JPS5828650A - 比表面積測定装置 - Google Patents
比表面積測定装置Info
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- JPS5828650A JPS5828650A JP12592081A JP12592081A JPS5828650A JP S5828650 A JPS5828650 A JP S5828650A JP 12592081 A JP12592081 A JP 12592081A JP 12592081 A JP12592081 A JP 12592081A JP S5828650 A JPS5828650 A JP S5828650A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N15/088—Investigating volume, surface area, size or distribution of pores; Porosimetry
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- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は自動的にサンプルの比表面積を測定することの
できる比表面積測定装置に関するものである。
できる比表面積測定装置に関するものである。
固体触媒の性能評価の一つとして、触媒の単位重量あた
りの表面積、すなわち比表面積は重要な物性としてとり
あげられている。
りの表面積、すなわち比表面積は重要な物性としてとり
あげられている。
この比表面積は市販の各種の測定装置、たとえば米国の
QUANTACjHROME社のMONO8ORB。
QUANTACjHROME社のMONO8ORB。
あるいはイタリヤ国のカルロエルパ社の80RPTY1
700などを利用して行なわれている。
700などを利用して行なわれている。
しかしうその操作は煩雑であシIまた測定中は装置に操
作員が常についていなけれ゛ばならずう時間的にも経済
的にも極めて不利であった。
作員が常についていなけれ゛ばならずう時間的にも経済
的にも極めて不利であった。
本発明は以上のような従来の欠点を改良するためになさ
れたものであシ、自動的にサンプルの比表面積を測定す
ることができるように構成した比表面積測定装置を提供
することを目的としている。
れたものであシ、自動的にサンプルの比表面積を測定す
ることができるように構成した比表面積測定装置を提供
することを目的としている。
本発明においては上記の目的を達成するために。
サンプルセル内にサンプルを投入したものを複数本用意
し、これを順次、冷却媒体の存在するデユワ−びん中に
嵌入させ、サンプルセル内に供給されるキャリヤガスの
サンプルへの吸着量を、吸着される物質の分圧の効果に
よる熱伝導度の差をブリッジによシミ圧変化として検出
する構成を採用した。
し、これを順次、冷却媒体の存在するデユワ−びん中に
嵌入させ、サンプルセル内に供給されるキャリヤガスの
サンプルへの吸着量を、吸着される物質の分圧の効果に
よる熱伝導度の差をブリッジによシミ圧変化として検出
する構成を採用した。
以下2図面に示す実施例にもとづいて本発明の詳細な説
明する。
明する。
第1図は本発明に適用されるサンプルの比表面積の測定
方法の原理を説明するものである。
方法の原理を説明するものである。
本図において、符号aで示すものはデユワ−びんである
。このデユワ−びんa内には、たとえば液体窒素などの
冷却媒体が充填されている。このデエワーびんa内には
サンプルセルbが浸漬されるが、このサンプルセルb内
には比表面積を測定すべきp例えば固体触媒のサンプル
Cが充填されている。
。このデユワ−びんa内には、たとえば液体窒素などの
冷却媒体が充填されている。このデエワーびんa内には
サンプルセルbが浸漬されるが、このサンプルセルb内
には比表面積を測定すべきp例えば固体触媒のサンプル
Cが充填されている。
サンプルセルbには2本の配管d、θが接続されている
。
。
一方の配管dはキャリヤガスを供給するだめのものであ
り、キャリヤガスはガス人口fからパルプgt流量調節
パルプhを介して導かれ、検知器1を介してサンプルセ
ルb内に供給される。
り、キャリヤガスはガス人口fからパルプgt流量調節
パルプhを介して導かれ、検知器1を介してサンプルセ
ルb内に供給される。
キャリヤガスとしては2例えばHe 70 % + N
