JPH03272028A - ミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構 - Google Patents
ミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構Info
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- JPH03272028A JPH03272028A JP2072684A JP7268490A JPH03272028A JP H03272028 A JPH03272028 A JP H03272028A JP 2072684 A JP2072684 A JP 2072684A JP 7268490 A JP7268490 A JP 7268490A JP H03272028 A JPH03272028 A JP H03272028A
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- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/28—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication
- G01D5/30—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication the beams of light being detected by photocells
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光磁気ディスクドライブ装置に関し、詳しく
は、高速アクセス対応の光磁気ディスクドライブ装置の
ミラー回動型トラッキングアクチュエータの回動角度検
出機構に関する。
は、高速アクセス対応の光磁気ディスクドライブ装置の
ミラー回動型トラッキングアクチュエータの回動角度検
出機構に関する。
近年、光磁気ディスクドライブ装置のアクセスを高速化
するため、シーク中のミラー回動型トラッキングアクチ
ュエータのミラーの回動角度を、精度良くそして安価に
検出する必要が出てきた。
するため、シーク中のミラー回動型トラッキングアクチ
ュエータのミラーの回動角度を、精度良くそして安価に
検出する必要が出てきた。
従来のこの種装置は、第4図に示す様な構造であった。
第4図においてlは、ミラーであって、光ヘッドの光線
(8)を反射している。ミラー(1)、ミラーホルダ(
2)及びコイル(3)は、図示せぬ支持部材により、ミ
ラー(1)の表面の内で光が反射する点(C)を概略中
心に紙面内を回動可能に支持されている。コイル(3)
は、ミラーホルダ(2)に巻かれている。磁石(4)及
びヨーク(5)は磁気回路を形成する。コイル(3)に
電流を流せば、ミラー(1)はミラーホルダ(2)とコ
イル(3)と共に回動駆動される。(63)と(64)
は共に反射型ホトカプラであって、距離に応じて反射光
量が変わる性質を使って、ミラーホルダ(2)に設けら
れた反射面(2a)までの距離に応した信号を出力する
。反射型ホトカプラ°(63)と反射型ホトカプラ(6
4)はミラー(1)に対して互いに反対側に設けられて
おり、それぞれの出力信号(63a>及び出力信号(6
4a>は、共に差動アンプ(7)に入力される。差動ア
ンプ(7)は、反射型ホトカプラ(63)と反射型ホト
カプラ(64〉のそれぞれの出力信号(63a)及び出
力信号(64a)の差動をとる。該差動は、2つの光量
の差、すなわち反射型ホトカプラ(63)と反射型ホト
カプラ(64)の鏡面(2a)との距離の差であり、紙
面内の点(C)を中心として回動する、回動角度信号で
ある。
(8)を反射している。ミラー(1)、ミラーホルダ(
2)及びコイル(3)は、図示せぬ支持部材により、ミ
ラー(1)の表面の内で光が反射する点(C)を概略中
心に紙面内を回動可能に支持されている。コイル(3)
は、ミラーホルダ(2)に巻かれている。磁石(4)及
びヨーク(5)は磁気回路を形成する。コイル(3)に
電流を流せば、ミラー(1)はミラーホルダ(2)とコ
イル(3)と共に回動駆動される。(63)と(64)
は共に反射型ホトカプラであって、距離に応じて反射光
量が変わる性質を使って、ミラーホルダ(2)に設けら
れた反射面(2a)までの距離に応した信号を出力する
。反射型ホトカプラ°(63)と反射型ホトカプラ(6
4)はミラー(1)に対して互いに反対側に設けられて
おり、それぞれの出力信号(63a>及び出力信号(6
4a>は、共に差動アンプ(7)に入力される。差動ア
ンプ(7)は、反射型ホトカプラ(63)と反射型ホト
カプラ(64〉のそれぞれの出力信号(63a)及び出
力信号(64a)の差動をとる。該差動は、2つの光量
