KR100357103B1 - 광 픽업 장치 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
고밀도 정보 기록 장치에 사용되는 광 픽업 장치 및 그 제조방법에 관한 것으로 외부에서 입사되는 광을 일차 집속하는 집속 렌즈와, 집속 렌즈를 고정시켜주는 집속 렌즈 프레임과, 집속 렌즈로부터 입사되는 광을 이차 집속하는 솔리드 이머션 렌즈와, 솔리드 이머션 렌즈를 고정시켜주는 솔리드 이머션 렌즈 프레임과, 집속 렌즈 프레임과 솔리드 이머션 렌즈 프레임 사이에 형성되고, 집속 렌즈의 포커싱을 제어하는 포커싱 구동기를 포함하여 구성된다. 본 발명을 따르면, 초소형 솔리드 이머션 렌즈에 입사되는 입력광의 초점을 최적화하고, 조립 공정이 단순한 초소형 광 픽업 장치를 제조할 수 있다.
Description
본 발명은 고밀도 정보 기록 장치에 사용되는 미세 광학계에 관한 것으로, 특히 솔리드 이머션 렌즈(Solid Immersion Lens:SIL)를 이용한 근접장 광 픽업 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 멀티미디어 기술의 급속한 발달은 정보 저장 장치의 대용량화, 고속화 정보 저장 밀도 당 단가의 저렴화 등에 힘입은 바 크다.
개인용 컴퓨터의 성능 향상과 인터넷 등 데이터 통신의 급속한 보급, VOD(Video On Demand), 고품위 텔레비젼의 출현 등은 동화상, 음성신호를 포함한 대량의 데이터를 실시간(real time)으로 처리할 수 있는 대용량 정보 저장 매체의 필요성을 더욱 강하게 요구하고 있다.
HDD(Hard Disk Drive)의 저장 밀도 및 용량을 증대시킴으로써, 고밀도 정보 장치의 실현을 위한 자기 저장 장치(Magnetic Storage) 상품들이 선보이고 있으나, 자기 저장 방식의 경우 기록밀도가 자화될 수 있는 물질의 입자 크기에 의해 제한되므로, 평방 인치당 수십 기가(G:giga) 바이트 이상을 실현하는 것이 상당히 어렵다고 알려져 있다.
광 정보 저장장치는 그 원리상 고밀도의 정보 용량을 실현할 수 있는 잠재성으로 인해 최근 활발히 연구 개발이 진전되고 있는 추세이다.
즉, 광학 방식의 정보 저장 장치는 빠른 응답 속도, 비접촉식 픽업 및 간편한 휴대성 등의 장점을 갖고 있으며, 무엇보다 데이터 밀도가 기록/재생을 위한 레이저 광원의 파장범위까지 고밀도화 할 수 있다는 장점이 있다.
이러한, 광 정보 저장 장치의 데이터 밀도는 입력 광원의 회절한계(diffraction limit)에 의해 제한되며, 이러한 관계는 다음의 수학식 1과 같이 표현된다.
여기서, d는 광학계를 거친 후 광 디스크 표면에 조사되는 레이저광의 스폿(spot) 크기이고, λ는 정보 저장 매체에 조사되는 입력광의 파장이며, NA는 개구율(또는 수차:Numerical Apertuer)로서, 일반적인 광학계 렌즈는 약 0.5∼0.7 정도 값을 갖는다.
상기 수학식 1에서 d로 표시되는 입력 레이저광의 초점 크기에 의해 식별할 수 있는 1개 데이터의 기하학적 최소 크기가 결정된다.
따라서, 판별할 수 있는 데이터의 크기는 대략 입력 레이저광의 파장 정도로 데이터 기록 밀도의 상한이 된다.
이 한계는 광의 회절(diffraction) 성질로부터 기인하며, 상기 수학식 1에 나타낸 바와 같이, 데이터 비트 크기를 줄이기 위해서는, 즉 정보 저장 밀도를 높이기 위해서는 보다 단파장의 입력광을 쓰거나, 광학계의 수차를 증가시킴으로써 입력 광의 회절 한계를 극복할 수 있다는 것을 알 수 있으며, 이와 같은 기술로서는 솔리드 이머션 렌즈를 이용하는 방법이 알려져 있다.
