JP2827980B2 - 浮動ヘッドスライダ - Google Patents
浮動ヘッドスライダInfo
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- JP2827980B2 JP2827980B2 JP7218274A JP21827495A JP2827980B2 JP 2827980 B2 JP2827980 B2 JP 2827980B2 JP 7218274 A JP7218274 A JP 7218274A JP 21827495 A JP21827495 A JP 21827495A JP 2827980 B2 JP2827980 B2 JP 2827980B2
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータの記
憶装置に用いられる浮動ヘッドスライダ、特に負圧を利
用した浮動ヘッドスライダに関する。
憶装置に用いられる浮動ヘッドスライダ、特に負圧を利
用した浮動ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ＨＤＤ
（ハードディスク装置）の高密度化に伴って、浮動ヘッ
ドスライダに対しては、低浮上量でかつコンスタントな
浮上量を保つことが要求されている。特に現在主流とな
っているスイングアーム式のＨＤＤにおいては、ディス
クの内周位置から外周位置にかけて相対速度及びスキュ
ー角度の変化を補正しながら一定浮上量を保つように制
御しなければならない。
（ハードディスク装置）の高密度化に伴って、浮動ヘッ
ドスライダに対しては、低浮上量でかつコンスタントな
浮上量を保つことが要求されている。特に現在主流とな
っているスイングアーム式のＨＤＤにおいては、ディス
クの内周位置から外周位置にかけて相対速度及びスキュ
ー角度の変化を補正しながら一定浮上量を保つように制
御しなければならない。
【０００３】一定の浮上量に制御する技術としては、レ
ールの側縁に沿って非常に浅い切欠き凹部を設けて横方
向加圧を行うＴＰＣスライダが公知であり（例えば米国
特許第４，６７３，９９６号、特開昭６１−２７８０８
７号）、既に実用化されている。このＴＰＣスライダに
よれば、ほぼ一定の浮上量を得ることができるが、その
一方で、レール寸法の数ミクロンのずれによって浮上量
が変化してしまうという製造上の問題や、ＨＤＤのシー
ク動作時の挙動が不安定になる等の問題が指摘されてい
る。
ールの側縁に沿って非常に浅い切欠き凹部を設けて横方
向加圧を行うＴＰＣスライダが公知であり（例えば米国
特許第４，６７３，９９６号、特開昭６１−２７８０８
７号）、既に実用化されている。このＴＰＣスライダに
よれば、ほぼ一定の浮上量を得ることができるが、その
一方で、レール寸法の数ミクロンのずれによって浮上量
が変化してしまうという製造上の問題や、ＨＤＤのシー
ク動作時の挙動が不安定になる等の問題が指摘されてい
る。
【０００４】浮動ヘッドスライダの他の公知例として、
例えば特開平６−１９５９１６号や「均一浮上量を有す
る超低間隙用の負圧マイクロヘッドスライダ」、 Ｓ．
Ｙｏｎｅｏｋａ 他、ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｍａｇ
ｎ． ＶＯＬ．２７、 Ｎｏ．６、 第５０８５頁〜第
５０８７頁に開示されているいわゆる負圧スライダがあ
る。前者の負圧スライダは浮上面の空気流入端側にＵ字
形レールを設けることによって負圧を得るものであり、
後者の負圧スライダは浮上面のレールの幅を１か所狭く
することによって凹部を形成して負圧を得るものであ
る。この種の負圧スライダによれば、正の空気圧と負の
空気圧とをサスペンションから受ける荷重にバランスさ
せることによって、空気膜剛性を上げて動的な浮上特性
を改善することができる。
例えば特開平６−１９５９１６号や「均一浮上量を有す
る超低間隙用の負圧マイクロヘッドスライダ」、 Ｓ．
Ｙｏｎｅｏｋａ 他、ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｍａｇ
ｎ． ＶＯＬ．２７、 Ｎｏ．６、 第５０８５頁〜第
５０８７頁に開示されているいわゆる負圧スライダがあ
る。前者の負圧スライダは浮上面の空気流入端側にＵ字
形レールを設けることによって負圧を得るものであり、
後者の負圧スライダは浮上面のレールの幅を１か所狭く
することによって凹部を形成して負圧を得るものであ
る。この種の負圧スライダによれば、正の空気圧と負の
空気圧とをサスペンションから受ける荷重にバランスさ
せることによって、空気膜剛性を上げて動的な浮上特性
を改善することができる。
【０００５】しかしながらこのような従来構成の負圧ス
ライダでは、前述したＴＰＣスライダで得られるごとき
定浮上量特性を実現することが非常に困難である。例え
ば浮上量を６０ｎｍとして設計した場合、ディスク内周
位置及び外周位置間の浮上量の差が１０ｎｍ近くも発生
してしまう。また、スライダの特定位置では、設計通り
の定浮上ができたとしても、スライダ全体としての姿勢
が満足できないものとなってしまう（特にロールが大き
くなってしまう）という問題もある。
ライダでは、前述したＴＰＣスライダで得られるごとき
定浮上量特性を実現することが非常に困難である。例え
ば浮上量を６０ｎｍとして設計した場合、ディスク内周
位置及び外周位置間の浮上量の差が１０ｎｍ近くも発生
してしまう。また、スライダの特定位置では、設計通り
の定浮上ができたとしても、スライダ全体としての姿勢
が満足できないものとなってしまう（特にロールが大き
くなってしまう）という問題もある。
【０００６】従来構成の負圧スライダがこのような問題
点を有する理由の１つは、前者の負圧スライダ（特開平
６−１９５９１６号のスライダ）では、負圧を発生させ
る領域がスライダの空気流入端近傍を中心に配置されて
いるので空気流出端側では精密な圧力補正が不可能であ
ること、後者の負圧スライダ（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．
Ｍａｇｎ． ＶＯＬ．２７、 Ｎｏ．６、 第５０８５
頁〜第５０８７頁のスライダ）では、そのＦｉｇ．８の
特性図からも明らかのように負圧発生領域がスライダの
中心付近にあるので空気流出端側における圧力補正がで
きないことにある。前述したＴＰＣスライダにおいても
空気流出端側で充分な圧力補正を行えないことは、もち
ろんである。
点を有する理由の１つは、前者の負圧スライダ（特開平
６−１９５９１６号のスライダ）では、負圧を発生させ
る領域がスライダの空気流入端近傍を中心に配置されて
