KR19980079534A - 헤드 슬라이더,디스크 장치 및 스틱 형태의 웨이퍼 절단 방법 - Google Patents

헤드 슬라이더,디스크 장치 및 스틱 형태의 웨이퍼 절단 방법 Download PDF

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KR19980079534A
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세이지 요네오까
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세끼자와 다다시
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Abstract

본 발명은, 슬라이더 가공 시에 생기는 레일면 평면성 공차에 의한 부상 변동 및 테이퍼 길이의 가공 공차에 의한 부상 변동을 억제할 수 있어, 양호한 부상 특성을 갖는 자기헤드 슬라이더를 제공함을 목적으로 한다.
본 발명의 자기헤드 슬라이더에 있어서, 자기 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된 각각 디스크 회전시의 부상력을 발생시키기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 한 쌍의 레일 사이의 공기 유입단 측에 형성된 슬릿과, 슬릿에 연속하여 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 슬릿보다도 폭이 넓은 홈을 포함하고 있다. 자기헤드 슬라이더는 또한, 레일의 한 쪽이 위치하는 공기 유출단에 형성된 자기 트랜스듀서를 포함하고 있다. 슬라이더는, 공기 유입단 측이 좁고, 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 하고 있다.

Description

헤드 슬라이더, 디스크 장치 및 스틱 형태의 웨이퍼 절단 방법
본 발명은, 일반적으로 자기 디스크 장치(magnetic disk drive)에 사용되는 부상형 자기헤드 슬라이더(flying magnetic head slider)에 관한 것으로, 특히 낮은 부상량(flying height)을 지향한 부압(negative pressure) 슬라이더에 관한 것이다.
근래의 자기 디스크 장치의 자기 헤드 슬라이더에 있어서는, 자기 디스크 매체의 기록 밀도의 증가를 위해 낮은 부상량화가 진척되고 있다. 또한, 액세스(accessing)의 고속화를 위해, 액세스 방향으로 큰 가속도가 작용하므로, 부상 안정성이 우수한 슬라이더가 요구되고 있다.
또한, 자기 디스크 장치의 소형화, 기구의 단순화를 위해, 근래의 자기 디스크 장치에 있어서는 회전형 포지셔너(positioner)가 널리 이용되고, 요오각(yaw angle) 변화에 의한 부상량 변동이 적은 부압 슬라이더가 요망되고 있다.
부상 안정성이 우수한 부압 자기헤드 슬라이더로서, 공기 유입단에서 공기 유출단으로 향하여 레일 폭이 감소하는 한 쌍의 레일을 형성하고, 한 쌍의 레일 사이에 홈(groove)을 획성(define)하고, 이 홈에서 부압을 발생시키는 슬라이더가 제안되어 있다(일본 특허공개공보 특개평 4-228157호).
도 1a는 상기 일본 특허공개공보에 개시된 종래의 부압 자기헤드 슬라이더의 평면도이고, 도 1b는 그 사시도이다. 슬라이더(2)는 직육면체 형상을 하고 있고, 공기 유입단(2a)과, 공기 유출단(2b)을 갖고 있다.
슬라이더(2)의 디스크 대향면에는 정압(positive pressure)을 발생시키기 위한 한 쌍의 레일(4, 6)이 형성되어 있다. 각 레일(4, 6)은 각각 디스크 회전시 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면(레일 표면)(4a, 6a)을 갖고 있다.
각 레일(4, 6)의 공기 유입단 측에는 테이퍼면(4b, 6b)이 각각 형성되어 있다. 한 쌍의 레일(4, 6) 사이에는 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈(8)이 획성되어 있다.
레일(4)이 위치하는 슬라이더(2)의 공기 유출단에는 전자기 트랜스듀서(10)가 형성되어 있다. 한 쌍의 레일(4, 6)의 공기 유입단 측에는 센터 레일(11)이 형성되어 있다.
각 레일(4, 6)의 폭을 유입단 및 유출단 측에서 넓고, 중간부분에서 가늘게 형성함으로써, 요오각 변화에 의한 부상 변동을 억제하고 있다. 또한, 유입단에 테이퍼면(4b, 6b)을 형성함으로써, 먼지와 티끌 부착시의 부상 변동을 억제할 수 있다.
도 1b는 레일면측에서 본 슬라이더(2)의 사시도이고, 점선 화살표가 슬라이더(2)에 걸리는 정압을, 실선 화살표가 슬라이더(2)에 걸리는 부압을 나타내고 있다. 레일면(4a, 6a)에서 정압이 발생하고, 홈(8) 부분에서 부압이 발생한다.
슬라이더의 부상량이 0.05㎛ 이하로 되면, 슬라이더 표면 형상이 부상 상태에 주는 영향이 크게 된다.
상술한 종래의 슬라이더에서는, 슬라이더가 장방 형상을 하고 있고, 대략 평행하게 형성된 한 쌍의 레일 각각이 유입단 측과 유출단 측에 2개의 폭이 넓은 부분을 갖기 때문에, 슬라이더 부상시에 있어서의 압력 분포의 피크(peak)가 네군데에서 발생하여 슬라이더가 4점지지 된다.