도 1은 종래의 광 픽업 장치의 구성도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 광 픽업 장치는 레이저 다이오드 등의 레이저 광원(11)과, 입력 레이저광을 평행 광으로 바꿔주는 시준 렌즈(13)와, 광분할기(15)와, 광의 방향을 변환하는 미러(16)와, 광을 일차로 집속하는 일차 집속 렌즈(17)와, 근접장 영역의 초미세 간극으로 부양된 솔리드 이머션 렌즈(19) 및 솔리드 이머션 렌즈를 고정하는 솔리드 이머션 렌즈 프레임(20)과, 광 분할기(15)를 경유하여 집속 렌즈(14)를 거친 광 신호를 감지하는 광 검출기(12)로 구성된다.
위와 같은 광 픽업 장치 구조에서 일차 집속 렌즈(17)와 솔리드 이머션 렌즈(19)는 서로 분리되어 있었다.
그러나 이상에서 설명한 종래 기술에 따른 광 픽업 장치 및 그 제조방법에는 다음과 같은 문제점이 있다.
일차 집속 렌즈와 솔리드 이머션 렌즈가 서로 분리되어 있는 구조를 가지기 때문에, 제조 과정이 매우 복잡할 뿐만 아니라, 대량 생산에 적합하지 않으며, 초소형 경량화하기가 어렵다는 문제점이 있다.
또한, 일차 접속 렌즈의 위치를 제어하지 못하므로, 솔리드 이머션 렌즈에 입사되는 입력광의 초점을 최적화 할 수 없고, 이에 따라 해상도가 낮다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 솔리드 이머션 렌즈에 입사되는 입력광의 초점을 최적화하고, 조립 공정이 단순화된 초소형 광 픽업 장치 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 광 픽업 장치의 구성도.
도 2a는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 광 픽업 장치의 구조사시도.
도 2b는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 광 픽업 장치의 구조단면도.
도 3a는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 광 픽업 장치의 구조사시도.
도 3b는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 광 픽업 장치의 구조단면도.
도 4은 본 발명에 따른 광 픽업 장치의 구성도.
도 5는 본 발명에 따른 광 픽업 장치의 제조 공정단면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1:일차 집속 렌즈 5:솔리드 이머션 렌즈(SIL) 프레임
2:일차 집속 렌즈 프레임 6:경사형 에지(tapered edge)
3:포커싱 구동기 7:ABS(air-bearing suface)
4:솔리드 이머션 렌즈(SIL)
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광 픽업 장치 및 그 제조방법의 특징은 외부에서 입사되는 광을 일차 집속하는 집속 렌즈와, 집속 렌즈를고정시켜주는 집속 렌즈 프레임과, 집속 렌즈로부터 입사되는 광을 이차 집속하는 솔리드 이머션 렌즈와, 솔리드 이머션 렌즈를 고정시켜주는 솔리드 이머션 렌즈 프레임과, 집속 렌즈 프레임과 솔리드 이머션 렌즈 프레임 사이에 형성되고, 집속 렌즈의 포커싱을 제어하는 포커싱 구동기를 포함하여 구성되는데 있다.
여기서, 솔리드 이머션 렌즈 프레임 하부면에는 솔리드 이머션 렌즈 프레임을 부양시키는 ABS(air-bearing surface)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 솔리드 이머션 렌즈 프레임 하부의 솔리드 이머션 렌즈의 중심을 기준으로 동심원 또는 나선형으로 형성된 인덕터 코일이 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 솔리드 이머션 렌즈가 장착된 솔리드 이머션 렌즈 프레임 및 집속 렌즈가 장착된 집속 렌즈 프레임 사이에 포커싱 구동기를 갖는 광 픽업 장치 제조방법에 있어서, 솔리드 이머션 렌즈가 장착된 솔리드 이머션 렌즈 프레임을 준비하는 단계와, 집속 렌즈 프레임 상/하부에 절연막을 형성하는 단계와, 집속 렌즈 프레임의 상/하부 중 어느 한 면 위에 하부 금속막, 압전 물질, 상부 금속막을 순차적으로 형성하는 단계와, 하부 금속막, 압전 물질, 상부 금속막을 패터닝하여 포커싱 구동기를 형성하는 단계와, 포커싱 구동기가 형성된 상기 기판의 다른 면 위에 마스크를 형성하고, 패터닝하여 중심 부분을 노출시키는 단계와, 노출된 집속 렌즈 프레임을 식각하여 관통 구멍을 형성하는 단계와, 솔리드 이머션 렌즈가 장착된 솔리드 이머션 렌즈 프레임과, 상기 포커싱 구동기가 형성된 일차 집속 렌즈 프레임을 부착하는 단계와, 일차 집속 렌즈 프레임에 일차 집속 렌즈를 장착하는 단계를 포함하여 이루어지는데 있다.