いるので空気流出端側では精密な圧力補正が不可能であ
ること、後者の負圧スライダ（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．
Ｍａｇｎ． ＶＯＬ．２７、 Ｎｏ．６、 第５０８５
頁〜第５０８７頁のスライダ）では、そのＦｉｇ．８の
特性図からも明らかのように負圧発生領域がスライダの
中心付近にあるので空気流出端側における圧力補正がで
きないことにある。前述したＴＰＣスライダにおいても
空気流出端側で充分な圧力補正を行えないことは、もち
ろんである。
【０００７】負圧発生領域をスライダの空気流出端側に
形成した従来例として、米国特許第５，２６７，１０９
号に記載されているスライダがある。このスライダは、
レールの空気流出端部に段差を形成して負圧を得る構成
であり、このためレールの空気流出端面に磁気ヘッド素
子を形成することができず、従ってスライダの空気流出
端の中央部に新たなレールを設けて磁気ヘッド素子を配
置している。その結果、この新たなレールの空気流出端
には、負圧発生部とバランスさせるための大きな正圧が
発生し、このため、特定のＨＤＤ条件以外では安定した
浮上姿勢を得ることが極めて困難である。
形成した従来例として、米国特許第５，２６７，１０９
号に記載されているスライダがある。このスライダは、
レールの空気流出端部に段差を形成して負圧を得る構成
であり、このためレールの空気流出端面に磁気ヘッド素
子を形成することができず、従ってスライダの空気流出
端の中央部に新たなレールを設けて磁気ヘッド素子を配
置している。その結果、この新たなレールの空気流出端
には、負圧発生部とバランスさせるための大きな正圧が
発生し、このため、特定のＨＤＤ条件以外では安定した
浮上姿勢を得ることが極めて困難である。
【０００８】従って本発明の目的は、安定した定浮上量
を保持することができる浮動ヘッドスライダを提供する
ことにある。
を保持することができる浮動ヘッドスライダを提供する
ことにある。
【０００９】本発明の他の目的は、設計自由度が非常に
高い浮動ヘッドスライダを提供することにある。
高い浮動ヘッドスライダを提供することにある。
【００１０】本発明のさらに他の目的は、製造上の公差
を大きくとることができる浮動ヘッドスライダを提供す
ることにある。
を大きくとることができる浮動ヘッドスライダを提供す
ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、浮上面
に設けられ空気流入端から空気流出端に向かって伸長す
る複数のレールを有しており、少なくとも１つのレール
が、空気流入端の近傍位置にレール幅を狭くして形成し
た第１の絞り部分と、スライダ全長に対する空気流入端
からの距離の比が０．６〜０．９の位置にレール幅を部
分的に狭くして形成した少なくとも１つの第２の絞り部
分とを備えており、少なくとも１つのレールは第２の絞
り部分から空気流出端方向にレール幅が広がる部分を有
している浮動ヘッドスライダが提供される。
に設けられ空気流入端から空気流出端に向かって伸長す
る複数のレールを有しており、少なくとも１つのレール
が、空気流入端の近傍位置にレール幅を狭くして形成し
た第１の絞り部分と、スライダ全長に対する空気流入端
からの距離の比が０．６〜０．９の位置にレール幅を部
分的に狭くして形成した少なくとも１つの第２の絞り部
分とを備えており、少なくとも１つのレールは第２の絞
り部分から空気流出端方向にレール幅が広がる部分を有
している浮動ヘッドスライダが提供される。
【００１２】第１の絞り部分によって、空気流入端近傍
に第１の負圧発生領域が形成されて従来技術と同様の負
圧効果が得られる。即ち、この負圧発生領域とレールの
正圧発生領域とのバランスによって、周速依存性が低
く、空気膜剛性の高い安定した浮上特性を得ることがで
きる。
に第１の負圧発生領域が形成されて従来技術と同様の負
圧効果が得られる。即ち、この負圧発生領域とレールの
正圧発生領域とのバランスによって、周速依存性が低
く、空気膜剛性の高い安定した浮上特性を得ることがで
きる。
【００１３】第２の絞り部分によって、スライダ全長に
対する距離比が０．６〜０．９の位置に第２の負圧発生
領域が形成され、ＨＤＤ内のスキュー角補正が精密に行
えることとなる。これら第１の負圧発生領域及び第２の
負圧発生領域の両者の作用によって極めて安定した浮上
特性を得ることができる。しかもこれら負圧発生領域
が、磁気ヘッド素子の位置に関係なく所定位置範囲内に
おいてレール幅を調整するのみで得られるので浮動ヘッ
ドスライダの設計自由度が非常に高く、しかも寸法精度
についてもＴＰＣスライダと比較して大きな許容度を有
するので製造上の公差を大きくとることが可能となり製
造が非常に容易となる。
対する距離比が０．６〜０．９の位置に第２の負圧発生
領域が形成され、ＨＤＤ内のスキュー角補正が精密に行
えることとなる。これら第１の負圧発生領域及び第２の
負圧発生領域の両者の作用によって極めて安定した浮上
特性を得ることができる。しかもこれら負圧発生領域
が、磁気ヘッド素子の位置に関係なく所定位置範囲内に
おいてレール幅を調整するのみで得られるので浮動ヘッ
ドスライダの設計自由度が非常に高く、しかも寸法精度
についてもＴＰＣスライダと比較して大きな許容度を有
するので製造上の公差を大きくとることが可能となり製
造が非常に容易となる。
【００１４】上述した少なくとも１つのレールには、第
２の絞り部分が１つだけ設けられていてもよいし、複数
設けられていてもよい。後者の場合、より安定した浮上
特性を得ることができる。
２の絞り部分が１つだけ設けられていてもよいし、複数
設けられていてもよい。後者の場合、より安定した浮上
特性を得ることができる。
【００１５】第２の絞り部分がレールのディスク内周側
又はディスク外周側に設けられたレール幅方向の凹部に
よって構成されていてもよいし、ディスク内周側及びデ
ィスク外周側の両方に設けられたレール幅方向の凹部に
よって構成されていてもよい。
又はディスク外周側に設けられたレール幅方向の凹部に
よって構成されていてもよいし、ディスク内周側及びデ
ィスク外周側の両方に設けられたレール幅方向の凹部に
よって構成されていてもよい。
【００１６】複数のレールが空気流入端側に形成された
クロスレールによって連結されていることも本発明の１
つの実施態様である。
クロスレールによって連結されていることも本発明の１
つの実施態様である。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施形
態を詳細に説明する。
態を詳細に説明する。
