KR100371176B1 - 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드 및 그제조방법 - Google Patents

고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드 및 그제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명은 마이크로머시닝 기술 및 반도체소자 제조 기술을 이용하여 자기 정보 저장 장치 및 광 정보 저장 장치에 사용되는 슬라이더 헤드에 테이퍼를 형성함으로써 상기 테이퍼 형상의 정밀 가공이 가능해지고 양산성이 향상되며 테이퍼 형상의 재현성이 높아져 상기 테이퍼의 균일성이 개선되도록 한 것이다.

Description

고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법{FLYING SLIDER HEAD FOR HIGH-DENSITY DATA STORAGE APPARATUS AND THE MANUFACTURING METHOD OF IT}
본 발명은 고밀도 정보 저장 장치의 픽업 소자에 관한 것으로서, 특히 유체 역학적인 부양력을 이용하여 기록매체인 디스크와 픽업헤드 사이의 간극을 미세하게 조절하는 고밀도 정보 저장 장치의 부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 보다 선명한 화상 정보에 대한 요구와 개인 정보 단말기에서 필수적인 소형, 경량화된 대용량의 정보 저장 장치의 요구를 충족시키기 위해서는 정보 기록 밀도의 비약적인 증가가 필요하게 되었다.
이에 대한 기술적 대응으로 컴퓨터의 보조 기억 장치로 이용되는 하드 디스크 등의 자기 정보 기록 장치의 기록 밀도 향상이 계속되고 있으며, 시디와 디브이디 등과 같은 광 정보 저장 장치의 기록 밀도를 증가시키기 위한 연구도 다양하게 진행되고 있다.
그런데, 대용량의 정보 저장 장치의 요구 성능에는 높은 기록 밀도 뿐만 아니라 정보의 기록 및 재생을 위한 데이터 억세스의 고속화도 포함된다. 또한, 데이터 기록 밀도의 증가는 데이터 비트 크기의 축소를 의미하며, 이에 따라 데이터 트랙 피치가 줄어들게 된다.
따라서, 디스크에 대한 정보의 기록/재생을 위한 픽업헤드의 트래킹 정밀도 역시 기록 밀도의 증가에 대응하여 높아져야 한다.
상기와 같이 픽업헤드의 트래킹 속도 및 정밀도를 향상시키기 위해서는 픽업 장치의 소형 경량화가 필수적이다.
뿐만 아니라, 상기한 자기 정보 저장 장치나 광 정보 저장 장치 모두 기록 밀도를 높이기 위해서는 기록매체인 디스크와 픽업헤드 간의 간극이 줄어드는 동시에 이 간극 자체의 변화량 역시 동일한 비율로 정밀하게 제어되어야 한다.
이와 같은 요구 사항을 충족시키기 위해 미세 간극 제어 기술로 사용되는 것이 유체 역학적인 부양력을 이용하여 픽업헤드를 디스크로부터 일정 높이만큼 부양시키는 부상형 슬라이더 헤드 기술이다.
이때, 상기한 부상형 슬라이더 헤드의 리딩에지(Leading edge) 측에는 초기 부상을 위해 슬라이더 헤드의 표면으로부터 수 밀리 라디안 정도로 경사진 테이퍼가 형성되어 있다.
그런데, 종래에는 슬라이더 헤드에 테이퍼를 형성하기 위하여 상기 슬라이더 헤드를 개별적으로 절단한 후 래핑 또는 폴리싱 가공을 이용하여 슬라이더 헤드의 표면을 경사지게 절삭하거나 연마하는 방식으로 상기 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에 테이퍼를 형성하여 왔다.
따라서, 상기와 같은 종래의 방식은 슬라이더 헤드에 테이퍼를 형성하기 위해 상기 슬라이더 헤드를 개별적으로 각각 가공해야 하여 양산성이 매우 낮고 테이퍼 형상의 재현성이 떨어져 테이퍼의 균일도가 좋지 않은 문제점이 있었다.
