JPS6296839A - レンズ光軸検査装置 - Google Patents
レンズ光軸検査装置Info
- Publication number
- JPS6296839A JPS6296839A JP60238038A JP23803885A JPS6296839A JP S6296839 A JPS6296839 A JP S6296839A JP 60238038 A JP60238038 A JP 60238038A JP 23803885 A JP23803885 A JP 23803885A JP S6296839 A JPS6296839 A JP S6296839A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- grooves
- optical axis
- disc
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光源より放射される光ビームによって、記録
媒体上に情報を記録するためあるいは、記録媒体上の情
報信号を再生するだめの光学ヘッド等に用いられるレン
ズの光軸を検査する装置に関するものである。
媒体上に情報を記録するためあるいは、記録媒体上の情
報信号を再生するだめの光学ヘッド等に用いられるレン
ズの光軸を検査する装置に関するものである。
従来の技術
光ディスク等を用いた光情報記録再生装置においては、
レーザービームをトラック上にφ１μｍ以下に集光する
必要があるが、この集光スポットを悪化させる要因のひ
とつとして対物レンズ光軸の傾きがある。すなわち、対
物レンズを保持するアクチュエータの取付基準面とディ
スク面が平行であり基準面に対してレーザー光が垂直に
入射するとしたときに、対物レンズ光軸の傾きによって
相対的にレンズへの入射光の頌き及びディスクの傾きが
生じることになり、収差発生により集光スポットが悪化
する。
レーザービームをトラック上にφ１μｍ以下に集光する
必要があるが、この集光スポットを悪化させる要因のひ
とつとして対物レンズ光軸の傾きがある。すなわち、対
物レンズを保持するアクチュエータの取付基準面とディ
スク面が平行であり基準面に対してレーザー光が垂直に
入射するとしたときに、対物レンズ光軸の傾きによって
相対的にレンズへの入射光の頌き及びディスクの傾きが
生じることになり、収差発生により集光スポットが悪化
する。
従って、記録再生特性を向上させるためには、対物レン
ズ光軸のアクチュエータ取けけ基準面に対する傾きを低
減することが大切である。
ズ光軸のアクチュエータ取けけ基準面に対する傾きを低
減することが大切である。
第４図は対物レンズアクチュエータの平面図、第５図は
同じく断面図である。第４図、第５図において５１は対
物レンズであり、弾性支持部材５２ａ、５２ｂにより支
持されたレンズホルダー５３に嵌合固着されている。レ
ンズホルダー５３にはトラッキング駆動用コイル５４、
フォーカス駆動用コイル５５が取り付けられており、そ
れぞれトラッキング駆動用マグネットユニット５６、フ
ォーカス駆動用マグネットユニット５７との組み合わせ
妃より、トラッキング方向、フォーカス方向に移動でき
る。そのため、トラッキング誤差信号、フォーカス誤差
信号を検出しフィードバック制御を行なうことにより、
ディスクの偏心２面振れに対して安定な集光スポットを
トラック上に形成することができる。
同じく断面図である。第４図、第５図において５１は対
物レンズであり、弾性支持部材５２ａ、５２ｂにより支
持されたレンズホルダー５３に嵌合固着されている。レ
ンズホルダー５３にはトラッキング駆動用コイル５４、
フォーカス駆動用コイル５５が取り付けられており、そ
れぞれトラッキング駆動用マグネットユニット５６、フ
ォーカス駆動用マグネットユニット５７との組み合わせ
妃より、トラッキング方向、フォーカス方向に移動でき
る。そのため、トラッキング誤差信号、フォーカス誤差
信号を検出しフィードバック制御を行なうことにより、
ディスクの偏心２面振れに対して安定な集光スポットを
トラック上に形成することができる。
弾性支持部材固定材５８は、弾性支持部材５２ａと一体
成型されており、筐体５９にねじ６０ ａ〜ＳＯｄで固
定されるいる。弾性支持部材固定材５８に設けられた貫
通穴はねじ径よりも大きく、これを移動することにより
対物レンズ５１の光軸調整が可能である。
成型されており、筐体５９にねじ６０ ａ〜ＳＯｄで固
定されるいる。弾性支持部材固定材５８に設けられた貫