の差、すなわち反射型ホトカプラ(63)と反射型ホト
カプラ(64)の鏡面(2a)との距離の差であり、紙
面内の点(C)を中心として回動する、回動角度信号で
ある。
前記の如き従来の構造においては、支持部材の構造によ
っては、ミラーホルダ(2)が第4図に示した(A)方
向に並進運動する様な振動モードや、ミラー(1)の中
心線(B)を中心とする回動振動モードなどを起こしう
る。すなわち、回動角度センサである反射型ホトカプラ
(63)と反射型ホトカプラ(64)は、ミラー(1)
の回動角度を直接的には検出しておらず、実際にはミラ
ーホルダ(2)の反射面(2a)との距離を検出してい
る。しかも、反射面(2a)は、製作上必ずしもミラー
(1)の反射面と平行とはならない。さらに、反射型ホ
トカプラ(63)と反射型ホトカプラ(64)の感度は
必ずしも同じではない。
っては、ミラーホルダ(2)が第4図に示した(A)方
向に並進運動する様な振動モードや、ミラー(1)の中
心線(B)を中心とする回動振動モードなどを起こしう
る。すなわち、回動角度センサである反射型ホトカプラ
(63)と反射型ホトカプラ(64)は、ミラー(1)
の回動角度を直接的には検出しておらず、実際にはミラ
ーホルダ(2)の反射面(2a)との距離を検出してい
る。しかも、反射面(2a)は、製作上必ずしもミラー
(1)の反射面と平行とはならない。さらに、反射型ホ
トカプラ(63)と反射型ホトカプラ(64)の感度は
必ずしも同じではない。
従って、(A)方向に並進運動する様な振動モードの時
でも、並進にブレが生ずると、差動アンプ(7)の出力
信号の波形が影響を受け、精度の良い回動角度の検出が
できない。又、中心線(B)を中心とする回動振動モー
ドの時でも、ミラーホルダ(2)の反射面(2a)の製
作上の精度或いは支持部材の構造上の精度がそう高く無
い時は、やはり反射型ホトカプラC63)や反射型ホト
カプラ(64)なども出力信号の波形が影響を受け、精
度の良い回動角度の検出ができない。
でも、並進にブレが生ずると、差動アンプ(7)の出力
信号の波形が影響を受け、精度の良い回動角度の検出が
できない。又、中心線(B)を中心とする回動振動モー
ドの時でも、ミラーホルダ(2)の反射面(2a)の製
作上の精度或いは支持部材の構造上の精度がそう高く無
い時は、やはり反射型ホトカプラC63)や反射型ホト
カプラ(64)なども出力信号の波形が影響を受け、精
度の良い回動角度の検出ができない。
以上のような課題があった。
本発明は、従来のこのような課題に鑑みてなされたもの
で、精度の良いミラー回動角度検出機構を提供すること
を目的とする。
で、精度の良いミラー回動角度検出機構を提供すること
を目的とする。
前記課題の解決の為に本発明では、ミラー(1)、前記
ミラー(1)の略表面内の軸を中心に回動可能な状態に
支持する支持部材と、前記ミラーを回動させる駆動機構
と、前記ミラー(1)の反射面に光を照射する発光部材
である発光素子(61)と、前記ミラー(1)の反射面
(la)により反射された光を受光する受光素子(62
)と、角度検出回路(7)とから成るミラー回動アクチ
ュエータの回動角度検出機構において、前記受光素子(
62〉の出力により前記ミラー(1)の反射面の回動角
度を検出するようにした。
ミラー(1)の略表面内の軸を中心に回動可能な状態に
支持する支持部材と、前記ミラーを回動させる駆動機構
と、前記ミラー(1)の反射面に光を照射する発光部材
である発光素子(61)と、前記ミラー(1)の反射面
(la)により反射された光を受光する受光素子(62
)と、角度検出回路(7)とから成るミラー回動アクチ
ュエータの回動角度検出機構において、前記受光素子(
62〉の出力により前記ミラー(1)の反射面の回動角
度を検出するようにした。
特に、発光素子(61)とミラー(1)との間に集光レ
ンズ(9)を設けた。
ンズ(9)を設けた。
更に、発光素子(61)が制御用のビームとしてミラー
(1)の反射面(la)の裏面に光を照射するよう構成
した。
(1)の反射面(la)の裏面に光を照射するよう構成
した。
本発明では、ミラー(1)の表面すなわち反射面(la
)内の軸を中心に回動され、又、制御用のビームはミラ
ー(1)の反射面(la)の裏面すなわち略回動中心か
ら反射されるので、従来の如き、ミラー(1)の厚みに
基づく並進振動モードや回動振動モードの影響が小さく
、ミラー回動角度が精度良く検出、追従できる。
)内の軸を中心に回動され、又、制御用のビームはミラ
ー(1)の反射面(la)の裏面すなわち略回動中心か
ら反射されるので、従来の如き、ミラー(1)の厚みに
基づく並進振動モードや回動振動モードの影響が小さく
、ミラー回動角度が精度良く検出、追従できる。
(第1実施例)
第1図は本発明の実施例であって、第4図と同符号は同
効物を表す。第1図において、(61)は制御ビーム用
の発光素子、(62)は該ビームの受光素子、(la)