이와 같이 슬라이더(4)가 4점 지지되어 부상하면, 슬라이더의 표면 형상이 부상 상태에 주는 영향이 크게 된다. 즉, 제조 오차에 의해 슬라이더의 크라운(crown), 캠버(camber), 트위스트(twist) 등이 변동하면, 슬라이더의 부상 상태가 크게 변동한다는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 슬라이더 가공시에 생기는 레일면 평면성 공차에 의한 부상 변동, 테이퍼 길이 가공 공차에 의한 부상 변동을 억제할 수 있는, 양호한 부상 특성을 갖는 헤드 슬라이더를 제공하는 것이다.
도 1a는 종래의 자기헤드 슬라이더의 평면도.
도 1b는 종래의 자기헤드 슬라이더의 부상 상태의 사시도.
도 2는 자기 디스크 장치의 사시도.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 4는 제1 실시 형태의 슬라이더의 부상 상태의 사시도.
도 5는 제1 실시 형태의 슬라이더의 압력 분포를 나타내는 도면.
도 6은 제2 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 7은 제3 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 8은 제4 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 9는 제5 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 10은 제6 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 11은 제7 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 12는 제8 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 12는 제9 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 12는 제10 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 15a는 제 11실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 15b는 도 15a의 B-B선에 의한 단면도.
도 16은 제12 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 17은 제13 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 18은 제14 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 19a는 제15 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 19b는 도 19a의 B-B선에 의한 단면도.
도 20은 제16 실시 형태의 슬라이더의 평면도.
도 21은 제16 실시 형태의 슬라이더의 부상량을 나타내는 도면.
도 22a는 웨이퍼의 사시도.
도 22b는 도 22a에 나타낸 웨이퍼로부터 잘라낸 스틱 형상 웨이퍼의 사시도.
도 23은 제1 절단 방법을 나타내는 도면.
도 24는 절단날의 단면 형상을 나타내는 도면.
도 25는 스테이지의 사시도.
도 26a는 도 25의 26A-26A선 단면도.
도 26b는 도 25의 26B-26B선 단면도.
도 27은 제2 절단 방법을 나타내는 도면.
도 28은 절단 위치 결정에 적합한 스틱형 웨이퍼를 나타내는 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
50A ~ 50Q 자기헤드 슬라이더
52a 공기 유입단
52b 공기 유출단
54, 56 레일
54a, 56a 레일면(공기 베어링 표면)
54b, 56b 테이퍼면
58 슬릿
60 홈
62 전자기 트랜스듀서
본 발명에 의하면, 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일 사이의 공기 유입단 측에 획성된 슬릿과, 상기 슬릿에 연속하여 상기 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 상기 슬릿보다도 폭이 넓은 홈과, 상기 레일의 한쪽이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 슬라이더는 공기 유입단 측보다도 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
본 발명의 헤드 슬라이더는 공기 유입단 측이 좁고 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 하고 있으므로, 한 쌍의 레일은 유입단 측에서 가깝게 된다. 이에 의해, 슬라이더 부상시에서의 압력 분포의 피크는 세군데로 되어, 슬라이더가 3점지지 된다.
슬라이더가 3점지지 되면, 제조 오차에 의해 슬라이더의 크라운, 캠버, 트위스트 등이 변동하여도, 슬라이더의 부상 변동을 억제할 수 있어, 슬라이더의 양호한 부상 특성을 실현할 수 있다.
바람직하게는, 각 레일은 레일의 공기 유출단부의 중심이 공기 유입단부의 중심과 중간 부분의 중심을 연결한 직선의 외측인 형상을 갖고 있다. 또한 바람직하게는, 각 레일은 유입단 측에 정압을 발생시키는 테이퍼면을 갖고 있고, 또 테이퍼면을 갖는 레일 부분의 레일 폭이, 공기 유입단 측에서 유출단 측으로 향하여 연속적으로 감소한다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시의 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일 사이의 공기 유입단 측에 획성된 슬릿과, 상기 슬릿에 연속하여 상기 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 상기 슬릿보다도 폭이 넓은 홈과, 상기 레일의 한쪽이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 슬라이더는 공기 유출단 측에 서로 대략 평행한 한 쌍의 측면과, 상기 한 쌍의 측면에서 공기 유입단으로 향하여 연속하여 서로 접근하는 한 쌍의 경사측면을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시의 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일을 공기 유입단 측으로 연결하는 연결 레일부와, 상기 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈과, 상기 한 쪽의 레일이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 슬라이더는 공기 유입단 측이 좁고 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
바람직하게는, 연결 레일부는 공기 유입단 측에 정압을 발생시키는 테이퍼면을 갖고 있고, 또 테이퍼면을 갖는 레일 부분의 레일 폭이, 공기 유입단 측에서 공기 유출단 측으로 향하여 연속하여 감소하고 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 복수의 슬라이더가 횡방향으로 나란하게 형성된 소정 폭의 스틱 형상 웨이퍼를 절단하여 사다리꼴 슬라이더를 얻는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법에 있어서, 상기 사다리꼴 슬라이더의 경사측면의 각도와 같은 경사각의 절단날을 갖는 회전 커터를 설치하고, 각각의 슬라이더의 공기 유입단이 위쪽이 되도록 상기 스틱 형상 웨이퍼를 세움과 동시에, 상기 커터에 대하여 상기 스틱 형상 웨이퍼를 대략 수평 방향으로 반송하여 절단하는 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법이 제공된다.
대체안으로서, 절단 위치가 상기 커터의 중심을 통하는 연직선에 실질적으로 일치하도록, 스틱 형상 웨이퍼를 상기 커터에 대하여 연직 방향으로 이동하여 절단하도록 하여도 좋다.