상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은, 마이크로머시닝 기술 및 반도체소자 제조 기술을 이용하여 자기 정보 저장 장치 및 광 정보 저장 장치에 사용되는 슬라이더 헤드에 테이퍼를 형성함으로써 상기 테이퍼의 정밀 가공이 가능해지고, 양산성이 향상되며 테이퍼 형상의 재현성이 높아져 상기 테이퍼의 균일성이 개선되도록 하는 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
도 1은 본 발명에 따른 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드가 도시된 사시도,
도 2는 도 1의 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 부상형 슬라이더 헤드가 자기 정보 저장 장치에 적용된 상태가 도시된 사시도,
도 4a 내지 도 4l은 본 발명에 따른 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드의 제조방법이 도시된 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 광 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드가 도시된 사시도,
도 6은 도 5의 단면도,
도 7은 본 발명에 따른 부상형 슬라이더 헤드가 광 정보 저장 장치에 적용된 상태가 도시된 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 기판 3 : 앵커
4 : 솔더 5 : 표면박판
7 : 서피스 공기 베어링 9 : 딤플(Dimple)
11 : 마그네틱 픽업소자 19 : 희생층
31 : 솔리드 이머젼 렌즈 32 : 식각캐버티
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 소정 크기의 기판과, 상기 기판의 일측에 일정 높이로 형성된 앵커와, 상기 기판과 앵커의 상측에 설치되고 상기 앵커가 없는 부분에 해당되는 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에는 테이퍼가 형성된 표면박판과, 상기 표면박판의 상면에 설치되어 디스크와의 미세 간극 유지를 위한 부양력을 발생시키는 서피스 공기 베어링과, 상기 기판의 하면에 형성되어 서스펜션의 짐벌(Gimbal)과 결합되는 딤플과, 상기 기판 중 슬라이더 헤드의 트레일링에지 측에 설치된 마그네틱 픽업소자를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드가 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면, 소정 크기의 기판과, 상기 기판의 일측에 일정 높이로 형성된 앵커와, 상기 기판과 앵커의 상측에 설치되고 상기 앵커가 없는 부분에 해당되는 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에는 테이퍼가 형성된 표면박판과, 상기 표면박판의 상면에 설치되어 디스크와의 미세 간극 유지를 위한 부양력을 발생시키는 서피스 공기 베어링과, 상기 기판의 하면에 형성되어 서스펜션의 짐벌과 결합되는 딤플과, 상기 표면박판 중 슬라이더 헤드의 트레일링에지 측에 설치된 근접장광 발생부인 솔리드 이머젼 렌즈와, 상기 솔리드 이머젼 렌즈에 집속된 레이저광이 조사될 수 있도록 상기 기판의 일부가 제거되어 형성된 식각캐버티를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 광 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드가 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면, 기판의 상면 소정 위치에 각각 앵커를 형성한 후 상기 기판 중 상기 앵커와 일정 간격만큼 떨어진 곳에 각각 솔더를 형성하는 제 1과정과, 상기 앵커와 솔더 위로 희생층을 일정 두께로 형성한 후 상기 희생층의 두께가 상기 앵커의 두께와 일치되도록 희생층을 평탄화시키는 제 2과정과, 상기 희생층 위로 표면박판을 형성할 물질과 서피스 공기 베어링을 형성할 물질을 순차적으로 형성한 후 각각 서피스 공기 베어링의 형상과 표면박판의 형상을 패터닝하는 제 3과정과, 상기 기판의 후면에 딤플의 형상을 패터닝한 후 상기 희생층을 제거하여 상기 표면박판을 기판으로부터 릴리즈시키는 제 4과정과, 상기 표면박판의 선단부를 상기 기판의 솔더에 접합하여 표면박판이 경사지게 형성되도록 함으로써 상기 표면박판 중 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에 해당되는 부분에 테이퍼를 형성하는 제 5과정과, 상기 기판을 개별 슬라이더 헤드의 형태로 절단하여 다수의 부상형 슬라이더 헤드를 완성하는 제 6과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드의 제조방법이 제공된다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드가 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1의 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 부상형 슬라이더 헤드가 자기 정보 저장 장치에 적용된 상태가 도시된 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드는 소정 크기의 기판(1)과, 상기 기판(1)의 일측에 일정 높이로 형성된 앵커(3)와, 상기 기판(1)과 앵커(3)의 상측에 설치되고 상기 앵커(3)가 없는 부분에 해당되는 부분에는 테이퍼(T)가 형성된 표면박판(5)과, 상기 표면박판(5)의 상면에 설치되어 자기 디스크(D1)와의 미세 간극 유지를 위한 부양력을 발생시키는 서피스 공기 베어링(7)과, 상기 기판(1)의 하면에 형성되어 서스펜션(13)의 짐벌(15)과 결합되는 딤플(9)과, 상기 기판(1)에 장착된 마그네틱 픽업소자(11)로 구성된다.
