JPH1186483A - ヘッドスライダ及びディスク装置 - Google Patents
ヘッドスライダ及びディスク装置Info
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- JPH1186483A JPH1186483A JP9239237A JP23923797A JPH1186483A JP H1186483 A JPH1186483 A JP H1186483A JP 9239237 A JP9239237 A JP 9239237A JP 23923797 A JP23923797 A JP 23923797A JP H1186483 A JPH1186483 A JP H1186483A
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- head slider
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- pad
- pads
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B25/00—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus
- G11B25/04—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card
- G11B25/043—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card using rotating discs
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ヘッドスライダのレール表面上に形成す
るパッド形状を工夫することにより、パッドによる磁気
ディスクの潤滑剤の掻き集めを最少に押さえ、スライダ
と磁気ディスク表面との間の摩擦力の増加及び付着力の
増加を防止することである。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダであって、磁気ディ
スクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれ
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する一対のレールと、レールの一方が
位置する空気流入端に形成された電磁トランスデューサ
を含んでいる。磁気ヘッドスライダはさらに、各レール
の空気流入端近傍及び空気流出端近傍の空気ベアリング
表面上にそれぞれ形成された複数の流線形パッドを含ん
でいる。
るパッド形状を工夫することにより、パッドによる磁気
ディスクの潤滑剤の掻き集めを最少に押さえ、スライダ
と磁気ディスク表面との間の摩擦力の増加及び付着力の
増加を防止することである。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダであって、磁気ディ
スクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれ
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する一対のレールと、レールの一方が
位置する空気流入端に形成された電磁トランスデューサ
を含んでいる。磁気ヘッドスライダはさらに、各レール
の空気流入端近傍及び空気流出端近傍の空気ベアリング
表面上にそれぞれ形成された複数の流線形パッドを含ん
でいる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク装置に用
いられる浮上型ヘッドスライダの構造に関する。近年、
コンピュータ用外部記憶装置の一種である磁気ディスク
装置の小型化及び大容量化が望まれている。磁気ディス
ク装置の大容量化のためには、スピンドルに取り付けら
れる磁気ディスクの枚数を増やすのが１つの方法であ
り、これに伴い最近の磁気ディスク装置ではディスクの
実装間隔が小さくなってきている。
いられる浮上型ヘッドスライダの構造に関する。近年、
コンピュータ用外部記憶装置の一種である磁気ディスク
装置の小型化及び大容量化が望まれている。磁気ディス
ク装置の大容量化のためには、スピンドルに取り付けら
れる磁気ディスクの枚数を増やすのが１つの方法であ
り、これに伴い最近の磁気ディスク装置ではディスクの
実装間隔が小さくなってきている。
【０００２】また、光磁気ディスク装置のバイアス磁界
を印加する為に、浮上型ヘッドスライダが使用されつつ
ある。特に、最近の磁気ディスク装置ではコンタクト・
スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式の浮上型磁気ヘッド
が用いられることが多い。
を印加する為に、浮上型ヘッドスライダが使用されつつ
ある。特に、最近の磁気ディスク装置ではコンタクト・
スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式の浮上型磁気ヘッド
が用いられることが多い。
【０００３】ＣＳＳ方式の浮上型磁気ヘッドでは、装置
停止時には磁気ヘッドが磁気ディスクに接触し、情報の
記録再生時には高速回転する磁気ディスク表面に発生す
る空気流によって、磁気ヘッドが磁気ディスク表面と微
小間隙を保って浮上する。
停止時には磁気ヘッドが磁気ディスクに接触し、情報の
記録再生時には高速回転する磁気ディスク表面に発生す
る空気流によって、磁気ヘッドが磁気ディスク表面と微
小間隙を保って浮上する。
【０００４】ＣＳＳ方式の浮上型磁気ヘッドに於いて
は、磁気ディスク表面に発生する空気流を受けるスライ
ダに電磁トランスデューサ（磁気ヘッド素子）が組み込
まれており、スライダはサスペンションにより支持され
ている。
は、磁気ディスク表面に発生する空気流を受けるスライ