(발명의 실시 형태)
도 2를 참조하면, 본 발명의 자기 헤드 슬라이더를 탑재한 자기 디스크 장치의 사시도가 나타나 있다. 부호 12는 베이스(14)와 커버(16)로 구성되는 하우징(housing: disk enclosure)이다.
베이스(14) 위에는 내장 허브 모터(inner hub motor)에 의해 구동되는 도시하지 않은 스핀들 허브(spindle hub)가 설치되어 있다. 스핀들 허브에는 자기 디스크(20)와 도시하지 않은 스페이서(spacer)가 교호로 삽입되고, 디스크 클램프(18)를 스핀들 허브에 나사 체결함으로써, 복수개의 자기 디스크(20)가 소정 간격으로 이간하여 스핀들 허브에 부착되어 있다.
부호 22는 액츄에이터 아암 어셈블리(actuator arm assembly)(26)와 자기 회로(28)로 구성되는 로타리(rotary) 액츄에이터를 나타내고 있다. 액츄에이터 아암 어셈블리(26)는, 베이스(14)에 고정된 축(24) 둘레에 회전 가능하게 부착되어 있다.
액츄에이터 아암 어셈블리(26)는, 회전 중심으로부터 한 방향으로 연장된 복수의 액츄에이터 아암(30)과, 액츄에이터 아암(30)과 반대 방향으로 연장된 지지 부재(36)를 포함하고 있다.
각 액츄에이터 아암(30)의 선단부에는, 선단부에 자기 헤드 슬라이더(32)를 지지하는 서스펜션(suspension)(34)의 기단부가 고정되어 있다.
코일 지지부재(36)에 의해 코일(38)이 지지되어 있다. 자기 회로(28)와, 자기 회로(28)의 캡 중에 삽입되는 코일(38)로 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor:VCM)(40)가 구성된다.
부호 42는 헤드 슬라이더(32)에 탑재된 전자기 트랜스듀서(electro magnetic transducer)로부터의 신호를 취하는 플렉서블 프린트 배선판(flexible printed circuit board: FPC)을 나타내고, 고정 부재(44)에 그 일단이 고정되고, 또한 도시하지 않은 컨넥터에 전기적으로 접속되어 있다.
베이스(14) 위에 환상 패킹 어셈블리(annular packing assembly)(46)가 탑재되어 있고, 패킹 어셈블리(46)를 사이에 끼우고 커버(16)를 베이스(14)에 나사 체결함으로써 하우징(12) 안이 밀봉된다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태의 자기 헤드 슬라이더(50A)의 평면도를 나타내고, 도 4는 부상 상태의 그 사시도를 나타내고 있다. 본 실시 형태 및 계속된 수많은 실시 형태에서, 실질적으로 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여 설명한다.
자기 헤드 슬라이더(50A)는 공기 유입단(52a)와, 공기 유출단(52b)을 갖고 있고, 공기 유입단 측이 좁고 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 하고 있다. 자기 헤드 슬라이더(50A)는 도 2에 나타낸 서스펜션(34)에 의해 지지된다.
자기 헤드 슬라이더(50A)의 디스크 대향면에는, 평탄한 레일면(공기 베어링 표면)(54a, 56a)을 갖는 한 쌍의 레일(54, 56)이 형성되어 있다.
각 레일(54, 56)의 공기 유입단 측부에는 각각 테이퍼면(54b, 56b)이 형성되어 있다. 슬라이더(50A)가 사다리꼴을 갖고 있으므로, 한 쌍의 레일(54, 56)은 공기 유입단 측에서 서로 근접하도록 배치되어 있고, 그 사이에 슬릿(58)이 획성되어 있다.
또한, 한 쌍의 레일(54, 56) 사이에는 부압 발생용 홈(60)이 획성되어 있다. 레일(54)이 위치하는 슬라이더(50A)의 공기 유츌단(52b)에는 전자기 트랜스듀서(62)가 형성되어 있다.
슬라이더(50A)는 Al2O3-TiC로 형성되어 있고, 웨이퍼에 복수개의 전자기 트랜스듀서(62)를 형성한 후 웨이퍼를 바(bar) 형상으로 절단하고, 측면을 가공하여 레일(54, 56)을 형성한 후, 개개의 슬라이더(50A)로 절단한다.
슬라이더 크기는 1.25㎜×0.25~0.75㎜(공기 유입단)×1㎜(공기 유출단)이고, 두께는 0.3㎜이다. 레일(54, 56)의 폭은 가장 가는 부분에서 100㎛이하로 되므로, 레일(54, 56)은 포토리소그래피 기술에 의해 형성한다.
즉, 형성할 레일 패턴에 레지스트를 도포한 후, 이온 밀링에 의해 웨이퍼를 깍아내어 슬릿(58)과 홈(60)을 형성한다. 테이퍼면(54b, 56b)은 레일(54, 56)을 형성하기 전 또는 후에 기계 가공에 의해 형성한다.
테이퍼의 각도는 0.5°~4.0°, 테이퍼의 길이는 레일 길이의 1/10~1/20이 바람직하다. 테이퍼면(54b, 56b)에서 발생한 정압에 의해, 각 레일(54, 56)의 선단 측면에서의 먼지의 부착을 방지한다.
도 4의 슬라이더(50A)의 부상 상태 사시도로부터 명백한 바와 같이, 점선 화살표로 나타낸 바와 같이 레일면(공기 베어링 표면)(54a, 56a)에서 정압이 발생하고, 홈(60)부분에서 실선 화살표로 나타낸 바와 같이 부압 흡인력이 발생한다. 즉, 슬릿(58)부분에서 일단 압축된 공기가 홈(60)부분에서 팽창함으로써 부압이 발생한다.