【００１８】図１は本発明の浮動ヘッドスライダの一実
施形態における構成を浮上面（ＡＢＳ面）側から見た平
面図である。
施形態における構成を浮上面（ＡＢＳ面）側から見た平
面図である。
【００１９】同図において、１０は浮動ヘッドスライダ
の空気流入端、１１はその空気流出端、１２及び１３は
空気流入端１０から空気流出端１１に向かって伸長する
ディスク外周側及びディスク内周側の２つのレールをそ
れぞれ示している。レール１２及び１３の空気流入端１
０側（空気流入端１０からの領域ａ）には、テーパ部１
２ａ及び１３ａが形成されている。
の空気流入端、１１はその空気流出端、１２及び１３は
空気流入端１０から空気流出端１１に向かって伸長する
ディスク外周側及びディスク内周側の２つのレールをそ
れぞれ示している。レール１２及び１３の空気流入端１
０側（空気流入端１０からの領域ａ）には、テーパ部１
２ａ及び１３ａが形成されている。
【００２０】テーパ部１２ａ及び１３ａをも含めてそれ
らの後端から所定距離までの領域ｂにおいて、レール１
２及び１３は広い幅を有している。次の領域ｃではレー
ル幅を狭くした第１の絞り部分１２ｃ及び１３ｃが形成
されている。これら第１の絞り部分１２ｃ及び１３ｃ
は、公知の負圧スライダと同様に、流入端側で圧縮され
た空気膜を緩和することによって空気流入端１０の近傍
に第１の負圧発生領域を形成するように構成されてい
る。即ち、この負圧発生領域とレールの正圧発生領域と
のバランスによって、周速依存性が低く、空気膜剛性の
高い安定した浮上特性を得ている。
らの後端から所定距離までの領域ｂにおいて、レール１
２及び１３は広い幅を有している。次の領域ｃではレー
ル幅を狭くした第１の絞り部分１２ｃ及び１３ｃが形成
されている。これら第１の絞り部分１２ｃ及び１３ｃ
は、公知の負圧スライダと同様に、流入端側で圧縮され
た空気膜を緩和することによって空気流入端１０の近傍
に第１の負圧発生領域を形成するように構成されてい
る。即ち、この負圧発生領域とレールの正圧発生領域と
のバランスによって、周速依存性が低く、空気膜剛性の
高い安定した浮上特性を得ている。
【００２１】次の領域ｄではレール幅が広がっており、
その次の領域ｅではレール幅を再び部分的に狭くした第
２の絞り部分１２ｅ及び１３ｅが形成されている。これ
ら第２の絞り部分１２ｅ及び１３ｅは、本実施形態で
は、スライダ全長に対する空気流入端１０からの距離の
比（以下スライダ長比と称する）が０．７の位置に形成
されており、ここに第２の負圧発生領域が形成されるよ
うに構成されている。これにより、ＨＤＤ内のスキュー
角補正を精密に行うことができる。次の領域ｆにおい
て、レールは空気流出端方向にレール幅が再び広がる部
分を有している。
その次の領域ｅではレール幅を再び部分的に狭くした第
２の絞り部分１２ｅ及び１３ｅが形成されている。これ
ら第２の絞り部分１２ｅ及び１３ｅは、本実施形態で
は、スライダ全長に対する空気流入端１０からの距離の
比（以下スライダ長比と称する）が０．７の位置に形成
されており、ここに第２の負圧発生領域が形成されるよ
うに構成されている。これにより、ＨＤＤ内のスキュー
角補正を精密に行うことができる。次の領域ｆにおい
て、レールは空気流出端方向にレール幅が再び広がる部
分を有している。
【００２２】本実施形態において、第１の絞り部分１２
ｃ及び１３ｃはレール１２及び１３のスライダ中心側に
形成されたレール幅方向の凹部によって構成されてい
る。また、第２の絞り部分１２ｅ及び１３ｅはレール１
２及び１３のディスク内周側に設けられたレール幅方向
の凹部によってそれぞれ構成されている。
ｃ及び１３ｃはレール１２及び１３のスライダ中心側に
形成されたレール幅方向の凹部によって構成されてい
る。また、第２の絞り部分１２ｅ及び１３ｅはレール１
２及び１３のディスク内周側に設けられたレール幅方向
の凹部によってそれぞれ構成されている。
【００２３】第１及び第２の負圧発生領域の深さは、１
〜１０μｍの範囲のうち、最良の負圧が得られる最適深
さに設定される。
〜１０μｍの範囲のうち、最良の負圧が得られる最適深
さに設定される。
【００２４】図２及び図３は図１の実施形態によるスラ
イダの圧力分布を示している。図２は圧力分布の斜視図
であり、各軸はスライダ長比、スライダ幅比（スライダ
全幅に対する一方の側面からの距離の比）及び相対圧力
を示している。図３はスライダの真横方向から見た圧力
分布の側面図であり、各軸はスライダ長比及び相対圧力
を示している。
イダの圧力分布を示している。図２は圧力分布の斜視図
であり、各軸はスライダ長比、スライダ幅比（スライダ
全幅に対する一方の側面からの距離の比）及び相対圧力
を示している。図３はスライダの真横方向から見た圧力
分布の側面図であり、各軸はスライダ長比及び相対圧力
を示している。
【００２５】これらの図から、本実施形態によれば負圧
発生領域が空気流入端１０の近傍と空気流出端１１の近
傍とに分かれて生じることが分かる。
発生領域が空気流入端１０の近傍と空気流出端１１の近
傍とに分かれて生じることが分かる。
【００２６】図１の実施形態においては、第２の絞り部
分１２ｅ及び１３ｅはスライダ長比が０．７の位置に形
成されているが、本発明においてこの第２の絞り部分は
図４の破線に示すようにスライダの長さ方向にずらして
形成してもよい。ただし、所望の特性を得るために、こ
の第２の絞り部分は、所定範囲内のスライダ長比の位置
に形成されていることが必要となる。以下この点につい
て説明する。
分１２ｅ及び１３ｅはスライダ長比が０．７の位置に形
成されているが、本発明においてこの第２の絞り部分は
図４の破線に示すようにスライダの長さ方向にずらして
形成してもよい。ただし、所望の特性を得るために、こ
の第２の絞り部分は、所定範囲内のスライダ長比の位置
に形成されていることが必要となる。以下この点につい
て説明する。
【００２７】図５は浮動ヘッドスライダを実際のＨＤＤ
に装着した場合の浮上量の特性を第２の絞り部分のスラ
イダ長さ方向の相対位置（スライダ長比）をパラメータ
として示している。同図において、横軸はディスク半
径、縦軸は浮上量を表わしている。また、図６は図５の
浮上量特性を第２の絞り部分の相対位置（横軸）と浮上
量ばらつき（縦軸）との関係で表わしたものである。な
お、ここで用いられているＨＤＤは、浮上量目標６０ｎ
ｍに対してレール設計上許容される浮上量ばらつきが＋
／−５ｎｍとなっている。
に装着した場合の浮上量の特性を第２の絞り部分のスラ
イダ長さ方向の相対位置（スライダ長比）をパラメータ
として示している。同図において、横軸はディスク半
径、縦軸は浮上量を表わしている。また、図６は図５の