여기서, 상기 표면박판(5)은 앵커(3)가 있는 부분에 해당되는 부분은 상기 앵커(3)에 의해 기판(1)에 접합되고, 앵커(3)가 없는 부분에 해당되는 현가 부분은 그 선단부가 상기 기판(1)의 끝단에 솔더(4)에 의해 접합되어 경사지게 형성됨으로써 테이퍼(T) 구조를 구비하도록 구성된다.
이때, 상기 테이퍼(T)의 형상, 즉 그 길이 및 경사각은 상기 앵커(3)의 길이 및 두께에 의해서 결정된다.
또한, 상기 테이퍼(T)가 형성되는 부분은 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에 해당되고, 상기 마그네틱 픽업소자(11)가 설치되는 부분은 슬라이더 헤드의 트레일링에지 측에 해당된다.
또한, 상기 딤플(9)은 서스펜션(13)에 구비된 짐벌(15)과의 결합을 통해 슬라이더 헤드의 정밀한 조립을 보장하는 역할을 한다.
상기와 같이 구성된 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드는 다음과 같이 작동된다.
먼저, 스핀들(17)의 회전력에 의해 자기 디스크(D1)가 회전되면 짐벌(15)이 형성된 서스펜션(13)에 의해 일정한 압력이 가해지면서 상기 자기 디스크(D1) 상에 미세 간극만큼 슬라이더 헤드가 부양되게 된다.
이때, 상기 서스펜션(13)은 브이씨엠(VCM: Voice Coil Motor) 엑츄에이터의 제어에 의해 자기 디스크(D1)의 특정 위치로 슬라이더 헤드를 이송한다.
상기와 같이 슬라이더 헤드는 미세 간극만큼 부양된 상태에서 상기 서스펜션(13)에 의해 이송되면서 상기 자기 디스크(D1)에 대한 정보의 기록/재생 작업을 수행한다.
한편, 도 4는 본 발명에 따른 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드의 제조방법이 도시된 단면도이다.
상기한 도 4를 참조하여 발명에 따른 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 실리콘 웨이퍼 등과 같은 기판(1)을 세정한 후(a), 상기 기판(1)의 상면 소정 위치에 각각 앵커(3)를 형성한다(b).
이때, 상기 앵커(3)는 기판(1) 중 앵커(3) 이외의 부분을 상기 앵커(3)의 높이만큼 식각하여 형성할 수도 있고, 상기 기판(1)에 증착을 이용하여 형성할 수도 있다.
이후, 사진 묘화 공정 및 박막 형성 공정을 통해 상기 기판(1)에 솔더 물질을 증착하고 패터닝하여 상기 앵커(3)와 일정 간격만틈 떨어진 곳에 각각 솔더(4)를 형성한다(c).
상기와 같이 기판(1)에 앵커(3)와 솔더(4)가 형성되면 상기 앵커(3)와 솔더(4) 위로 희생층(19)을 도포 또는 증착을 통해 형성한다(d). 이때, 상기한 희생층(19)의 두께는 앵커(3)의 높이보다 큰 것이 바람직하다.
이후, 상기 희생층(19)을 래핑 또는 폴리싱을 통해 평탄화하여 평탄화된 희생층(19)의 두께가 상기 앵커(3)의 두께와 일치하도록 한다(e).
상기와 같이 희생층(19)이 평탄화된 면에 표면박판(5)을 형성할 물질(5')과 서피스 공기 베어링(7)을 형성할 물질(7')을 필요 두께만큼 순차적으로 형성한다(f).