ダに電磁トランスデューサ（磁気ヘッド素子）が組み込
まれており、スライダはサスペンションにより支持され
ている。
【０００５】よって、電磁トランスデューサの組み込ま
れたスライダは、磁気ディスクの回転が停止していると
きには磁気ディスク表面に接し、磁気ディスクが回転す
ると、回転によって発生する空気流を浮上面に受けて浮
上し、スライダに組み込まれた電磁トランスデューサは
サスペンションにより支持されながら磁気ディスク面上
を移動し、所定のトラックへ情報の記録再生を行う。
れたスライダは、磁気ディスクの回転が停止していると
きには磁気ディスク表面に接し、磁気ディスクが回転す
ると、回転によって発生する空気流を浮上面に受けて浮
上し、スライダに組み込まれた電磁トランスデューサは
サスペンションにより支持されながら磁気ディスク面上
を移動し、所定のトラックへ情報の記録再生を行う。
【０００６】
【従来の技術】従来より浮上型磁気ヘッドスライダを採
用した磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスライダのデ
ィスク対向面側の左右両端に一対のレールが設けられて
いる。各レールは平坦な空気ベアリング表面を有してい
る。
用した磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスライダのデ
ィスク対向面側の左右両端に一対のレールが設けられて
いる。各レールは平坦な空気ベアリング表面を有してい
る。
【０００７】更に、各レールの空気流流入端側にはテー
パ面が設けられており、磁気ディスクの高速回転により
発生した空気流を空気ベアリング表面で受けてスライダ
が浮上し、磁気ディスク表面と電磁トランスデューサと
の間の微小間隔を安定に維持している。
パ面が設けられており、磁気ディスクの高速回転により
発生した空気流を空気ベアリング表面で受けてスライダ
が浮上し、磁気ディスク表面と電磁トランスデューサと
の間の微小間隔を安定に維持している。
【０００８】この方式は高い浮上安定性と微小な浮上量
（サブミクロン）を確保できる反面、ディスク回転停止
時にはディスクにスライダのレール面（空気ベアリング
表面）が接触し、磁気ディスク装置の起動時と停止時に
ディスクと空気ベアリング表面の摺動が起こる。
（サブミクロン）を確保できる反面、ディスク回転停止
時にはディスクにスライダのレール面（空気ベアリング
表面）が接触し、磁気ディスク装置の起動時と停止時に
ディスクと空気ベアリング表面の摺動が起こる。
【０００９】このため、磁気ディスクの記録層上にはカ
ーボン等の硬い材料からなる保護膜と、保護膜の摩擦・
磨耗を低減してディスクの耐久性を向上させるための潤
滑層が形成されている。潤滑層の存在により保護膜の摩
擦・磨耗は低減するが、一方で停止時にディスクとスラ
イダとの付着（スティクション）が起こり起動しない場
合が生じてくる。
ーボン等の硬い材料からなる保護膜と、保護膜の摩擦・
磨耗を低減してディスクの耐久性を向上させるための潤
滑層が形成されている。潤滑層の存在により保護膜の摩
擦・磨耗は低減するが、一方で停止時にディスクとスラ
イダとの付着（スティクション）が起こり起動しない場
合が生じてくる。
【００１０】近年の情報量の増大に伴い、磁気ディスク
装置の高密度化・大容量化及び小型化の進展は著しく、
小型化に伴うスピンドルモータのトルクの減少や、高密
度化のためのディスク表面の平滑化により、付着問題の
発生は動作不良の原因として大きくクローズアップされ
てきている。
装置の高密度化・大容量化及び小型化の進展は著しく、
小型化に伴うスピンドルモータのトルクの減少や、高密
度化のためのディスク表面の平滑化により、付着問題の
発生は動作不良の原因として大きくクローズアップされ
てきている。
【００１１】スライダとディスクの付着を低減するため
に、スライダ浮上面を長手方向全長に渡ってクラウン加
工し、スライダとディスクとの接触面積を減らすことが
提案されている。
に、スライダ浮上面を長手方向全長に渡ってクラウン加
工し、スライダとディスクとの接触面積を減らすことが
提案されている。
【００１２】クラウン加工したスライダは付着防止には
有効であるが、加工精度のバラツキが大きく磁気ヘッド
スライダがコスト高となり、量産に向かないという問題
がある。
有効であるが、加工精度のバラツキが大きく磁気ヘッド
スライダがコスト高となり、量産に向かないという問題
がある。
【００１３】更に、スライダ浮上面の長手方向にクラウ
ン加工をするため、流出端部に形成されている電磁トラ
ンスデューサ（ヘッド素子）の高さよりも、スライダの
レール面がディスクに近くなってしまうため、スペーシ
ングロスが発生するという問題がある。
ン加工をするため、流出端部に形成されている電磁トラ
ンスデューサ（ヘッド素子）の高さよりも、スライダの
レール面がディスクに近くなってしまうため、スペーシ
ングロスが発生するという問題がある。
【００１４】更に、近年では高密度化の進展に伴って浮
上量０を指向した接触型ヘッドの採用も検討され始めて
おり、電磁トランスデューサ又はディスク記録層の破壊
及び動作不良の原因となるディスクとスライダ間の付着
の発生を防止することが一層重要な課題となっている。
上量０を指向した接触型ヘッドの採用も検討され始めて
おり、電磁トランスデューサ又はディスク記録層の破壊
及び動作不良の原因となるディスクとスライダ間の付着
の発生を防止することが一層重要な課題となっている。
【００１５】この付着の問題を防止するために、スライ
ダ浮上面（空気ベアリング表面）に複数個の突起（パッ
ド）を設けることにより、スライダと磁気ディスク表面
間の接触面積を小さく抑える技術が特開平８−６９６７
４号で提案されている。
ダ浮上面（空気ベアリング表面）に複数個の突起（パッ
ド）を設けることにより、スライダと磁気ディスク表面
間の接触面積を小さく抑える技術が特開平８−６９６７
４号で提案されている。
【００１６】この公開公報に記載された磁気ヘッドスラ