도 5에 나타낸 압력 분포로부터 명백한 바와 같이, 본 실시 형태의 슬라이더(50A)는 사다리꼴이므로, 3개의 압력의 피크를 갖고 있고, 부상 상태의 슬라이더(50A)는 3점 지지된다.
슬라이더(50A)가 3점 지지되므로, 가공 오차에 의해 슬라이더의 크라운, 캠버, 트위스트 등이 변동하여도, 슬라이더의 부상 변동율은 작게 된다. 또한, 슬라이더 형상이 사다리꼴이므로, 같은 두께를 갖는 슬라이더에서 질량이 종래 슬라이더의 1/2 ~ 3/4 정도로 된다.
예를 들어, 종래의 슬라이더는 1.757㎎이고, 제1 실시 형태의 슬라이더(50A)는 0.984 ~ 1.378㎎이다. 이 때문에, 1.161㎎의 서스펜션에 슬라이더(50A)를 부착한 경우, 공진 주파수를 3.8 ~ 13% 증가시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 형태의 슬라이더(50B)의 평면도를 나타내고 있다. 본 실시 형태의 슬라이더(50B)는 공기 유출단(52b)측에 형성된 서로 평행한 한 쌍의 측면(64a, 64b)과, 그들 측면(64a, 64b)과 공기 유입단(52a)을 접속하는 한 쌍의 경사 측면(66a, 66b)을 갖고 있다.
본 실시 형태의 슬라이더(50B)는 공기 유출단부 측에 한 쌍의 평행한 측면(64a, 64b)을 갖고 있으므로, 슬라이더 가공시 횡방향의 누름에 의해 위치 맞춤이 용이하게 된다. 또한, 공기 유출단부 측의 코너부 각도가 예각이 아니게 되므로, 충돌시 슬라이더 코너부에 의한 손상의 정도가 가볍게 된다.
도 7은 본 발명의 제3 실시 형태의 슬라이더(50C)의 평면도를 나타내고 있다. 슬라이더(50C)는 한 쌍의 레일(68, 70)을 갖고 있고, 한 쌍의 레일(68, 70) 사이에는 슬릿(72)과, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈(74)이 획성되어 있다.
레일(68)은 공기 유입단부(68a)와 공기 유출단부(68b)와 중간 부분(68c)을 포함하고 있고, 공기 유출단부(68b)의 중심이 공기 유입단부(68a)의 중심과 중간 부분(68c)의 중심을 연결한 직선(69)의 바깥측에 위치하고 있다.
마찬가지로, 레일(70)은 공기 유입단부(70a)와, 공기 유출단부(70b)와, 중간 부분(70c)을 포함하고 있고, 공기 유출단부(70b)의 중심이 공기 유입단부(70a)의 중심과 중간 부분(70c)의 중심을 연결한 직선(71)의 바깥측에 위치하고 있다.
레일(68, 70)이 상술한 바와 같은 형상을 갖고 있으므로, 공기 유입단(52a)으로부터의 기류가 차단되기 쉽게 되고, 안정 부상에 필요한 레일폭을 유지한 채 부상량을 저하시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 제4 실시 형태의 슬라이더(50D)의 평면도이다. 테이퍼면(68d, 70d)을 갖는 레일 부분의 폭이, 공기 유입단으로부터 공기 유출단으로 향하여 감소하고 있으므로, 테이퍼 가공 공차에 의해 테이퍼 길이가 변동하여도, 슬라이더(50D)의 부상량 변화를 작게 할 수 있다.
즉, 테이퍼 길이가 길게 되면 부상량을 증가시키지만, 테이퍼 부분의 레일폭을 공기 유입단으로부터 공기 유출단으로 향하여 감소시킴으로써, 부상량을 낮추고, 테이퍼 길이가 길게 됨으로써 부상량의 증가를 상쇄하고 있다.
도 9는 본 발명의 제5 실시 형태의 슬라이더(50E)의 평면도이다. 본 실시 형태에서는, 센터 레일(76)이 한 쌍의 레일(68, 70) 사이에 설치되어 있다. 그 외의 구성은 도 8에 나타낸 제4 실시 형태와 같다.
도 10은 본 발명의 제6 실시 형태의 슬라이더(50F)의 평면도를 나타내고 있다. 본 실시 형태에서는, 슬릿(72)을 획성하는 레일(68, 70)의 내측 모서리(68f, 70f)가 슬라이더(50F)의 길이 방향 중심선에 평행하게 형성되어 있다.
또한, 테이퍼면(68e, 70e)을 갖는 레일 부분의 폭이, 공기 유입단으로부터 공기 유출단으로 향하여 감소하고 있다. 이에 의해, 제4 및 제5 실시 형태와 마찬가지로, 테이퍼 가공 공차에 의해 테이퍼 길이가 변동하여도 슬라이더(50F)의 부상량 변화를 작게 할 수 있다.
도 11은 본 발명의 제7 실시 형태의 슬라이더(50G)의 평면도를 나타내고 있다. 본 실시 형태의 슬라이더(50G)에서는, 한 쌍의 레일(78, 80)은 공기 유입단 측의 연결 레일부(82)에서 서로 연결되어 있다.