이때, 상기한 각 물질을 형성하기 위해서는 증착, 도금, 에피탁시(epitaxy) 성장 등의 방법을 물질에 맞게 선택하여 이용한다.
이후, 사진 묘화 공정 및 박막 식각 기술을 이용하여 서피스 공기 베어링(7)의 형상을 패터닝한다(g).
이후, 사진 묘화 공정 및 박막 식각 기술을 이용하여 표면박판(5)의 형상을 패터닝한다(h).
상기와 같이 표면박판(5)과 서피스 공기 베어링(7)이 형성되면 상기 기판(1)의 하면에 사진 묘화 공정 및 증착을 이용하여 딤플(9)의 형상을 패터닝한다(i).
이후, 상기 희생층(19)을 제거하여 표면박판(5)을 기판(1)으로부터 일정 간격만큼 릴리즈시켜 현가시킨다(j).
이때, 상기한 희생층(19)의 제거는 희생층(19)과 다른 구성 물질간의 선택적 식각 특성을 갖는 식각액, 식각기체, 식각플라즈마 등을 이용하여 수행하며, 특히 상기 희생층(19)으로는 이러한 릴리즈 과정에서 다른 구성 물질에 영향을 주지 않을 수 있는 물질을 선택하는 것이 바람직하다.
상기와 같이 표면박판(5)이 릴리즈되어 현가되면 그 선단부에 힘을 가하여 상기 표면박판(5)의 일부를 상기 기판(1)에 미리 형성되어 있는 솔더(4)에 접합시킨다(k).
이때, 상기 표면박판(5)을 기판(1)의 솔더(4)에 접합시키는 데에는 각각 도전성인 기판(1)과 표면박판(5)의 양단에 전압을 인가하여 정전기력을 이용하는 방법, 상기 표면박판(5)을 열팽창률이 상이한 물질의 복합층으로 형성한 후 이 복합층을 가열하여 상기 표면박판(5)이 하측으로 휘게 하는 열변형력을 이용하는 방법, 단순히 상기 표면박판(5)의 선단부에 외력을 가하는 방법, 상기 표면박판(5)과 기판(1) 사이의 릴리즈 간극에 표면장력이 큰 물질을 삽입하여 모세관 현상에 의한 표면장력으로 표면박판(5)이 기판(1)에 부착되도록 하는 방법, 상기 솔더(4) 자체의 용융에 의한 표면장력을 이용하여 상기 표면박판(5)의 현가 부분이 기판(1)의 솔더(4)에 접합되도록 하는 방법 등 다양한 원리를 이용할 수 있다.
상기와 같이 표면박판(5)의 현가된 부분을 기판(1)의 솔더(4)에 접합시키면 상기 표면박판(5)이 경사지게 형성되면서 표면박판(5)의 리딩에지 측에 테이퍼(T)가 형성된다.
이후, 상기 테이퍼(T)가 형성된 기판(1)을 개별 슬라이더 헤드의 형태로 절단하고(l), 이렇게 절단된 각 슬라이더 헤드의 트레일링에지 측에 마그네틱 픽업소자(11)를 장착하면 다수의 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드가 완성된다.
상기에서, 앵커(3), 희생층(19), 표면박판(5), 서피스 공기 베어링(7)을 형성할 때 사진 묘화 공정 및 박막 식각 기술 대신 도금 공정을 이용할 수도 있다.
즉, 미리 기능성 구조물 형상의 도금틀(Plating mold)을 형성한 후 알맞은 물질을 도금하는 방식으로 상기 앵커(3), 희생층(19), 표면박판(5), 서피스 공기 베어링(7)을 형성할 수도 있다.
한편, 도 5는 본 발명에 따른 광 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드가 도시된 사시도이고, 도 6은 도 5의 단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 부상형 슬라이더 헤드가 광 정보 저장 장치에 적용된 상태가 도시된 사시도이다.