イダは、レール上に複数のパッドを設けたことによりス
ライドのレール面（空気ベアリング表面）と磁気ディス
ク表面間の接触を避けようとした点に特徴がある。
イダは、レール上に複数のパッドを設けたことによりス
ライドのレール面（空気ベアリング表面）と磁気ディス
ク表面間の接触を避けようとした点に特徴がある。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなパ
ッド付の磁気ヘッドスライダを使用しても、磁気ディス
ク装置を停止した後に再起動を行った場合、再起動後の
スライダと磁気ディスク表面との間の摩擦力及び付着力
が大幅に増加することがある。これは、レール表面上に
形成されたパッドが磁気ディスクの潤滑剤を集めたため
と考えられる。
ッド付の磁気ヘッドスライダを使用しても、磁気ディス
ク装置を停止した後に再起動を行った場合、再起動後の
スライダと磁気ディスク表面との間の摩擦力及び付着力
が大幅に増加することがある。これは、レール表面上に
形成されたパッドが磁気ディスクの潤滑剤を集めたため
と考えられる。
【００１８】潤滑剤を集め難くするためには、パッドを
細くしてその断面積を小さくすればよいが、磁気ディス
ク装置の停止時及び再起動時のパッドの磨耗があるた
め、各パッドはある経度以上の断面積が必要となる。
細くしてその断面積を小さくすればよいが、磁気ディス
ク装置の停止時及び再起動時のパッドの磨耗があるた
め、各パッドはある経度以上の断面積が必要となる。
【００１９】パッドとディスク表面との接触面積が小さ
くなると、パッドの磨耗が激しくなったり、パッドと磁
気ディスクとの接触圧力が高くなる。その結果、ディス
ク表面の潤滑層を破断し、ディスク表面を磨耗させるこ
とがある。
くなると、パッドの磨耗が激しくなったり、パッドと磁
気ディスクとの接触圧力が高くなる。その結果、ディス
ク表面の潤滑層を破断し、ディスク表面を磨耗させるこ
とがある。
【００２０】よって本発明の目的は、パッド形状を工夫
してパッドによりディスク表面上の潤滑剤を集め難くす
ることにより、スライダがディスク表面に付着する付着
力を抑制するようにしたヘッドスライダを提供すること
である。
してパッドによりディスク表面上の潤滑剤を集め難くす
ることにより、スライダがディスク表面に付着する付着
力を抑制するようにしたヘッドスライダを提供すること
である。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明によると、空気流
入端と空気流出側端を有するヘッドスライダであって、
ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それ
ぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面と該空気ベアリング表面に連続して空
気流入端側に形成されたテーパ面とを有する一対のレー
ルと；前記各レールの空気流入端近傍及び空気流出端近
傍の前記空気ベアリング表面上にそれぞれ形成された複
数のパッドとを具備し；前記各パッドは流線形の横断面
形状を有していることを特徴とするヘッドスライダが提
供される。
入端と空気流出側端を有するヘッドスライダであって、
ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それ
ぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面と該空気ベアリング表面に連続して空
気流入端側に形成されたテーパ面とを有する一対のレー
ルと；前記各レールの空気流入端近傍及び空気流出端近
傍の前記空気ベアリング表面上にそれぞれ形成された複
数のパッドとを具備し；前記各パッドは流線形の横断面
形状を有していることを特徴とするヘッドスライダが提
供される。
【００２２】本発明の各パッドは流線形形状をしている
ため、パッドによるディスクの潤滑剤の掻き集めを抑制
することができる。これにより、潤滑剤に起因するディ
スク装置再起動時のヘッドスライダとディスク表面間の
摩擦力及び付着力を軽減することができ、付着障害を起
こすことなくディスク装置をスムーズに再起動すること
ができる。
ため、パッドによるディスクの潤滑剤の掻き集めを抑制
することができる。これにより、潤滑剤に起因するディ
スク装置再起動時のヘッドスライダとディスク表面間の
摩擦力及び付着力を軽減することができ、付着障害を起
こすことなくディスク装置をスムーズに再起動すること
ができる。
【００２３】好ましくは、各パッドは空気ベアリング表
面まで達する穴を有している。パッドで僅かばかり掻き
集められたディスクの潤滑剤をこれらの穴中で保持する
ことができ、パッドによるディスク表面の潤滑層の破断
を防止することができる。
面まで達する穴を有している。パッドで僅かばかり掻き
集められたディスクの潤滑剤をこれらの穴中で保持する
ことができ、パッドによるディスク表面の潤滑層の破断
を防止することができる。
【００２４】本発明の他の側面によると、空気流入端と
空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスク
に対向するディスク対向面に形成された、それぞれディ
スク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリ
ング表面を有する一対のレールと；前記各レールの空気
流入端近傍及び空気流出端近傍の前記空気ベアリング表
面上にそれぞれ形成された複数の流線形パッドとを具備
し；前記空気流入端近傍に形成された各パッドは前記空
気流出端近傍に形成された各パッドよりその高さが高い
ことを特徴とするヘッドスライダが提供される。
空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスク
に対向するディスク対向面に形成された、それぞれディ
スク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリ
