KR100425684B1 - 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법 Download PDF

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KR100425684B1
KR100425684B1 KR10-2001-0052178A KR20010052178A KR100425684B1 KR 100425684 B1 KR100425684 B1 KR 100425684B1 KR 20010052178 A KR20010052178 A KR 20010052178A KR 100425684 B1 KR100425684 B1 KR 100425684B1
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Abstract

본 발명은 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드는, 정보저장매체의 정보저장면측에 대면하도록 배치되는 헤드기판과; 상기 헤드기판의 상기 정보저장면측으로 돌출되고 공기흐름방향을 따라 연장되고 상기 공기흐름방향에 가로로 소정 이격배치되는 레일을 구비하여 상기 정보저장매체의 회전시 상기 정보저장면으로부터 상기 헤드기판이 부양되도록 하는 공기베어링면층과; 상기 공기베어링면층의 상기 공기흐름방향에 대한 곡률인 캠버 및 상기 공기흐름방향에 가로방향의 곡률인 크라운중 적어도 어느 하나를 조절할 수 있도록 상기 헤드기판의 적어도 어느 일측에 형성되는 잔류응력조절박막층을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 안정적인 부양상태를 유지할 수 있도록 공기베어링면의 곡률을 조절할 수 있으며 대량생산이 가능하고 제조비용을 저감시킬 수 있으며 균일한 품질을 확보할 수 있다.

Description

정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법{AIR BUOYANCY SLIDER HEAD FOR INFORMATION STORAGE DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은, 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 안정적인 부양상태를 유지할 수 있게 공기베어링면의 곡률을 조절할 수 있으며 대량생산이 가능하고 제조비용을 저감시킬 수 있으며 균일한 품질을 확보할 수 있도록 한 정보저장자장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근에는 소형화, 경량화 및 대용량화의 추세에 따라 컴퓨터의 보조기억장치로 이용되고 있는 하드디스크(Hard Disk) 등의 자기 정보 기록장치와, 컴팩트 디스크(CD) 및 디브이디(Digital Video Disk) 등의 광 기록장치의 기록밀도를 향상시키기위해 많은 연구가 이루어지고 있다.
이러한 소형화, 경량화 및 대용량화 된 정보저장장치의 성능을 향상시키기 위해서는 기록밀도의 향상 뿐만 아니라 정보의 기록 및 재생을 위한 데이터 접근 속도(Access Speed)의 향상이 요구되고 있다.
하드디스크와 같은 정보저장장치를 들어 설명하면, 정보저장장치는 정보기록면이 형성되어 있으며 회전축을 중심으로 회전가능하도록 배치되는 디스크와, 디스크의 반경방향을 따라 회동가능하게 배치되는 아암과, 아암의 끝단에 배치되어 디스크의 정보를 독취하거나 디스크에 정보를 기록하는 헤드를 구비한다.
헤드는 정지시 디스크의 표면에 접촉되고 디스크의 회전시 발생되는 공기에의해 발생된 부양력으로 디스크의 표면으로부터 소정 거리 이격 부양되는 소위 CSS(Contact Start Stop)방식을 채택한 공기부양 슬라이더 헤드가 이용되고 있다.
공기부양 슬라이더 헤드는, 디스크의 표면과 대면하도록 형성되는 헤드본체의 디스크표면측에 유체역학적으로 안정적인 부양력을 확보할 수 있도록 공기베어링면(Air-bearing surface;ABS)을 구비하고 있다.
공기베어링면은 공기흐름방향 및 공기흐름방향에 가로로 미소한 곡률, 즉 캠버(Camber) 및 크라운(Crown)을 가지며, 공기흐름방향에 대해 공기베어링면의 상류영역에는 하류측으로 향할수록 정보기록면측으로 향하도록 경사진 테이퍼에지가 형성되어 있다.
그런데, 이러한 종래의 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드에 있어서는, 기계적인 절삭 및 연마 가공을 통해 테이퍼에지와, 공기베어링면의 캠버 및 크라운이 형성되도록 하고 있어, 기계가공의 특성상 일정 이상의 정밀가공이 곤란하고 양산성이 낮아 상대적으로 제조비용이 증가하게 될 뿐만 아니라 헤드 소자간의 균일도가 떨어지게 되어 안정적인 품질 확보가 곤란하다고 하는 문제점이 있다.
