JP2561414B2 - トライパッド空気支持方式の磁気ヘッドスライダ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドスライダに
関する。特にハードディスクドライブに用いられるヘッ
ドスライダを製造する方法あるいは手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】空気支持方式の磁気ヘッドスライダは、
典型的にはスライダの前縁端部から後縁端部に延びる外
側に位置する縦のレールを設けて形成されている。この
前縁端部あるいは上流側の縁部は、後縁端部あるいは下
流側の縁部に向かうスライダの長さ方向にディスクの回
転データトラックが横断する前に通過するスライダの縁
部分として区画された部分である。ディスクが作動して
いる間そのスライダの空気支持表面には、回転している
ディスクに対してスライダが浮上するための上昇力を付
与すべく、流速がかかっている。

【０００３】空気支持方式のヘッドスライダをデザイン
するにあたっての主たる考慮すべき点は、スライダとそ
れらの変換器をディスクの表面に可能な限り近接するよ
うに浮上させること、そして一定の近接空間と実質的に
均一の浮上距離とを維持することである。そのように近
接空間を形成したことによって、例えば薄膜ヘッドやデ
ィスク表面の非常に薄い磁気フィルムを用いて提供され
るような非常に狭い変換ギャップを用いた場合に、短い
波長のシグナルを記録することができ、それによって貯
蔵用量を改良して高密度で記録することが可能となる。
ヘッドとディスクとの間を一定空間としたことによって
記録されたり読みだされたりするシグナルの振幅は重要
な問題になるほどの変化を示すことがなく、従ってシグ
ナルの分解能が改善され、またより信頼性があるように
改良されたデータを作り出すことができる。

【０００４】最近ではヘッドスライダアセンブリは、セ
ラミックウェハー上に多数の薄膜状変換器を積層し、つ
づいてそのウェハーをカッティングして横筋の棒状体に
し、更にその棒状体を加工することによって前縁端部が
テーパー状になった縦方向のレールを備えた空気支持方
式のスライダを形成することによって製造される。ＴＰ
Ｃ（横方向の圧力線：transverse pressure contour）
スライダの場合では、レールと隣接領域はエッチング、
例えば反応性イオンエッチングや、イオンミリング（io
n milling）、静電気放電による機械加工あるいは超音
波による機械加工によって形成される。これらの製造工
程は製造時間が短くまた、費用の点でも有利である。凹
所領域のエッチングの深さは、均一の浮上距離を達成す
るために重要である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、実質
上小型で、かつ従来より知られたスライダよりも充分に
軽量の磁気ヘッドスライダを提供することにある。

【０００６】本発明の他の目的は、実質的に均一の浮上
距離を有する空気支持方式のヘッドスライダを提供する
ことにある。

【０００７】本発明の他の目的は、小さな開始速度を有
し、またディスク表面に比較的軽く降りることのできる
空気支持方式のヘッドスライダを提供することにある。

【０００８】本発明の他の目的は、比較的小さな静止摩
擦係数を持つ空気支持方式のヘッドスライダを提供する
ことにある。

【０００９】本発明の他の目的は、スライダの浮上特性
を最適化するように多数のパッド／テーパー部を配置形
成することを可能とするスライダのデザイン法を提供す
ることにある。

【００１０】本発明の他の目的は、製造時間及び製造コ
ストを充分に節約して空気支持方式のスライダを製造す
るための改良方法を提供することにある。

【００１１】本発明の更に他の目的は、始動−停止の接
触作動に対して長期の耐久性を有する空気支持方式のス
ライダを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明における空気支
持方式のスライダは、３個のパッドと隣接する凹所領域
とを有するように製造される。２個の外側のパッドはス
ライダのサイドに位置しており、テーパー部が前縁端部
と２個の外側のパッドの間に設けられている。３個目の
（第３番目の）まん中のパッドは、後縁端部からそのス
ライダの中心の縦軸に沿って実質的に延びて設けられて
いる。薄膜状の変換器の変換ギャップを形作っているポ
ールチップは、そのスライダの後縁端部に積層されてお
り、第３番目のパッドにおける空気支持表面と一致させ
てある。そのパッド上で縁端部が適当に相殺して設けら
れていることによって、尖った縁部と角とが減少してい
る。

【００１３】この発明の一実施例においては、凹所領域
が機械的な切削（mechanical sawing）、好ましくは組
にして取り付けられている切削用のダイヤモンドソーホ
イール（diamond saw wheel）によって切り出される。
製造工程中、スライダ要素である横筋状の複数本の棒状
体がジグザグ配列に位置決めして固定されている。切削
機械（ソーイング機械）は所定の角度でその横筋状の棒
状体を横切ってカッティングする。前縁端部から外側の
パッドに延在しているテーパー部の増加する角度は、ラ
ッピングプレートを用いてラップ仕上げすることによっ
て形成される。この方法においては、製造されたそれぞ
れのスライダは、同じ空気支持表面のデザインを持つよ
うに形成される。別法では、そのパッドはマスキングに
よって輪郭が決められて、続いてイオンミリング、反応
性イオンエッチング、静電気放電による機械加工あるい
は超音波による機械加工が施される。

