JPS6371608A - 偏心測定装置 - Google Patents
偏心測定装置Info
- Publication number
- JPS6371608A JPS6371608A JP21541986A JP21541986A JPS6371608A JP S6371608 A JPS6371608 A JP S6371608A JP 21541986 A JP21541986 A JP 21541986A JP 21541986 A JP21541986 A JP 21541986A JP S6371608 A JPS6371608 A JP S6371608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- eccentricity
- objective
- objective lens
- track
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明け、レーザー等の光を微小径のヌポットに絞り、
情報を記録再生するどきに用いる光学式記録媒体の偏心
量を測定する装置ｔＫ関する。
情報を記録再生するどきに用いる光学式記録媒体の偏心
量を測定する装置ｔＫ関する。
従来の偏心測定装置の概略図を第４図に示す。
１けＨｅ−Ｈｅレーザー等の光源−２Ｆｉ反射ミラーで
３け光線を３分割するミラーで、３α面で反射し次光線
αけ後述の偏心測定用に、３ｂｃＷで反射した光ｍｂけ
後述のフォーカス誤差信号検出用だ３を透過し次光線Ｃ
け後述のトラック誤差信号検出用にそれぞれ用いる。光
線すは反射ミラー５．６通過し１反射ミラー９の９ｂ［
で反射され、対物レンズ１０へ入射する。１１は対物レ
ンズ駆動装置で、公知のフォーカスサーボによって対物
レンズ１０を駆動する。光学式記録媒体１２で反射しλ 次光は、！！！び対物レンズ１０１反射ミラー９、−板
８を通りビームスプリッタ７で光路分離され。
３け光線を３分割するミラーで、３α面で反射し次光線
αけ後述の偏心測定用に、３ｂｃＷで反射した光ｍｂけ
後述のフォーカス誤差信号検出用だ３を透過し次光線Ｃ
け後述のトラック誤差信号検出用にそれぞれ用いる。光
線すは反射ミラー５．６通過し１反射ミラー９の９ｂ［
で反射され、対物レンズ１０へ入射する。１１は対物レ
ンズ駆動装置で、公知のフォーカスサーボによって対物
レンズ１０を駆動する。光学式記録媒体１２で反射しλ 次光は、！！！び対物レンズ１０１反射ミラー９、−板
８を通りビームスプリッタ７で光路分離され。
反射ミラー１３で反射され、２分割光検出器１４に入射
する。この光検出器の差信号をとることにより、フォー
カス誤差信号ｂ１得られる。
する。この光検出器の差信号をとることにより、フォー
カス誤差信号ｂ１得られる。
一方、光線ａＦｉ反躬ミラー４で反射されビームλ
スプリνり７．−板８、反射ミラー？、対物レンズ１０
を通過し、光学式記録媒体１２に入射する。
を通過し、光学式記録媒体１２に入射する。
記録媒体１２上のトラックで回折され次光は、呵び１０
，９．８を通り、７で光路分離されて、トラツク誤差信
号検出用２分割光検出器１５に入射する。そして、この
誤差信号に応じてミ躬ミラー９を回転させ、光線Ｃを記
録媒体１２上のトラックに追従させる。
，９．８を通り、７で光路分離されて、トラツク誤差信
号検出用２分割光検出器１５に入射する。そして、この
誤差信号に応じてミ躬ミラー９を回転させ、光線Ｃを記
録媒体１２上のトラックに追従させる。
光線αけ、反射ミラーｔ６，１７で反射され１回転する
反射ミラー９の９ａ而で反射され、位置センサ１８に入
射する。ミラー９けトラックの動鎗に追従しているので
、この動きを前述の位首センサでモニターすることによ
り、光学式記録媒体１２の偏心量を＃１定できる。
反射ミラー９の９ａ而で反射され、位置センサ１８に入
射する。ミラー９けトラックの動鎗に追従しているので
、この動きを前述の位首センサでモニターすることによ
り、光学式記録媒体１２の偏心量を＃１定できる。
しかし、前述の従来技術では、記録媒体の上下振れに供
い媒体面の傾きが生じ、この結果、反射光線が位置上フ
サ上で豐位し、測定誤差を生じる可能性がある。まｔ、
反射ミラー、ビームスプリッタ、位置センナ等の部品数
ｈ″−多く、設定が困難であり、しかも光学系の光路長
が長い之め、経時変化に弱いとい５問題点を有してい比
。そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、媒体面の傾−の影響を受けＫ
＜＜、構成が簡単な偏心測定装置を提供することにある
。
い媒体面の傾きが生じ、この結果、反射光線が位置上フ
サ上で豐位し、測定誤差を生じる可能性がある。まｔ、
反射ミラー、ビームスプリッタ、位置センナ等の部品数
ｈ″−多く、設定が困難であり、しかも光学系の光路長
が長い之め、経時変化に弱いとい５問題点を有してい比
。そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、媒体面の傾−の影響を受けＫ
＜＜、構成が簡単な偏心測定装置を提供することにある