즉, 레일 형상이 역V형이고, 공기 유입단이 막혀 있으므로, 공기가 공기 유입단에서 크게 압축되고, 압축된 공기가 홈(84)에서 팽창하므로, 부압의 발생이 용이하다. 연결 레일(82)은 공기 유입단부(52a)에 테이퍼면(82a)을 갖고 있다.
종래 직사각형 슬라이더에서 역V형 또는 역U형 레일을 채용하면, 테이퍼 길이가 길게 되므로, 정압 발생이 과도하여 슬라이더의 낮은 부상량을 실현하기 곤란하였다.
이 문제를 개선하기 위해서는, 테이퍼부의 레일폭을 좁게 할 필요가 있지만, 그렇게 하면, 공기 유입단의 양 옆에 레일이 없는 부분이 넓게 되어, 슬라이더가 앞으로 꼬꾸라진 경우, 슬라이더의 각이 자기 디스크에 접촉하는 문제가 있다.
본 실시 형태의 슬라이더(50G)에서는, 슬라이더의 외형이 사다리꼴을 하고 있으므로, 공기 유입단의 폭은 종래의 통상 형태의 슬라이더보다도 짧게 된다. 그 결과, 정압을 억제하기 위해 테이퍼부의 레일폭을 짧게 할 필요가 없고, 슬라이더(50G)의 꼬꾸라짐에 의한 슬라이더의 각과 자기 디스크의 접촉을 회피할 수 있다.
도 12는 본 발명의 제8 실시 형태의 슬라이더(50H)의 평면도를 나타내고 있다. 본 실시 형태의 슬라이더(50H)에서는, 레일(78, 80)을 연결하는 연결 레일부(86)의 레일폭이, 테이퍼면(86a) 부분에서, 공기 유입단으로부터 공기 유출단으로 향하여 감소하고 있다. 그 결과, 테이퍼 가공 공차에 의해 테이퍼 길이가 변동하여도 슬라이더(50H)의 부상량 변화를 작게 억제할 수 있다.
도 13은 본 발명의 제9 실시 형태의 슬라이더(50I)의 평면도를 나타내고 있다. 연결 레일부(86)에 공기 유출단 측으로부터 테이퍼면(86a)의 일부로 연장되는 슬릿(88)이 들어오므로, 공기 유입단부에서의 정압을 억제할 수 있고, 슬라이더(50I)의 낮은 부상화를 달성하기 쉽게 된다.
도 14는 본 발명의 제10 실시 형태의 슬라이더(50J)의 평면도를 나타내고 있다. 연결 레일부(86)에 형성된 공기 유출단 측으로부터 테이퍼면(86a)의 일부로 연장된 슬릿(90)이, 공기 유출단 측으로부터 공기 유입단 측으로 향하여 그 폭이 좁아지고 있다.
그 결과, 연결 레일부(86)에 공기 유입단 측으로부터 공기 유출단으로 향하여 폭이 좁게 되는 한 쌍의 레일을 형성하기 쉽게 되어, 테이퍼 가공 공차에 의한 테이퍼 길이의 변동이 발생하여도, 슬라이더(50J)의 부상량 변화를 작게 억제할 수 있다.
도 15a는 본 발명의 제11 실시 형태의 슬라이더(50K)의 평면도를 나타내고, 도 15b는 도 15a의 B-B선에 의한 단면도이다.
연결 레일부(86)에 형성되어 있는 슬릿(92)이 홈(84)의 깊이보다 얕으므로, 용이하게 부압을 발생시킬 수 있고, 또 압축된 공기가 홈(84)에서 급격하게 팽창하지 않으므로, 홈(84)에 먼지가 부착하지도 않는다.
도 16은 본 발명의 제12 실시 형태의 슬라이더(50L)의 평면도를 나타내고 있다. 연결 레일부(86) 테이퍼면(86a)의 레일폭이, 공기 유입단으로부터 공기 유출단으로 향하여 감소하고 있으므로, 테이퍼 가공 공차에 의한 테이퍼 길이의 변동이 발생하여도, 슬라이더(50L)의 부상량 변화를 작게 억제할 수 있다.
도 17은 본 발명의 제13 실시 형태의 슬라이더(50M)의 평면도를 나타내고 있다. 본 실시 형태의 슬라이더(50M)에서는, 연결 레일부(86)에 형성된 슬릿(94)의 깊이가 그루우부(84)의 깊이보다 얕고, 또한 슬릿(94)의 폭이 공기 유입단(52a)으로부터 공기 유출단으로 향하여 서서히 넓게 되도록 형성되어 있다.
또한, 테이퍼면(86a)에서의 레일폭이 공기 유입단으로부터 공기 유출단으로 향하여 감소하고 있으므로, 테이퍼 가공 공차에 의해 테이퍼 길이의 변동이 발생하여도, 슬라이더(50M)의 부상량 변화를 작게 억제할 수 있다.
도 18은 본 발명의 제14 실시 형태의 슬라이더(50N)의 평면도를 나타내고 있다. 연결 레일부(86)의 공기 유출단 측으로부터 테이퍼면(86a)의 일부에 연장된 슬릿(96)이 들어가고, 슬릿(96)의 깊이가 홈(84)의 깊이보다도 얕게 되어 있다. 본 실시 형태의 슬라이더(50N)는, 부압을 발생시키기 쉽고, 용이하게 낮은 부상을 실현할 수 있다.
도 19a는 본 발명의 제15 실시 형태의 슬라이더(50P)의 평면도를 나타내고 있고, 도 19b는 도 19a의 B-B선에 따른 단면도이다.