230%の混合気体が用いられる。
230%の混合気体が用いられる。
また、他の配管θは吸着が行なわれた後のキャリヤガス
を導き出すものであシ、検知器jに接続されている。1
. 1/はコネクタである。
を導き出すものであシ、検知器jに接続されている。1
. 1/はコネクタである。
各検知器it jはガスの濃度差を測定するためのも
のであって、熱伝導度測定用のブリッジを構成している
。
のであって、熱伝導度測定用のブリッジを構成している
。
以上のような構成のもとにサンプルCの充填されたサン
プルセルbをデユワ−びんa内に浸漬し。
プルセルbをデユワ−びんa内に浸漬し。
キャリヤガスを供給して冷却すると、サンプルCの表f
式N2ガス分子が単分子層で物理的に吸着される。
式N2ガス分子が単分子層で物理的に吸着される。
このとき、検知器jではHe70%、N230%のガス
が流れているかり吸着中においては検知器jに導かれる
ガスは、サンプルCの表面にN2ガスが吸着されつつあ
るためにN2ガスの分圧が下がシ。
が流れているかり吸着中においては検知器jに導かれる
ガスは、サンプルCの表面にN2ガスが吸着されつつあ
るためにN2ガスの分圧が下がシ。
検知器is jの間の熱伝導度に差が生じ、ブリッジの
両端には検知器it jに流れるガスの濃度差に応じ
た不平衡電圧を生じる。この場合が第2図に符号Aで示
す吸着ピークの状態である。
両端には検知器it jに流れるガスの濃度差に応じ
た不平衡電圧を生じる。この場合が第2図に符号Aで示
す吸着ピークの状態である。
やがて、サンプルCの表面が完全にN2分子で覆われる
と検知器it jは平衡状態となシ、この吸着ピーク
を示す波形の面積を測定することにより。
と検知器it jは平衡状態となシ、この吸着ピーク
を示す波形の面積を測定することにより。
Nfスの吸着量、すなわちサンプルCの表面積を知るこ
とができる。
とができる。
つぎにサンプルセルbを冷却媒体から取出し。
室温に戻すとサンプルCの表面に吸着されていたN2ガ
スが脱着を始め、第2図の右側に示すように脱着ピーク
波形Bが得られる。したがってt吸着ピーク波形A、脱
着ピーク波形Bのいづれの面積を測定しても比表面積を
測定することができるが?通常はピーク形状のきれいな
、すなわち面積の計算のしやすい脱着ピーク波形Bの方
を測定している。
スが脱着を始め、第2図の右側に示すように脱着ピーク
波形Bが得られる。したがってt吸着ピーク波形A、脱
着ピーク波形Bのいづれの面積を測定しても比表面積を
測定することができるが?通常はピーク形状のきれいな
、すなわち面積の計算のしやすい脱着ピーク波形Bの方
を測定している。
なお、第2図の線図はブリッジの不平衡電圧を記録計に
書かせたものである。
書かせたものである。
また、第3図は触媒重量と表面積との関係を示すもので
あシ9両者間に比例関係が存在していることを示す。
あシ9両者間に比例関係が存在していることを示す。
第4図は本発明の一実施例を説明する概略構成図である
・。
・。
本図中、第1図と同一部分または相当する部分には同一
符号を付いその説明は省略する。
符号を付いその説明は省略する。
本実施例ではサンプルセルbを6個2等間隔に配列しで
ある。各サンプルセルレbにキャリヤガスを供給し、排
出する配管1,1′〜6,6′はそれぞれキャリヤガス
供給用ロータリバルブRtmの相当する符号が付されて
いるポジショ/に接続されている。
ある。各サンプルセルレbにキャリヤガスを供給し、排
出する配管1,1′〜6,6′はそれぞれキャリヤガス
供給用ロータリバルブRtmの相当する符号が付されて
いるポジショ/に接続されている。
各ロータリパルプR,R’は、検知器、その他が収容さ
れている装置本体側にそれぞれ配管dおよび配管eを介
して接続されている。
れている装置本体側にそれぞれ配管dおよび配管eを介
して接続されている。
一方2等間隔に配列されたサンプルセルbの下方にはデ
ユワ−びんaが昇降自在に、かつサンプルセルbの配列
間隔と同一ピッチで、水平方向に移動できるように配置
されている。すなわち、デユワ−びんaは送り台に上に
取りつけられたシリンダ、その他を利用した昇降装置(
図示してない)に取9つけられておシ、第4図に点線で
示すように、目的とするサンプルセルbを浸漬させた状
態である上昇位置と実線で示す下降位置とに移動できる
構造とされている。
ユワ−びんaが昇降自在に、かつサンプルセルbの配列
間隔と同一ピッチで、水平方向に移動できるように配置
されている。すなわち、デユワ−びんaは送り台に上に