。
本発明の偏心測定装置は、情報を光学式記録媒体に記録
再生するときに用いる光学ピックアップのトラックサー
ボ時の対物レンズの動きを非接触式変位計でモニターし
、この対物レンズの動きから、光学式記録媒体の偏心量
を測定することを特徴とする。
再生するときに用いる光学ピックアップのトラックサー
ボ時の対物レンズの動きを非接触式変位計でモニターし
、この対物レンズの動きから、光学式記録媒体の偏心量
を測定することを特徴とする。
本発明の上記の１ｓ成によれば、トラックサーボにより
、対物レンズＩ！Ｉ！−光学式記録媒体上のトラックに
追従しているので、媒体上のトラックの偏心量と対物レ
ンズの変位量ｈｔ等しくなり、この対物レンズの動きを
非接触式変位計でモニターすることにより、間接的に記
録媒体の偏心量を測定できる。
、対物レンズＩ！Ｉ！−光学式記録媒体上のトラックに
追従しているので、媒体上のトラックの偏心量と対物レ
ンズの変位量ｈｔ等しくなり、この対物レンズの動きを
非接触式変位計でモニターすることにより、間接的に記
録媒体の偏心量を測定できる。
第１図に本発明に用いる光学ピックアップの概略図を示
す、２１け半導体レーザー等の光源、２２け集光レンズ
であり、発散する半導体レーザーの光を略平行光にする
。２３け入射ビームの断面形状を賓換し、略円形のビー
ム動画を有する光を出射するビーム整形プリズムである
。２４けビームスプリッタ、２５け全反射ミラー、２６
け対物レンズで、入射光を直径１μｍ程度の微小光に絞
り、光学式記録媒体１２上に照射する。２７け対物レン
ズホルダーで、２７α面バ一部が後述の変位測定の几め
に平らな鏝面になっている。２８は対物レンズ駆動装置
で、対物レンズ２６を公知のフォーカスサーボくよって
記録媒体１２に垂直方向に駆動し、また公知のトラック
サーボによって対物レンズ２６を記録媒体１２上の情報
トラックに直角方向に駆動するもので、駆動方法として
は、公知の電磁力を用いて行われる。記録媒体１２で反
射され九光は再び２６．２５を通り２４で光路変更され
、集光レンズ２９へ入射する。、３０けナイフエッヂミ
ラーで、２９を通過し之尤の半分を光検出器３１へ通過
させ、残り半分の光を光検出器３２へ反射する。光検出
器５１け％集光レンズ２９の焦点近傍に配置されてフォ
ーカス誤差信号を検出する。一方、光検出器３２は、フ
ァーフィールド法によりトラック誤差信号を検出する。
す、２１け半導体レーザー等の光源、２２け集光レンズ
であり、発散する半導体レーザーの光を略平行光にする
。２３け入射ビームの断面形状を賓換し、略円形のビー
ム動画を有する光を出射するビーム整形プリズムである
。２４けビームスプリッタ、２５け全反射ミラー、２６
け対物レンズで、入射光を直径１μｍ程度の微小光に絞
り、光学式記録媒体１２上に照射する。２７け対物レン
ズホルダーで、２７α面バ一部が後述の変位測定の几め
に平らな鏝面になっている。２８は対物レンズ駆動装置
で、対物レンズ２６を公知のフォーカスサーボくよって
記録媒体１２に垂直方向に駆動し、また公知のトラック
サーボによって対物レンズ２６を記録媒体１２上の情報
トラックに直角方向に駆動するもので、駆動方法として
は、公知の電磁力を用いて行われる。記録媒体１２で反
射され九光は再び２６．２５を通り２４で光路変更され
、集光レンズ２９へ入射する。、３０けナイフエッヂミ
ラーで、２９を通過し之尤の半分を光検出器３１へ通過
させ、残り半分の光を光検出器３２へ反射する。光検出
器５１け％集光レンズ２９の焦点近傍に配置されてフォ
ーカス誤差信号を検出する。一方、光検出器３２は、フ
ァーフィールド法によりトラック誤差信号を検出する。
これちの信号に基づいて対物レンズ２６をフォーカス方
向シよびトラック方向に駆動する。
向シよびトラック方向に駆動する。
３３け例えば、フォトニックセンサ等の反射型非接触式
変位計で、対物レンズホルダー２７の動剖をモニターす
る。３４は変位計ｓ３”ｂ−らの信号を増幅する増幅器
である。前述のように、対物レンズ２６けトラックサー
ボにより、記録媒体１２上の情報トラックに追従して移
動するので、この対物レンズ２乙の動作を非接触式変位
計３３でモニターすることにより、記録媒体１２の偏心
量を間接的に測定できる。しかも、通常トラックサーボ
の残留誤差は０．０５Ａｙｙｃ以下なので、非常に高精
質な計測が間部に行なえろことになる。また、３４から
の出力をＦ ＦＴ７ナライザに接続することにより、偏
心の周波数成分を求めることができる。
変位計で、対物レンズホルダー２７の動剖をモニターす
る。３４は変位計ｓ３”ｂ−らの信号を増幅する増幅器
である。前述のように、対物レンズ２６けトラックサー
ボにより、記録媒体１２上の情報トラックに追従して移
動するので、この対物レンズ２乙の動作を非接触式変位
計３３でモニターすることにより、記録媒体１２の偏心
量を間接的に測定できる。しかも、通常トラックサーボ
の残留誤差は０．０５Ａｙｙｃ以下なので、非常に高精
質な計測が間部に行なえろことになる。また、３４から
の出力をＦ ＦＴ７ナライザに接続することにより、偏