상술한 각 실시 형태에서는, 공기 유입단에서 정압을 발생시키므로, 레일면에 테이퍼를 설치하였지만, 본 실시 형태에서는 홈(74) 깊이의 1/2 ~ 1/4 정도(홈 깊이가 2~4㎛인 경우, 0.5~2㎛)의 스텝(98, 100)을 레일(68, 70)의 공기 유입단부에 형성한다. 또한, 슬릿(72)의 공기 유입단부에 스텝(102)을 형성한다.
레일(68, 70)의 공기 유입단부에 설치한 스텝(98, 100)에서 정압을 발생시킨다. 종래의 직사각형 슬라이더와 비교하면, 스텝(98, 100, 102)을 형성한 공기 유입단부의 폭이 좁게 되므로, 먼지의 부착량이 적게 되고, 슬라이더(50P)의 부상량의 변동을 적게 억제할 수 있다.
도 20은 본 발명의 제16 실시 형태의 슬라이더(50Q)의 평면도를 나타내고 있다. 본 실시 형태의 슬라이더(50Q)는 평균 레일폭이 다른 한 쌍의 레일(104, 106)을 갖고 있다.
즉, 전자기 트랜스듀서(62)가 위치하는 레일(106)의 평균 레일폭을, 다른 쪽 레일(104)의 평균 레일폭보다도 좁게 형성하여, 반드시 전자기 트랜스듀서(62)측 레일(106)의 부상량을 낮게 한다.
이에 의해, 낮은 부상시에 있어서, 슬라이더(50Q)가 자기 디스크에 접촉하는 확률을 저하시킬 수 있다. 레일(104, 106) 사이에는 홈(108)이 획성되어 있다.
도 21은 제16 실시 형태의 슬라이더(50Q)의 공기 유입단 및 공기 유출단의 부상량을 나타낸 도면이다. 세로축이 슬라이더 부상량을, 가로축이 자기 디스크 중심으로부터의 반경 방향 거리를 나타내고 있다.
실선이 전자기 트랜스듀서 탑재 레일이고, 점선이 전자기 트랜스듀서를 탑재하지 않은 레일의 부상량을 각각 나타내고 있다. 공기 유입단 및 공기 유출단 어느 것에서도, 전자기 트랜스듀서 탑재 레일의 부상량이 다른 레일보다 낮게 되어 있음을 알 수 있다.
다음에, 도 22a 및 도 22b를 참조하여, 슬라이더의 제조 방법에 대해서 개략적으로 설명한다. 도 22a에 나타낸 바와 같이, 먼저 웨이퍼(110) 위에 복수의 전자기 트랜스듀서(62)를 형성한다. 웨이퍼(110)로부터 Al2O3-TiC 기판(112)을 바(bar) 형상으로 잘라내고, 이를 본 명세서에서 스틱 형상 웨이퍼라 한다.
다음에, 스틱 형상 웨이퍼(112) 위에 포토 레지스트의 마스크 패턴을 형성하고, 이온 밀링으로 에칭하여 도 22b에 나타낸 바와 같이 스틱 형상 웨이퍼(112) 위에 복수의 레일(54, 56)을 형성한다.
도 23을 참조하면, 스틱 형상 웨이퍼(112)의 제1 절단 방법이 나타나 있다. 즉, 본 발명의 슬라이더는 사다리꼴을 하고 있으므로, 스틱 형상 웨이퍼(112)로부터 개개의 슬라이더를 분리하기 위한 특별한 절단 방법이 필요하다.
회전 커터(114)는 그 외주면에 절단날(116)을 갖고 있다. 절단날(116)은 도 24에 나타낸 바와 같은 특별한 단면 형상을 하고 있다. 즉, 절단날(116)은 사다리꼴 슬라이더(50A)의 경사 측면의 각도와 같은 경사각을 갖고 있다. 또한, 절단날(116)은 사다리꼴 슬라이더(50A)의 길이보다도 큰 반경 방향 길이(L)를 갖고 있다.
이와 같은 절단날(116)을 갖는 복수의 회전 커터(114)를 도 23에 나타낸 바와 같이 등간격으로 병설하고, 개개의 슬라이더(50A)의 공기 유입단(52a)이 위쪽이 되도록 스틱 형상 웨이퍼(112) 세운 후 커터(114)에 대하여 스틱 형상 웨이퍼(112)를 화살표(118)로 나타낸 수평 방향으로 반송하여 스틱 형상 웨이퍼(112)를 개개의 슬라이더(50A)로 절단한다.
여기서, 주의할 것은, 스틱 형상 웨이퍼(112)를 반송하는 경우의 커터(114)의 절단날(116)에 대한 높이 관계가 중요하여, 커터(114)의 바로 아래에서 도 24에 나타낸 바와 같은 높이 관계로 되도록 스틱 형상 웨이퍼(112)를 반송한다. 스틱 형상 웨이퍼(112)가 커터(114)의 바로 아래를 통과하면, 스틱 형상 웨이퍼(112)는 복수의 사다리꼴 슬라이더(50A)로 분리된다.
스틱 형상 웨이퍼(112)의 절단을 자동화 하기 위해서는, 도 25에 나타낸 바와 같은 스테이지(stage)(120)가 사용된다. 스테이지(120)는 스틱 형상 웨이퍼(112)가 정확히 수용되는 복수의 홈(122)을 갖고 있다. 또한, 이들 홈(122)과 직각 방향으로 복수의 슬릿(124)이 형성되어 있다. 이들 슬릿(124) 중을 절단날(116)이 통과한다.