특히, 최근에는 기록밀도의 향상에 따라 데이터 단위 비트(Bit) 및 트랙 피치(Pitch)의 축소로 정보기록면과 헤드사이의 간극이 레이저 광의 파장보다 근접되게 유지되는 소위 “근접장 광학계”를 탑재하게 될 경우, 헤드의 부양 높이를 더욱 안정적으로 유지하는 것이 필수적으로 요구되고 있으나, 이러한 종래의 기계적인 절삭/연마 가공방법으로는 미세한 간극의 부양 높이를 안정적으로 유지할 수 없어 근접장 광학계의 요소가 탑재된 슬라이더 헤드에는 적합하지 않다고 하는 문제점이 있다.
또한, 이러한 종래의 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드에 있어서는, 기계가공을 통해 공기베어링면을 형성하도록 되어 있어, 공기베어링면이 형성된 후에는 캠버 및 크라운을 조절할 수 없다고 하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 안정적인 부양상태를 유지할 수 있게 공기베어링면의 곡률을 조절할 수 있으며 대량생산이 가능하고 제조비용을 저감시킬 수 있으며 균일한 품질을 확보할 수 있는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 사시도 및 저부사시도,
도 3 및 도 4는 각각 도 1 및 도 2의 평면도,
도 5 및 도 6은 각각 도 3의 Ⅴ-Ⅴ선 및 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도,
도 7a 내지 도 7h는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면,
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 사용상태를 도시한 도면이다.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
11 : 헤드기판 12 : 공기베어링면
13 : 레일 14 : 테이퍼에지부
21 : 솔리드 이멀젼 렌즈 23 : 렌즈수용부
24 : 투명차단막 25 : 잔류응력조절박막층
상기 목적은, 본 발명에 따라, 정보저장매체의 정보저장면측에 대면하도록 배치되는 헤드기판과; 상기 헤드기판의 상기 정보저장면측으로 돌출되고 공기흐름방향을 따라 연장되고 상기 공기흐름방향에 가로로 소정 이격배치되는 레일을 구비하여 상기 정보저장매체의 회전시 상기 정보저장면으로부터 상기 헤드기판이 부양되도록 하는 공기베어링면층과; 상기 공기베어링면층의 상기 공기흐름방향에 대한 곡률인 캠버 및 상기 공기흐름방향에 가로방향의 곡률인 크라운중 적어도 어느 하나를 조절할 수 있도록 상기 헤드기판의 적어도 어느 일측에 형성되는 잔류응력조절박막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드에 의해 달성된다.
여기서, 상기 헤드기판의 상기 정보저장면측에 배치되어 정보의 기록 및 정보의 독취중 적어도 어느 하나를 수행하는 자기 트랜스듀서를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 헤드기판에는 근접장 광학계를 형성하는 솔리드 이멀젼 렌즈를 수용할 수 있도록 판면을 관통하여 렌즈수용부가 형성되어 있는 것이 효과적이다.
상기 렌즈수용부의 일측에는 상기 솔리드 이멀젼 렌즈를 지지할 수 있도록 투명차단막이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 응력조절박막층은 압전커패시터 및 바이메탈중 어느 하나의 형태로 형성되는 것이 효과적이다.