ング表面を有する一対のレールと；前記各レールの空気
流入端近傍及び空気流出端近傍の前記空気ベアリング表
面上にそれぞれ形成された複数の流線形パッドとを具備
し；前記空気流入端近傍に形成された各パッドは前記空
気流出端近傍に形成された各パッドよりその高さが高い
ことを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２５】このように空気流入側端側のパッドの高さ
を空気流出端側のパッドの高さよりも高く形成したこと
により、各レールの空気流入端側にテーパをつけなくて
も、ＣＳＳの際各レールの汚れが少なくなる。各レール
にテーパ加工をする必要が無いため、スライダの製造コ
ストを削減できる。
を空気流出端側のパッドの高さよりも高く形成したこと
により、各レールの空気流入端側にテーパをつけなくて
も、ＣＳＳの際各レールの汚れが少なくなる。各レール
にテーパ加工をする必要が無いため、スライダの製造コ
ストを削減できる。
【００２６】
【発明の実施の形態】図１を参照すると、本発明の磁気
ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が
示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とか
ら構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）
である。
ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が
示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とか
ら構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）
である。
【００２７】ベース１４上にはインナーハブモータによ
って回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けら
れている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示
しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ
１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数
枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハ
ブに取り付けられる。
って回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けら
れている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示
しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ
１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数
枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハ
ブに取り付けられる。
【００２８】符号２２はアクチュエータアームアセンブ
リ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアク
チュエータを示している。アクチュエータアームアセン
ブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回り
に回転可能に取り付けられている。
リ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアク
チュエータを示している。アクチュエータアームアセン
ブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回り
に回転可能に取り付けられている。
【００２９】アクチュエータアームアセンブリ２６は、
回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータア
ーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸
長したコイル支持部材３６を含んでいる。
回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータア
ーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸
長したコイル支持部材３６を含んでいる。
【００３０】各アクチュエータアーム３０の先端部に
は、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペ
ンション３４の基端部が固定されている。コイル支持部
材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２
８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３
８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成され
る。
は、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペ
ンション３４の基端部が固定されている。コイル支持部
材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２
８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３
８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成され
る。