取りつけられたシリンダ、その他を利用した昇降装置(
図示してない)に取9つけられておシ、第4図に点線で
示すように、目的とするサンプルセルbを浸漬させた状
態である上昇位置と実線で示す下降位置とに移動できる
構造とされている。
なお、符号mで示すものは送風機であシ、測定を終了し
たサンプルセルbに対して常温の空気を吹きつけ、サン
プルCを室温に戻す役目を果している。
たサンプルセルbに対して常温の空気を吹きつけ、サン
プルCを室温に戻す役目を果している。
また、第4図において、符号Pで示すものは電磁パルプ
である。
である。
電磁バルブPは、サンプルセルヘキャリャガスを供給す
るロータリバルブが切換わる間の流路の閉路によるキャ
リヤガス圧力の上昇を防止するため、ロータリパルプが
切換わる間、供給側管路を大気中に開放するために設け
るものである。
るロータリバルブが切換わる間の流路の閉路によるキャ
リヤガス圧力の上昇を防止するため、ロータリパルプが
切換わる間、供給側管路を大気中に開放するために設け
るものである。
従来、ロータリパルプは減速機つき小型モータで操作し
ており、隣接の経路に切換える(ロータリパルプを”3
60°/6=60m転させる)のに約2秒を要しており
、その間、ロータリパルプのキャリヤガス流路は閉塞す
る。
ており、隣接の経路に切換える(ロータリパルプを”3
60°/6=60m転させる)のに約2秒を要しており
、その間、ロータリパルプのキャリヤガス流路は閉塞す
る。
キャリヤガスは通常15 cc/minと少量であるが
配管径が細く、シたがってロータリパルプまでの容積が
小さいため、2秒間の閉塞でも供給側経路のガス圧が上
昇する。そしてロータリパルプが切換わシ、経路が開通
した瞬間、それまでたまつたキャリヤガスが下流のサン
プルセル側に噴出する。
配管径が細く、シたがってロータリパルプまでの容積が
小さいため、2秒間の閉塞でも供給側経路のガス圧が上
昇する。そしてロータリパルプが切換わシ、経路が開通
した瞬間、それまでたまつたキャリヤガスが下流のサン
プルセル側に噴出する。
サンプルセル内には微粒粉末のサンプルを充填すること
が多く、このキャリヤガスの噴出によって微粉末がサン
プルセルから吹飛ばされるおそれがあり、そのため大き
な測定誤差を生じるだけでなく、吹飛ばされた微粉末が
経路を閉塞させたシ、゛検知器jのフィラメントに付着
して、正しい熱伝導度を測定できなくするおそれがある
。
が多く、このキャリヤガスの噴出によって微粉末がサン
プルセルから吹飛ばされるおそれがあり、そのため大き
な測定誤差を生じるだけでなく、吹飛ばされた微粉末が
経路を閉塞させたシ、゛検知器jのフィラメントに付着
して、正しい熱伝導度を測定できなくするおそれがある
。
このため2本発明では、ロータリパルプの切換え開始と
同時に電磁パルプPを開いてキャリヤガスを大気中に放
出させることによって、経路内の圧力の上昇を防止する
。
同時に電磁パルプPを開いてキャリヤガスを大気中に放
出させることによって、経路内の圧力の上昇を防止する
。
この電磁パルプPはロータリパルプの切換え完了と同時
に閉まり、キャリヤガスはサンプルセルの方へ流れるよ
うになる。
に閉まり、キャリヤガスはサンプルセルの方へ流れるよ
うになる。
また、Lは熱電対を利用した液面レベル計である。
液面レベル計りはデユワ−びんa内の冷却媒体の液面レ
ベルが所定のレベル以下になったとき。
ベルが所定のレベル以下になったとき。
自動操作プログラムを停止させるために設けたものであ
る。
る。
吸着工程においてはサンプルセルのサンプル充填部分が
十分浸漬するだけの液面レベルが必要である。
十分浸漬するだけの液面レベルが必要である。
本発明では第5図に示すように、デユワ−びんaの液中
に熱電対Sを挿入し、熱電対Sは温度調節計Tに接続す
る。
に熱電対Sを挿入し、熱電対Sは温度調節計Tに接続す
る。
液体が熱電対Sの下限レベルより下がると検知温度が上
昇するので、温度調節計の制御用接点出力を比表面積装
置のコントロール回路にとりこんで動作7−ケンスを停
止させるとともにアラームを鳴らす。
昇するので、温度調節計の制御用接点出力を比表面積装
置のコントロール回路にとりこんで動作7−ケンスを停
止させるとともにアラームを鳴らす。
つぎに9以上のように構成された本実施例の操作につい
て説明する。
て説明する。
スタートスイッチ(図示してない)を入れると。
送り台には自動的に第4図において右端に位置するサン
プルセルbの下方にデユワ−びんaが配置されるように