【００１４】好ましい実施例においては、そのスライダ
の後縁端部から前縁端部への二方向の角度でのソーイン
グカッティング、及び水平な一方向あるいは横向きの一
方向のソーイングカッティングを行うことによって、全
ての横筋状の棒状体に同時に加工がなされ、３個のパッ
ドとテーパー部と凹所領域の幾何学的な配置が決定され
る。この３個のパッドの角度をさまざまに変えることに
よって、浮上力を変化させたり、あるいは回転ヘッドア
クチュエーターを用いるディスクドライブで生じる可能
性のあるゆがみを減少させたりすることができる。

【００１５】本発明の特定の実施例ではスライダの外側
に位置する２個のパッドには、角度がつけられた内側サ
イドか、あるいは２個の外側のパッドの最も幅の広い部
分がテーパー部分に隣接するように形成された内側サイ
ドの角度がつけられた部分が設けられている。このよう
な実施例においては第３番目の後方のパッドは、二方向
に角度がつけられたサイドを有しており、それぞれのサ
イドは２個の外側のパッドの角度を持ったサイドあるい
はサイドの角度を持った部分にそれぞれ平行である。

【００１６】本発明の好適な実施例においては、そのス
ライダの対向するサイドに位置している２個の外側のパ
ッドは、テーパー部分に隣接する最も幅の広い部分とそ
のスライダの後方端部方向にある最も狭い部分とを持つ
ように形成されている。第３番目の後方のパッドは二方
向の角度を持ったサイドを有していて、台形あるいは三
角形になっている。一つの完成品の場合には、そのパッ
ド及びテーパー状区画は実質的には方形状であって、そ
して前方パッドはそのスライダの前縁端部から後縁端部
に一部分だけ延びているものである。

【００１７】

【実施例】説明を行うための標準的なスライダの全体サ
イズは、長さが約０．１６０インチ、幅が約０．１２５
インチ、高さが約０．０３４５の寸法を有するように決
定されている。マイクロスライダはその標準的なスライ
ダの寸法の約７０％の大きさ、例えば長さが約０．１１
２インチ、幅が０．０８８インチ、そして高さが０．０
２４インチの寸法からなる大きさを持つように形成され
る。そしてナノスライダはその標準的なスライダの寸法
の約５０％の大きさ、例えば長さが約０．０８０イン
チ、幅が０．０６３インチ、そして高さが０．０１７イ
ンチの寸法からなる大きさを持っている。

【００１８】図１には空気支持方式のマイクロスライダ
が示されており、そのマイクロスライダの空気支持表面
に積極的な空気支持領域を形成するための３個のパッド
１０，１２及び１４が設けられた形状となっている。

【００１９】そのマイクロスライダの凹所領域は、角度
が形成されたレリーフあるいは凹部１６及び１８と、側
部のレリーフあるいはそのスライダの中心部分を横切る
凹部２０とをカッティングすることによって形成されて
いる。その３箇所のカッティングはダイヤモンド製のソ
ーホイール（saw wheel）を用いた機械的なソーイング
装置によって行われ、３個のパッド１０，１２及び１４
の幾何学的模様が形作られる。スライダの前縁端部ある
いは上流側の縁部にはテーパー部２２及び２４が設けら
れている。特別な実施例では凹部１６及び１８を形成す
るためのカッティングは、スライダの縦軸に対して約１
０゜の角度でもって行われる。製造工程の進行を経て横
筋状の棒状体のスライダの３個のパッド全ては、同一の
ラッピングプレートを用いてラップ仕上げすることによ
って平面の調整が行われる。約０．０１１インチの長さ
のテーパー部を備えたスライダでは、そのテーパー部２
２及び２４は前縁端部からそのパッド１０及び１２に向
って、約５０分の立ち上がり角度になっていることが好
ましい。凹所を形成するためになされるレリーフカッテ
ィングは、約２−４ミリインチの深さである。後縁端部
あるいは下流側の縁部に形成されている薄膜状の変換器
に設けたポールチップ２６はまん中にあるものが示され
ているが、まん中よりも外れたところに設けて歪みを調
節するとともに、一定の浮上距離を得ることができるよ
うに構成することもできる。図１に示されたスライダを
実際に作動させた場合では、接触始動−停止のテスト作
動において、典型的な従来の技術である２本のレール状
のテーパー平面あるいはＴＰＣスライダが有している静
止摩擦係数よりも意味あるほど小さい静止摩擦係数でも
って、１００，０００サイクルも充分に作動させること
ができた。

