JPS6364634A - 面振れ測定装置 - Google Patents
面振れ測定装置Info
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- JPS6364634A JPS6364634A JP20834786A JP20834786A JPS6364634A JP S6364634 A JPS6364634 A JP S6364634A JP 20834786 A JP20834786 A JP 20834786A JP 20834786 A JP20834786 A JP 20834786A JP S6364634 A JPS6364634 A JP S6364634A
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- JP
- Japan
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- objective lens
- lens
- recording medium
- medium
- light
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- Pending
Links
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザー等の光を微小径のスポットに絞り、
情報を記録再生するときに用いる光学式記録媒体の面振
れ量を測定する装置に関する。
情報を記録再生するときに用いる光学式記録媒体の面振
れ量を測定する装置に関する。
従来の面振れ測定装置の概略図を第5図に示す。1はH
e −N eレーザー等の光源、2は反射ミラーでレー
ザー光を記録媒体面へ入射させる。3は集光レンズで、
レーザー光を記録媒体面上に集光する。4は光学式記録
媒体で、4α面が記録獲の付着している面である。レー
ザー光はこの面に焦点を結ぶ。記録媒体からの反射光は
、集光レンズ5で集光され位置センサ6へ入射する。今
、図示のように、入射光束の入射角θ。を集光レンズ5
の倍率溝に対し、邸θ。” 1 / に]巧−にすると
記録媒体の面振れによって生じる反射光束の移動が記録
媒体面に平行になり、センサ6上での移動距離tと面振
れ量ΔXとの関係は、452m5ΔXになる。このよう
にして、センサ6上の光点の変位tから面振れ量ΔXを
測定することができる。
e −N eレーザー等の光源、2は反射ミラーでレー
ザー光を記録媒体面へ入射させる。3は集光レンズで、
レーザー光を記録媒体面上に集光する。4は光学式記録
媒体で、4α面が記録獲の付着している面である。レー
ザー光はこの面に焦点を結ぶ。記録媒体からの反射光は
、集光レンズ5で集光され位置センサ6へ入射する。今
、図示のように、入射光束の入射角θ。を集光レンズ5
の倍率溝に対し、邸θ。” 1 / に]巧−にすると
記録媒体の面振れによって生じる反射光束の移動が記録
媒体面に平行になり、センサ6上での移動距離tと面振
れ量ΔXとの関係は、452m5ΔXになる。このよう
にして、センサ6上の光点の変位tから面振れ量ΔXを
測定することができる。
しかし、前述の従来技術では、記録媒体の上下振れに伴
い媒体面の傾きが生じ、反射光束の変位を起こす可能性
がある。また、反射ミラー、集光レンズ、位置センサ等
の設定も困難であり、光学系の光路長が長いため経時変
化に弱いという問題点を有していた。そこで本発明はこ
のような問題点を解決するもので、その目的とするとこ
ろは、媒体面の傾きの影響が少なく、構成が簡単な面振
れ測定装置を提供することにある。
い媒体面の傾きが生じ、反射光束の変位を起こす可能性
がある。また、反射ミラー、集光レンズ、位置センサ等
の設定も困難であり、光学系の光路長が長いため経時変
化に弱いという問題点を有していた。そこで本発明はこ
のような問題点を解決するもので、その目的とするとこ
ろは、媒体面の傾きの影響が少なく、構成が簡単な面振
れ測定装置を提供することにある。
本発明の面振れ測定装置は、情報を光学式記録媒体に記
録再生する際に用いる光学ピックアップの対物レンズ支
持バネに、高分子圧電フィルムを貼り付け、この光学ピ
ックアップがフォーカスサーボ動作を行なうときの対物
レンズの変位量を高分子圧電フィルムに生じる電位差に
よって検出し、この変位量から光学式記録媒体の面振れ
量を測定することを特徴とする。
録再生する際に用いる光学ピックアップの対物レンズ支
持バネに、高分子圧電フィルムを貼り付け、この光学ピ
ックアップがフォーカスサーボ動作を行なうときの対物
レンズの変位量を高分子圧電フィルムに生じる電位差に
よって検出し、この変位量から光学式記録媒体の面振れ