【００３１】符号４２はヘッドスライダ３２に搭載され
た電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシ
ブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材
４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに
電気的に接続されている。
た電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシ
ブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材
４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに
電気的に接続されている。
【００３２】ベース１４上に環状パッキンアセンブリ４
６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟
んでカバー１６をベース１４にネジ締結することによ
り、ハウジング１２内が密封される。
６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟
んでカバー１６をベース１４にネジ締結することによ
り、ハウジング１２内が密封される。
【００３３】図２（Ａ）は本発明第１実施形態の磁気ヘ
ッドスライダ３２の平面図、図２（Ｂ）はその正面図、
図２（Ｃ）はその左側面図をそれぞれ示している。磁気
ヘッドスライダ３２は空気流入端３２ａと、空気流出端
３２ｂを有しており、その両サイドには平坦なレール面
（空気ベアリング表面）４８ａ，５０ａを有する一対の
レール４８，５０が形成されている。
ッドスライダ３２の平面図、図２（Ｂ）はその正面図、
図２（Ｃ）はその左側面図をそれぞれ示している。磁気
ヘッドスライダ３２は空気流入端３２ａと、空気流出端
３２ｂを有しており、その両サイドには平坦なレール面
（空気ベアリング表面）４８ａ，５０ａを有する一対の
レール４８，５０が形成されている。
【００３４】各レール４８，５０の空気流入側端部には
それぞれテーパ面４８ｂ，５０ｂが形成されている。一
方のレール５０の空気流出端３２ｂ近傍には電磁トラン
スデューサ（ヘッド素子）６０が形成されている。
それぞれテーパ面４８ｂ，５０ｂが形成されている。一
方のレール５０の空気流出端３２ｂ近傍には電磁トラン
スデューサ（ヘッド素子）６０が形成されている。
【００３５】レール４８の空気流入端近傍にはパッド
（突起）５２が形成されており、空気流出端近傍にはパ
ッド５４が形成されている。同様に、レール５０の空気
流入端近傍にはパッド５６が形成されており、空気流出
端近傍にはパッド５８が形成されている。
（突起）５２が形成されており、空気流出端近傍にはパ
ッド５４が形成されている。同様に、レール５０の空気
流入端近傍にはパッド５６が形成されており、空気流出
端近傍にはパッド５８が形成されている。
【００３６】各パッド５２，５４，５６，５８は図２
（Ａ）から明らかなように流線形状を有している。即
ち、各パッドは流線形の横断面形状を有している。各パ
ッド５２，５４，５６，５８はダイヤモンドライクカー
ボン（ＤＬＣ）等の固い材料の薄膜からなり、薄膜プロ
セスにより密着層である５ｎｍ以下の厚さのＳｉＣ層を
介して各レール４８，５０上に形成される。各パッドの
高さはスライダ３２の浮上に悪影響を及ぼさない３０ｎ
ｍ程度が適当である。
（Ａ）から明らかなように流線形状を有している。即
ち、各パッドは流線形の横断面形状を有している。各パ
ッド５２，５４，５６，５８はダイヤモンドライクカー
ボン（ＤＬＣ）等の固い材料の薄膜からなり、薄膜プロ
セスにより密着層である５ｎｍ以下の厚さのＳｉＣ層を
介して各レール４８，５０上に形成される。各パッドの
高さはスライダ３２の浮上に悪影響を及ぼさない３０ｎ
ｍ程度が適当である。
【００３７】本実施形態では、流線形パッド５２，５
４，５６，５８を各レール４８，５０上に形成したの
で、パッドによる磁気ディスクの潤滑剤の掻き集めを抑
制することができる。
４，５６，５８を各レール４８，５０上に形成したの
で、パッドによる磁気ディスクの潤滑剤の掻き集めを抑
制することができる。
【００３８】その結果、各レール４８，５０の空気ベア
リング表面４８ａ，５０ａまで届く潤滑剤の量を最少に
することができ、その結果スライダと磁気ディスク表面
との間の摩擦力及び付着力を低減することができる。
リング表面４８ａ，５０ａまで届く潤滑剤の量を最少に
することができ、その結果スライダと磁気ディスク表面
との間の摩擦力及び付着力を低減することができる。
【００３９】図３を参照すると、流線型パッド５２の拡
大平面図が示されている。流線型パッド５２は先端円弧
部５２ａと、テーパ部５２ｂとから構成される。矢印Ａ
は最インナーの空気流入方向であり、矢印Ｂは最アウタ
ーの空気流入方向である。
大平面図が示されている。流線型パッド５２は先端円弧
部５２ａと、テーパ部５２ｂとから構成される。矢印Ａ
は最インナーの空気流入方向であり、矢印Ｂは最アウタ
ーの空気流入方向である。
【００４０】先端円弧部５２ａの半径をＲ、最インナー
流入方向と直交するパッドの辺の長さをＤ１、最アウタ
ー流入方向と直交するパッドの辺の長さをＤ２とする
と、Ｄ１＝Ｄ２＝２Ｒとなる。
流入方向と直交するパッドの辺の長さをＤ１、最アウタ
ー流入方向と直交するパッドの辺の長さをＤ２とする
と、Ｄ１＝Ｄ２＝２Ｒとなる。
【００４１】更に、ディスク装置のインナーヨー角をθ
１、アウターヨー角をθ２とすると、テーパ部５２ｂの
テーパ角度θは、インナーヨー角θ１の絶対値とアウタ
ーヨー角θ２の絶対値の合計角度に概略等しくなってい
る。即ち、θ≒｜θ１｜＋｜θ２｜となる。
１、アウターヨー角をθ２とすると、テーパ部５２ｂの
テーパ角度θは、インナーヨー角θ１の絶対値とアウタ
ーヨー角θ２の絶対値の合計角度に概略等しくなってい