【００２０】図２Ａ及び図２Ｂには、図１に示されたス
ライダを変形した形の好適な実施例が示されている。こ
れらの形式のものは７０％のマクロスライダとナノスラ
イダの範囲に含まれる寸法の特徴を有するようにデザイ
ンされている。このデザインのものでは、側部のカッテ
ィング３はそのスライダの水平方向の中心軸に対してま
ん中ではなく、そのカッティングの一方の縁部は水平方
向の中心近くにおいて、またそのカッティングの他方の
縁部はスライダの後縁端部により近いところにおいてな
されている。そのテーパー部２８及び３０の内側に露出
しているサイドは、図１に示されているテーパー部２２
及び２４のサイドの形成する角度に対して反対方向の角
度に形成されている。その露出しているテーパー部のサ
イドは、前方のパッド３２及び３４における角度をなし
ているサイドとともに鈍角を形成している。外側にある
前方のパッド３２及び３４は、スライダの中心にある水
平方向の軸の方向に延びており、後方パッド３６は台形
状であって、図１におけるスライダの後方パッド１４に
比べて大きさが小さい。

【００２１】図２Ａ及び図２Ｂには、外側のパッド３２
及び３４が、スライダの長い方の縦軸に平行なサイドの
部分と、そのスライダの後縁端部の方向に向かってパッ
ドの幅が狭くなるように角度が形成されている隣接する
サイドの部分とを有している空気支持方式のスライダの
デザインが示されている。図２Ｂに示されたものは、後
縁端部に設けられた台形状の第３番目のパッド３６の幅
が、ディスクドライブとともに作動している間中、その
スライダにかかっている浮上力を加減できるように狭く
構成されている。

【００２２】図３には、テーパー部３８及び４０の直線
状のサイドとパッド４２及び４４の直線状の部分とを形
成するために、二本の縦方向のカッティングが行われ
て、更に台形状の後方パッド４６の角度をなして形成さ
れているサイドと、パッド４２及び４４の角度をつけて
狭くなるように形成されている部分とを形作っている角
を形成したカッティングとが行われている。図３のスラ
イダの特別な実施例においては、後方パッド４６の角張
ったサイドは実質的には直線状であり、標準的なスライ
ダの大きさの７０％の大きさを持つマイクロスライダで
は、回転アクチュエーターを用いている典型的な３．５
インチのディスクドライブにおいて浮上するように形成
されていた。達成された浮上距離は、約５４００ｒｐｍ
で回転しているディスクの内側から外側への距離で、約
４．５（＋／−）１マイクロインチであった。

【００２３】図３におけるテーパー部３８及び４０は方
形状であるが、これに対して図４のスライダに設けられ
たテーパー部４８及び５０は、そのスライダの前縁端部
の中心方向に向かう内側サイドで角度が形成されてい
る。テーパー部４８及び５０の角度をなしたサイドは、
前方に位置する外側のパッド５２及び５４の部分５６及
び５８の角度をなしたサイドと同一線上に延びている。
前方のパッド５２及び５４には、角度を持った部分５６
及び５８に隣接していて後ろ側に位置している部分６０
及び６２が、より鋭角の角度をなして設けられている。
その角度が鋭角である方の部分６０及び６２は、部分５
６及び５８よりも幅が狭く、スライダの前縁端部と後縁
端部との間の中央部近くにまで延びている。この角度が
鋭角である方のサイド部分を形成するためには、製造工
程が進行する間に、異なる角度をなしているサイド部分
５６及び５８を形成するために必要であるカッティング
を行うことに加えて、更に分離カッティングを行うこと
が必要である。後方パッド６４は台形状に形成されてお
り、そしてその角度をなしているサイドは、テーパー部
４８及び５０の角度をなしているサイドや角度がつけら
れている部分５６及び５８を形成するのと同様のカッテ
ィングを施すことによって輪郭が決められる。

【００２４】図５に示されたタイプでは、図４に示した
デザインにおける角度が鋭角である方の部分６０及び６
２を形成するのに用いられたレリーフカッティングが、
テーパー部６６及び６８と外側の前方パッド７０及び７
２、及び後方パッド７４のサイドでの角度が同じである
という理由から行われていない。一実施例においては、
そのカッティングはスライダの縦方向の軸に対して約８
゜の角度でもって行われる。後縁端部から前縁端部に向
かって二方向のカッティングのみが行われているため、
スライダの中心部にＤで示されている領域が残り、それ
によってスライダに付加的な浮上力がかかる一因とな
る。望ましくは、区画Ｄの幾分かの材料あるいは全ての
材料を取り除くように、その区画Ｄをレーザーを用いて
除去することによって形成することができ、こうするこ
とによって望ましい状態の浮上力を得ることが可能であ
る。