浮上量特性を第２の絞り部分の相対位置（横軸）と浮上
量ばらつき（縦軸）との関係で表わしたものである。な
お、ここで用いられているＨＤＤは、浮上量目標６０ｎ
ｍに対してレール設計上許容される浮上量ばらつきが＋
／−５ｎｍとなっている。
【００２８】図５及び図６から明らかのように、本発明
による第２の絞り部分を設けることにより従来技術のス
ライダに比べて安定した浮上量特性が得られ、要求され
る浮上変動範囲内に収めることが可能である。しかしな
がら、第２の絞り部分の位置がスライダ長比で０．６未
満の場合又は０．９を越える場合は、絞り部分の効果が
小さくなる。特に、第２の絞り部分の位置がスライダ長
比で０．９を越えて空気流出端に接近すると、かえって
浮上特性を悪化させてしまう。
による第２の絞り部分を設けることにより従来技術のス
ライダに比べて安定した浮上量特性が得られ、要求され
る浮上変動範囲内に収めることが可能である。しかしな
がら、第２の絞り部分の位置がスライダ長比で０．６未
満の場合又は０．９を越える場合は、絞り部分の効果が
小さくなる。特に、第２の絞り部分の位置がスライダ長
比で０．９を越えて空気流出端に接近すると、かえって
浮上特性を悪化させてしまう。
【００２９】上述の浮上量特性低下の原因としては、ま
ず、スライダ長比で０．６未満の場合は第２の絞り部分
によって発生する負圧が第１の絞り部分によって発生す
る負圧に吸収されてしまうので、この第２の絞り部分が
空気流出端付近での浮上制御に寄与できていないと考え
られる。一方、スライダ長比で０．９を越える場合は第
２の絞り部分によって発生する負圧が空気流出端に非常
に近いので、ディスクの内周位置において所定の浮上量
が得られないものと考えられる。このように、第２の絞
り部分は、スライダ長比で０．６〜０．９の範囲の位置
に設けることが必要である。
ず、スライダ長比で０．６未満の場合は第２の絞り部分
によって発生する負圧が第１の絞り部分によって発生す
る負圧に吸収されてしまうので、この第２の絞り部分が
空気流出端付近での浮上制御に寄与できていないと考え
られる。一方、スライダ長比で０．９を越える場合は第
２の絞り部分によって発生する負圧が空気流出端に非常
に近いので、ディスクの内周位置において所定の浮上量
が得られないものと考えられる。このように、第２の絞
り部分は、スライダ長比で０．６〜０．９の範囲の位置
に設けることが必要である。
【００３０】図７は空気流出端近傍（図１における領域
ｆに相当する部分）のレール幅に応じた浮上量変化を示
す特性図であり、横軸はディスク半径、縦軸は浮上量を
表わしている。
ｆに相当する部分）のレール幅に応じた浮上量変化を示
す特性図であり、横軸はディスク半径、縦軸は浮上量を
表わしている。
【００３１】同図に示すように、（Ａ）の特性はレール
が第２の絞り部分から空気流出端方向にレール幅が再び
広がる部分を有している場合であり、（Ｂ）の特性はレ
ールが第２の絞り部分から空気流出端方向にレール幅が
広がる部分を有していない（レール幅が第２の絞り部分
に等しい状態で終端したいる）場合である。この特性図
から明らかのように、本発明のようにレール幅が広げら
れている場合はディスクの内周位置から外周位置におい
て浮上量の変化が比較的少ない。しかしながら、レール
幅が広げられていない場合は特にディスクの内周位置に
おいて浮上量低下が著しくなり、結果として浮上量ばら
つきが大きくなってしまう。従って、レール幅は、第２
の絞り部分から空気流出端に向かって部分的に広げられ
ていることが必要となる。
が第２の絞り部分から空気流出端方向にレール幅が再び
広がる部分を有している場合であり、（Ｂ）の特性はレ
ールが第２の絞り部分から空気流出端方向にレール幅が
広がる部分を有していない（レール幅が第２の絞り部分
に等しい状態で終端したいる）場合である。この特性図
から明らかのように、本発明のようにレール幅が広げら
れている場合はディスクの内周位置から外周位置におい
て浮上量の変化が比較的少ない。しかしながら、レール
幅が広げられていない場合は特にディスクの内周位置に
おいて浮上量低下が著しくなり、結果として浮上量ばら
つきが大きくなってしまう。従って、レール幅は、第２
の絞り部分から空気流出端に向かって部分的に広げられ
ていることが必要となる。
【００３２】図８は本発明の浮動ヘッドスライダの他の
実施形態における構成を浮上面側から見た平面図であ
る。
実施形態における構成を浮上面側から見た平面図であ
る。
【００３３】同図において、８０は浮動ヘッドスライダ
の空気流入端、８１はその空気流出端、８２及び８３は
空気流入端８０から空気流出端８１に向かって伸長する
ディスク外周側及びディスク内周側の２つのレール、８
２ａ及び８３ａはレール８２及び８３の空気流入端８０
側に形成されたテーパ部、８２ｃ及び８３ｃはレール８
２及び８３の第１の絞り部分、８２ｅ及び８３ｅはレー
ル８２及び８３の第２の絞り部分をそれぞれ示してい
る。
の空気流入端、８１はその空気流出端、８２及び８３は
空気流入端８０から空気流出端８１に向かって伸長する
ディスク外周側及びディスク内周側の２つのレール、８
２ａ及び８３ａはレール８２及び８３の空気流入端８０
側に形成されたテーパ部、８２ｃ及び８３ｃはレール８
２及び８３の第１の絞り部分、８２ｅ及び８３ｅはレー
ル８２及び８３の第２の絞り部分をそれぞれ示してい
る。
【００３４】この実施形態の第１の絞り部分８２ｃ及び
８３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分１２
ｃ及び１３ｃと同様に、レール８２及び８３のスライダ
中心側に形成されたレール幅方向の凹部によって構成さ
れている。また、第２の絞り部分８２ｅ及び８３ｅはレ
ール８２及び８３のディスク内周側にそれぞれ設けられ
たレール幅方向の凹部によって構成されている。この実
施形態においてさらに、レール８２はそのディスク外周
側の第２の絞り部分８２ｅに近い位置にレール幅方向の
凹部を有している。また、レール８３の空気流出端近傍
の幅が多少狭く（図１の形態に比較して）なっている。
８３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分１２
ｃ及び１３ｃと同様に、レール８２及び８３のスライダ
中心側に形成されたレール幅方向の凹部によって構成さ
れている。また、第２の絞り部分８２ｅ及び８３ｅはレ
ール８２及び８３のディスク内周側にそれぞれ設けられ
たレール幅方向の凹部によって構成されている。この実
施形態においてさらに、レール８２はそのディスク外周
側の第２の絞り部分８２ｅに近い位置にレール幅方向の