도 26a는 도 25의 26A-26A선 단면도를 나타내고 있고, 도 26b는 도 25의 26B-26B선 단면도를 각각 나타내고 있다.
이 스테이지(120)을 사용하여 스틱 형상 웨이퍼(112)를 절단하기 위해서는, 개개의 슬라이더의 공기 유입단이 위쪽이 되도록 스틱 형상 웨이퍼(112)를 스테이지(120)의 홈(122) 중에 삽입한다.
그리고, 스테이지(120)를 캐리어(carrier)에 의해 수평 방향으로 반송하면서, 스틱 형상 웨이퍼(112)를 개개의 슬라이더로 절단한다. 절단시에는, 회전 커터(114)의 절단날(116)은 스테이지(120)의 슬릿(124)을 통과한다.
도 27을 참조하면, 스틱 형상 웨이퍼의 제2 절단 방법이 나타나 있다. 이 절단 방법에 의하면, 개개의 슬라이더의 공기 유입단이 위쪽이 되도록 스틱 형상 웨이퍼(112)를 세워 웨이퍼를 회전 커터(114)의 바로 아래에 위치시킨다.
그리고, 절단 위치가 커터(114)의 중심을 통과하는 연직선에 실질상 일치하도록, 스틱 형상 웨이퍼(112)를 커터(114)에 대하여 연직 방향 위쪽으로 이동시켜, 스틱 형상 웨이퍼(112)를 개개의 슬라이더로 절단한다. 커터(114)의 절단날(116)은 도 24에 나타낸 절단날과 같은 형상을 하고 있다.
도 28을 참조하면, 절단 위치 결정에 적합한 스틱 형상 웨이퍼(112')가 나타나 있다. 이 스틱 형상 웨이퍼(112')는 인접하는 슬라이더와 슬라이더 사이에 스틱 형상 웨이퍼(112')의 폭방향 전체 길이에 걸친 돌기(128)를 갖고 있다. 이들 돌기(128)는 이온 밀링에 의해 레일(54, 56)을 가공함과 동시에 가공한다.
이와 같이, 스틱 형상 웨이퍼(112')는 복수의 돌기(128)를 갖고 있으므로, 이들 돌기(128)를 커터(114)의 절단날(116)을 위치 결정하기 위한 가이드로서 이용할 수 있다. 이들 돌기(128)를 가이드로 하여 스틱 형상 웨이퍼(112')를 절단함으로써, 스틱 형상 웨이퍼(112')를 개개의 슬라이더로 용이하게 분리 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 슬라이더 가공시에 생기는 레일면 평면성 공차에 의한 부상량 변동 및 테이퍼 길이 가공 공차에 의한 부상량의 변동을 억제할 수 있어, 양호한 부상 특성을 갖는 헤드 슬라이더를 제공할 수 있다.

Claims (27)

  1. 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시의 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일 사이의 공기 유입단 측에 획성된 슬릿과, 상기 슬릿에 연속하여 상기 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 상기 슬릿보다도 폭이 넓은 홈과, 상기 레일의 한쪽이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 슬라이더는 공기 유입단 측보다도 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 각 레일은 유입단부와, 유출단부와, 중간 부분을 갖고, 각 레일의유출단부 중심이 유입단부 중심과 중간 부분의 중심을 연결한 직선의 바깥쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 각 레일은 유입단 측에 공기 베어링 표면에 연속하여 형성된 테이퍼면을 갖고, 상기 테이퍼면을 갖는 레일 부분의 레일 폭이 유입단 측에서 유출단을 향하여 연속하여 감소하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 한 쌍의 레일의 안쪽면은 상기 테이퍼면을 갖는 레일 부분에서 슬라이더 길이 방향 중심축선에 평행한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 슬릿의 깊이는 상기 홈의 깊이 보다도 얕은 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 각 레일은 유입단 측에 단차를 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 한쪽 레일의 평균 레일폭은 다른 쪽 레일의 평균 레일폭보다도 좁은 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  8. 제 5항에 있어서, 상기 각 레일의 상기 테이퍼면을 갖는 부분의 레일폭이 유입단 측에서 유출단 측으로 연속하여 감소하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 슬릿의 폭이 유입단 측으로부터 유출단 측에 걸쳐 연속하여 증가하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  10. 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시의 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일 사이의 공기 유입단 측에 획성된 슬릿과, 상기 슬릿에 연속하여 상기 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 상기 슬릿보다도 폭이 넓은 홈과, 상기 레일의 한쪽이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 슬라이더는 공기 유출단 측에 서로 대략 평행한 한 쌍의 측면과, 상기 한 쌍의 측면에서 공기 유입단으로 향하여 연속하여 서로 접근하는 한 쌍의 경사측면을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 각 레일은 유입단부와, 유출단부와, 중간 부분을 갖고, 각 레일의 유출단부 중심이 유입단부 중심과 중간 부분의 중심을 연결한 직선의 바깥쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 각 레일은 유입단 측에 공기 베어링 표면에 연속하여 형성된 테이퍼면을 갖고, 상기 테이퍼면을 갖는 레일 부분의 레일 폭이 유입단 측에서 유출단을 향하여 연속하여 감소하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  13. 제 10항에 있어서, 상기 한 쌍의 레일의 안쪽면은 상기 테이퍼면을 갖는 레일 부분에서 슬라이더 길이 방향 중심축선에 평행한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  14. 