【００２５】図６には実質的に方形のテーパー部７６及
び７８、外側の前方パッド８０及び８２、更に後方中心
部のパッド８４を備えたトライパッドスライダが示され
ている。特定の実施例においてはスライダは、３．５イ
ンチのディスクドライブの場合、５４００ｒｐｍで回転
しているディスクに対して約３マイクロインチ浮上する
ように形成されていた。テーパー部７６及び７８は約５
０分の立ち上がり角度になるようにラップ仕上げされ、
その長さは約０．０１１インチにされていた。テーパー
部７６及び７８に隣接している２個のパッド８０及び８
２は、約０．０１５インチの幅で０．０１５インチの長
さであるように形成された。凹所領域を形成するための
レリーフカッティングは、約２−６ミリインチの深さに
カッティングされた。

【００２６】図７に示されている実施例のものでは、３
個のパッド８６、８８及び９０と、スライダの後縁端部
から３個のテーパー部８６，８８及び９０に向かって延
びている３個の細長いパッド９２，９４及び９６とを形
成するために、二方向の角度をもったカッティングのみ
が必要とされている。そのレリーフスロットの角度は、
スライダの中心軸に対して約１０゜でカッティングされ
ている。３個のパッドとテーパー状区画との間の領域を
形成するためには、２本のカッティングが必要であるだ
けである。このデザインの空気支持方式のスライダを作
動させている間、生じる空気の流れは凹所領域あるいは
スロット９８及び１００を通って分岐し、スライダの後
方端部で変換器のギャップから等距離で出てゆく。

【００２７】図８には図７に示されたスライダを変形し
たデザインのスライダが示されている。この図８のもの
では中心部のテーパー部が使用されていない。テーパー
部８６及び８８と外側の前方パッド９２及び９４は、実
質的には同じものである。しかしながら、中心部のテー
パーが除去されていて、かつ中心パッド１１０が狭くて
長さ方向に短く、狭い三角形の領域に形成されているた
め、そのカッティング部の幅は広くされている。

【００２８】図９には図７に示されたスライダを変形し
たもう一つのデザインのスライダが示されている。この
図９のものにおいては、外側のパッド１０２及び１０４
はスライダの中程で縦方向に動くソー（saws）によって
カッティングされ、その後角度を形成するためのカッテ
ィングが行われて、中心部のパッド９６とテーパー部９
０、それと同様にパッド１０２及び１０４とテーパー部
８６及び８８の角度をなしたサイドが形成された。

【００２９】図１０に示されたものは、図９に示された
外側のパッド１０２及び１０４のデザインをそのまま用
い、また図８に示された三角形状の中心パッド１１０を
そのまま用いたものである。

【００３０】第１１に示されたものは、従来技術のスラ
イダに、実質的に方形状である３個のテーパー部１１
２、１１４及び１１６を設けたものである。この中心テ
ーパー部１１６は非常に狭く形成されていて、円錐状の
中心パッド１２２に隣接して設けられている。その円錐
状の中心パッド１２２は、テーパー部１１６からスライ
ダの後縁端部に向かって幅が広がって延びている。外側
の前方に位置するパッド１１８及び１２０には、テーパ
ー部１１２及び１１４に隣接するそれぞれ角度をつけた
部分１２４及び１２６が設けられている。方形状の部分
１２８及び１３０は、パッド部１１８及び１２０に隣接
して後ろの方に形成されており、スライダの長さの中程
を越えてスライダのサイドに部分的に沿って延びてい
る。

【００３１】図１２には、図１１に示されたデザインの
ものにおいて中心のテーパー部をなくして変形したもの
が示されている。このスライダは、図１２に示したもの
と同じ方形状のテーパー部１１２及び１１４と、外側の
前方パッド１１８及び１２０とを備えている。しかしな
がら、中心のパッド１２２は三角形をしており、パッド
１１８及び１２０の近くにあるテーパー部１１２及び１
１４の端部の間の中心点にその頂点を有している。

【００３２】図１３は、スライダの望ましい空気支持表
面を提供する目的でパッドを明瞭に区画するレリーフや
スロット状の凹所を形成するのに用いられる新規な手法
が示されている。このスロットの望ましい角度を形成す
るために、薄膜状の変換器が等間隔に配設された横筋状
の棒状体が、ジグザグの位置関係で支持体の上に固定さ
れている。横筋状の棒状体の水平方向のずれＬ及び垂直
方向のずれＨは、同時に組になって動くダイヤモンド製
のソーイング装置がジグザグに固定された複数本の棒状
体を所定の角度でカッティングする場合に、レリーフス
ロットがそれぞれのスライダの実質的に同じ位置に同じ
角度で形成されるように設定される。カッティング経路
１及び２は、対照的な角度のスロット状の凹所を形成す
るように行われ、一方カッティング経路３は、スライダ
の空気支持表面を横切る側部のカッティングをするため
に行われる。これらのデザインのものにおいては、外側
の前方パッドはスライダの後縁端部に向かって延びては
おらず、特定の長さを持った縦方向のカッティングが、
そのスライダの縦方向の軸に実質的に直交するように行
われている。テーパー状の領域は、従来より行われてい
るのと同様に、ラッピングプレート上でその横筋状の棒
状体をラッピングすることによって分離して形成され
る。