量を測定することを特徴とする。
本発明の上記の構成によれば、フォーカスサーボにより
記録媒体面と対物レンズの距離が常に一定であるので、
媒体面の動きが対物レンズの動きと等しくなり、この対
物レンズの動きをモニターすることにより間接的に記録
媒体の面振れを測定できる。
記録媒体面と対物レンズの距離が常に一定であるので、
媒体面の動きが対物レンズの動きと等しくなり、この対
物レンズの動きをモニターすることにより間接的に記録
媒体の面振れを測定できる。
第1図に本発明で用いる光学ピックアップの概略図を示
す。11は半導体レーザー等の光源、12は集光レンズ
であり、発散する半導体レーザーの光を略平行光にする
。13は入射ビームの断面形状を変良し、略円形のビー
ム断面を有する光を出射するビーム整形プリズムである
。14はビームスプリッタ、15は全反射ミラー、16
は対物レンズで、入射光を直径1μmfu度の微小光に
絞り、光学式記録媒体4上に照射する。対物レンズ16
は板バネ(図示せず〕で支持されている。
す。11は半導体レーザー等の光源、12は集光レンズ
であり、発散する半導体レーザーの光を略平行光にする
。13は入射ビームの断面形状を変良し、略円形のビー
ム断面を有する光を出射するビーム整形プリズムである
。14はビームスプリッタ、15は全反射ミラー、16
は対物レンズで、入射光を直径1μmfu度の微小光に
絞り、光学式記録媒体4上に照射する。対物レンズ16
は板バネ(図示せず〕で支持されている。
17は対物レンズ駆動装置で、対物レンズ16を公知の
フォーカス制御によって記録媒体4に垂直方向に駆動す
る。記録媒体4で反射された光は再び16.15を通り
、14で光路変更され、フォーカス誤差信号検出糸へ入
射する。18は集光レンズ、19はナイフエッヂ、20
は2分割光検器で、この検出器の差信号をとることによ
り、フォーカス誤差信号が得られる。この信号に基づい
て対物レンズ駆動装置17により、対物レンズ16を駆
動し、記録媒体4と対物レンズ16との距離を一定に保
つ。
フォーカス制御によって記録媒体4に垂直方向に駆動す
る。記録媒体4で反射された光は再び16.15を通り
、14で光路変更され、フォーカス誤差信号検出糸へ入
射する。18は集光レンズ、19はナイフエッヂ、20
は2分割光検器で、この検出器の差信号をとることによ
り、フォーカス誤差信号が得られる。この信号に基づい
て対物レンズ駆動装置17により、対物レンズ16を駆
動し、記録媒体4と対物レンズ16との距離を一定に保
つ。
第2図に対物レンズ支持部の詳細図を示す。
21は対物レンズホルダー、22は対物レンズ16を支
持する板バネである。この板バネ22に高分子圧電フィ
ルム25が貼り付けである。24は固定部である。
持する板バネである。この板バネ22に高分子圧電フィ
ルム25が貼り付けである。24は固定部である。
第3図に、本発明で用いる高分子圧電フィルムの斜視図
を示す、EE電電フィルム23両側には、電極25α、
25bが導電性の物質(例えばAu、A2)で形成され
ている。王!フィルム25が、図示の矢印の方向に伸縮
するとき、この変位量に比例して、電極間に電位差が発
生する。
を示す、EE電電フィルム23両側には、電極25α、
25bが導電性の物質(例えばAu、A2)で形成され
ている。王!フィルム25が、図示の矢印の方向に伸縮
するとき、この変位量に比例して、電極間に電位差が発
生する。
対物レンズが前述のフォーカスサーボによって動くとき
、板バネ22がたわみ、これに応じて板バネ22に貼夛
付けられた高分子圧電フィルム23は、第3図の矢印方
向に伸縮する。このとき、電極25α、25b間に電位
差が生じ、この値から対物レンズ16の変位量を測定す
ることができる。この変位量と電位差の関係は第4図に
示すようになる。前述のように、対物レンズ16と記録
媒体4との距離はフォーカスサーボによって一定に保た
れているので、この対物レンズの動きをモニターするこ
とにより、記録媒体4の面振れを測定できる。また、電
極25α、25bからの出力をPIFTアナライザに接
続することにより、面振れの周波数成分を求めることが
できる。
、板バネ22がたわみ、これに応じて板バネ22に貼夛
付けられた高分子圧電フィルム23は、第3図の矢印方
向に伸縮する。このとき、電極25α、25b間に電位
差が生じ、この値から対物レンズ16の変位量を測定す
ることができる。この変位量と電位差の関係は第4図に
示すようになる。前述のように、対物レンズ16と記録
媒体4との距離はフォーカスサーボによって一定に保た
れているので、この対物レンズの動きをモニターするこ
とにより、記録媒体4の面振れを測定できる。また、電
極25α、25bからの出力をPIFTアナライザに接