る。即ち、θ≒｜θ１｜＋｜θ２｜となる。
【００４２】他の流線型パッド５４，５６，５８も同様
な形状を有している。流線型パッド５２に対する空気流
入方向がインナーヨー角からアウターヨー角の間のどの
角度の場合でも、空気流入方向に直交するパッド５２の
辺の長さが常に先端円弧部５２ａの直径と等しくなり、
ディスクの潤滑剤を集める条件や空気抵抗の条件を最小
にすることができる。
な形状を有している。流線型パッド５２に対する空気流
入方向がインナーヨー角からアウターヨー角の間のどの
角度の場合でも、空気流入方向に直交するパッド５２の
辺の長さが常に先端円弧部５２ａの直径と等しくなり、
ディスクの潤滑剤を集める条件や空気抵抗の条件を最小
にすることができる。
【００４３】次に、図４（Ａ）〜図４（Ｈ）及び図５
（Ａ）〜図５（Ｄ）を参照して、上述した第１実施形態
のスライダ３２の製造方法について説明する。図５
（Ａ）に示すウエハ６１には複数の電磁トランスデュー
サ６０が形成されている。ウエハ６１からＡｌ2 Ｏ3 −
ＴｉＣ基板６２をバー形状に切り出す。
（Ａ）〜図５（Ｄ）を参照して、上述した第１実施形態
のスライダ３２の製造方法について説明する。図５
（Ａ）に示すウエハ６１には複数の電磁トランスデュー
サ６０が形成されている。ウエハ６１からＡｌ2 Ｏ3 −
ＴｉＣ基板６２をバー形状に切り出す。
【００４４】そして、図４（Ａ）に示すように基板６２
上にスパッタリングでＳｉＣからなる密着層６４を約２
ｎｍの厚さに形成する。次いで、密着層６４上にプラズ
マＣＶＤ法によりダイヤモンドライクカーボン層（ＤＬ
Ｃ層）６６を約３０ｎｍの厚さに形成する。ＳｉＣ層６
４は電磁トランスデューサ６０の絶縁保護及びＤＬＣ層
６６の密着層の役目をする。
上にスパッタリングでＳｉＣからなる密着層６４を約２
ｎｍの厚さに形成する。次いで、密着層６４上にプラズ
マＣＶＤ法によりダイヤモンドライクカーボン層（ＤＬ
Ｃ層）６６を約３０ｎｍの厚さに形成する。ＳｉＣ層６
４は電磁トランスデューサ６０の絶縁保護及びＤＬＣ層
６６の密着層の役目をする。
【００４５】次いで、図４（Ｂ）に示すようにＤＬＣ層
６６上にフォトレジスト６８を塗布し、図４（Ｃ）に示
すように所定パターンのマスクを用いてフォトレジスト
６８を露光・現像する。
６６上にフォトレジスト６８を塗布し、図４（Ｃ）に示
すように所定パターンのマスクを用いてフォトレジスト
６８を露光・現像する。
【００４６】次いで、図４（Ｄ）に示すようにイオンミ
リングでエッチングして複数のレール４８，５０を形成
する。この状態が図５（Ｂ）の斜視図に示されている。
次いで、再びフォトレジスト６８′を塗布して、図４
（Ｅ）に示すようにパッドのパターンに露光し、図４
（Ｆ）に示すようにイオンミリングによるエッチングで
パッド以外のＤＬＣ層６６を除去する。
リングでエッチングして複数のレール４８，５０を形成
する。この状態が図５（Ｂ）の斜視図に示されている。
次いで、再びフォトレジスト６８′を塗布して、図４
（Ｅ）に示すようにパッドのパターンに露光し、図４
（Ｆ）に示すようにイオンミリングによるエッチングで
パッド以外のＤＬＣ層６６を除去する。
【００４７】これにより、各レール４８，５０上にはＤ
ＬＣからなるパッド５２，５４，５６，５８が形成され
る。この状態が図５（Ｃ）の斜視図に示されている。図
４（Ｇ）の想像線に沿って切断することにより、図４
（Ｈ）に示す個々のスライダ３２を得ることができる。
このようにして形成したスライダ３２の斜視図は図５
（Ｄ）に示されている。
ＬＣからなるパッド５２，５４，５６，５８が形成され
る。この状態が図５（Ｃ）の斜視図に示されている。図
４（Ｇ）の想像線に沿って切断することにより、図４
（Ｈ）に示す個々のスライダ３２を得ることができる。
このようにして形成したスライダ３２の斜視図は図５
（Ｄ）に示されている。
【００４８】パッド５２，５４，５６，５８の材質とし
ては、上述した実施形態ではプラズマＣＶＤ法により製
膜したＤＬＣ膜を採用したが、スパッタリング法により
製膜するカーボン膜、水酸化カーボン膜、シリコン添加
カーボン膜等のアモルファスカーボン膜を採用すること
ができる。
ては、上述した実施形態ではプラズマＣＶＤ法により製
膜したＤＬＣ膜を採用したが、スパッタリング法により
製膜するカーボン膜、水酸化カーボン膜、シリコン添加
カーボン膜等のアモルファスカーボン膜を採用すること
ができる。
【００４９】また、レール４８，５８上に形成するパッ
ド５２，５４，５６，５８の材料をＳｉＯ2 膜やＡｌ2
Ｏ3 膜等の酸化物薄膜とすることも可能である。レール
上に形成するパッドはスライダ３２とディスクとの接触
・摺動に耐え得るものであればよく、ＳｉＯ2 やＡｌ2
Ｏ3 は緻密で固いためパッド材料として適当である。
ド５２，５４，５６，５８の材料をＳｉＯ2 膜やＡｌ2
Ｏ3 膜等の酸化物薄膜とすることも可能である。レール
上に形成するパッドはスライダ３２とディスクとの接触
・摺動に耐え得るものであればよく、ＳｉＯ2 やＡｌ2
Ｏ3 は緻密で固いためパッド材料として適当である。
【００５０】図６は本発明第２実施形態の磁気ヘッドス
ライダ３２ＡとＣＳＳゾーンに於ける磁気ディスクのＣ
ＳＳトラック８０との関係を示している。ＣＳＳトラッ
ク８０は磁気ディスクの中心から約２０ｍｍの半径Ｒを
有している。本実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａ
は、スライダの長手方向中心線に対して所定角度傾斜し
た流線形パッド７２，７４，７６，７８を有している。
ライダ３２ＡとＣＳＳゾーンに於ける磁気ディスクのＣ
ＳＳトラック８０との関係を示している。ＣＳＳトラッ
ク８０は磁気ディスクの中心から約２０ｍｍの半径Ｒを
有している。本実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａ
は、スライダの長手方向中心線に対して所定角度傾斜し