본 발명을 따르면, 솔리드 이머션 렌즈에 입사되는 입력광의 초점을 최적화하고, 조립 공정이 단순한 초소형 광 픽업 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 다른 목적, 특성 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시 예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
본 발명에 따른 광 픽업 장치 및 그 제조방법의 바람직한 실시 예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2a는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 상변화(phase change) 방식 고밀도 광 정보 저장 장치용 광 픽업 장치의 근접장 광 픽업 헤드의 구조사시도이다.
도 2a에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 광 픽업 헤드는 광 정보의 기록/재생에 필요한 레이저빔을 근접장 광 발생용 솔리드 이머션 렌즈(4)의 표면에 집속하는 일차 집속 용도의 일차 집속 렌즈(pre-focus lens)(1)와, 마이크로머시닝 기술로 정밀 가공되어 일차 집속 렌즈(1)를 고정하는 일차 집속 렌즈 프레임(pre-focus lens frame)(2)과, 일차 집속 렌즈의 상하 운동을 제어하는 포커싱 구동기(focusing actuator)(3)와, 근접장 광 발생을 위한 솔리드 이머션 렌즈(4)와, 솔리드 이머션 렌즈를 고정하는 솔리드 이머션 렌즈 프레임(5)과, 유체역학적인 부양력을 제공하여 광 디스크와 근접장 간극을 유지하기 위한 경사형 에지(6) 및 ABS(7)로 구성된다.
여기서, 일차 집속 렌즈 프레임(2)은 일차 집속 렌즈(1)와 솔리드 이머션 렌즈(4)간의 일차 집속을 위한 초점 거리 스페이서로도 이용된다.
그리고, 일차 집속 렌즈 프레임 및 솔리드 이머션 렌즈 프레임은 중심 영역에 개구부가 형성되어 개구부 내에는 일차 집속 렌즈 또는 솔리드 이머션 렌즈가 장착된다.
이러한 개구부는 상부 폭이 넓고 하부 폭이 좁도록 측면이 일정 각도로 경사지게 형성될 수 있다.
또한, 일차 집속 렌즈 프레임(2)과 솔리드 이머션 렌즈 프레임(5)은 상기 두 프레임(2,5) 사이에 일차 집속 렌즈의 상하 운동을 제어하기 위한 압전 물질(piezoelectic materials)로 이루어진 포커싱 구동기(3)로 집적된다.
여기서, 포커싱 구동기(3)는 열, 정전기력, 형상 기억 합금, 압전기, 전자기 등을 이용하여서도 구동한다.
본 발명은 솔리드 이머션 렌즈(4)와 솔리드 이머션 렌즈 프레임(5)이 일체화 된 구조에, 추가적으로 픽업 헤드 부상을 위해 ABS(air-bearing surface)(7) 형상 및 솔리드 이머션 렌즈 프레임(5) 하부면의 일 가장자리가 경사진 (tapered edge)(6) 형상이 솔리드 이머션 렌즈 프레임의 일면에 일체화되어 제작된다.
도 2b는 도 2a에 도시된 근접장 광 픽업 헤드의 구성 요소들이 결합된 경우의 구조단면도로서, 근접장 광 픽업 헤드에 레이저광이 조사되었을 때 광의 회절 한계를 뛰어넘는 빔 스폿이 형성되는 원리를 설명한다.
도 2b에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 근접장 광 픽업 헤드는 포커싱 구동기(3)에 전압이 인가되면 압전 효과에 의하여 포커싱 구동기(3)가 상하로 이동하게 되고, 이에 따라 일차 집속 렌즈(1)를 구동시킴으로서, 일차 집속 렌즈(1)를 통과한 레이저빔이 솔리드 이머션 렌즈에 최적으로 맺히도록 동작한다.
