JPS62212508A - 面振れ測定法 - Google Patents

面振れ測定法

Info

Publication number
JPS62212508A
JPS62212508A JP5612286A JP5612286A JPS62212508A JP S62212508 A JPS62212508 A JP S62212508A JP 5612286 A JP5612286 A JP 5612286A JP 5612286 A JP5612286 A JP 5612286A JP S62212508 A JPS62212508 A JP S62212508A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
medium
lens
objective lens
recording medium
movement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5612286A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoki Kuwata
直樹 鍬田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP5612286A priority Critical patent/JPS62212508A/ja
Publication of JPS62212508A publication Critical patent/JPS62212508A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザー等の光を微小径のスlットに絞り、
情報を記録再生するときに用いる光学式記録媒体の面振
れを測定する方法に関する。
〔従来の技術〕
従来の面振れ測定の原理を第2図を用いて説明する。1
はHe −N oレーザー等の光源、2は反射ミラーで
レーザー光を記録媒体面へ入射させる、3は集光レンズ
で、レーザー光を記録媒体面上に集光する。4は光学式
情報記録媒体で、44面が記録膜の付着して−る面であ
る。レーザー光はこの面に焦点を結ぶ、記録媒体からの
反射光は、集光レンズ5で集光され位置センサ6へ入射
する、今、図示のように、入射光束の入射角θ。を集光
レンズ5の倍率鶴に対し、(2)θ6 =1/7;電]
−にすると記録媒体の面振れによって生じる反射光束の
移動が記録媒体向に平行になり、センサ6上での移動用
atと面振れ量ΔXとの関係は、を夕2sにΔXになる
。このようにして、センサ上の変位tから面振れ盪ΔX
を測定することができる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、前述の従来技術では、記録媒体の上下振れに供
い媒体面の傾きが生じ、反射光束の変位を起こす可能性
がある。tた、反射ミラー、集光レンズ、位置センサ等
の設定も困難であり、光学系の光路長が長−ため経時変
化に弱いという問題点を有していた。そこで本発明はこ
のような問題点を解決するもので、その目的とするとこ
ろは、媒体面の傾きの影響が少なく光学系の設定が容易
な而振れ測定方法を提供することにある。
〔問題を解決するための手段〕
本発明は、情報を光学式記録媒体に記録再生を行なうと
きに用いる光学ピックアップの対物レンズの動きを非接
触式変位計でモニタし、前記対物レンズの動きから前記
光学式記録媒体の面振れを測定することを特徴とする。
〔作用〕
本発明の上記の構成によれば、フォーカスサーボにより
記録媒体面と対物レンズの距離が常に一定であるので、
媒体向の動きが対物レンズの動きと等しくなり、この対
物レンズの動きをモニタすることにより間接的に記録媒
体の面振れを測定できる。
〔実施例〕
第1図に本発明の実施例を示す、11は半導体レーザー
等の光源、12は集光レンズであり、発散する半導体レ
ーザーの光を略平行尤にする。
13は入射ビームの断面形状を変換し、略円形のビーム
断面を有する光を出射するビーム整形プリズムである。
14はビームスプリッタ、15は全反射ミラー、16は
対物レンズで、入射光を直径1μm程度の微小光に絞り
、光学式記録媒体4上に照射する。17は対物レンズホ
ルダーで、17α面が後述の変位モニタのために鏡面に
なっている。18は対物レンズ駆動装置で、対物レンズ
16を公知のフォーカス制御のために記録媒体4に垂直
方向に駆動する。記録媒体4で反射された光は再び16
.15を通り、14で光路変更され、ビームスプリッタ
19へ入射スる。19テ2f+割された光は、一方はフ
ォーカス誤差信号検出糸へ、もう一方はR1信号検出系
へ導かれる。20は集光レンズ、21はナイフエッヂ、
22は2分割光検出器で、この検出器の差信号をとるこ
とにより、フォーカス誤差信号が得られる。そして、2
3は集光レンズ、24は光検出器で、この検出器からR
?倍信号得られる。
25は例えば7オトニツクセンサ等の非接触式変位計で
、対物レンズホルダー17の動きをモニタする。26は
センサ25からの信号を増幅する増幅器である。前述の
ように対物レンズ16にはフォーカス制御をかけるので
、この状態においては記録媒体4と対物レンズ16との
距離は、制御系の誤差((L5μys)以内で一定に保
たれて−る、したがって、対物レンズホルダ17の動き
をセンサ25でモニタすることにより、記録媒体4の面
振れを測定することができる。tた、26からの出力を
IFFTアナライザに接続することにより、面振れの周
波数成分を求めることができる。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、記録媒体の傾斜に対
して影響されに<<、通常の光学ピックアップと同等の
ものを用いるので光学的設定も楽であり、経時変化にも
強い、また、測定精度がフォーカス制御の誤差と同じa
5μIK程度になるので他の方法に比べて高精度である
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の面振れ測定法を示す概略図、第2図は
従来の面振れ測定法を示す概略図である1・・・・・・
・・・光 源 2・・・・・・・・・反射ミラー 3・・・・・・・・・集光レンズ 4・・・・・・・・・光学式情報記録媒体5・・・・・
・・・・集光レンズ 6・・・・・・・・・位置センサー 7・・・・・・・・・媒体固定具 11・・・・・・光 源 12・・・・・・集光レンズ 13・・・…ビーム整形プリズム 14・・・・・・ビームスプリッタ 15・・・・・・全反射ミラー 16・・・・・・対物レンズ 17・・・・・・対物レンズホルダー 1B・・・・・・対物レンズ駆動装置 19・・・・・・ビームスプリッタ 20・・・・・・集光レンズ 21・・・・・・ナイフエッヂ 22・・・・・・2分割光検出器 23・・・・・・集光レンズ 24・・・・・・光検出器 25・・・・・・非接触式変位計 26・・・・・・増幅器 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 悄1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  情報を光学式記録媒体に記録再生するときに用いる光
    学ピックアップの対物レンズの動きを非接触式変位計で
    モニタし、前記対物レンズの動きから、前記光学式記録
    媒体の面振れを測定することを特徴とする面振れ測定法
JP5612286A 1986-03-14 1986-03-14 面振れ測定法 Pending JPS62212508A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5612286A JPS62212508A (ja) 1986-03-14 1986-03-14 面振れ測定法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5612286A JPS62212508A (ja) 1986-03-14 1986-03-14 面振れ測定法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62212508A true JPS62212508A (ja) 1987-09-18