はミラー(1)の反射面、(lb)は厚みのあるミラー
(1)の反射面(la)と反対側の面を示す。
効物を表す。第1図において、(61)は制御ビーム用
の発光素子、(62)は該ビームの受光素子、(la)
はミラー(1)の反射面、(lb)は厚みのあるミラー
(1)の反射面(la)と反対側の面を示す。
(62a)と(62b)は受光素子(62)の2分割の
フォトダイオードなど、受光部が分割されていてそれら
の光量差を計測することができる素子の夫々の受光部で
ある。
フォトダイオードなど、受光部が分割されていてそれら
の光量差を計測することができる素子の夫々の受光部で
ある。
ミラー(1)は、光ヘッドからの光線(8)を反射して
いる。ミラー(1)は、ミラーホルダ(2)及びコイル
(3)と共に図示せぬ支持部材により点(C)を中心と
して紙面内に回動可能な如く支持されている。コイル(
3)は、磁石(4)及びヨーク(5)により構成される
磁気回路中に配置され、コイル(3)に流す電流によっ
て、ミラー(1)及びミラーホルダ(2〉及びコイル(
3)自身を回動駆動できる。
いる。ミラー(1)は、ミラーホルダ(2)及びコイル
(3)と共に図示せぬ支持部材により点(C)を中心と
して紙面内に回動可能な如く支持されている。コイル(
3)は、磁石(4)及びヨーク(5)により構成される
磁気回路中に配置され、コイル(3)に流す電流によっ
て、ミラー(1)及びミラーホルダ(2〉及びコイル(
3)自身を回動駆動できる。
発光素子(61)からの制御ビーム用の照射光は、ミラ
ー(1)の透過面(lb)を透過しながら、ミラー(1
)の反射面(la)の裏側で反射され、受光素子(62
)により受光される。反射面(la)はミラー(1)の
基材の表面に反射率を高めるための物質が強固に付着さ
れて得られるが、一般に該反射率を高めるための物質の
厚さは約0.1mm以下なので、紙面内の回動の中心(
C)点は、反射面(la)と該反射面(la)の裏側と
でほぼ同一と考えて良い。受光素子(62)の受光部(
62a)と受光部(62b)からの出力は、角度検出回
路(7〉に入力される。
ー(1)の透過面(lb)を透過しながら、ミラー(1
)の反射面(la)の裏側で反射され、受光素子(62
)により受光される。反射面(la)はミラー(1)の
基材の表面に反射率を高めるための物質が強固に付着さ
れて得られるが、一般に該反射率を高めるための物質の
厚さは約0.1mm以下なので、紙面内の回動の中心(
C)点は、反射面(la)と該反射面(la)の裏側と
でほぼ同一と考えて良い。受光素子(62)の受光部(
62a)と受光部(62b)からの出力は、角度検出回
路(7〉に入力される。
ミラー(1)が回動することによって変化するミラー(
1)の角度に応じて、受光素子(62)上におけるビー
ムは移動し、2分割のフォトダイオードのうちの受光部
(62a)と受光部<62b)の出力を角度検出回路(
7)で差動をとることにより、ミラー(1)の回動角度
信号が出力される。
1)の角度に応じて、受光素子(62)上におけるビー
ムは移動し、2分割のフォトダイオードのうちの受光部
(62a)と受光部<62b)の出力を角度検出回路(
7)で差動をとることにより、ミラー(1)の回動角度
信号が出力される。
第2図は、本発明による第1実施例の動作の説明図であ
る。第1図と同符号は同効物を表す。第2(a)図は、
受光素子(62)の2分割のフォトダイオードのうちの
受光部(62a)と受光部(62b)が、紙面に垂直な
方向の境界面で接している場合を示している。第2(b
)図は、受光素子(62)の2分割のフォトダイオード
のうちの受光部(62a>と受光部(62b”)が、紙
面内の境界面で接している場合を示している。第2(C
)図は、第2(a)図の場合で、ミラー(1)が(A)
方向に並進運動した状態を示している。
る。第1図と同符号は同効物を表す。第2(a)図は、
受光素子(62)の2分割のフォトダイオードのうちの
受光部(62a)と受光部(62b)が、紙面に垂直な
方向の境界面で接している場合を示している。第2(b
)図は、受光素子(62)の2分割のフォトダイオード
のうちの受光部(62a>と受光部(62b”)が、紙
面内の境界面で接している場合を示している。第2(C
)図は、第2(a)図の場合で、ミラー(1)が(A)
方向に並進運動した状態を示している。
第2(a)図の場合では、点(C)を中心とした紙面内
の回動の場合は、受光部(62a)と受光部(62b)
との光量が回動に応じて変化する。従って、点(C)を
中心とした紙面内の回動を測定できる。そして、ミラー
(1)の反射面に垂直な線(B)を中心とする回動振動
モードの時でも、ミラー(1)からの反射光は受光部(
62a)と受光部(62b)との境界上で振動するため
、点(C)を中心とした紙面内の回動による出力にはな
んら影響を及はさない。(A)方向に並進運動する様な
振動モードの時は、第2(C)図に示すように、受光部