移動して停止し、待機する。
プルセルbの下方にデユワ−びんaが配置されるように
移動して停止し、待機する。
この状態でロータリパルプR,R’はそれぞれ1.1′
のポジションに自動的に切替わり?第1番目のサンプル
セルbに設定された時間だけキャリヤガスを供給し2脱
気を行なう。第1番目のサンプルセルbに対するキャリ
ヤガスの供給が終ると。
のポジションに自動的に切替わり?第1番目のサンプル
セルbに設定された時間だけキャリヤガスを供給し2脱
気を行なう。第1番目のサンプルセルbに対するキャリ
ヤガスの供給が終ると。
ロータリパルプR,R/は2,2′のボジシ田ンに切替
わり、2番目のサンプルセルbの脱気を行なう。
わり、2番目のサンプルセルbの脱気を行なう。
以下、同様にして6個のサンプルセルb全ての脱気を行
なう。
なう。
すべてのサンプルセルbの脱気終了後、デユワ−びんa
が上昇して冷却媒体で第1番目のサンプルさルbの冷却
を行ない+ N2ガスの吸着工程に入る。
が上昇して冷却媒体で第1番目のサンプルさルbの冷却
を行ない+ N2ガスの吸着工程に入る。
タイマー(または電気回路)であらかじめ設定した吸着
が完了する時間が経過するとデユワ−びんaは下降し、
第4図に示すように、第2番目のサンプルセルbの下方
にデユワ−びんaが移動する。
が完了する時間が経過するとデユワ−びんaは下降し、
第4図に示すように、第2番目のサンプルセルbの下方
にデユワ−びんaが移動する。
ソシて、すでに吸着を終了したサンプルセルbに対して
送風機mによる送風が行われ、サンプルセルbが早く室
温になるようにし、ガスの脱着工程が行われる。
送風機mによる送風が行われ、サンプルセルbが早く室
温になるようにし、ガスの脱着工程が行われる。
ガスの脱着工程の終了後、ロータリパルプR1R′は自
動的に2,2′に切替わった後、デーワーびんaは第4
図において点線で示すように、上昇して第2番目のサン
プルセルの吸着工程に入る。
動的に2,2′に切替わった後、デーワーびんaは第4
図において点線で示すように、上昇して第2番目のサン
プルセルの吸着工程に入る。
以下、同様にして吸着工程と脱着工程とが自動的に行わ
れt ロータリパルプR1,R’も自動的に切替わシ、
すべてのサンプルセルbに対する測定が行われる。
れt ロータリパルプR1,R’も自動的に切替わシ、
すべてのサンプルセルbに対する測定が行われる。
本発明の実施例は1例えば最初のサンプルセルにおける
吸着工程が完了後、送風による脱着工程に入シ2脱着工
程が完了後2次のサンプルセルの吸着工程に入る。
吸着工程が完了後、送風による脱着工程に入シ2脱着工
程が完了後2次のサンプルセルの吸着工程に入る。
しかし、コンピュータプログラムの設定ならびに配管手
段の若干の設計変更によってp最初のサンフルセルの脱
着工程と次のサンプルセルの吸着工程を同時に行なうこ
とも可能である。そのため。
段の若干の設計変更によってp最初のサンフルセルの脱
着工程と次のサンプルセルの吸着工程を同時に行なうこ
とも可能である。そのため。
測定時間を大巾に短縮することができる。
本発明においては2次工程(数層から脱着へ・脱着から
次のサンプルセルの吸着)へ進むため。
次のサンプルセルの吸着)へ進むため。
下記の方法によって平衡状態に達したことを検知する電
気回路(またはコンピュータプログラム)を設けている
。
気回路(またはコンピュータプログラム)を設けている
。
(1)第6図に示すように当工程開始時(第2図に示す
もの)イ点の平衡状態信号レベルに対して微少の電圧偏
差ε(可変 設定可能)以内の信号レベルになったとき
を平衡状態に達したとして本工程を終了し2次工程へ移
る。
もの)イ点の平衡状態信号レベルに対して微少の電圧偏
差ε(可変 設定可能)以内の信号レベルになったとき
を平衡状態に達したとして本工程を終了し2次工程へ移
る。
(2)第7図に示すように信号勾配(第2図に示すもの
)が予め設定した値I:L(可変)より小さくなったと
きを平衡状態に達したとみなし2本工程を終了し2次工
程へ移る。
)が予め設定した値I:L(可変)より小さくなったと
きを平衡状態に達したとみなし2本工程を終了し2次工
程へ移る。
従来は吸着、脱着工程とも、予めタイマーに時間を設定
しているが、実際に平衡に達する時間はサンプルの種類
(すなわち、比表面積の値)によシ異なる。このため、
従来のタイマーの設定時間は予想される最大の時間に設
定しているのでサンプルによっては相当のむだな時間が
ある。