凹部を有している。また、レール８３の空気流出端近傍
の幅が多少狭く（図１の形態に比較して）なっている。
【００３５】本実施形態のその他の構成、動作及び作用
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
【００３６】図９は本発明の浮動ヘッドスライダのさら
に他の実施形態における構成を浮上面側から見た平面図
である。
に他の実施形態における構成を浮上面側から見た平面図
である。
【００３７】同図において、９０は浮動ヘッドスライダ
の空気流入端、９１はその空気流出端、９２及び９３は
空気流入端９０から空気流出端９１に向かって伸長する
ディスク外周側及びディスク内周側の２つのレール、９
４はレール９２及び９３の空気流入端９０側に配置し両
者を連結しているクロスレール、９４ａはレール９４の
空気流入端９０側に形成されたテーパ部、９２ｃ及び９
３ｃはレール９２及び９３の第１の絞り部分、９２ｅ及
び９３ｅはレール９２及び９３の第２の絞り部分をそれ
ぞれ示している。
の空気流入端、９１はその空気流出端、９２及び９３は
空気流入端９０から空気流出端９１に向かって伸長する
ディスク外周側及びディスク内周側の２つのレール、９
４はレール９２及び９３の空気流入端９０側に配置し両
者を連結しているクロスレール、９４ａはレール９４の
空気流入端９０側に形成されたテーパ部、９２ｃ及び９
３ｃはレール９２及び９３の第１の絞り部分、９２ｅ及
び９３ｅはレール９２及び９３の第２の絞り部分をそれ
ぞれ示している。
【００３８】この実施形態の第１の絞り部分９２ｃ及び
９３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分１２
ｃ及び１３ｃと同様に、レール９２及び９３のスライダ
中心側に形成されたレール幅方向の凹部によって構成さ
れている。また、第２の絞り部分９２ｅ及び９３ｅはレ
ール９２及び９３のディスク内周側にそれぞれ設けられ
たレール幅方向の凹部によって構成されている。この実
施形態においては、第１の負圧発生領域が第１の絞り部
分９２ｃ及び９３ｃとクロスレール９４とによってより
効果的に形成されている。このため、この第１の負圧発
生領域及び本発明の第２の絞り部分による第２の負圧発
生領域の作用によって、さらに安定した浮上姿勢を得る
ことができる。
９３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分１２
ｃ及び１３ｃと同様に、レール９２及び９３のスライダ
中心側に形成されたレール幅方向の凹部によって構成さ
れている。また、第２の絞り部分９２ｅ及び９３ｅはレ
ール９２及び９３のディスク内周側にそれぞれ設けられ
たレール幅方向の凹部によって構成されている。この実
施形態においては、第１の負圧発生領域が第１の絞り部
分９２ｃ及び９３ｃとクロスレール９４とによってより
効果的に形成されている。このため、この第１の負圧発
生領域及び本発明の第２の絞り部分による第２の負圧発
生領域の作用によって、さらに安定した浮上姿勢を得る
ことができる。
【００３９】本実施形態のその他の構成、動作及び作用
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
【００４０】図１０は本発明の浮動ヘッドスライダのま
たさらに他の実施形態における構成を浮上面側から見た
平面図である。
たさらに他の実施形態における構成を浮上面側から見た
平面図である。
【００４１】同図において、１００は浮動ヘッドスライ
ダの空気流入端、１０１はその空気流出端、１０２及び
１０３は空気流入端１００から空気流出端１０１に向か
って伸長するディスク外周側及びディスク内周側の２つ
のレール、１０２ａ及び１０３ａはレール１０２及び１
０３の空気流入端１００側に形成されたテーパ部、１０
２ｃ及び１０３ｃはレール１０２及び１０３の第１の絞
り部分、１０２ｅ及び１０３ｅはレール１０２及び１０
３の第２の絞り部分をそれぞれ示している。
ダの空気流入端、１０１はその空気流出端、１０２及び
１０３は空気流入端１００から空気流出端１０１に向か
って伸長するディスク外周側及びディスク内周側の２つ
のレール、１０２ａ及び１０３ａはレール１０２及び１
０３の空気流入端１００側に形成されたテーパ部、１０
２ｃ及び１０３ｃはレール１０２及び１０３の第１の絞
り部分、１０２ｅ及び１０３ｅはレール１０２及び１０
３の第２の絞り部分をそれぞれ示している。
【００４２】この実施形態の第１の絞り部分１０２ｃ及
び１０３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分
１２ｃ及び１３ｃと同様に、レール１０２及び１０３の
スライダ中心側に形成されたレール幅方向の凹部によっ
て構成されている。一方、第２の絞り部分１０２ｅ及び
１０３ｅはレール１０２及び１０３のスライダ中心側
（それぞれディスク内周側及びディスク外周側）に設け
られたレール幅方向の凹部によって構成されている。
び１０３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分
１２ｃ及び１３ｃと同様に、レール１０２及び１０３の
スライダ中心側に形成されたレール幅方向の凹部によっ
て構成されている。一方、第２の絞り部分１０２ｅ及び
１０３ｅはレール１０２及び１０３のスライダ中心側
（それぞれディスク内周側及びディスク外周側）に設け
られたレール幅方向の凹部によって構成されている。
【００４３】本実施形態のその他の構成、動作及び作用
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
【００４４】図１１は本発明の浮動ヘッドスライダのさ
らに他の実施形態における構成を浮上面側から見た平面
図である。
らに他の実施形態における構成を浮上面側から見た平面
図である。
【００４５】同図において、１１０は浮動ヘッドスライ
ダの空気流入端、１１１はその空気流出端、１１２及び
１１３は空気流入端１１０から空気流出端１１１に向か
って伸長するディスク外周側及びディスク内周側の２つ
のレール、１１２ａ及び１１３ａはレール１１２及び１
１３の空気流入端１１０側に形成されたテーパ部、１１
２ｃ及び１１３ｃはレール１１２及び１１３の第１の絞
り部分、１１２ｅ及び１１３ｅはレール１１２及び１１
３の第２の絞り部分をそれぞれ示している。
ダの空気流入端、１１１はその空気流出端、１１２及び
１１３は空気流入端１１０から空気流出端１１１に向か
って伸長するディスク外周側及びディスク内周側の２つ
のレール、１１２ａ及び１１３ａはレール１１２及び１