(62a)と受光部(62b)との差動を生ずるような
方向に振動するため、点(C)を中心とした紙面内の回
動の出力に多少の影響を及はす。但し、発光素子(61
)と受光素子(62)とを充分近づければ前記の影響は
無視しう第2(b)図の場合では、点Cを中心とした紙
面内の回動の場合は、受光部(62a)と受光部(62
b)との光量は回動に応じて変化しない。
の回動の場合は、受光部(62a)と受光部(62b)
との光量が回動に応じて変化する。従って、点(C)を
中心とした紙面内の回動を測定できる。そして、ミラー
(1)の反射面に垂直な線(B)を中心とする回動振動
モードの時でも、ミラー(1)からの反射光は受光部(
62a)と受光部(62b)との境界上で振動するため
、点(C)を中心とした紙面内の回動による出力にはな
んら影響を及はさない。(A)方向に並進運動する様な
振動モードの時は、第2(C)図に示すように、受光部
(62a)と受光部(62b)との差動を生ずるような
方向に振動するため、点(C)を中心とした紙面内の回
動の出力に多少の影響を及はす。但し、発光素子(61
)と受光素子(62)とを充分近づければ前記の影響は
無視しう第2(b)図の場合では、点Cを中心とした紙
面内の回動の場合は、受光部(62a)と受光部(62
b)との光量は回動に応じて変化しない。
(第2実施例)
第3図は本発明の第2実施例であって、第1図と同符号
は同効物を表す。(9)は集光レンズである。
は同効物を表す。(9)は集光レンズである。
発光素子(61)からの照射光は集光レンズ(9)を介
して平行光束となり、ミラー(1)のもう一方の面(l
b)を透過しながら、ミラー(1)の反射面(la)の
裏側の(C)点で反射され、平行光束のまま集光レンズ
(9)を通って受光素子(62)に集光される。
して平行光束となり、ミラー(1)のもう一方の面(l
b)を透過しながら、ミラー(1)の反射面(la)の
裏側の(C)点で反射され、平行光束のまま集光レンズ
(9)を通って受光素子(62)に集光される。
受光素子(62)の2分割の受光部(62a)と受光部
(62b)の、2つの出力は角度検出回路(7)に入力
される。ミラー(1)の点(C)を中心とした紙面内の
回動角度により、受光素子(62)上におけるビームは
移動するが、受光素子(62)の配置は第2(a)図に
示す受光素子(62)の2分割のフォトダイオードのう
ちの受光部(62a)と受光部(62b)が、紙面に垂
直な方向の境界面で接している形になっているため、角
度検出回路(7)で2分割フォトダイオードの出力の差
動をとることにより、回動角度信号が出力される。
(62b)の、2つの出力は角度検出回路(7)に入力
される。ミラー(1)の点(C)を中心とした紙面内の
回動角度により、受光素子(62)上におけるビームは
移動するが、受光素子(62)の配置は第2(a)図に
示す受光素子(62)の2分割のフォトダイオードのう
ちの受光部(62a)と受光部(62b)が、紙面に垂
直な方向の境界面で接している形になっているため、角
度検出回路(7)で2分割フォトダイオードの出力の差
動をとることにより、回動角度信号が出力される。
ミラー(1)の反射面に垂直な線(B)を中心とする回
動振動モードの時でも、ミラー(1)からの反射光は受
光部(62a)と受光部(62b)との境界線方向に振
動するため、点(C)を中心とした紙面内の回動による
出力にはなんら影響を及ぼさない。
動振動モードの時でも、ミラー(1)からの反射光は受
光部(62a)と受光部(62b)との境界線方向に振
動するため、点(C)を中心とした紙面内の回動による
出力にはなんら影響を及ぼさない。
更に、(A)方向に並進運動する様な振動モードの時で
も、光゛は、集光レンズ(9)とミラー(1)との間で
平行光束になっているため、点(C)を中心とした紙面
内の回動の出力に全く影響を及ぼさない。
も、光゛は、集光レンズ(9)とミラー(1)との間で
平行光束になっているため、点(C)を中心とした紙面
内の回動の出力に全く影響を及ぼさない。
(第3実施例)
第5図は、本発明による第3実施例の動作の説明図であ
り、光学式情報記録再生装置の光ヘッドに、本発明に係
るミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構を組み
込んだ状態を表している。
り、光学式情報記録再生装置の光ヘッドに、本発明に係
るミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構を組み
込んだ状態を表している。
第1図と同符号は同効物を表す。
第5図において、(1))はレーザーなどの光源、(8
)は光源(1))より発生したビーム、(12)はビー
ム(8)を集光する中間レンズ、(13)は偏光ビーム
スプリブタ、(14)は位相板、(1〉はミラー回動ア
クチュエータの中のミラー、(16)はミラー(1)で