しているが、実際に平衡に達する時間はサンプルの種類
(すなわち、比表面積の値)によシ異なる。このため、
従来のタイマーの設定時間は予想される最大の時間に設
定しているのでサンプルによっては相当のむだな時間が
ある。
そこで上記した本発明における方法で平衡状態を検知し
2次工程に進むようにすれば測定時間を短かくすること
ができる。
2次工程に進むようにすれば測定時間を短かくすること
ができる。
しかし、将來本発明の装置のコントロールおよびデータ
処理をマイクロコンピュータで行なう場合はクデータ処
理を実時間で行なうことができるのでプログ2ムで上記
(1)または(2)の判定を行ない。
処理をマイクロコンピュータで行なう場合はクデータ処
理を実時間で行なうことができるのでプログ2ムで上記
(1)または(2)の判定を行ない。
それによって装置のコントロールを行なうことは容易で
ある。
ある。
ところで、上記した動作中のすべての信号はコンピュー
タに送られ、データ処理が行われ、吸着および脱着のピ
ーク波形の面積を計算し、比表面積を出力する。
タに送られ、データ処理が行われ、吸着および脱着のピ
ーク波形の面積を計算し、比表面積を出力する。
以上の説明から明らかなように9本発明によればサンプ
ルCを充填したサンプルセルbを所定間隔をあけて配列
し、これらのサンプルセルbに対してキャリヤガスの供
給および排出を行なうロータリハル7”R,n/を接続
し、それぞれのサンプルセルbの冷却を行なうデユワ−
びんaを昇降可能にpかつサンプルセルbの配列間隔と
同一ピッチで移動できる構成とされているため、サンプ
ルの比表面積を完全に自動化して正確に測定するととが
できる。
ルCを充填したサンプルセルbを所定間隔をあけて配列
し、これらのサンプルセルbに対してキャリヤガスの供
給および排出を行なうロータリハル7”R,n/を接続
し、それぞれのサンプルセルbの冷却を行なうデユワ−
びんaを昇降可能にpかつサンプルセルbの配列間隔と
同一ピッチで移動できる構成とされているため、サンプ
ルの比表面積を完全に自動化して正確に測定するととが
できる。
図は本発明の一実施例を説明するものである。
第1図は本発明に適用される測定原理の説明図。
第2図はガスの吸着および脱着ビーク波形を示す線図、
第6図は触媒重量と表面積との関係を示す線図、第4図
は本発明の一実施例を示す概略構成図、第5図はデユワ
−びんに液面レベル計を付設した説明図、第6図、第7
図は次工程へ進むためブリッジの平衡状態の検知方法を
説明する線図である。 aはデユワ−びん、bはサンプルセル、Cはサンプル、
dおよびeは配管、fはガス入口2gはパルプ、hは流
量パルプ、1およびjは検知器。 kは送り台2mは送風機、pは電磁パルプ、R2R′は
ロータリパルプ、Sは熱電対、Tは温度調節計、Lは液
面レベル計、tはコネクタである。 特許出願人 宇部興産株式会社 第1図 v、2図 呂 ′$4−z
第6図は触媒重量と表面積との関係を示す線図、第4図
は本発明の一実施例を示す概略構成図、第5図はデユワ
−びんに液面レベル計を付設した説明図、第6図、第7
図は次工程へ進むためブリッジの平衡状態の検知方法を
説明する線図である。 aはデユワ−びん、bはサンプルセル、Cはサンプル、
dおよびeは配管、fはガス入口2gはパルプ、hは流
量パルプ、1およびjは検知器。 kは送り台2mは送風機、pは電磁パルプ、R2R′は
ロータリパルプ、Sは熱電対、Tは温度調節計、Lは液
面レベル計、tはコネクタである。 特許出願人 宇部興産株式会社 第1図 v、2図 呂 ′$4−z
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)サンプルセル内に充填されたサンプルの表面にガ
スを吸着せしめ、その吸着量によってサンプルの単位重
量あたりの表面積である比表面積を測定する比表面積測
定装置において、前記サンプルを充填したサンプルセル
を複数個はど所定間隔をおいて水平に配置し、各サンプ
ルセルを配管を介してキャリヤガスを供給するロータリ
パルプとキャリヤガスを排出するロータリパルプとに接
続し、各サンプルセルの下方に送り台を配置し、この送
り台上に冷却媒体を充填したデユワ−びんを昇降自在に
取りつけ、前記送り台をサンプルセルの配列間隔と同一
ピッチで水平方向に移動できるようにし、ロータリパル
プの切替えと送り台およびデユワ−びんの移動をあらか
じめ定められたプログラムによって自動的に行うように
構成したことを特徴とする比表面積測定装置。 (2)送り台にはガスの吸着工程を終了したサンプルセ