【００３３】トライパッドスライダの他の実施例が図１
４に示されている。このトライパッドナノスライダは、
前縁端部に方形状のテーパー部１６６及び１６８を設け
てデザインされている。この方形状のテーパー部１６６
及び１６８は、長さが約０．００８インチで４０分のテ
ーパー角度を有していることが好ましい。二個の方形状
のサイドパッド１７０及び１７２は、テーパー部１６６
及び１６８に隣接して設けられており、０．０８０イン
チのスライダの前縁端部から約０．０５８インチに延び
ている。方形状のテーパー部１６６及び１６８とサイド
パッド１７０及び１７２の幅は、約０．００９インチで
ある。第３番目の後方パッド１７４は、スライダの後縁
端部の中心に配設されており、台形状のデザインをして
いる。この後方パッド１７４の後縁端部における幅は約
０．０１３インチであって、また後方パッドの長さは約
０．００７インチである。このパッドは、パッドの角や
端部が丸くなるように調和させた端部となっている。そ
れらのパッドの間に形成された凹所領域は、少なくとも
０．００２インチの深さになっている。ヘッドスライダ
をサスペンション（suspension）に組み立てる作業工程
において、そのスライダは、スライダの縦揺れ（pitc
h）及び横揺れ（roll）を可能とするフレクシャー（fle
xure）にボンディングされる。ボンディングを行う点
は、スライダの縦方向の中心軸に近いことが好ましく、
スライダの前縁端部から０．０５８インチほど延びた距
離よりも短い方がよい。中心の縦方向の軸からはずれる
こと（オフセット）は、関連しているディスクの外径
（ＯＤ）方向にへの変位とともに横揺れを最小にするた
めに導入される。そのスライダがディスクの内径（Ｉ
Ｄ）から外径（ＯＤ）へと動いた場合、浮上距離は外側
のディスクトラックがより高速の回転スピードになるこ
とによって増加する傾向にある。ディスクドライブが作
動しているとき、典型的にはスライダの縦揺れが増大し
て、後縁端部における変換器の浮上距離を減少させ、そ
の結果ディスク表面を横切って実質的に一定の浮上距離
とすることができる。浮上距離は、ディスクと擬−接触
（pseudo-contact）あるいは接触するまで、充分に小さ
くすることができた。図１４に示されているトライパッ
ドのデザインは、摩耗を最小限にするのに役立ち、かつ
接触始動−停止、接触及び擬−接触記録を行う際のヘッ
ド／ディスク界面の統合性を改善する効果をもたらす。

【００３４】図１５及び図１６にはトライパッドスライ
ダの他の実施例が示されている。このトライパッドスラ
イダには、その前縁端部にテーパー部１３２及び１３４
が設けられており、さらにそのスライダの後縁端部に向
かって部分的に延びているサイドレールあるいはパッド
１３６及び１３８が設けられている。台形状タイプの第
３番目のパッド１４０は、スライダの縦方向の軸に対し
て実質的にまん中になるように後縁端部に設けられてい
る。この実施例においてはそのスライダには、スライダ
の後縁端部とサイドが接する角部分に切り欠き部分１４
２及び１４４が形成されている。その切り欠き部分１４
２及び１４４を設けたことによってそのスライダの全体
の重量を減少させることができ、従ってそのスライダを
浮上部位に持ち上げる作用を改良することができる。ま
たその切り欠きは、スライダとヘッドの配線構造体ある
いはディスクのモーターハブ（motor hub）との接触妨
害（intereference）の可能性を最小限にする。このデ
ザインの一実施例においては、そのスライダの全体の長
さは約０．０８００インチ、そして全体の幅は約０．０
６３０であり、また長さが約０．００８０インチ、幅が
０．０１００インチの前縁端部のテーパー部が設けられ
ている。そのサイドに沿った切り欠きの長さは約０．０
０９０インチであって、後縁端部に沿った幅は約０．０
０７５インチである。従って結果的に形成された後縁端
部の幅は約０．０４８０インチであり、また結果的に形
成されたサイドに沿った長さは約０．０７１０インチで
あった。台形状の第３の後方パッド１４０は後縁端部か
ら測定された長さが約０．００９０インチであり、その
台形の底辺である後縁端部の最大幅は約０．０１３０イ
ンチであった。サイドパッド１３６及び１３８の長さ
は、テーパー部から測定して約０．０５００インチであ
った。

【００３５】

【発明の作用・効果】この明細書には、トライパッド空
気支持方式の磁気ヘッドスライダが説明されている。こ
のスライダにおいて、２個の外側の前方パッドはスライ
ダのサイドに沿って位置付けられており、後方の中心に
あるパッドはスライダの後縁端部に位置付けられてい
る。同時に組になって動くダイヤモンドソーホイールを
用いて行われる角度を形成するためのカッティングは、
スライダの横筋状の複数本の棒状体を横切って同時に行
われる。この横筋状の複数本の棒状体は、機械的なソー
イング装置が動いている間ジグザグな位置に固定されて
いる。このようにしてパッドと凹所が、スライダの空気
支持表面上にうまく形成される。