た流線形パッド７２，７４，７６，７８を有している。
【００５１】図６に於いて、各流線形パッド７２，７
４，７６，７８の長手方向中心線がＣＳＳトラック８０
の接線方向に概略一致するように、各パッドの長手方向
中心線がスライダ３２Ａの長手方向中心線に対して傾斜
している。
４，７６，７８の長手方向中心線がＣＳＳトラック８０
の接線方向に概略一致するように、各パッドの長手方向
中心線がスライダ３２Ａの長手方向中心線に対して傾斜
している。
【００５２】換言すると、各パッドの傾斜角度が、磁気
ヘッドスライダ３２Ａと磁気ディスクが接触摺動する位
置（ＣＳＳゾーン）に於けるスライダ３２Ａのヨー角と
実質上同一となるように、各パッド７２，７４，７６，
７８が形成されている。
ヘッドスライダ３２Ａと磁気ディスクが接触摺動する位
置（ＣＳＳゾーン）に於けるスライダ３２Ａのヨー角と
実質上同一となるように、各パッド７２，７４，７６，
７８が形成されている。
【００５３】これにより、ヘッドスライダ３２Ａと磁気
ディスクが接触摺動するときに流線形パッド７２，７
４，７６，７８が丁度アイススケートのように磁気ディ
スク表面上を滑るので、ＣＳＳ動作が円滑に行われるよ
うになり、磁気ディスク表面の磨耗が低減し、パッドに
よる磁気ディスク潤滑剤の掻き集めを最少にすることが
できる。
ディスクが接触摺動するときに流線形パッド７２，７
４，７６，７８が丁度アイススケートのように磁気ディ
スク表面上を滑るので、ＣＳＳ動作が円滑に行われるよ
うになり、磁気ディスク表面の磨耗が低減し、パッドに
よる磁気ディスク潤滑剤の掻き集めを最少にすることが
できる。
【００５４】図７（Ａ）は本発明第３実施形態の磁気ヘ
ッドスライダ３２Ｂの平面図、図７（Ｂ）はその正面
図、図７（Ｃ）はその左側面図をそれぞれ示している。
本実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｂは、図２（Ａ）
〜図２（Ｃ）に示した第１実施形態のスライダ３２とそ
の外形形状が概略同様な４つの流線形パッド５２，５
４，５６，５８を有している。
ッドスライダ３２Ｂの平面図、図７（Ｂ）はその正面
図、図７（Ｃ）はその左側面図をそれぞれ示している。
本実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｂは、図２（Ａ）
〜図２（Ｃ）に示した第１実施形態のスライダ３２とそ
の外形形状が概略同様な４つの流線形パッド５２，５
４，５６，５８を有している。
【００５５】そして、各流線形パッド５２，５４，５
６，５８は、空気ベアリング表面４８ａ，５０ａまで達
する穴８２，８４，８６，８８をそれぞれ有している。
このように各流線形パッドが穴を有することにより、こ
の穴中に流線形パッドで掻き集めた極少量の磁気ディス
クの潤滑剤を保持することが可能となる。その結果、ス
ライダと磁気ディスクとの間の摩擦力及び付着力の更な
る低減を図ることができる。
６，５８は、空気ベアリング表面４８ａ，５０ａまで達
する穴８２，８４，８６，８８をそれぞれ有している。
このように各流線形パッドが穴を有することにより、こ
の穴中に流線形パッドで掻き集めた極少量の磁気ディス
クの潤滑剤を保持することが可能となる。その結果、ス
ライダと磁気ディスクとの間の摩擦力及び付着力の更な
る低減を図ることができる。
【００５６】流線形パッドの穴中で潤滑剤を保持するこ
とにより、磁気ディスクの潤滑剤膜の膜切れを防止する
こともできる。各流線形パッド５２，５４，５６，５８
を形成するのと同時にイオンミリングによるエッチング
で各穴８２，８４，８６，８８を形成することができ
る。
とにより、磁気ディスクの潤滑剤膜の膜切れを防止する
こともできる。各流線形パッド５２，５４，５６，５８
を形成するのと同時にイオンミリングによるエッチング
で各穴８２，８４，８６，８８を形成することができ
る。
【００５７】図８（Ａ）は本発明第４実施形態の磁気デ
ィスクスライダ３２Ｃの平面図を示している。図８
（Ｂ）は図８（Ａ）のＢ方向矢視図、図８（Ｃ）は図８
（Ａ）のＣ方向矢視図、図８（Ｄ）は図８（Ａ）のＤ方
向矢視図、図８（Ｅ）は図８（Ａ）のＥ方向矢視図であ
る。
ィスクスライダ３２Ｃの平面図を示している。図８
（Ｂ）は図８（Ａ）のＢ方向矢視図、図８（Ｃ）は図８
（Ａ）のＣ方向矢視図、図８（Ｄ）は図８（Ａ）のＤ方
向矢視図、図８（Ｅ）は図８（Ａ）のＥ方向矢視図であ
る。
【００５８】本実施形態では、レール４８上には２つの
流線形パッド９０，９２が形成されており、レール５０
上には２つの流線形パッド９４，９６が形成されてい
る。図８（Ｂ）及び図８（Ｃ）から明らかなように、流
入端側のパッド９０，９４は流出端側のパッド９２，９
６よりもその高さが高くなっている。
流線形パッド９０，９２が形成されており、レール５０
上には２つの流線形パッド９４，９６が形成されてい
る。図８（Ｂ）及び図８（Ｃ）から明らかなように、流
入端側のパッド９０，９４は流出端側のパッド９２，９
６よりもその高さが高くなっている。
【００５９】さらに、図８（Ｄ）及び図８（Ｅ）に示さ
れているように、電磁トランスデューサ６０を有する側
のレール５０上に形成されたパッド９４，９６は他方の
レール４８上に形成された対応するパッド９０，９２よ
りその高さが低く形成されている。
れているように、電磁トランスデューサ６０を有する側
のレール５０上に形成されたパッド９４，９６は他方の
レール４８上に形成された対応するパッド９０，９２よ
りその高さが低く形成されている。
【００６０】電磁トランスデューサ６０側のパッド９
４，９６の高さを低くしているのは、磁気ディスク装置
動作時に於ける電磁トランスデューサ６０の浮上高さを
低く抑えるためである。
４，９６の高さを低くしているのは、磁気ディスク装置
動作時に於ける電磁トランスデューサ６０の浮上高さを
低く抑えるためである。
【００６１】また、空気流入端側に設けたパッド９０，
９４の高さを空気流出端側に設けたパッド９２，９６よ
