反射される反射光の干渉縞を
利用してスライダーの浮上量を測定するように構成し、
高精度の浮上量の測定を可能とする。

〔産業上の利用分野〕

本発明は磁気ディスク装置の磁気ヘッドスライダ−の浮
上量測定方法に関し、特に実際に使用される磁気記録媒
体を用い、スライダーの浮上量を高精度で測定すること
が出来るようにした磁気へノドスライダーの浮上量測定
方法に関するものである。

磁気ヘッドスライダ−は磁気ディスク装置の大容量と高
密度化によりますます低浮上化しており、そのためによ
り精度の高い浮上量測定方法が必要とされている。

〔従来の技術〕

第２図は従来の磁気ヘッドスライダ−の浮上量測定方法
を説明するための図、第３図ｔａｇ、　（ｂ）はスライ
ダと測定用ディスクからの反射光を説明するための図で
ある。

第２図において、従来の浮上量測定方法においては、ガ
ラス等の透明材で形成された測定用のディスク１と、装
置に実際に使用しているスライダー２とを用いている。

また、浮上量を測定するための光学系は、光源３と、レ
ンズ４と、フィルタ５と、ハーフミラ−６と、干渉光量
測定器７および集光レンズ８を用い、該光学系よりの光
を透明材の試験用ディスク１を介して実用スライダー２
に照射し、該スライダからの反射光によって発生する干
渉縞を利用して浮上量を測定するようにしている。

実用スライダー２は、測定用ディスク１上に載置されて
おり、ディスク１が一定方向に高速回転すると、ディス
ク１面上に発生する空気流によって浮上する。

この浮上量の測定は光学系によって行なう。すなわち、
光源３より光を出力し、その光をレンズ４で平行光と、
フィルタ５で所定の波長の光に選別した後、ハーフミラ
−６で９０°偏向し、集光レンズ８を介して透明な測定
用ディスク１を通し、実用スライダー２の底面Ａに焦点
を合わせて照射する。

スライダー２の底面とディスク１よりの反射光は、集光
レンズ８およびハーフミラ−６を介して干渉光量測定器
７で検知される。

干渉光量測定器７で検知される実用スライダー２の底面
と計測用ディスク１よりの反射、光は、第３図（ａ）、
に示すように、両者の間隔（浮上量）ΔＷに応してドプ
ラー効果による干渉を行ない、第３図山）に示すように
、実線のディスク反則光より点線のスライダー反射光の
位相がΔＴだけ遅延する。この位相差を持った両反射波
を干渉光量測定器７で検知して標示することによって位
相差に対応した干渉光♀出力が得られる。この干渉光量
によって浮上量を測定する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記、従来の磁気ヘッドスライダ−の浮上量測定方法に
おいては、実際に使用されている記録媒体に代わってガ
ラス材等のディスクを用いているため、スライダーの浮
上量が小さい場合は、実際の記録媒体を用いた浮上量と
異なる値となり、その測定値が採用出来ないといった問
題がある。

本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、装置
に実際に使用される記録媒体を用いてスライダーの浮上
量を高精度で測定することが出来る磁気ヘッドスライダ
−の浮上量測定方法を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

回転する磁気記録媒体上に浮上可能な磁気ヘッドのスラ
イダーを透明又は半透明の材料で成形するとともに、ス
ライダーの底面に金属化合膜を形成し、記録媒体の上方
から前記スライダーを介して該記録媒体の上面に光を照
射し、前記スライダ底面の金属化合膜と前記記録媒体の
上面よりそれぞれ反射される光を検知し、それら反射光
の干渉縞を利用して前記記録媒体面よりの前記スライダ
ーの浮上量を測定する構成としている。

〔作用〕

装置に実際に使用される記録媒体を用いることによって
スライダーの浮上量は装置に実装した時の浮上量と同一
量としている。

また、スライダーの底面に金属化合膜を形成することに
より、透明又は半透明材で成形されたスライダーの底面
の反射率を高くし、スライダーよりの反射光量を多くし
て記録媒体よりの反射光量に近づけ、干渉縞を鮮明にし
て測定精度を高くしている。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例の磁気スライダーの浮上量測
定方法を説明するための図であり、第１図と前記第２図
の同一部位は同一符号をもって示している。