또한, 상기 헤드기판의 일측에는 상기 정보저장매체의 반경방향을 따라 회동가능하게 배치되는 서스펜션의 일측 단부가 일체로 결합될 수 있도록 서스펜션결합부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 다른 분야에 따르면, 정보저장매체의 정보저장면측에 대면하도록 배치되는 복수의 헤드기판이 판면방향을 따라 상호 이격배치되도록 반도체 웨이퍼를 형성하는 단계와; 상기 반도체 웨이퍼의 양 표면에 제1박막층을 형성하는 단계와; 상기 제1박막층중 어느 하나에 판면으로부터 돌출되고 공기흐름방향을 따라 연장되며 공기흐름방향에 가로로 상호 이격배치된 한 쌍의 레일을 구비한 공기베어링면을 형성하기 위한 제2박막층을 형성하는 단계와; 잔류응력조절을 통해 공기흐름방향에 대한 상기 공기베어링면의 곡률인 캠버 및 상기 공기흐름방향의 가로방향에 대한 상기 공기베어링면의 곡률인 크라운 중 적어도 어느 하나를 조절할수 있도록 상기 반도체 웨이퍼의 적어도 어느 일측에 잔류응력조절박막층을 증착형성하는 단계와; 상기 제2박막층에 마스크물질을 성막하여 패터닝하고 식각하여 공기베어링면을 형성하는 단계와; 상기 잔류응력조절박막층 및 공기베어링면층이 형성된 헤드기판을 상기 반도체 웨이퍼로부터 분리추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법이 제공된다.
여기서, 분리된 각 헤드기판의 레일의 공기흐름방향에 대해 상류영역을 가공하여 테이퍼 에지를 형성하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 근접장 광학계를 형성하는 솔리드 이멀젼 렌즈를 수용할 수 있도록 상기 각 헤드기판을 관통하여 렌즈수용부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것이 효과적이다.
상기 렌즈수용부의 내부에 상기 솔리드 이멀젼 렌즈를 수용결합하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 분리된 헤드기판의 상기 정보저장면측에 정보의 기록 및 정보의 재생중 적어도 어느 하나를 수행할 수 있도록 자기 트랜스듀서를 배치하는 단계를 더 포함하는 것이 효과적이다.
또한, 상기 잔류응력조절박막층을 형성하는 단계는 상기 헤드기판의 두께방향을 따라 압전체를 사이에 두고 배치되는 상호 다른 금속층을 가지는 압전커패시터구조를 형성하는 단계와; 상기 상호 다른 금속층에 전계를 인가할 수 있도록 배선을 부가하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 잔류응력조절박막층을 형성하는 단계는 상기 헤드기판의 두께방향을 따라 상호 대면하도록 배치되는 상호 다른 금속층을 가지는 바이메탈구조를 형성하는 단계와; 상기 각 금속층에 전계를 인가할 수 있도록 배선을 부가하는 단계를 포함하도록 구성하는 것이 효과적이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 사시도 및 저부사시도이고, 도 3 및 도 4는 각각 도 1 및 도 2의 평면도이며, 도 5 및 도 6은 각각 도 3의 Ⅴ-Ⅴ선 및 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드는, 직육면체형상을 가지고 정보저장매체의 회전시 공기의 부양력에 의해 정보기록면으로부터 부양가능하도록 배치되는 헤드기판(11)과, 헤드기판(11)의 정보기록면측 표면에 형성되는 공기베어링면(12)과, 공기베어링면(12)의 대향측 표면에 형성되어 공기베어링면(12)의 곡률을 조절하는 잔류응력조절박막층(25)을 포함하여 구성되어 있다.
공기흐름방향에 대해 공기베어링면(12)의 상류측에는 표면으로부터 돌출되고 공기흐름방향을 따라 소정 연장되며 공기흐름방향에 가로로 소정 거리 이격된 한 쌍의 레일(13)이 형성되어 있다. 공기흐름방향에 대해 각 레일(13)의 상류측에는 초기의 부양력을 형성할 수 있게 소정의 경사각을 가지는 테이퍼에지부(14)가 각각 형성되어 있으며, 공기흐름방향에 대해 레일(13)의 하류측에는 판면으로부터 돌출된 후면패드(17)가 형성되어 있다.
헤드기판(11)의 공기베어링면(12)의 대향측 표면에는 공기베어링면(12)의 곡률, 즉 캠버 및 크라운을 조절할 수 있도록 잔류응력조절박막층(25)이 형성되어 있다. 여기서, 잔류응력조절박막층(25)은, 압전체를 사이에두고 헤드기판(11)의 두께방향을 따라 상호 다른 금속층을 구비한 압전커패시터의 형태로 구성하거나, 상호 다른 열팽창계수를 가지는 금속층을 구비한 바이메탈의 형태중 어느 하나로 구성하고, 이들 각 금속층에는 상호 다른 전계를 인가할 수 있도록 배선을 구비하도록 구성하는 것이 바람직하다.