【００３６】本発明は、ここに説明した特定のデザイン
に限定されるものと解するべきではない。例えば、前方
パッドを異なる幅に形成することもできるし、あるいは
非対称に形成することもできる。また、パッドのサイド
の角度を異なる浮上特性を有するようにさまざまな角度
に変化させることもできる。磁気変換器や磁気抵抗性
（ＭＲ）のセンサを、スライダの後方パッドに関して中
心よりはずれた部位に取り付けることも可能である。更
に、イオンミリング（ion milling）、反応性イオンエ
ッチング（reactive ion etching）、静電気放電による
機械加工（electrostatic discharge machining）ある
いは超音波による機械加工（ultrasonic machining）を
パッドの形状を形成するために用い、前方パッドのサイ
ドを後方パッドのサイドに平行にする必要性をなくして
もよい。このような前方パッドのサイドと後方パッドの
サイドとが平行になることは、スライダに沿って機械的
なソーイングカッティングを行った場合に見られるもの
である。説明したトライパッドのデザインでは、標準の
スライダの大きさを２５−５０％ほど小さくすることが
できる。

【００３７】小さな浮上距離を必要とするようなディス
クドライブに用いられている従来の２本のレール形のテ
ーパー状平面スライダは、狭いレールを配置したものに
限られている。従って、そのレールの後縁端部に設けら
れた薄膜状の変換器は、コイル層状に形成されたコイル
の回転数を限定することで、その幅において制限を受け
る。ここに説明したデザインのトライパッドスライダ
は、後方パッドに比較的広いスペースをうまく形成する
ことができ、従来の二本のスライダを用いたものの問題
点を解決することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によって製造されるトライパッド マ
イクロスライダの設計断面図である。

【図２】 図２Ａ及び図２Ｂは、マイクロスライダ及び
ナノスライダとして用いられる本発明にかかる新規なス
ライダの好適な実施例を示す図である。

【図３】 マイクロスライダ及びナノスライダとして用
いられる本発明にかかる新規なスライダの好適な実施例
を示す図である。

【図４】 本発明によって製造される他のデザインの空
気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図５】 本発明によって製造される他のデザインの空
気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図６】 本発明によって製造される他のデザインの空
気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図７】 本発明によって製造される他のデザインの空
気支持方式のマイクロスライダの設計断面図である。

【図８】 本発明によって製造される他のデザインの空
気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図９】 本発明によって製造される他のデザインの空
気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図１０】 本発明によって製造される他のデザインの
空気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図１１】 本発明によって製造される他のデザインの
空気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図１２】 本発明によって製造される他のデザインの
空気支持方式のスライダの設計断面図である。

【図１３】 スライダのトライパッド空気支持表面を輪
郭づける角度を持った凹所領域の形成を示す概略図であ
る。

【図１４】 接触方式の記録に用いられる他の実施例の
トライパッドスライダの設計断面図である。

【図１５】 図１４に示されたスライダの空気支持表面
を他の形態に具体化して示した設計図である。

【図１６】 図１５に示されたスライダの等距離図面で
ある。

【符号の説明】

１０、１２、３２、３４、４２、４４、５２、５４、７
０、７２、７６、７８、９２、９４、１０２、１０４、
１１８、１２０、１７０、１７２、１３６、１３８…第
１番目及び第２番目のパッド（前方パッド）、１４、３
６、４６、６４、７４、８４、９６、１２２、１７４、
１４０…第３番目のパッド（後方パッド）、２２、２
４、２８、３０、３８、４０、４８、５０、６６、６
８、７６、７８、８６、８８、９０、１１２、１１４、
１１６、１６６、１６８、１３２、１３４…テーパー
部、１６、１８、２０、９８、１００…凹所、２６…変
換器 ３…カッティング １４２、１４４…切り欠き

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キャロル エス． ゴードン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95117 サンホセ ブルーバードドライ ブ 3225 (72)発明者 エドガー エム． ウイリアムズ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト サンタリタアベニ ュー 185 (56)参考文献 特開 平４−271073（ＪＰ，Ａ)