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일을 공기 유입단 측으로 연결하는 연결 레일부와, 상기 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈과, 상기 한 쪽의 레일이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 슬라이더는 공기 유입단 측보다도 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 연결 레일부는 공기 유입단 측에 테이퍼면을 갖고, 상기 테이퍼면이 형성된 연결 레일부의 레일 폭이 유입단 측에서 유출단 측으로 연속하여 감소하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 연결 레일부는 횡방향의 대략 중심 부분에 상기 홈으로부터 상기 테이퍼면의 일부에 걸쳐 연장하는 슬릿을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 슬릿은 유입단에서 유출단으로 향하여 그 폭이 증가하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  18. 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스트에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 레일의 한쪽이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 한 쌍의 레일 사이의 간격은 공기 유입단에서 공기 유출단으로 향하여 넓어지고, 상기 슬라이더는 공기 유입단 측 보다도 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  19. 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더에 있어서, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시의 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 레일의 한쪽이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 한 쌍의 레일은 그 사이에 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈을 획성하고 있고, 상기 슬라이더는 공기 유입단 측 보다도 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 갖고, 상기 한 쌍의 레일의 각각은 상기 슬라이더의 양측 모서리에 대략 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  20. 디스크 장치에 있어서, 하우징과, 상기 하우징 내에 회전 가능하게 부착된 디스크와, 상기 디스크에 대하여 데이타를 쓰기/읽기하는 트랜스듀서를 갖는 헤드 슬라이더와, 상기 헤드 슬라이더를 디스크의 트랙을 가로질러 이동시키는 액츄에이터를 구비하고, 상기 헤드 슬라이더는, 디스크에 대향하는 디스크 대향면에 형성된, 각각 디스크 회전시의 부상력을 발생하기 위한 평탄한 공기 베어링 표면을 갖는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일 사이의 공기 유입단 측에 획성된 슬릿과, 상기 슬릿에 연속하여 상기 한 쌍의 레일 사이에 획성된, 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 상기 슬릿보다도 폭이 넓은 홈과, 상기 레일의 한쪽이 위치하는 상기 공기 유출단에 형성된 트랜스듀서를 구비하고, 상기 슬라이더는 공기 유입단 측보다도 공기 유출단 측이 넓은 사다리꼴을 갖는 것을 특징으로 하는 디스크 장치.
  21. 복수의 슬라이더가 횡방향으로 나란하게 형성된 소정 폭의 스틱 형상 웨이퍼를 절단하여 사다리꼴 슬라이더를 얻는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법에 있어서, 상기 사다리꼴 슬라이더의 경사측면의 각도와 같은 경사각의 절단날을 갖는 회전 커터를 설치하고, 개개의 슬라이더의 공기 유입단이 위쪽이 되도록 상기 스틱 형상 웨이퍼를 세움과 동시에, 상기 커터에 대하여 상기 스틱 형상 웨이퍼를 대략 수평 방향으로 반송하여 절단하는 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법.
  22. 제 21항에 있어서, 상기 절단날의 반경 방향 길이는 상기 스틱 형상 웨이퍼 폭 이상인 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법.
  23. 제 21항에 있어서, 상기 스틱 형상 웨이퍼는 인접하는 슬라이더의 중간 부분에 공기 유입단에 이르는 절단 위치결정용 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법.
  24. 복수의 슬라이더가 횡방향으로 나란하게 형성된 소정 폭의 스틱 형상 웨이퍼를 절단하여 사다리꼴 슬라이더를 얻는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법에 있어서, 상기 사다리꼴의 경사측면의 각도와 같은 경사각의 절단날을 갖는 회전 커터를 설치하고, 각각의 슬라이더의 공기 유입단이 위쪽이 되도록 상기 스틱 형상 웨이퍼를 세워 상기 웨이퍼를 상기 커터의 바로 아래에 위치시키고, 절단 위치가 상기 커터의 중심을 통하는 연직선에 실질적으로 일치하도록, 상기 스틱 형상 웨이퍼를 상기 커터에 대하여 연직 방향으로 이동하여 절단하는 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법.
  25. 제 24항에 있어서, 상기 절단날의 반경 방향 길이는 상기 스틱 형상 웨이퍼의 폭 이상인 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법.
  26. 제 24항에 있어서, 상기 스틱 형상 웨이퍼는 인접하는 슬라이더의 중간 부분에 공기 유입단에 이르는 절단 위치 결정용 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법.
  27. 복수의 슬라이더가 횡방향으로 나란하게 형성된 소정 폭의 스틱 형상 웨이퍼를 절단하여 사다리꼴 슬라이더를 얻는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법에 있어서, 상기 사다리꼴의 경사측면의 각도와 같은 경사각의 절단날을 갖는 복수의 회전 커터를 소정 간격을 띄워 설치하고, 상기 스틱 형상 웨이퍼가 삽입되는 홈과, 상기 홈에 대하여 직각 방향으로 상기 소정 간격으로 형성된 복수의 슬릿을 갖는 스테이지를 설치하고, 개개의 슬라이더의 공기 유입단이 위쪽이 되도록 상기 스틱 형상 웨이퍼를 상기 스테이지의 홈 중에 삽입하고, 상기 스테이지를 상기 커터에 대하여 대략 수평 방향으로 반송하여 상기 스틱 형상 웨이퍼를 절단하는 것을 특징으로 하는 스틱 형상 웨이퍼의 절단 방법.
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