１３の空気流入端１１０側に形成されたテーパ部、１１
２ｃ及び１１３ｃはレール１１２及び１１３の第１の絞
り部分、１１２ｅ及び１１３ｅはレール１１２及び１１
３の第２の絞り部分をそれぞれ示している。
【００４６】この実施形態の第１の絞り部分１１２ｃ及
び１１３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分
１２ｃ及び１３ｃと同様に、レール１１２及び１１３の
スライダ中心側に形成されたレール幅方向の凹部によっ
て構成されている。一方、第２の絞り部分１１２ｅ及び
１１３ｅはレール１１２及び１１３のディスク内周側及
びディスク外周側の両方に設けられたレール幅方向の４
つの凹部によって構成されている。
び１１３ｃは、図１の実施形態における第１の絞り部分
１２ｃ及び１３ｃと同様に、レール１１２及び１１３の
スライダ中心側に形成されたレール幅方向の凹部によっ
て構成されている。一方、第２の絞り部分１１２ｅ及び
１１３ｅはレール１１２及び１１３のディスク内周側及
びディスク外周側の両方に設けられたレール幅方向の４
つの凹部によって構成されている。
【００４７】本実施形態のその他の構成、動作及び作用
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
効果は図１の実施形態の場合と同様である。
【００４８】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【００４９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明の浮動
ヘッドスライダは、浮上面に設けられ空気流入端から空
気流出端に向かって伸長する複数のレールを有してお
り、少なくとも１つのレールが、空気流入端の近傍位置
にレール幅を狭くして形成した第１の絞り部分と、スラ
イダ全長に対する空気流入端からの距離の比が０．６〜
０．９の位置にレール幅を部分的に狭くして形成した少
なくとも１つの第２の絞り部分とを備えており、少なく
とも１つのレールは第２の絞り部分から空気流出端方向
にレール幅が広がる部分を有している。
ヘッドスライダは、浮上面に設けられ空気流入端から空
気流出端に向かって伸長する複数のレールを有してお
り、少なくとも１つのレールが、空気流入端の近傍位置
にレール幅を狭くして形成した第１の絞り部分と、スラ
イダ全長に対する空気流入端からの距離の比が０．６〜
０．９の位置にレール幅を部分的に狭くして形成した少
なくとも１つの第２の絞り部分とを備えており、少なく
とも１つのレールは第２の絞り部分から空気流出端方向
にレール幅が広がる部分を有している。
【００５０】第１の絞り部分によって、空気流入端近傍
に第１の負圧発生領域が形成されるので、従来技術と同
様の負圧効果が得られる。即ち、この負圧発生領域とレ
ールの正圧発生領域とのバランスによって、周速依存性
が低く、空気膜剛性の高い安定した浮上特性を得ること
ができる。また、第２の絞り部分によって、スライダ全
長に対する距離比が０．６〜０．９の位置に第２の負圧
発生領域が形成され、ＨＤＤ内のスキュー角補正が精密
に行えることとなる。これら第１の負圧発生領域及び第
２の負圧発生領域の両者の作用によって極めて安定した
浮上特性を得ることができる。さらに、これら負圧発生
領域が、磁気ヘッド素子の位置に関係なく所定位置範囲
内においてレール幅を調整するのみで得られるので浮動
ヘッドスライダの設計自由度が非常に高く、しかも寸法
精度についてもＴＰＣスライダと比較して大きな許容度
を有するので製造上の公差を大きくとることが可能とな
り製造が非常に容易となる。
に第１の負圧発生領域が形成されるので、従来技術と同
様の負圧効果が得られる。即ち、この負圧発生領域とレ
ールの正圧発生領域とのバランスによって、周速依存性
が低く、空気膜剛性の高い安定した浮上特性を得ること
ができる。また、第２の絞り部分によって、スライダ全
長に対する距離比が０．６〜０．９の位置に第２の負圧
発生領域が形成され、ＨＤＤ内のスキュー角補正が精密
に行えることとなる。これら第１の負圧発生領域及び第
２の負圧発生領域の両者の作用によって極めて安定した
浮上特性を得ることができる。さらに、これら負圧発生
領域が、磁気ヘッド素子の位置に関係なく所定位置範囲
内においてレール幅を調整するのみで得られるので浮動
ヘッドスライダの設計自由度が非常に高く、しかも寸法
精度についてもＴＰＣスライダと比較して大きな許容度
を有するので製造上の公差を大きくとることが可能とな
り製造が非常に容易となる。
【００５１】このように、本発明によれば、従来の負圧
スライダでは困難であった精密な浮上制御が可能であ
り、あらゆるＨＤＤに適用可能な浮動ヘッドスライダを
提供することができる。
スライダでは困難であった精密な浮上制御が可能であ
り、あらゆるＨＤＤに適用可能な浮動ヘッドスライダを
提供することができる。
【図１】本発明の浮動ヘッドスライダの一実施形態にお
ける構成を浮上面側から見た平面図である。
ける構成を浮上面側から見た平面図である。
【図２】図１の実施形態によるスライダの圧力分布の斜
視図である。
視図である。
【図３】図１の実施形態によるスライダの真横方向から
見た圧力分布の側面図である。
見た圧力分布の側面図である。
【図４】図１の実施形態における第２の絞り部分をスラ
イダの長さ方向にずらすことを表わす平面図である。
イダの長さ方向にずらすことを表わす平面図である。
【図５】浮動ヘッドスライダを実際のＨＤＤに装着した
場合の浮上量特性を第２の絞り部分のスライダ長さ方向
の相対位置をパラメータとして示した特性図である。
場合の浮上量特性を第２の絞り部分のスライダ長さ方向
の相対位置をパラメータとして示した特性図である。
【図６】図５の浮上量特性を第２の絞り部分の相対位置
と浮上量ばらつきとの関係で表わした特性図である。
と浮上量ばらつきとの関係で表わした特性図である。
【図７】空気流出端近傍のレール幅に応じた浮上量変化
を示す特性図である。
を示す特性図である。
【図８】本発明の浮動ヘッドスライダの他の実施形態に
おける構成を浮上面側から見た平面図である。
おける構成を浮上面側から見た平面図である。
【図９】本発明の浮動ヘッドスライダのさらに他の実施
形態における構成を浮上面側から見た平面図である。
形態における構成を浮上面側から見た平面図である。
【図１０】本発明の浮動ヘッドスライダのまたさらに他
の実施形態における構成を浮上面側から見た平面図であ
る。
の実施形態における構成を浮上面側から見た平面図であ
る。
【図１１】本発明の浮動ヘッドスライダのさらに他の実