反射されたビーム(8)を集光する対物レンズ、(17
)は情報ディスクである。(!8〉は情報ディスク(1
7)からの反射光を受光する受光素子である。又、(8
a)は実施例1に示したミラー回動アクチュエータのた
めの制御ビーム、(62)は制御ビーム(8a)の実施
例1に示したミラー回動アクチュエータからの反射光を
受光する受光素子である。
)は光源(1))より発生したビーム、(12)はビー
ム(8)を集光する中間レンズ、(13)は偏光ビーム
スプリブタ、(14)は位相板、(1〉はミラー回動ア
クチュエータの中のミラー、(16)はミラー(1)で
反射されたビーム(8)を集光する対物レンズ、(17
)は情報ディスクである。(!8〉は情報ディスク(1
7)からの反射光を受光する受光素子である。又、(8
a)は実施例1に示したミラー回動アクチュエータのた
めの制御ビーム、(62)は制御ビーム(8a)の実施
例1に示したミラー回動アクチュエータからの反射光を
受光する受光素子である。
光源(1))より発生したビーム(8)は、中間レンズ
(12)で集光され、偏光ビームスプリッタ(13)と
位相板(14)を通って、ミラー回動アクチュエータの
中のミラー(1)で反射され、対物レンズ(16)で集
光されて情報ディスク(17)を照射する。情報ディス
ク(17ンで反射されたビーム(8)は、同経路を戻り
、偏光ビームスプリッタ(13)で反射されて、受光素
子(18)によって電気信号に変換される。この時、ミ
ラー回動アクチュエータの中のミラー(1)は、情報デ
ィスク(17〉の情報トラックをビーム(8)のビーム
スポットが正確に追従するように、実施例1又は実施例
2の構成により、制御され回動される。すなわち、制御
ビーム(8a)が受光素子(62)の中の受光部(62
a)と受光部(62b)との2つに常に均一に照射され
るようにミラー(1)が制御されれば、ミラー(1)は
風圧や機械的な振動があっても一定位置に固定され、従
って、記録再生は安定確実に行われる。
(12)で集光され、偏光ビームスプリッタ(13)と
位相板(14)を通って、ミラー回動アクチュエータの
中のミラー(1)で反射され、対物レンズ(16)で集
光されて情報ディスク(17)を照射する。情報ディス
ク(17ンで反射されたビーム(8)は、同経路を戻り
、偏光ビームスプリッタ(13)で反射されて、受光素
子(18)によって電気信号に変換される。この時、ミ
ラー回動アクチュエータの中のミラー(1)は、情報デ
ィスク(17〉の情報トラックをビーム(8)のビーム
スポットが正確に追従するように、実施例1又は実施例
2の構成により、制御され回動される。すなわち、制御
ビーム(8a)が受光素子(62)の中の受光部(62
a)と受光部(62b)との2つに常に均一に照射され
るようにミラー(1)が制御されれば、ミラー(1)は
風圧や機械的な振動があっても一定位置に固定され、従
って、記録再生は安定確実に行われる。
対物レンズ(16)は従来公知の手段により、情報ディ
スク(17)の上でのビームスポットのフォーカスの乱
れを補正するよう上下動する。
スク(17)の上でのビームスポットのフォーカスの乱
れを補正するよう上下動する。
チュエータにおいて、支持部材の構造によってはミラー
ホルダ(2)が第4図に示した(A)方向に並進運動す
る様な並進振動モードや、ミラー(1)の中心線(B)
を中心とする回動振動モードなどが起こる。本発明によ
れば、回動振動モードのノイズからは影響を受けない。
ホルダ(2)が第4図に示した(A)方向に並進運動す
る様な並進振動モードや、ミラー(1)の中心線(B)
を中心とする回動振動モードなどが起こる。本発明によ
れば、回動振動モードのノイズからは影響を受けない。
又、本発明によれば、並進振動モードは光軸シフトとな
り影響があるが、角度シフトと比べ無視しうる。こうし
て、ミラー(1)の回動角度を精度良く検出てきる。
り影響があるが、角度シフトと比べ無視しうる。こうし
て、ミラー(1)の回動角度を精度良く検出てきる。
特に、発光素子(61ンとミラー(1)との間に集光レ
ンズ(9〉を設け、照射光をコリメーションし、平行光
とすれば、ミラー(1)の並進運動の様な振動モードや
ミラー(1)の中心線(B)を中心とする回動振動モー
ドに対しても、反射光に殆ど影響がない。
ンズ(9〉を設け、照射光をコリメーションし、平行光
とすれば、ミラー(1)の並進運動の様な振動モードや
ミラー(1)の中心線(B)を中心とする回動振動モー
ドに対しても、反射光に殆ど影響がない。
以上の様に、本発明によれば、光磁気ディスクドライブ
装置の高速アクセス対応の光磁気ディスクドライブ装置
のミラー回動型トラッキングアク
装置の高速アクセス対応の光磁気ディスクドライブ装置
のミラー回動型トラッキングアク
第1図は、本発明による第1実施例の断面図、第2図は
、本発明による第1実施例の動作の説明図、 第3図は、本発明による第2実施例の断面図、第4図は