그리고, 본 발명에 따라 솔리드 이머션 렌즈(4)를 결합한 광학계의 초점 크기는 입력 레이저광이 굴절된 후 광 정보 저장 디스크에 입사되므로, 솔리드 이머션 렌즈 없이 일반적인 광학계의 대물렌즈만으로 얻을 수 있는 초점 크기에 비하여 솔리드 이머션 렌즈 물질의 굴절율의 제곱만큼 축소되며, 이 때 광 정보를 기록/재생한 디스크의 거리를 입력되는 레이저광의 파장보다 충분히 가깝게 하면 솔리드 이머션 렌즈를 통해 축소된 레이저빔 초점 크기 정도의 1비트 데이터를 변별할 수 있게 된다.
도 3a는 본 발명의 제 2실시 예에 따른 광자기(magneto-optical) 방식 고밀도 광 정보 저장 장치용 광 픽업 장치의 근접장 광 픽업 헤드의 구조사시도이다.
도 3a에 도시한 바와 같이, 근접장 광 픽업 헤드가 광자기 방식으로 쓰이기 위해서는 근접장 광 픽업 헤드의 ABS(7)가 형성된 표면에 솔리드 이머션 렌즈(4)를 중심으로 동심원 또는 나선형상으로 도체의 인덕터 코일(8)이 집적 일체화되어 구성된다.
즉, 광자기 방식의 근접장 광 픽업 헤드는 솔리드 이머션 렌즈(4) 주변에 동심원 또는 나선형 모양으로 인덕터 코일(8)이 집적되어 구성된다는 점이 본 발명의 제 1실시 예인 상변화 방식 근접장 광 픽업 헤드와 다른 점이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 근접장 광 픽업 헤드의 구성 요소들이 결합된 경우의 구조단면도이다.
도 3b에 도시한 바와 같이, 광자기 방식의 정보 저장 기판에 광 정보를 기록하고자 할 때, 근접장 광 픽업 헤드에 집적된 인덕터 코일(8)에 전류를 인가하여솔리드 이머션 렌즈(4)의 중심부로부터 수직인 자계(magnetic field)를 발생하도록 하여 입력 광에 의해 필요한 광 정보가 기록된다.
이처럼, 본 발명에 의한 근접장 광 픽업 헤드는 상하 위치 조절을 가능하도록 하는 포커싱 구동기(3)가 집적화되어 있다.
즉, 솔리드 이머션 렌즈 프레임(5) 표면에 일체화된 ABS(7) 및 경사형 에지(6)에 의하여 회전하는 광 디스크 표면으로부터 근접장 영역의 미세 간극만큼 광 픽업 헤드가 부양되며, 부양된 솔리드 이머션 렌즈(4)의 반구형 표면에 입사되는 레이저광이 최적으로 집속되도록 일차 집속 렌즈(1)의 상하 위치를 압전 물질 등을 이용한 포커싱 구동기(3)로 솔리드 이머션 렌즈(4)를 거쳐 나오는 근접장 광의 초점 크기를 최소화하며 초점의 모양 역시 최적화 함으로서, 광 정보의 기록/재생 해상도를 향상시킬 수 있게 되는 것이다.
도 4은 본 발명에 의한 근접장 광 픽업 헤드를 적용한 고밀도 광 픽업 장치의 시스템 구성도이다.
이러한 광 픽업 장치의 동작을 광로에 따라 설명하면 다음과 같다.
레이저 다이오드 등의 레이저 광원(41)으로부터 방사되는 입력 레이저빔이 시준 렌즈(collimator)(43)에 의해 평행 광으로 바뀌며, 이 평행 광은 광분할기(45)를 거쳐 슬라이드에 고정된 미러(mirror)(46)에 반사되어 광디스크(48)의 표면에 수직으로 입사하도록 광의 방향이 변환되고, 이 변환된 레이저광은 광 픽업 헤드(40)의 일차 집속 렌즈를 투과하여 솔리드 이머션 렌즈 프레임에 일체화된 ABS에 의해 광 디스크(48) 표면으로부터 근접장 영역의 초미세 간극으로 부양된 솔리드 이머션 렌즈에 조사되어 입력광의 회절한계를 극복하도록 정밀히 집속되며, 이와 같이 정밀히 집속된 근접장 광이 광 디스크(48)의 표면에 조사된다.
광 디스크(48)에는 솔리드 이머션 렌즈로 집속된 레이저광의 초점 크기 정도의 각 데이터 비트 위치에서 입력 광의 일부가 광로를 역행하여 반사되며, 이 때, 반사되는 정도에 의해 입력 광이 조사된 위치에 저장되어 있는 데이터의 디지털 정보를 판별할 수 있게된다.