続することにより、面振れの周波数成分を求めることが
できる。
以上述べたように本発明によれば、記録媒体の傾斜に対
して影響されに<<、通常の光学ピックアップと同等の
ものを用いるので光学的設定も容易であり、経時変化に
も強い、また、測定精度がフォーカスサーボの誤差と同
じ15μmid度になるので他の方法に比べて高精度で
ある。
して影響されに<<、通常の光学ピックアップと同等の
ものを用いるので光学的設定も容易であり、経時変化に
も強い、また、測定精度がフォーカスサーボの誤差と同
じ15μmid度になるので他の方法に比べて高精度で
ある。
第1図は本発明の面振れ測定装置の概略図、第2図は本
発明の対物レンズ支持部の詳細図、第3図は本発明に用
いる高分子圧電フィルムの斜視図、第4図は本発明の測
定装置の変位量と電位差の関係を示す図、第5図は従来
の面振れ測定装置の概略図である。 1・・・・・・・・・光 源 2・・・・−・・・・反射ミラー 3・・・・・・・・・集光レンズ 4・・・・・・・・・光学式記録媒体 5・・・・・・・・・集光レンズ 6・・・・・・・・・位置センサ 11・・・・・・光 源 12・・・・・・集光レンズ 13・・・・・・ビーム整形プリズム 14・・・・・・ビームスプリッタ 15・・・・・・全反射ミラー 16・・・・・・対物レンズ 17・・・・・・対物レンズ駆動装置 18・・・・・・集光レンズ 19・・・・・・ナイフエッヂ 20・・・・・・2分割光検出器 21・・・・・・対物レンズホルダー 22・・・・・・板バネ 23・・・・・・高分子圧電フィルム 24・・・・・・固定部 25・・・・・・電極 以 上 葛3図
発明の対物レンズ支持部の詳細図、第3図は本発明に用
いる高分子圧電フィルムの斜視図、第4図は本発明の測
定装置の変位量と電位差の関係を示す図、第5図は従来
の面振れ測定装置の概略図である。 1・・・・・・・・・光 源 2・・・・−・・・・反射ミラー 3・・・・・・・・・集光レンズ 4・・・・・・・・・光学式記録媒体 5・・・・・・・・・集光レンズ 6・・・・・・・・・位置センサ 11・・・・・・光 源 12・・・・・・集光レンズ 13・・・・・・ビーム整形プリズム 14・・・・・・ビームスプリッタ 15・・・・・・全反射ミラー 16・・・・・・対物レンズ 17・・・・・・対物レンズ駆動装置 18・・・・・・集光レンズ 19・・・・・・ナイフエッヂ 20・・・・・・2分割光検出器 21・・・・・・対物レンズホルダー 22・・・・・・板バネ 23・・・・・・高分子圧電フィルム 24・・・・・・固定部 25・・・・・・電極 以 上 葛3図
Claims (1)
- 情報を光学式記録媒体に記録再生する際に用いる光学ピ
ックアップの対物レンズ支持バネに、高分子圧電フィル
ムを貼り付け、前記光学ピックアップがフォーカスサー
ボ動作を行なうときの前記対物レンズの変位量を前記高
分子圧電フィルムに生じる電位差によって検出し、前記
変位量から前記光学式記録媒体の面振れ量を測定するこ
とを特徴とする面振れ測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20834786A JPS6364634A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 面振れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20834786A JPS6364634A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 面振れ測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6364634A true JPS6364634A (ja) | 1988-03-23 |
Family
ID=16554770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20834786A Pending JPS6364634A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 面振れ測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6364634A (ja) |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP20834786A patent/JPS6364634A/ja active Pending
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