施形態における構成を浮上面側から見た平面図である。
施形態における構成を浮上面側から見た平面図である。
１０、８０、９０、１００、１１０ 空気流入端 １１、８１、９１、１０１、１１１ 空気流出端 １２、１３、８２、８３、９２、９３、１０２、１０
３、１１２、１１３ レール １２ａ、１３ａ、８２ａ、８３ａ、９４ａ、１０２ａ、
１０３ａ、１１２ａ、１１３ａ テーパ部 １２ｃ、１３ｃ、８２ｃ、８３ｃ、９２ｃ、９３ｃ、１
０２ｃ、１０３ｃ、１１２ｃ、１１３ｃ 第１の絞り部
分 １２ｅ、１３ｅ、８２ｅ、８３ｅ、９２ｅ、９３ｅ、１
０２ｅ、１０３ｅ、１１２ｅ、１１３ｅ 第２の絞り部
分 ９４ クロスレール
３、１１２、１１３ レール １２ａ、１３ａ、８２ａ、８３ａ、９４ａ、１０２ａ、
１０３ａ、１１２ａ、１１３ａ テーパ部 １２ｃ、１３ｃ、８２ｃ、８３ｃ、９２ｃ、９３ｃ、１
０２ｃ、１０３ｃ、１１２ｃ、１１３ｃ 第１の絞り部
分 １２ｅ、１３ｅ、８２ｅ、８３ｅ、９２ｅ、９３ｅ、１
０２ｅ、１０３ｅ、１１２ｅ、１１３ｅ 第２の絞り部
分 ９４ クロスレール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−169222（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−111054（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−37352（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−52646（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−325463（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−54580（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/60 G11B 21/21 101
Claims (7)
- 【請求項１】 浮上面に設けられ空気流入端から空気流
出端に向かって伸長する複数のレールを有しており、少
なくとも１つの該レールが、前記空気流入端の近傍位置
にレール幅を狭くして形成した第１の絞り部分と、スラ
イダ全長に対する前記空気流入端からの距離の比が０．
６〜０．９の位置にレール幅を部分的に狭くして形成し
た少なくとも１つの第２の絞り部分とを備えており、前
記少なくとも１つのレールは前記第２の絞り部分から前
記空気流出端方向にレール幅が広がる部分を有している
ことを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記少なくとも１つのレールに前記第２
の絞り部分が１つだけ設けられていることを特徴とする
請求項１に記載の浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項３】 前記少なくとも１つのレールに前記第２
の絞り部分が複数設けられていることを特徴とする請求
項１に記載の浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項４】 前記第２の絞り部分が該少なくとも１つ
のレールのディスク内周側に設けられたレール幅方向の
凹部によって構成されていることを特徴とする請求項１
から３のいずれか１項に記載の浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項５】 前記第２の絞り部分が該少なくとも１つ
のレールのディスク外周側に設けられたレール幅方向の
凹部によって構成されていることを特徴とする請求項１
から３のいずれか１項に記載の浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項６】 前記第２の絞り部分が該少なくとも１つ
のレールのディスク内周側及びディスク外周側の両方に
設けられたレール幅方向の凹部によって構成されている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載
の浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項７】 前記複数のレールが前記空気流入端側に
形成されたクロスレールによって連結されていることを
特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の浮動
ヘッドスライダ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7218274A JP2827980B2 (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | 浮動ヘッドスライダ |
| SG1996010326A SG47162A1 (en) | 1995-08-04 | 1996-07-23 | Flying magnetic head slider |
| US08/686,099 US5768053A (en) | 1995-08-04 | 1996-07-24 | Flying magnetic head slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7218274A JP2827980B2 (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | 浮動ヘッドスライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0950617A JPH0950617A (ja) | 1997-02-18 |
| JP2827980B2 true JP2827980B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=16717303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7218274A Expired - Fee Related JP2827980B2 (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | 浮動ヘッドスライダ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5768053A (ja) |
| JP (1) | JP2827980B2 (ja) |