상기한 도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 광 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드는 소정 크기의 기판(21)과, 상기 기판(21)의 일측에 일정 높이로 형성된 앵커(23)와, 상기 기판(21)과 앵커(23)의 상측에 설치되고 상기 앵커(23)가 없는 부분에 해당되는 부분에는 테이퍼(T)가 형성된 표면박판(25)과, 상기 표면박판(25)의 상면에 설치되어 광 디스크(D2)와의 미세 간극 유지를 위한 부양력을 발생시키는 서피스 공기 베어링(27)과, 상기 기판(21)의 하면에 형성되어 서스펜션(33)의 짐벌(35)과 결합되는 딤플(29)과, 상기 표면박판(25)에 설치된 근접장 광 발생부인 솔리드 이머젼 렌즈(31)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 기판(21)에는 솔리드 이머젼 렌즈(31)에 집속된 레이저광이 조사될 수 있도록 그 일부가 제거된 식각캐버티(32)가 형성되어 있다.
또한, 상기 표면박판(25)은 앵커(23)가 있는 부분에 해당되는 부분은 상기 앵커(23)에 의해 기판(21)에 접합되고, 앵커(23)가 없는 부분에 해당되는 현가 부분은 그 선단부가 상기 기판(21)의 끝단에 솔더(24)에 의해 접합되어 경사지게 형성됨으로써 테이퍼(T) 구조를 구비하도록 구성된다.
이때, 상기 테이퍼(T)의 형상, 즉 그 길이 및 경사각은 상기 앵커(23)의 길이 및 두께에 의해서 결정된다.
또한, 상기 테이퍼(T)가 형성되는 부분은 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에 해당되고, 상기 솔리드 이머젼 렌즈(31)가 설치된 부분은 슬라이더 헤드의 트레일링에지 측에 해당된다.
또한, 상기 딤플(29)은 서스펜션(33)에 구비된 짐벌(35)과의 결합을 통해 슬라이더 헤드의 정밀한 조립을 보장하는 역할을 한다.
상기와 같이 구성된 광 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드는 다음과 같이 작동된다.
먼저, 외부 광학계로부터 입사되는 평행광 레이저는 마이크로미러(41)에 의해 반사되어 그 경로가 변환된 후 일차접속렌즈(43)에 입사되어 집속되게 된다.
이후, 상기한 평행광 레이저는 상기 일차접속렌즈(43)에서 집속된 후 솔리드 이머젼 렌즈(31)에 조사된다.
이와 같이 상기 솔리드 이머젼 렌즈(31)를 통과한 광은 광 디스크(D2)의 기록중에 회절한계 이하의 빔 크기로 조사되어 광 정보를 기록/재생하게 된다.
이때, 슬라이더 헤드가 포함된 광픽업 헤드는 서스펜션(33)에 형성된 짐벌(35)을 통해 현가되고, 상기 서스펜션(33)은 광 디스크(D2)의 래디얼 방향으로 픽업을 이송시키기 위한 구동축(37)에 연결되어 있다.
상기에서, 미설명된 참조번호 39는 광픽업 헤드의 데이터 트랙간의 미세한 위치 제어를 위해 결합된 미세구동기를 나타내고, 참조번호 45는 일차접속렌즈 프레임을 나타낸다.
상기한 바와 같은 광 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드를 제조하기 위해서는 전술한 자기 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드를 제조하는 방법에서 마그네틱 픽업소자(11)를 장착하는 과정을 빼고 상기 기판(21)에 솔리드 이머젼 렌즈(31)를 설치하는 과정과 식각 캐버티(32)를 형성하는 과정을 추가하면 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드 및 제조방법은, 마이크로머시닝 기술 및 반도체소자 제조 기술에 의해 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에 테이퍼(T)가 형성되므로 상기 테이퍼(T) 형상의 정밀 가공이 가능해지고 양산성이 향상되며 상기 테이퍼(T) 형상의 재현성이 높아져 테이퍼(T)의 균일성이 향상되는 이점이 있다.