잔류응력조절박막층(25)에는 정보저장매체의 반경방향을 따라 회동가능하게 배치되어 헤드기판(11)을 지지하는 서스펜션(19)의 끝단이 일체로 결합될 수 있도록 서스펜션결합부(18)가 형성되어 있다.
한편, 공기의 흐름방향을 따라 레일(13)의 후방영역에는 근접장 광학계를 형성하는 솔리드 이멀젼 렌즈(21)를 수용할 수 있도록 헤드기판(11), 잔류응력조절박막층(25) 및 공기베어링면(12)을 관통하여 렌즈수용부(23)가 형성되어 있다. 렌즈수용부(23)의 내부에는 광의 투과를 허용함과 동시에 솔리드 이멀젼 렌즈(21)를 지지할 수 있게 렌즈수용부(23)의 일측을 차단하도록 투명차단막(24)이 형성되어 있다.
이하에서는, 이러한 장치적 특징으로 가지는 본 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법에 대해 도 7a 내지 도 7h를 참조하여 설명한다. 먼저 도 7a에 도시된 바와 같이, 복수의 헤드기판(11)이 매트릭스 형태로 배열된 소정 크기를 가지는 실리콘 웨이퍼(31)를 마련하고, 실리콘 웨이퍼(31)의 표면에 솔리드 이멀젼 렌즈(21)가 결합지지되는 투명차단막(24)과, 식각 정지층 및 공기베어링면(12) 형상을 구성하게 되는 제1박막층(33)을 각각 산화(Oxidation) 및 증착(Depositon) 등의 방법으로 성막한다.
다음, 도 7b에 도시된 바와 같이, 실리콘 웨이퍼(31)의 일측 표면에 레일(13) 및 후면패드(17)의 형성을 위한 제2박막층(34)을 증착하고, 도 7c에 도시된 바와 같이, 제2박막층(34)을 일련의 반도체 제조공정인 사진 묘화 공정 및 박막 식각 공정을 통해 레일(13) 및 후면패드(17)가 형성되도록 한다.
도 7d 및 도 7e에 각각 도시된 바와 같이, 공기베어링면(12)이 형성된 실리콘 웨이퍼(31)의 대향측 표면에 잔류응력조절박막층(25)을 증착하고, 잔류응력조절박막을 패터닝하기 위한 마스크물질(35)을 잔류응력조절박막층(25)의 표면에 성막한다. 이후 일련의 사진 묘화 공정 및 박막 식각 공정을 통해 캠버(Ca) 및 크라운(Cr)의 조절이 가능하도록 잔류응력조절박막층(25)을 가공한다.
다음, 도 7f에 도시된 바와 같이, 마스크물질(35)을 이용하여 솔리드 이멀젼 렌즈(21)를 수용하는 렌즈수용부(23)가 형성되도록 제2박막층(34) 및 제1박막층(33)을 부분적으로 제거하고, 실리콘 웨이퍼(31)로부터 각 표면에 잔류응력조절박막층(25), 공기베어링면(12) 및 렌즈수용부(23)가 형성된 헤드기판(11)을 다이싱(Dicing) 등의 방법으로 커팅하여 슬라이더 헤드(10)를 소자의 형태로 분리추출해낸다.
도 7g에 도시된 바와 같이, 소자의 형태로 분리추출된 슬라이더 헤드(10)의 레일(13)의 선단부를 소정의 각도로 경사지게 절삭하여 테이퍼에지부(14)를 형성하고, 도 7h에 도시된 바와 같이, 솔리드 이멀젼 렌즈(21)를 렌즈수용부(23)의 내부에 투명차단막(24)에 결합되도록하면 슬라이더 헤드(10)가 완성된다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 사용상태를 도시한 도면이다. 도시된 바와 같이, 정보저장매체의 일측에 배치된 슬라이더 헤드(10)는 정보저장매체(51)가 회전함에 따라 발생되는 공기의 부양력에 의해 정보저장매체(51)의 표면과 미세한 간극을 유지하도록 부양된다. 이 때, 레이저 다이오드 등의 레이저 광원(41)으로부터 방출되는 입력 레이저 빔은 콜리메이터(Collimator)(43)를 통과하면서 평행광으로되고, 광경로를 따라 콜리메이터(43)의 일측에 배치된 반사경(47)을 통해 광로를 변경하여 근접장 광학계를 형성하는 제1집속렌즈(49)를 투과하게 된다.