通穴はねじ径よりも大きく、これを移動することにより
対物レンズ５１の光軸調整が可能である。
第６図は従来のレンズ光軸検査法の一例である。
６１はレンズホルダー５３に嵌合し底面に反射面をもつ
テーパ状ダミーレンズであり、６２はアクチュエータの
筐体５９を固定する基準台である。
テーパ状ダミーレンズであり、６２はアクチュエータの
筐体５９を固定する基準台である。
Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源６３は、その出射光が基準台６２
に垂直入射するように調整されている。ここで、弾性支
持部材固定材５８を移動し、レンズホルダー５３の傾き
を変化させ、テーパ状ダミーレンズ６１の反射面からの
反射光がＨｅ −Ｎｅ レーザ６３の出射穴に戻るよう
調整を行なう。以上の手順で、レンズホルダー６３は基
準台６２に対して垂直に調整される。
に垂直入射するように調整されている。ここで、弾性支
持部材固定材５８を移動し、レンズホルダー５３の傾き
を変化させ、テーパ状ダミーレンズ６１の反射面からの
反射光がＨｅ −Ｎｅ レーザ６３の出射穴に戻るよう
調整を行なう。以上の手順で、レンズホルダー６３は基
準台６２に対して垂直に調整される。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、基準台６２に対し
てテーパ状ダミーレンズ６１の垂直度を検査し、それに
基づいて調整を行なっており、対物レンズ５１の光軸そ
のものを検査できない。そのため対物し／ズ５１の鏡筒
とレンズホルダー６３の嵌合ガタ及び対物し／ズ６１の
光軸と鏡筒中心軸の傾きがある場合、光軸検査に誤差が
生じるという問題点を有していた。
てテーパ状ダミーレンズ６１の垂直度を検査し、それに
基づいて調整を行なっており、対物レンズ５１の光軸そ
のものを検査できない。そのため対物し／ズ５１の鏡筒
とレンズホルダー６３の嵌合ガタ及び対物し／ズ６１の
光軸と鏡筒中心軸の傾きがある場合、光軸検査に誤差が
生じるという問題点を有していた。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明のレンズ光軸検査装
置は、光源と、その光源からの被検レンズによる焦点面
に配置した溝又はロンキー格子を備えたディスク板と、
ディスク板を前記焦点面内で移動させる駆動手段と、デ
ィスク板より反射光量を検出する検出器とを有し、前記
反射光量の変化量により前記被検レンズの光軸傾きを検
出するものである。
置は、光源と、その光源からの被検レンズによる焦点面
に配置した溝又はロンキー格子を備えたディスク板と、
ディスク板を前記焦点面内で移動させる駆動手段と、デ
ィスク板より反射光量を検出する検出器とを有し、前記
反射光量の変化量により前記被検レンズの光軸傾きを検
出するものである。
作 用
本発明は上記構成によって、ディスク板を駆動すると被
検レンズによる集光ビームスポットがディスクの溝又は
ロンキー格子を走査し、その反射光量変化を検出するこ
とにより、集光ビームスポットのディスク溝又はロンキ
ー格子による変調度が測定できる。したがって被検レン
ズの性能と直接関係した変調度で、レンズの光軸を検査
できる。
検レンズによる集光ビームスポットがディスクの溝又は
ロンキー格子を走査し、その反射光量変化を検出するこ
とにより、集光ビームスポットのディスク溝又はロンキ
ー格子による変調度が測定できる。したがって被検レン
ズの性能と直接関係した変調度で、レンズの光軸を検査
できる。
実施例
以下本発明の一実施例のレンズ光軸検査装置について、
図面を参照しながら説明する。第１図は本発明の一実施
例を示し、１は光源であり、たとえば半導体レーザーと
集光レンズから成り、平行光を出射する。平行光はビー
ムスプリッタ−２を反射し基準台３に対して垂直に入射
するように調整されている。基準台３から垂直に出射し
た光は被検レンズ４に入射し、溝付ディスク５上に結像
する。溝付ディスク６よりの反射光は再び被検レンズ４
を透過し、さらにビームスプリ、ター２を透過し、シリ
ンドリカルレンズ６により集束され４分割光検出器７に
入射する。この４分割検出器７の差動出力はいわゆる非
点収差法によるフォーカス誤差信号であり、これをフォ
ーカスサーボ回路を介してアクチュエータの駆動部にフ
ィードバックし被検レンズ焦点面を溝付ディスクＳ上に
制御する。溝付ディスク６は駆動装置８により被検レン
ズの焦点面内で互いに直交する方向に移動できる。
図面を参照しながら説明する。第１図は本発明の一実施