그리고, 광 디스크(48)의 표면에서 반사된 광 정보는 입력되는 광 정보의 경로와 역방향으로 솔리드 이머션 렌즈, 일차 집속 렌즈 등으로 구성된 근접장 광 픽업 헤드(40)를 거쳐, 미러(46), 광 분할기(45)를 경유하여 집속 렌즈(44)를 통하여 광 신호를 감지하는 광 검출기(42)에 도달하여 광 정보 신호를 검출할 수 있게 된다.
이 때, 고밀도 광 정보에 대응하여 광 픽업 헤드(40)의 초점 거리를 조절하는 포커싱 구동기의 구동은 포커싱 서보 제어(focusing servo control) 회로와 결합되어 광 정보 픽업 시의 해상도를 향상시킨다.
상변화 방식 및 광자기 방식에 따라 다소 광학계가 상이해 질 수는 있으나, 기본적인 광 정보 픽업 원리는 전술한 바와 같이 구성될 수 있다.
이와 같은, 근접장 광 픽업 헤드(40)는 광 디스크(48)의 특정 위치로 이동하기 위한 즉, 디스크 드라이브의 트래킹을 위한 슬라이더 서스펜션 장치(slider suspension mechanism)(47)에 장착되어, 고밀도 광 픽업 장치의 픽업 시스템을 구성한다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명에 의한 근접장 광 픽업 헤드의 포커싱 구동기가 일체화된 일차 집속 렌즈 프레임의 제조방법을 나타내는 공정단면도이다.
이러한 제조방법은 반도체 소자 제조공정 및 마이크로머시닝 기술을 이용한 예이며, 고밀도 광 정보 저장 장치에서 요구되는 고속 탐색을 위해 초소형 경량화된 픽업 헤드를 제조하기에 적합한 기술이다.
도 5에서 도시한 제조방법은 일차 집속 렌즈를 장착하기 위한 일차 집속 렌즈 프레임을 정밀 가공하고, 여기에 상하 변위를 일으키는 포커싱 가동부를 집적하는 과정을 설명한다.
먼저, 도 5a에 도시한 바와 같이, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer) 등의 기판(51)의 앞 뒤 면에 각각 절연막(52,53)을 형성한다.
이 때, 절연막(52,53)은 산화, 증착, 도포 등의 방법을 이용하여 형성한다.
다음, 도 5b에 도시한 바와 같이, 기판(51)의 앞면에 포커싱 구동기를 형성하기 위해 하부 금속 박막(54), 압전 물질(55), 상부 금속 박막(56)을 순차적으로 성막한다.
여기서, 이 3가지 층(54,55,56)을 포커싱 구동기 구조로 이용하거나, 혹은 이 다층 구조(54,55,56)를 반복적으로 적층함으로서 구동 효율을 증대시킬 수도 있다.
그 후, 도 5c에 도시한 바와 같이, 하부 금속 박막(54), 압전 물질(55), 상부 금속 박막(56) 구조의 다층 박막을 포토리소그래피(photolithography) 및 박막식각 방법으로 패터닝하여 포커싱 구동기(50)를 형성한다.
도 5d에 도시한 바와 같이, 포커싱 구동기(50)가 가공된 이면, 즉 기판(51)의 뒷면에 일차 집속 렌즈 프레임 형성을 위한 마스크를 형성한다.
그리고, 도 5e에 도시한 바와 같이, 포토리소그래피 공정 및 기판 식각 방법을 이용하여 일차 집속 렌즈가 조립될 가운데 부분이 관통된 일차 집속 렌즈 프레임(60)을 형성한다.
여기서, 기판 식각 방법으로는 실리콘 깊은 반응성 이온 식각(silicon deep RIE) 등의 건식 식각이나 비등방성 습식 식각 등을 이용할 수 있다.
이러한 과정으로 정밀 가공된 초소형의 일차 집속 렌즈 프레임 및 포커싱 구동기와, 솔리드 이머션 렌즈 및 솔리드 이머션 렌즈 프레임을 접합하여 조립하고, 여기에 일차 집속 렌즈를 정렬 조립하면 본 발명의 근접장 광 픽업 헤드가 구성된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 광 픽업 장치 및 그 제조방법에는 다음과 같은 효과가 있다.
포커싱 구동기와 일차 집속 렌즈 프레임이 일체화되어, 광학 오차를 능동적으로 보정하여 고해상도의 광 픽업 장치를 실현할 수 있다.