Family

ID=13018267

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5612286A Pending JPS62212508A (ja) 1986-03-14 1986-03-14 面振れ測定法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62212508A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006134415A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Funai Electric Co Ltd 光ディスク装置
KR100653489B1 (ko) * 1999-11-09 2006-12-04 엘지전자 주식회사 광 디스크의 면진동 검출장치 및 검출방법
KR100813946B1 (ko) * 2001-09-01 2008-03-14 삼성전자주식회사 광정보저장매체의 기록 및 재생장치, 편향크기 산출 방법, 재생 시스템, 기록 및 재생 시스템

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100653489B1 (ko) * 1999-11-09 2006-12-04 엘지전자 주식회사 광 디스크의 면진동 검출장치 및 검출방법
KR100813946B1 (ko) * 2001-09-01 2008-03-14 삼성전자주식회사 광정보저장매체의 기록 및 재생장치, 편향크기 산출 방법, 재생 시스템, 기록 및 재생 시스템
JP2006134415A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Funai Electric Co Ltd 光ディスク装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5202740A (en) Method of and device for determining the position of a surface
JPS62212508A (ja) 面振れ測定法
JPS6161178B2 (ja)
JPH056643B2 (ja)
JPH07182666A (ja) 光ピックアップシステム
JPS6364634A (ja) 面振れ測定装置
JP2808713B2 (ja) 光学式微小変位測定装置
JPH033176B2 (ja)
JPS60210733A (ja) レンズ光軸検査装置
KR0160694B1 (ko) 광픽업용 대물렌즈의 경사도 측정장치
JPS5810196Y2 (ja) 自動焦点装置
KR19980025798A (ko) 디센터 경감기능을 가진 광픽업 장치
JPH04171646A (ja) 原子間力顕微鏡装置
JPH0720094A (ja) 超音波振動測定装置
JPS6363950A (ja) 偏心測定装置
EP0459517A1 (en) Focussing-error detecting apparatus for optical disk drive
JPS6055890B2 (ja) 光学的情報記録再生装置
JPH0334129A (ja) レンズ変位測定装置
JPH02177024A (ja) 対物レンズ駆動装置の光ビーム変位測定方法
JPS5841448A (ja) 光学的焦点位置移動方式
JPS63195611A (ja) 光軸傾き検出装置
JPH056562A (ja) チルト検出装置
JPS6296839A (ja) レンズ光軸検査装置
JPS60210734A (ja) レンズ光軸検査装置
JPH0382907A (ja) 光学式微小変位測定装置