Claims (27)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】前縁端部と後縁端部と左右の両サイドと磁
   気ディスク対向面とを有し、前記両端部の間に延びてい
   る縦の中心軸とを持つ空気支持方式の磁気ヘッドスライ
   ダにおいて、このスライダが、前記磁気ディスク対向面内に設けられた 第１番目、第２
   番目及び第３番目のパッドであって、その第１番目のパ
   ッド及び第２番目のパッドは前記スライダの前記各両サ
   イドの所に配設されており、また第３番目のパッドは前
   記スライダの後縁端部から前縁端部に向かって延びてい
   て前記スライダの後縁端部のほぼ中心に設けられている
   ような３個のパッドと、前記磁気ディスク対向面内において 前記スライダの前方
   端部に設けた少なくとも第１番目のテーパー状区画と第
   ２番目のテーパー状区画であって、それらのテーパー状
   区画はそれぞれ前記第１番目のパッド及び第２番目のパ
   ッドに隣接しているような少なくとも２個のテーパー状
   区画とを備えて成り、前記第１番目及び第２番目のパッドは、前記第１番目及
   び第２番目のテーパー状区画から前記後縁端部に向かっ
   て途中の長さまで延びており 、前記第３番目のパッドは、前記スライダの後縁端部から
   前縁端部に向かって前記第１番目のパッド及び第２番目
   のパッドの後端よりも後方の位置まで延びており、 さらに、前記第１番目のテーパー状区画と第２番目のテ
   ーパー状区画及び前 記第１番目及び第２番目のパッドの
   間に前記スライダの前記前縁端部から前記里３番目のパ
   ッドの方向に延びて形成された中央凹所を備えて成り、 前記第１番目及び第２番目のパッドは、それぞれ前記中
   央 凹所に面した側に前記縦の中心軸に対して斜めの角度
   をなしたサイドを有しており、前記第３番目のパッド
   は、前記スライダの幅より小さい幅を有し、前記スライ
   ダの両サイドとの間に凹所領域を有するとともに、その
   凹所領域に面した側に前記縦の中心軸に対して斜めの角
   度をなしたサイドを有していることを特徴とする空気支
   持方式の磁気ヘッドスライダ。
2. 【請求項２】前記第３番目のパッドは実質的に台形状で
   あって、そのパッドの角度をなしたサイドが前記第１番
   目のパッド及び第２番目のパッドの角度をなしたサイド
   にそれぞれ平行であることを特徴とする請求項１記載の
   空気支持方式の磁気ヘッドスライダ。
3. 【請求項３】前記中央凹所に前記縦の中心軸に直交して
   横方向に形成された直線状の凹所が設けられていること
   によって前記前縁端部及び後縁端部の間に設けられた前
   記パッドの長さが規定されていることを特徴とする請求
   項２記載の空気支持方式の磁気ヘッドスライダ。
4. 【請求項４】前記テーパー状区画が、前記第１番目のパ
   ッド及び第２番目のパッドの角度をなしたサイドと同一
   線上に位置するような角度をなしたサイドを有している
   ことを特徴とする請求項１記載の空気支持方式の磁気ヘ
   ッドスライダ。
5. 【請求項５】前記テーパー状区画が、前記第３番目のパ
   ッドの角度をなしたサイドに実質的に平行であってかつ
   前記第１番目のパッド及び前記第２番目のパッドの角度
   をなしたサイドと鈍角を形成していることを特徴とする
   請求項１記載の空気支持方式の磁気ヘッドスライダ。
6. 【請求項６】前記第１番目のパッド及び前記第２番目の
   パッドは、前縁端部から縦方向に等寸法で、かつ前記中
   心軸から横方向に等距離に配設されていることを特徴と
   する請求項１記載の空気支持方式の磁気ヘッドスライ
   ダ。
7. 【請求項７】前記第１番目のパッド及び第２番目のパッ
   ドは、前記後縁端部から前記テーパー状区画に向かって
   延びており、かつ前記第３番目のパッドは、三角形状で
   あることを特徴とする請求項１記載の空気支持方式の磁
   気ヘッドスライダ。
8. 【請求項８】前記スライダは、前記第３番目のパッドに
   隣接している前記スライダの後縁端部に配設された磁気
   変換器又は磁気抵抗性のセンサを備えていることを特徴
   とする請求項１記載の空気支持方式の磁気ヘッドスライ
   ダ。
9. 【請求項９】前記変換器又はセンサは、前記縦の中心軸
   をはずして配設されていることを特徴とする請求項８記
   載の空気支持方式の磁気ヘッドスライダ。
10. 【請求項１０】前記スライダは、長さが約０．１６０イ
    ンチで幅が０．１２５インチ、そして高さが０．０３４
    ５インチであることを特徴とする請求項１記載の空気支
    持方式の磁気ヘッドスライダ。
11. 【請求項１１】前記スライダは、長さが約０．１１２イ
    ンチで幅が０．０８８インチ、そして高さが０．０２４
    インチであることを特徴とする請求項１記載の空気支持
    方式の磁気ヘッドスライダ。
12. 【請求項１２】前記スライダは、長さが約０．０８０イ
    ンチで幅が０．０６３インチ、そして高さが０．０１７
    インチであることを特徴とする請求項１記載の空気支持