제1집속렌즈(49)를 투과한 광은 정보저장매체(51)로부터 미세 간극을 가지도록 부양된 슬라이더 헤드(10)의 렌즈수용부(23)의 내부에 수용된 솔리드 이멀젼 렌즈(21)를 투과하여 정보저장매체(51)의 정보기록면에 조사된다.
정보기록면으로 입사된 광중 일부는 반사되어 솔리드 이멀젼 렌즈(21) 및 제1집속렌즈(49)를 차례로 투과하여 반사경(47)에 의해 반사되어 광경로가 변경되고, 광분할기(Beam Splitter)(53)를 거치게 된다. 광분할기(53)를 통해 광경로가 변경된 광은 광분석기(Beam Analyzer)(55)로 입사되고, 제2집속렌즈(57)를 거쳐 광검출기(59)에 도달하여 광신호가 검출됨으로써 정보기록면의 정보를 획득할 수 있게 된다.
전술 및 도시한 실시 예에서는, 정보저장매체가 광자기방식 또는 상변화형 광디스크인 경우, 헤드기판에 렌즈수용부를 형성하고 렌즈수용부의 내부에 근접장광학계를 구성하는 솔리드 이멀젼 렌즈가 수용되도록 구성된 광픽업 헤드의 경우를 예를 들어 설명하고 있지만, 정보저장매체가 하드디스크 등과 같은 자기기록방식의 디스크인 경우 렌즈수용부를 형성하지 아니하고 헤드기판의 정보기록면측에 자기 트랜스듀서(Magnetic Transducer)를 결합하여 자기 슬라이더 헤드의 형태로 구성할 수도 있다.
또한, 전술 및 도시한 실시 예에서는, 헤드기판의 공기베어링면의 대향측에 잔류응력조절박막층이 형성되도록 구성한 경우를 예를 들어 설명하고 있지만, 공기베어링면측에 잔류응력조절박막층이 형성되도록 구성할 수도 있으며, 캠버조절을 위한 잔류응력조절박막층과 크라운조절을 위한 잔류응력조절박막층을 헤드기판의 두께방향을 따라 상호 다른 면에 각각 형성되도록 구성할 수도 있다.
그리고, 전술 및 도시한 실시 예에서는, 잔류응력조절박막층을 통해 공기베어링면의 캠버 및 크라운을 모두 조절할 수 있도록 설명하고 있지만, 필요에 따라 캠버 및 크라운중 어느 하나만 조절가능하게 잔류응력조절박막층을 형성할 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 일측에 공기베어링면이 형성된 헤드기판과, 헤드기판의 적어도 일 영역에 공기베어링면의 캠버 및 크라운중 적어도 어느 하나를 조절할 수 있도록 잔류응력조절박막층을 형성하여 제조시 뿐만 아니라 제조후에도 잔류응력조절박막층에 상호 다른 전계를 인가함으로써 정보기록면에 대해 헤드기판이 안정적으로 간극을 유지할 수 있도록 공기베어링면의 캠버 및크라운을 조절할 수 있는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법이 제공된다.
또한, 본 발명에 따르면, 판면방향을 따라 복수의 헤드기판이 매트릭스 형태로 배열될 수 있게 실리콘 웨이퍼를 형성하고, 각 헤드기판의 표면에 공기베어링면 및 잔류응력조절박막층을 일련의 반도체 제조 공정 및 기법을 적용하여 형성하고 실리콘웨이퍼를 다이싱하여 각 슬라이더 헤드를 소자의 형태로 분리추출함으로써, 대량생산이 가능하여 제조비용을 저감시킬 수 있음은 물론이고 소자간의 품질의 편차가 거의 없어 안정적인 품질을 확보할 수 있는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드 및 그 제조방법이 제공된다.