、従来例の断面図。 第5図は、本発明による第3実施例の動作の説明図、 〔主要部分の符号の説明〕 (1)・・・ミラー、(3)・・・コイル、(61)・
・・発光素子、(62)・・・受光素子、(7)・・・
角度検出回路、(9)・・・集光レンズ。
、本発明による第1実施例の動作の説明図、 第3図は、本発明による第2実施例の断面図、第4図は
、従来例の断面図。 第5図は、本発明による第3実施例の動作の説明図、 〔主要部分の符号の説明〕 (1)・・・ミラー、(3)・・・コイル、(61)・
・・発光素子、(62)・・・受光素子、(7)・・・
角度検出回路、(9)・・・集光レンズ。
Claims (2)
- (1)ミラーと、前記ミラーの略表面内の軸を中心に回
動可能な状態に支持する支持部材と、前記ミラーを回動
させる駆動機構と、前記ミラーの反射面の裏面に光を照
射する発光部材と、前記ミラーの反射面の裏面により反
射された光を受光する受光素子と、前記受光素子の出力
により前記ミラーの反射面の回動角度を検出する角度検
出回路とから成るミラー回動アクチュエータの回動角度
検出機構。 - (2)請求項1記載の回動角度検出機構において、発光
部材と反射面との間に集光レンズを設けたことを特徴と
するミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2072684A JPH03272028A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | ミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構 |
US07/670,341 US5131744A (en) | 1990-03-22 | 1991-03-15 | Mirror rotation angle detection mechanism |
DE69111648T DE69111648T2 (de) | 1990-03-22 | 1991-03-19 | Mechanismus zum Detektieren des Rotationswinkels eines Spiegels. |
EP91302382A EP0448362B1 (en) | 1990-03-22 | 1991-03-19 | Mirror rotation angle detection mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2072684A JPH03272028A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | ミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03272028A true JPH03272028A (ja) | 1991-12-03 |
Family
ID=13496450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2072684A Pending JPH03272028A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | ミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
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EP (1) | EP0448362B1 (ja) |
JP (1) | JPH03272028A (ja) |
DE (1) | DE69111648T2 (ja) |
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US5223710A (en) * | 1992-03-06 | 1993-06-29 | Digital Equipment Corporation | Optical angular position sensing system for use with a galvanometer |
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DE19828689A1 (de) | 1997-06-27 | 1999-01-07 | Asahi Optical Co Ltd | Spiegelgalvanometereinheit |
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US6421156B1 (en) | 1997-10-17 | 2002-07-16 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Galvano mirror unit |