例を示し、１は光源であり、たとえば半導体レーザーと
集光レンズから成り、平行光を出射する。平行光はビー
ムスプリッタ−２を反射し基準台３に対して垂直に入射
するように調整されている。基準台３から垂直に出射し
た光は被検レンズ４に入射し、溝付ディスク５上に結像
する。溝付ディスク６よりの反射光は再び被検レンズ４
を透過し、さらにビームスプリ、ター２を透過し、シリ
ンドリカルレンズ６により集束され４分割光検出器７に
入射する。この４分割検出器７の差動出力はいわゆる非
点収差法によるフォーカス誤差信号であり、これをフォ
ーカスサーボ回路を介してアクチュエータの駆動部にフ
ィードバックし被検レンズ焦点面を溝付ディスクＳ上に
制御する。溝付ディスク６は駆動装置８により被検レン
ズの焦点面内で互いに直交する方向に移動できる。
第２図に示すように、溝付ディスク５には互いに直交す
る方向に溝が設けられており、駆動装置８で溝付ディス
ク６を移動させることにより被検レンズ４で集光された
ビームスポット９は溝を直交する方向に走査する。
る方向に溝が設けられており、駆動装置８で溝付ディス
ク６を移動させることにより被検レンズ４で集光された
ビームスポット９は溝を直交する方向に走査する。
４分割検出器７が受光する総光量は、溝付ディスク５の
移動に従って、第３図に示すような変化を生じる。信号
の各ピークが溝付ディスク５の溝に相当する。このとき
信号の最大値を工ｍａ工、最小値をエエ、。とすると変
調度Ｍは で定義される。変調度Ｍと対物レンズの収差量の関係は
Ｈｏｐｋｉｎｓ （Ｊ 、○ｐｔ 、Ｓｏｃ 、Ａｍ、
、６９（１９７９）４）により明らかにされており、
本実施例はこれに基き、変調度最大すなわち対物レンズ
の収差量最小の方向に対物レンズの光軸を調整するもの
である。
移動に従って、第３図に示すような変化を生じる。信号
の各ピークが溝付ディスク５の溝に相当する。このとき
信号の最大値を工ｍａ工、最小値をエエ、。とすると変
調度Ｍは で定義される。変調度Ｍと対物レンズの収差量の関係は
Ｈｏｐｋｉｎｓ （Ｊ 、○ｐｔ 、Ｓｏｃ 、Ａｍ、
、６９（１９７９）４）により明らかにされており、
本実施例はこれに基き、変調度最大すなわち対物レンズ
の収差量最小の方向に対物レンズの光軸を調整するもの
である。
溝の深さは、光源の波長をλとするとλ／４のときが変
調度が最大になるため、変調度計算のときのＳ／Ｎ に
対して有利である。しかしλ／４ に限定するわけでは
なく一般に案内溝付ディスクに形成されているほぼλ／
８ 深さの溝であっても使用できる。さらに溝のかわシ
に反射率の異なるロンキー格子であっても差しつかえな
い。溝間隔は、被検レンズのＮＡ、収差量によっても異
なるが、光学ヘッド等に用いられる対物レンズの場合Ｎ
Ａが０．５程度、収差は回折限界まで補正されているの
で集光ビームスポットは１μｍ以下に絞られるため、１
〜２μｍ程度が望ましい。一般の溝付ディスクに形成さ
れている約１．６μｍ間隔の溝も使用できる。。
調度が最大になるため、変調度計算のときのＳ／Ｎ に
対して有利である。しかしλ／４ に限定するわけでは
なく一般に案内溝付ディスクに形成されているほぼλ／
８ 深さの溝であっても使用できる。さらに溝のかわシ
に反射率の異なるロンキー格子であっても差しつかえな
い。溝間隔は、被検レンズのＮＡ、収差量によっても異
なるが、光学ヘッド等に用いられる対物レンズの場合Ｎ
Ａが０．５程度、収差は回折限界まで補正されているの
で集光ビームスポットは１μｍ以下に絞られるため、１
〜２μｍ程度が望ましい。一般の溝付ディスクに形成さ
れている約１．６μｍ間隔の溝も使用できる。。
変調度は第１図の処理回路で計算され、溝付ディスクの
移動に従って互いに直交する方向の変調度が表示される
。レンズ光軸調整は、この２方向の変調度が最大になる
ように弾性支持部材固定材を２方向に移動することによ
り行なう。
移動に従って互いに直交する方向の変調度が表示される
。レンズ光軸調整は、この２方向の変調度が最大になる
ように弾性支持部材固定材を２方向に移動することによ
り行なう。
上記説明では被検レンズの焦点面をディスク上に制御す
るためのフォーカス誤差検出法は非点収差法を用いたが
、ナイフェツジ法、臨界角法等を用いてもよい。
るためのフォーカス誤差検出法は非点収差法を用いたが
、ナイフェツジ法、臨界角法等を用いてもよい。
発明の効果
以上のように本発明では被検レンズの集光ビームスポッ
トのディスク溝又はロンキー格子による変調度により、