心の周波数成分を求めることができる。
なお、本実施例においては、対物レンズホルダー２７の
一部に平らな鏡面部を設けているｈ″−、サ−ボ動作に
影響を与えない容度の小さいミラーを対物レンズホルダ
ー２７に貼りけけて変位を測定することも可能である。
一部に平らな鏡面部を設けているｈ″−、サ−ボ動作に
影響を与えない容度の小さいミラーを対物レンズホルダ
ー２７に貼りけけて変位を測定することも可能である。
この場合、市販の光学ピックアップがほとんどそのまま
使えるので、測定装置の製作ｂ；非常に容易である。
使えるので、測定装置の製作ｂ；非常に容易である。
第２図に本発明の別の実施例の要部詳細図を示す。４１
けＨｅ −Ｎｇレーザー笛の光源、ａ２Ｆｉスリット、
４３け光線、４４は光検出器、４５け光検出器４４の出
力を増幅する増幅器である。スリット４２を通過した光
は対物レンズホルダー２７で一部逍光され残りの光が光
検出器４４へ入射する。対物レンズがトラックサーボ動
作で移動（図の矢印方向）するとき、光検出器４４に入
射する光量が変化し、この量から対物レンズの変位量、
すなわち配録媒体の偏心量を測定する゛ことができる。
けＨｅ −Ｎｇレーザー笛の光源、ａ２Ｆｉスリット、
４３け光線、４４は光検出器、４５け光検出器４４の出
力を増幅する増幅器である。スリット４２を通過した光
は対物レンズホルダー２７で一部逍光され残りの光が光
検出器４４へ入射する。対物レンズがトラックサーボ動
作で移動（図の矢印方向）するとき、光検出器４４に入
射する光量が変化し、この量から対物レンズの変位量、
すなわち配録媒体の偏心量を測定する゛ことができる。
第３図に、この測定装置で用いるスリットの形状を示す
。この例では、測定のダイナミックレンジを大きくとる
ために、変位方向に長辺を持つ矩形スリットを用いてい
る。
。この例では、測定のダイナミックレンジを大きくとる
ために、変位方向に長辺を持つ矩形スリットを用いてい
る。
以上述べたように本発明によれば、ｌｒｉ′！録謀体の
傾斜に対して影響されにくく、通常の光学ピックアップ
と同等のものを用いるので光学的設定も容易であり、経
時変化にも強い。また、測定精度がトラックサーボの誤
差と同じＱ、０５μｍ８度になるので他の方法に比べて
高精電である。
傾斜に対して影響されにくく、通常の光学ピックアップ
と同等のものを用いるので光学的設定も容易であり、経
時変化にも強い。また、測定精度がトラックサーボの誤
差と同じＱ、０５μｍ８度になるので他の方法に比べて
高精電である。
第１図は本発明の傷心測定装置の概略図、第２図は本発
明の別の実施例の要部詳細図、第３図は本発明で使用す
るスリットの平面図、第４図は従来の偏心測定装置の績
略図である。 １・・・・・・光源 ２−３−４−５−６−９−１３６１６−１７−−−−・
・ミラー７・・・・・・偏光ビームスプリッタ λ ８・・・・・・−板 １０■・…対物レンズ １４０１１１０．対物レンズ駆動装置 １２・・・・・・光学式配録媒体 １４・１５・・・・・・２分割光吟出器１８・・・・・
・位置センサ ２１・・・・・・光源 ２２・２９・・・・・・集光レンズ ２３・・・・・・ビーム整形グＪズム ２４・・・・・・ビームスプリッタ ２５・・・・・・全反射ミラー ２６・・・・・・対物レンズ ２７・・・…対物レンズホルダー ２８・・・・・・対物レンズ駆動装置 ３０中・・・１拳ナイフエッヂミラー ３１−３２・・・・・・２分割光呼出器３３・・・・・
・非接触式変位計 ５４・・・・・・増幅器 ４１・・・・・・光源 ４２ ・・・・・・ ス リ ッ ト４３・・
・・・・光線 ４４・・・・・・光検出器 ４５・・・・・・増幅器 以 上 第３図
明の別の実施例の要部詳細図、第３図は本発明で使用す
るスリットの平面図、第４図は従来の偏心測定装置の績
略図である。 １・・・・・・光源 ２−３−４−５−６−９−１３６１６−１７−−−−・
・ミラー７・・・・・・偏光ビームスプリッタ λ ８・・・・・・−板 １０■・…対物レンズ １４０１１１０．対物レンズ駆動装置 １２・・・・・・光学式配録媒体 １４・１５・・・・・・２分割光吟出器１８・・・・・
・位置センサ ２１・・・・・・光源 ２２・２９・・・・・・集光レンズ ２３・・・・・・ビーム整形グＪズム ２４・・・・・・ビームスプリッタ ２５・・・・・・全反射ミラー ２６・・・・・・対物レンズ ２７・・・…対物レンズホルダー ２８・・・・・・対物レンズ駆動装置 ３０中・・・１拳ナイフエッヂミラー ３１−３２・・・・・・２分割光呼出器３３・・・・・
・非接触式変位計 ５４・・・・・・増幅器 ４１・・・・・・光源 ４２ ・・・・・・ ス リ ッ ト４３・・
・・・・光線 ４４・・・・・・光検出器 ４５・・・・・・増幅器 以 上 第３図
Claims (1)
- 情報を光学式記録媒体に記録再生するときに用いる光学
ピックアップのトラックサーボ時の対物レンズの動きを
非接触式変位計でモニターし、前記対物レンズの動きか
ら、前記光学式記録媒体の偏心量を測定することを特徴