第１図に示すように、磁気ディスク装置に実際に使用し
ている記録媒体１１と、石英、ガラス等で作られた透明
又は半透明の材料で作られ、且つその底面に金属化合膜
１０が形成された測定用のスライダー９を配置する。

また、浮上量を測定する光学系は、光源３と、レンズ４
と、フィルタ５と、ハーフミラ−６と、干渉光量測定器
７および集光レンズ８をスライダ９、記録媒体１１の上
方に配置し、その上方位置から光を透明または半透明の
スライダー９を介して記録媒体１１の上面に照射し、か
つそれらからの反射光によって発生する干渉縞を利用し
て浮上量を測定するようにしている。

１ｆｆＪ定用スライダー９は、記録媒体８の上面に載置
されており、実用記録媒体１１が一定方向に高速回転す
ると、記録媒体１１面上に発生する空気流によって浮上
する。

なお、このスライダー９は、磁気ディスク装置に実装し
ているスライダーと形状等を全く同一に成形されている
ため、記録媒体１１上での浮上量はディスク装置の動作
時の浮上量と同一となる。

いま、石英、ガラス等の透明または半透明の材料で作ら
れた測定用スライダーを記録媒体１１上に浮上させ光学
的に浮上量を測定した場合、スライダーの反射率が３％
程度と低く、干渉に寄与する光量がわずかであり、反対
に記録媒体１１よりの反射率が２０〜４０％と高いこと
によって反射量が多（なり、両者の反射量の割合がわる
くなって鮮明な干渉光量が得られない。

そこで、測定用スライダー９の反射率を実用記録媒体１
１の反射率と、はぼ同程度とする必要があり、本実施例
では、スライダー９の底面にα型酸化鉄（α−Ｆｅ２０
３）の金属化合膜１０を形成することにより第１表に示
す反射率のデータを得ている。

いま、例えば、記録媒体１１の反射率が２５％である場
合、必要とされるスライダー９の反射係数Ｘは次式から
求めることができる。

Ｘ＝　（１−Ｘ）　０．２５　　・・・・・・・（１）
（１）式よりＸ＝０．２となり、つまり、スライダーの
反射率は２０％あれば十分であることになる。

そこで、記録媒体１１の反射率を２５％とした場合、第
１表より、α−Ｆｅ２０３の厚さは約４００人あれば十
分である０以上の要領によって、実用記録媒体１１と測
定用スライダー９との反射光量をほぼ同程度とし、鮮明
な干渉光量を得て高精度の浮上量測定を行う。

第１表 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、磁気ディスク装置
で実際に使用している記録媒体を用いることによって実
装状態の浮上量が得られ、また、透明または半透明のス
ライダーの底面に金属化合膜を形成し、スライダーの底
面と記録媒体面よりの反射光量をほぼ同程度とすること
によって鮮明な干渉光量が得られ、高精度の浮上量測定
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気スライダーの浮上量測
定方法を説明するための図、 第２図は従来の磁気スライダーの浮上量測定方法を説明
するための図、 第３図（ａｌ、　（ｂｌは第２図のスライダーと測定用
ディスクからの反射光を説明するための図である。 図において、ｌは測定用ディスク、２は実用スライダー
、３は光源、４はレンズ、５はフィルタ、６はハーフミ
ラ−１７は干渉光量測定器、８は集光レンズ、９は１ｌ
ｌｔｌ定用スライダー、１０は金属化合膜、１１は実用
記録媒体を示している。 縞明鼾支施σ１；オ明凹 第１図 ６５表４ズライタジｑ上量９１淀訝明の第２図 反身ｆ乏を才萌ＴＥＡ〜コ 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回転する磁気記録媒体（１１）上に浮上可能な磁気ヘッ
   ドのスライダー（９）を透明又は半透明の材料で成形す
   るとともに、前記スライダーの底面に金属化合膜（１０
   ）を形成し、前記記録媒体（１１）の上方から前記スラ
   イダー（９）を介して該記録媒体（１１）の上面に光を
   照射し、前記スライダー底面の金属化合膜（１０）と前
   記記録媒体（１１）の上面よりそれぞれ反射される光を
   検知し、それら反射光の干渉縞を利用して前記記録媒体
   面よりの前記スライダーの浮上量を測定するようにした
   ことを特徴とする磁気ヘッドスライダーの浮上量測定方
   法。