Claims (6)

  1. 소정 크기의 기판과, 상기 기판의 일측에 일정 높이로 형성된 앵커와, 상기 기판과 앵커의 상측에 설치되고 상기 앵커가 없는 부분에 해당되는 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에는 테이퍼가 형성된 표면박판과, 상기 표면박판의 상면에 설치되어 디스크와의 미세 간극 유지를 위한 부양력을 발생시키는 서피스 공기 베어링과, 상기 기판의 하면에 형성되어 서스펜션의 짐벌과 결합되는 딤플과, 상기 기판 중 슬라이더 헤드의 트레일링에지 측에 설치된 마그네틱 픽업소자를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드.
  2. 소정 크기의 기판과, 상기 기판의 일측에 일정 높이로 형성된 앵커와, 상기 기판과 앵커의 상측에 설치되고 상기 앵커가 없는 부분에 해당되는 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에는 테이퍼가 형성된 표면박판과, 상기 표면박판의 상면에 설치되어 디스크와의 미세 간극 유지를 위한 부양력을 발생시키는 서피스 공기 베어링과, 상기 기판의 하면에 형성되어 서스펜션의 짐벌과 결합되는 딤플과, 상기 표면박판 중 슬라이더 헤드의 트레일링에지 측에 설치된 근접장 광 발생부인 솔리드 이머젼 렌즈와, 상기 솔리드 이머젼 렌즈에 집속된 레이저광이 조사될 수 있도록 상기 기판의 일부가 제거되어 형성된 식각캐버티를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 표면박판은 앵커가 있는 부분에 해당되는 부분은 상기 앵커에 의해 기판에 접합되고, 앵커가 없는 부분에 해당되는 현가 부분은 그 선단부가 상기 기판에 솔더에 의해 접합되어 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보 저장 장치용 부상형 슬라이더 헤드.
  4. 기판의 상면 소정 위치에 각각 앵커를 형성한 후 상기 기판 중 상기 앵커와 일정 간격만큼 떨어진 곳에 각각 솔더를 형성하는 제 1과정과, 상기 앵커와 솔더 위로 희생층을 일정 두께로 형성한 후 상기 희생층의 두께가 상기 앵커의 두께와 일치되도록 희생층을 평탄화시키는 제 2과정과, 상기 희생층 위로 표면박판을 형성할 물질과 서피스 공기 베어링을 형성할 물질을 순차적으로 형성한 후 각각 서피스 공기 베어링의 형상과 표면박판의 형상을 패터닝하는 제 3과정과, 상기 기판의 후면에 딤플의 형상을 패터닝한 후 상기 희생층을 제거하여 상기 표면박판을 기판으로부터 릴리즈시키는 제 4과정과, 상기 표면박판의 선단부를 상기 기판의 솔더에 접합하여 표면박판이 경사지게 형성되도록 함으로써 상기 표면박판 중 슬라이더 헤드의 리딩에지 측에 해당되는 부분에 테이퍼를 형성하는 제 5과정과, 상기 기판을 개별 슬라이더 헤드의 형태로 절단하여 다수의 부상형 슬라이더 헤드를 완성하는 제 6과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보 저장 장치용 슬라이더 헤드의 제조방법.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제 1과정에서 앵커는 상기 기판 중 앵커 이외의 부분을 상기 앵커의 두께만큼 제거하는 방식으로 형성되거나 상기 기판에 증착 또는 도금을 통해 일정 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보 저장 장치용 슬라이더 헤드의 제조방법.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 제 5과정에서 표면박판의 선단부는,
    각각 도전성인 기판과 표면박판의 양단에 전압을 인가하여 정전기력을 이용하는 방식,
    상기 표면박판을 열팽창률이 상이한 물질의 복합층으로 형성한 후 이 복합층을 가열하여 상기 표면박판을 휘게 하는 열변형력을 이용하는 방식,
    상기 표면박판의 성단부에 외력을 가하는 방식,
    상기 표면박판과 기판 사이에 표면장력이 큰 물질을 삽입하여 모세관 현상에 의한 표면장력을 이용하는 방식,
    상기 솔더 자체의 용융에 의한 표면장력을 이용하는 방식들 중
    어느 하나의 방식에 의해 기판의 솔더에 접합되는 것을 특징으로 하는 고밀도 정보 저장 장치용 슬라이더 헤드의 제조방법.
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