ルに対し常温に戻る時間を早めるだめの送風機を設けた
ことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の比表
面積測定装置。 (8)サンプルセルヘキャリアガスを供給スルロータリ
パルプが切換わる間、供給側の管路を大気中に開放する
だめの電磁パルプを設けたことを特徴とする特許請求の
範囲第(1)項記載の比表面積測定装置。 (4)デーワーびん内の冷却媒体の液面レベルが所定の
レベル以下になったら自動動作プログラムを停止させる
ため、熱電対を利用した液面レベル計を設けたことを特
徴とする比表面積測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12592081A JPS5828650A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 比表面積測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12592081A JPS5828650A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 比表面積測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5828650A true JPS5828650A (ja) | 1983-02-19 |
Family
ID=14922207
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12592081A Pending JPS5828650A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 比表面積測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5828650A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61163959U (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-11 | ||
US4939603A (en) * | 1986-11-06 | 1990-07-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic head slider having a convex taper surface with the curvature facing a magnetic medium |
WO1991003723A1 (en) * | 1989-08-31 | 1991-03-21 | Nikkiso Company Limited | Gas flow passage changeover device |
JPH0389144A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Nikkiso Co Ltd | 表面積測定装置の測定レンジ自動切り替え装置 |
US5704112A (en) * | 1992-05-29 | 1998-01-06 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a magnetic head |
US6125004A (en) * | 1992-05-29 | 2000-09-26 | Tdk Corporation | Magnetic head and method of manufacturing a magnetic head |
US6493182B1 (en) | 1997-10-08 | 2002-12-10 | Tdk Corporation | Magnetic head |
-
1981
- 1981-08-13 JP JP12592081A patent/JPS5828650A/ja active Pending
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US6493182B1 (en) | 1997-10-08 | 2002-12-10 | Tdk Corporation | Magnetic head |
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