US6344917B1 (en) | 1997-10-17 | 2002-02-05 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Galvano mirror unit |
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US6292447B1 (en) | 1997-10-24 | 2001-09-18 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Head for optical disc drive |
US6324141B2 (en) | 1997-10-24 | 2001-11-27 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical system for optical disc drive |
FR2770674B1 (fr) | 1997-10-31 | 2000-09-29 | Asahi Optical Co Ltd | Systeme optique pour unite de disque optique |
US6341106B1 (en) | 1997-11-05 | 2002-01-22 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical disc drive |
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US6650604B1 (en) | 1997-12-27 | 2003-11-18 | Pentax Corporation | Optical head of disk drive |
US6407975B1 (en) | 1998-03-16 | 2002-06-18 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Of Tokyo | Optical disk drive |
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US7798955B2 (en) * | 2004-10-26 | 2010-09-21 | Olympus Corporation | Image generating device for generating a fluorescence image |
DE102011004477A1 (de) | 2011-02-21 | 2012-09-13 | Carl Zeiss Ag | Scanspiegelvorrichtung |
CN109073371B (zh) | 2016-04-19 | 2020-06-02 | Abb瑞士股份有限公司 | 倾斜检测的设备及方法 |
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FR2618893B1 (fr) * | 1987-07-31 | 1989-12-15 | Sagem | Perfectionnements apportes aux appareils de reconnaissance de forme et/ou de detection de position d'un objet dans l'espace |
-
1990
- 1990-03-22 JP JP2072684A patent/JPH03272028A/ja active Pending
-
1991
- 1991-03-15 US US07/670,341 patent/US5131744A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-19 EP EP91302382A patent/EP0448362B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-19 DE DE69111648T patent/DE69111648T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
---|---|
EP0448362B1 (en) | 1995-08-02 |
EP0448362A3 (en) | 1992-02-26 |
DE69111648T2 (de) | 1996-04-04 |
DE69111648D1 (de) | 1995-09-07 |
EP0448362A2 (en) | 1991-09-25 |
US5131744A (en) | 1992-07-21 |
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