被検レンズの光軸を直接測定することができる。このた
め従来例のようにレンズ鏡胴とレンズホルダーの嵌合ガ
タ、レンズ光軸と鏡胴中心軸の傾きの影響なく正確にレ
ンズ光軸の傾きを測定し調整することが可能である。
トのディスク溝又はロンキー格子による変調度により、
被検レンズの光軸を直接測定することができる。このた
め従来例のようにレンズ鏡胴とレンズホルダーの嵌合ガ
タ、レンズ光軸と鏡胴中心軸の傾きの影響なく正確にレ
ンズ光軸の傾きを測定し調整することが可能である。
第１図は本発明の実施例におけるレンズ光軸検査装置の
構成図、第２図は同実施例の溝付ディスク説明図、第３
図は同実施例の動作説明図、第４図、第５図は被検レン
ズが設置されるアクチュエータの平面図及び断面図、第
６図は従来のレンズ光軸検査装置の構成図である。 １・・・・・・光源、４・・・・被検レンズ、５・・・
・・・溝付ディスク、７・・・・・・４分割光検出器、
８・・・・・・駆動装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １−光々 第 ２ 図 第４図 第 ５ 図 、５２ｂ
構成図、第２図は同実施例の溝付ディスク説明図、第３
図は同実施例の動作説明図、第４図、第５図は被検レン
ズが設置されるアクチュエータの平面図及び断面図、第
６図は従来のレンズ光軸検査装置の構成図である。 １・・・・・・光源、４・・・・被検レンズ、５・・・
・・・溝付ディスク、７・・・・・・４分割光検出器、
８・・・・・・駆動装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １−光々 第 ２ 図 第４図 第 ５ 図 、５２ｂ
Claims (1)
- 光源と、その光源からの光束の被検レンズによる焦点面
に設置した溝又はロンキー格子を備えたディスク板と、
ディスク板を前記焦点面内で移動させる駆動手段と、デ
ィスク板よりの反射光量を検出する検出器とを有し、前
記反射光量の変化量により前記被検レンズの光軸傾きを
検出するレンズ光軸検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238038A JPS6296839A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | レンズ光軸検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238038A JPS6296839A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | レンズ光軸検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6296839A true JPS6296839A (ja) | 1987-05-06 |
| JPH0519926B2 JPH0519926B2 (ja) | 1993-03-18 |
Family
ID=17024246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60238038A Granted JPS6296839A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | レンズ光軸検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6296839A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6076038A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式情報処理装置 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP60238038A patent/JPS6296839A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6076038A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式情報処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519926B2 (ja) | 1993-03-18 |
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