とする偏心測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21541986A JPS6371608A (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21541986A JPS6371608A (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 偏心測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6371608A true JPS6371608A (ja) | 1988-04-01 |
Family
ID=16672024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21541986A Pending JPS6371608A (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 偏心測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6371608A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0805439A1 (en) * | 1996-05-03 | 1997-11-05 | Eastman Kodak Company | Compensation for radial and vertical runout of an optical disc |
-
1986
- 1986-09-12 JP JP21541986A patent/JPS6371608A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0805439A1 (en) * | 1996-05-03 | 1997-11-05 | Eastman Kodak Company | Compensation for radial and vertical runout of an optical disc |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4850673A (en) | Optical scanning apparatus which detects scanning spot focus error | |
| JPS6332730A (ja) | 光記録担体用走査装置 | |
| NL192406C (nl) | Inrichting voor het detecteren van een focusseringsfoutsignaal voor een objectieflens bij het aftasten van een informatiedrager. | |
| JPH03272028A (ja) | ミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構 | |
| US4886362A (en) | Appratus for measuring the profile of an aspherical surface | |
| JPH0256604B2 (ja) | ||
| JPS6371608A (ja) | 偏心測定装置 | |
| US5327413A (en) | Ruggedized homogeneous thin dielectric film focus sensor | |
| JP2002503801A (ja) | 記録ヘッドの浮上量を決定する方法と装置 | |
| JPH0211084B2 (ja) | ||
| US20040196469A1 (en) | Optical profiler for ultra-smooth surface with normal incident beam deflection method | |
| JPS6071903A (ja) | 光ディスク検査装置 | |
| JPS63196807A (ja) | 光学式変位計測方法 | |
| KR960000270B1 (ko) | 광자기 디스크의 광픽업 장치 | |
| JP3062064B2 (ja) | 光ディスクの運動特性測定装置 | |
| JPS58137141A (ja) | 焦点検出方法 | |
| JPS62212508A (ja) | 面振れ測定法 | |
| JPS618746A (ja) | 光デイスク装置のトラツキングエラ−検出装置 | |
| JPS6234336A (ja) | 光学式記録再生装置 | |
| JPS60210733A (ja) | レンズ光軸検査装置 | |
| JPH0362328A (ja) | 光学装置の焦点位置検出装置 | |
| JPS6217607A (ja) | 光学式傾き検出装置 | |
| JPH0237529A (ja) | レンズ位置検出器 | |
| JPS61294647A (ja) | 光デイスク基板の動的形状検査装置 | |
| JPS6224859B2 (ja) |