또한, 근접장 영역의 초미세 간극을 유체역학적으로 유지할 수 있도록 ABS를 집적화하여 근접장 광 픽업 헤드의 부품 수를 줄이고, 간극 유지 정밀도를 향상시킴으로서 근접장 광 픽업 장치의 신뢰도 향상에도 기여할 수 있다.
따라서, 제조 과정이 단순해지고, 대량 생산에 효율적이며, 초소형 경량화가 가능하다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시 예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.
Claims (13)
- 외부에서 입사되는 광을 일차 집속하는 집속 렌즈와,상기 집속 렌즈를 고정시켜주는 집속 렌즈 프레임과,상기 집속 렌즈로부터 입사되는 광을 이차 집속하는 솔리드 이머션 렌즈와,상기 솔리드 이머션 렌즈를 고정시켜주는 솔리드 이머션 렌즈 프레임과,상기 집속 렌즈 프레임과 솔리드 이머션 렌즈 프레임 사이에 형성되어 상기 집속 렌즈와 상기 솔리드 이머션 렌즈를 일체화시켜 주는 동시에, 상기 집속 렌즈의 포커싱을 제어하는 포커싱 구동기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 솔리드 이머션 렌즈 프레임 하부면에는 상기 솔리드 이머션 렌즈 프레임을 부양시키는 ABS(air-bearing surface)가 형성되는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 솔리드 이머션 렌즈 프레임 하부면의 일 가장자리가 픽업 헤드 부상을 위해 경사진 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 솔리드 이머션 렌즈 프레임 하부에 솔리드 이머션 렌즈 프레임의 중심을 기준으로 인덕터 코일이 형성되는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 4항에 있어서,상기 인덕터 코일은 동심원 또는 나선형인 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 집속 렌즈 프레임 및 솔리드 이머션 렌즈 프레임은 중심 영역에 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 6항에 있어서,상기 개구부는 상부 폭이 넓고 하부 폭이 좁도록 측면이 일정 각도로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 6항에 있어서,상기 개구부 내에는 상기 집속 렌즈 또는 솔리드 이머션 렌즈가 장착되는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 포커싱 구동기는 외부에서 인가되는 전압에 따라 변위를 일으켜 상기 집속 렌즈 프레임을 상하로 구동시키는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 포커싱 구동기는 열, 정전기력, 형상 기억 합금, 압전기, 전자기 중 어느 하나를 이용하는 구동기인 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치.
- 솔리드 이머션 렌즈가 장착된 솔리드 이머션 렌즈 프레임 및 집속 렌즈가 장착된 집속 렌즈 프레임 사이에 포커싱 구동기를 갖는 광 픽업 장치 제조방법에 있어서,상기 솔리드 이머션 렌즈가 장착된 솔리드 이머션 렌즈 프레임을 준비하는 단계;집속 렌즈 프레임 상/하부에 절연막을 형성하는 단계;상기 집속 렌즈 프레임의 상/하부 중 어느 한 면 위에 하부 금속막, 압전 물질, 상부 금속막을 순차적으로 형성하는 단계;상기 하부 금속막, 압전 물질, 상부 금속막을 패터닝하여 포커싱 구동기를 형성하는 단계;상기 포커싱 구동기가 형성된 상기 기판의 다른 면 위에 마스크를 형성하고, 패터닝하여 중심 부분을 노출시키는 단계;상기 노출된 집속 렌즈 프레임을 식각하여 관통 구멍을 형성하는 단계;상기 솔리드 이머션 렌즈가 장착된 솔리드 이머션 렌즈 프레임과, 상기 포커싱 구동기가 형성된 일차 집속 렌즈 프레임을 부착하는 단계;상기 일차 집속 렌즈 프레임에 일차 집속 렌즈를 장착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치 제조방법.
- 제 11항에 있어서,상기 기판 식각은 건식 식각, 비등방성 습식 식각 중 어느 하나의 방법으로 식각하는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치 제조방법.
- 제 11항에 있어서,상기 포커싱 구동기는 상기 하부 금속막, 압전 물질, 상부 금속막의 구조를 반복적으로 적층하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 픽업 장치 제조방법.
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ID=19658570
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|---|---|---|---|---|
| KR20030032751A (ko) * | 2001-10-19 | 2003-04-26 | 한국과학기술원 | 이중접합 에스아이엘(ｄｓｉｌ)과 이를 이용한 근접장광학 시스템 |
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