    方式の磁気ヘッドスライダ。
13. 【請求項１３】前記第３番目のパッドの縦方向の最大長
    さは、前記第１番目のパッド及び第２番目のパッドの最
    後端とスライダの後縁端部との間の長さより小さいこと
    を特徴とする請求項１記載の空気支持方式の磁気ヘッド
    スライダ。
14. 【請求項１４】前記中央凹所と前記凹所領域がつながっ
    て連続した同じ深さの凹所を形成していることを特徴と
    する請求項１記載の空気支持方式の磁気ヘッドスライ
    ダ。
15. 【請求項１５】前記第３番目のパッドは、台形状をして
    おり、その両側縁が前記縦の中心軸に対して斜めの角度
    をなしていることを特徴とする請求項１４記載の空気支
    持方式の磁気ヘッドスライダ。
16. 【請求項１６】前記第１番目のパッド及び第２番目のパ
    ッドの前記斜めの角度をなしたサイドのそれぞれは、前
    記中央凹所に隣接し前記縦の中心軸に対して斜めの角度
    をなした内側縁部を持つ少なくとも一つの部分を有し、
    前記角度をなした内側縁部と反対側の縁部が前記縦の中
    心軸に平行であることを特徴とする請求項１５記載の空
    気支持方式の磁気ヘッドスライダ。
17. 【請求項１７】前記第１番目のパッド及び第２番目のパ
    ッドの前記斜めの角度をなした内側縁部のそれぞれは、
    前記第３番目のパッドの斜めの角度をなした外端縁と同
    じ直線方向であることを特徴とする請求項１６記載の空
    気支持方式の磁気ヘッドスライダ。
18. 【請求項１８】磁気ディスクを用いて接触記録を行うた
    めの薄膜磁気ヘッドアセンブリであって、そのアセンブ
    リが、 空気支持表面と前縁端部及び後縁端部と左右の両サイド
    とを有するヘッドスライダと、 前記スライダの前記空気支持表面に形成された第１番
    目、第２番目及び第３番目パッドであって、その第１番
    目のパッド及び第２番目のパッドは前記スライダの両サ
    イドの近傍で前記スライダの前縁端部の方に位置してい
    てスライダの長さの中程を越えて部分的に後縁端部に向
    かって延びているように設けられており、また第３番目
    のパッドは前記スライダの後縁端部における後方中心部
    に位置していて前記第１番目のパッド及び第２番目のパ
    ッドの後端から前記スライダの後縁端部までの距離より
    も小さい縦方向の長さを有するように設けられており、
    前記第１番目のパッド及び第２番目のパッドは実質的に
    方形状であり、そして第３番目のパッドは実質的に台形
    状であるような３個のパッドと、 前記スライダの前縁端部と前記第１番目のパッド及び第
    ２番目のパッドとの問に位置する前記スライダのサイド
    に設けた方形状のテーパー部とを備えることを特徴とす
    る薄膜磁気ヘッドアセンブリ。
19. 【請求項１９】前記方形状のテーパー部と、前記第１番
    目のパッド及び第２番目のパッドの幅が、約０．００９
    インチであることを特徴とする請求項１８記載の薄膜磁
    気ヘッドアセンブリ。
20. 【請求項２０】前記テーパー部が、前記スライダの前縁
    端部から延びていて長さが約０．００８インチであっ
    て、また約４０分のテーパー角度を有していることを特
    徴とする請求項１８記載の薄膜磁気ヘッドアセンブリ。
21. 【請求項２１】前記スライダの長さは約０．０８０イン
    チであり、また前記第１番目及び第２番目の方形状のパ
    ッドは前記テーパー部の端部から延びて前記スライダの
    前縁端部から前記スライダの長さの半分以上の長さのと
    ころにある点にまで達していることを特徴とする請求項
    １８記載の薄膜磁気ヘッドアセンブリ。
22. 【請求項２２】前記第１番目及び第２番目のパッドは、
    前記前縁端部から約０．０５８インチの点にまで延びて
    いることを特徴とする請求項第１８記載の薄膜磁気ヘッ
    ドアセンブリ。
23. 【請求項２３】前記アセンブリが前記パッドの間に位置
    する凹所領域を含んでおり、その凹所領域が少なくとも
    ０．００２インチの深さを有することを特徴とする請求
    項１８記載の薄膜磁気ヘッドアセンブリ。
24. 【請求項２４】前記後方中心部に位置するパッドは、前
    記スライダの後縁端部に延びていて長さが０．００７イ
    ンチであり、後縁端部では幅が約０．０１３インチであ
    ることを特徴とする請求項第１８記載の薄膜磁気ヘッド
    アセンブリ。
25. 【請求項２５】前記パッドの端部と角が、調和させた端
    部（ｅｄｇｅ ｂｌｅｎｄｅｄ）であることを特徴とす
    る請求項１８記載の薄膜磁気ヘッドアセンブリ。
26. 【請求項２６】前記アセンブリは、前記スライダの前記
    後縁端部の角に切り欠き部分が設けられていることを特
    徴とする請求項１８記載の薄膜磁気ヘッドアヤンブリ。
27. 【請求項２７】前記切り欠き部分は、長さが約０．００
    ９０インチであり幅が０．００７５インチであることを
    特徴とする請求項２６記載の薄膜磁気ヘッドアセンブ
    リ。