Claims (13)

  1. 정보저장매체의 정보저장면측에 대면하도록 배치되는 헤드기판과; 상기 헤드기판의 상기 정보저장면측으로 돌출되고 공기흐름방향을 따라 연장되고 상기 공기흐름방향에 가로로 소정 이격배치되는 레일을 구비하여 상기 정보저장매체의 회전시 상기 정보저장면으로부터 상기 헤드기판이 부양되도록 하는 공기베어링면층과; 상기 공기베어링면층의 상기 공기흐름방향에 대한 곡률인 캠버 및 상기 공기흐름방향에 가로방향의 곡률인 크라운중 적어도 어느 하나를 조절할 수 있도록 상기 헤드기판의 적어도 어느 일측에 형성되는 잔류응력조절박막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 헤드기판의 상기 정보저장면측에 배치되어 정보의 기록 및 정보의 독취중 적어도 어느 하나를 수행하는 자기 트랜스듀서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 헤드기판에는 근접장 광학계를 형성하는 솔리드 이멀젼 렌즈를 수용할 수 있도록 판면을 관통하여 렌즈수용부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 렌즈수용부의 일측에는 상기 솔리드 이멀젼 렌즈를 지지할 수 있도록 투명차단막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 응력조절박막층은 압전커패시터 및 바이메탈중 어느 하나의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드.
  6. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 헤드기판의 일측에는 상기 정보저장매체의 반경방향을 따라 회동가능하게 배치되는 서스펜션의 일측 단부가 일체로 결합될 수 있도록 서스펜션결합부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드.
  7. 정보저장매체의 정보저장면측에 대면하도록 배치되는 복수의 헤드기판이 판면방향을 따라 상호 이격배치되도록 반도체 웨이퍼를 형성하는 단계와; 상기 반도체 웨이퍼의 양 표면에 제1박막층을 형성하는 단계와; 상기 제1박막층중 어느 하나에 판면으로부터 돌출되고 공기흐름방향을 따라 연장되며 공기흐름방향에 가로로상호 이격배치된 한 쌍의 레일을 구비한 공기베어링면을 형성하기 위한 제2박막층을 형성하는 단계와; 잔류응력조절을 통해 공기흐름방향에 대한 상기 공기베어링면의 곡률인 캠버 및 상기 공기흐름방향의 가로방향에 대한 상기 공기베어링면의 곡률인 크라운 중 적어도 어느 하나를 조절할 수 있도록 상기 반도체 웨이퍼의 적어도 어느 일측에 잔류응력조절박막층을 증착형성하는 단계와; 상기 제2박막층에 마스크물질을 성막하여 패터닝하고 식각하여 공기베어링면을 형성하는 단계와; 상기 잔류응력조절박막층 및 공기베어링면층이 형성된 헤드기판을 상기 반도체 웨이퍼로부터 분리추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    분리된 각 헤드기판의 레일의 공기흐름방향에 대해 상류영역을 가공하여 테이퍼 에지를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법.
  9. 제7항에 있어서,
    근접장 광학계를 형성하는 솔리드 이멀젼 렌즈를 수용할 수 있도록 상기 각 헤드기판을 관통하여 렌즈수용부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 렌즈수용부의 내부에 상기 솔리드 이멀젼 렌즈를 수용결합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 분리된 헤드기판의 상기 정보저장면측에 정보의 기록 및 정보의 재생중 적어도 어느 하나를 수행할 수 있도록 자기 트랜스듀서를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법.
  12. 제7항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 잔류응력조절박막층을 형성하는 단계는 상기 헤드기판의 두께방향을 따라 압전체를 사이에 두고 배치되는 상호 다른 금속층을 가지는 압전커패시터 구조를 형성하는 단계와; 상기 상호 다른 금속층에 전계를 인가할 수 있도록 배선을 부가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법.
  13. 제7항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 잔류응력조절박막층을 형성하는 단계는 상기 헤드기판의 두께방향을 따라 상호 대면하도록 배치되는 상호 다른 금속층을 가지는 바이메탈구조를 형성하는단계와; 상기 각 금속층에 전계를 인가할 수 있도록 배선을 부가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보저장장치용 공기부양 슬라이더 헤드의 제조방법.
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