| SG (1) | SG47162A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5704715A (en) * | 1996-12-09 | 1998-01-06 | Read-Rite Corporation | Altitude insensitive air bearing slider |
| JP3765907B2 (ja) * | 1997-03-17 | 2006-04-12 | 富士通株式会社 | ヘッドスライダ及びディスク装置 |
| US6239951B1 (en) * | 1997-09-22 | 2001-05-29 | Seagate Technology, Llc | Air bearing slider with increased speed sensitivity |
| US6333835B1 (en) * | 1999-08-23 | 2001-12-25 | International Business Machines Corporation | Step pad air bearing for load/unload mechanism |
| US6646832B2 (en) | 2001-01-29 | 2003-11-11 | Manuel Anaya-Dufresne | Slider for load/unload operation with high stiffness and low unload force |
| US7978436B2 (en) * | 2007-06-05 | 2011-07-12 | Sae Magnetics (Hk) Ltd. | Air bearing surface with higher flying height for lower rotating speed drives |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4673996B1 (en) * | 1985-04-29 | 1997-02-04 | James W White | Magnetic head air bearing slider assembly utilizing transverse pressurization contours |
| US5343343A (en) * | 1990-05-25 | 1994-08-30 | Seagate Technology, Inc. | Air bearing slider with relieved rail ends |
| JPH04228157A (ja) * | 1990-07-13 | 1992-08-18 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドスライダ |
| US5267109A (en) * | 1991-06-14 | 1993-11-30 | Seagate Technology, Inc. | Air bearing slider with relieved trailing edge |
| JP2949313B2 (ja) * | 1991-08-22 | 1999-09-13 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
| US5345353A (en) * | 1992-09-21 | 1994-09-06 | International Business Machines Corporation | Step projection air bearing slider with improved stiction performance and wear resistance |
| US5438467A (en) * | 1992-10-28 | 1995-08-01 | International Business Machines Corporation | Negative pressure air bearing design |
| JPH06203515A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-07-22 | Read Rite Corp | 磁気ヘッドスライダ |
| US5636086A (en) * | 1993-05-28 | 1997-06-03 | International Business Machines Corporation | Roll insensitive air bearing slider |
| US5515219A (en) * | 1993-09-08 | 1996-05-07 | Seagate Technology, Inc. | Simplified self-loading head slider |
| US5442850A (en) * | 1993-11-01 | 1995-08-22 | International Business Machines Corporation | Magnetic head slider process |
| US5606476A (en) * | 1995-07-13 | 1997-02-25 | Read-Rite Corporation | Altitude insensitive air bearing slider |
| US5685645A (en) * | 1996-08-13 | 1997-11-11 | Read-Rite Corporation | Roll balance sub-ambient pressure air bearing slider |
-
1995
- 1995-08-04 JP JP7218274A patent/JP2827980B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-07-23 SG SG1996010326A patent/SG47162A1/en unknown
- 1996-07-24 US US08/686,099 patent/US5768053A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5768053A (en) | 1998-06-16 |
| JPH0950617A (ja) | 1997-02-18 |
| SG47162A1 (en) | 1998-03-20 |
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