り高く形成しているため、ディスク回転停止時のスライ
ダ３２Ｃの姿勢が前方（空気流入端側）が持ち上がった
状態となるため、磁気ディスク装置起動時にスライダ３
２Ｃが浮き上がり易くなり、ディスクとスライダの摺動
距離を小さくすることができる。
９４の高さを空気流出端側に設けたパッド９２，９６よ
り高く形成しているため、ディスク回転停止時のスライ
ダ３２Ｃの姿勢が前方（空気流入端側）が持ち上がった
状態となるため、磁気ディスク装置起動時にスライダ３
２Ｃが浮き上がり易くなり、ディスクとスライダの摺動
距離を小さくすることができる。
【００６２】さらに、各パッド高さを図示するように相
違させることにより、スライダの空気流入端３２ａ及び
空気流出端３２ｂの極近傍にパッド９０，９２，９４，
９６を形成できるため、スライダ３２Ｃを磁気ディスク
上に安定して載置できる。電磁トランスデューサ６０の
近傍に流線形パッド９６を形成できるため、電磁トラン
スデューサ６０と磁気ディスク表面の衝突を回避でき
る。
違させることにより、スライダの空気流入端３２ａ及び
空気流出端３２ｂの極近傍にパッド９０，９２，９４，
９６を形成できるため、スライダ３２Ｃを磁気ディスク
上に安定して載置できる。電磁トランスデューサ６０の
近傍に流線形パッド９６を形成できるため、電磁トラン
スデューサ６０と磁気ディスク表面の衝突を回避でき
る。
【００６３】図９（Ａ）は本発明第５実施形態の磁気ヘ
ッドスライダ３２Ｄの平面図を示している。図９（Ｂ）
は図９（Ａ）のＢ方向矢視図、図９（Ｃ）は図９（Ａ）
のＣ方向矢視図、図９（Ｄ）は図９（Ａ）のＤ方向矢視
図である。
ッドスライダ３２Ｄの平面図を示している。図９（Ｂ）
は図９（Ａ）のＢ方向矢視図、図９（Ｃ）は図９（Ａ）
のＣ方向矢視図、図９（Ｄ）は図９（Ａ）のＤ方向矢視
図である。
【００６４】本実施形態では、レール４８上に流線形パ
ッド１００，１０２が形成されており、レール５０上に
流線形パッド１０４，１０６が形成されている。図９
（Ｃ）及び図９（Ｄ）を参照すると明らかなように、流
入端側のパッド１００と１０４は同一高さを有してお
り、流出端側のパッド１０２と１０６は同一高さを有し
ている。そして、流入端側のパッド１００，１０４が流
出端側のパッド１０２，１０６より高さが高く形成され
ている。
ッド１００，１０２が形成されており、レール５０上に
流線形パッド１０４，１０６が形成されている。図９
（Ｃ）及び図９（Ｄ）を参照すると明らかなように、流
入端側のパッド１００と１０４は同一高さを有してお
り、流出端側のパッド１０２と１０６は同一高さを有し
ている。そして、流入端側のパッド１００，１０４が流
出端側のパッド１０２，１０６より高さが高く形成され
ている。
【００６５】各レール４８，５０は流入端側にテーパ面
を有していない。このように、空気流入端側のパッド１
００，１０４の高さを空気流出端側のパッド１０２，１
０６の高さよりも高く形成したスライダ３２Ｄでは、各
レール４８，５０の空気流入端部にテーパ面を有しなく
ても、ＣＳＳ動作の際レール面（空気ベアリング表面）
４８ａ，５０ａの汚れを少なくすることができる。各レ
ールの空気流入端部にテーパー面を有しないため、スラ
イダの製造コストを削減することができる。
を有していない。このように、空気流入端側のパッド１
００，１０４の高さを空気流出端側のパッド１０２，１
０６の高さよりも高く形成したスライダ３２Ｄでは、各
レール４８，５０の空気流入端部にテーパ面を有しなく
ても、ＣＳＳ動作の際レール面（空気ベアリング表面）
４８ａ，５０ａの汚れを少なくすることができる。各レ
ールの空気流入端部にテーパー面を有しないため、スラ
イダの製造コストを削減することができる。
【００６６】図１０は本発明第５実施形態の磁気ヘッド
スライダ３２Ｅの平面図を示している。図１０（Ｂ）は
図１０（Ａ）のＢ方向矢視図、図１０（Ｃ）は図１０
（Ａ）のＣ方向矢視図、１０（Ｄ）は図１０（Ａ）のＤ
方向矢視図である。
スライダ３２Ｅの平面図を示している。図１０（Ｂ）は
図１０（Ａ）のＢ方向矢視図、図１０（Ｃ）は図１０
（Ａ）のＣ方向矢視図、１０（Ｄ）は図１０（Ａ）のＤ
方向矢視図である。
【００６７】本実施形態では、レール４８上に流線形パ
ッド１０８，１１０が形成されており、レール５０上に
流線型パッド１１２，１１４が形成されている。図１０
（Ｂ）〜図１０（Ｄ）を参照すると明らかなように、各
流線型パッド１０８，１１０，１１２，１１４は段差を
有している。
ッド１０８，１１０が形成されており、レール５０上に
流線型パッド１１２，１１４が形成されている。図１０
（Ｂ）〜図１０（Ｄ）を参照すると明らかなように、各
流線型パッド１０８，１１０，１１２，１１４は段差を
有している。
【００６８】即ち、パッド１０８は細い根元部分１０８
と、磁気ディスク表面に接触する太い頭部（先端部分）
１０８ｂを有している。同様に、パッド１１０，１１
２，１１４もそれぞれ細い根元部分１１０ａ，１１２
ａ，１１４ａと、太い頭部１１０ｂ，１１２ｂ，１１４
ｂを有している。
と、磁気ディスク表面に接触する太い頭部（先端部分）
１０８ｂを有している。同様に、パッド１１０，１１
２，１１４もそれぞれ細い根元部分１１０ａ，１１２
ａ，１１４ａと、太い頭部１１０ｂ，１１２ｂ，１１４
ｂを有している。
【００６９】図１１を参照すると、本実施形態の段付パ
ッド１１２と磁気ディスク２０との接触状態拡大図が示
されている。パッド１１２は根元部分１１２ａと頭部１
１２ｂとの段差１２０を有している。
ッド１１２と磁気ディスク２０との接触状態拡大図が示
されている。パッド１１２は根元部分１１２ａと頭部１
１２ｂとの段差１２０を有している。
【００７０】符号１１６は磁気ディスク２０の保護膜で
あり、１１８は保護膜１１６上の潤滑剤を示している。
このように段差付の流線形パッド１０８，１１０，１１
２，１１４を採用すると、パッドで掻き集めた潤滑剤１
１８が表面張力によって段差を超え難くなり、レール表
面上に潤滑剤のメニスカスが形成される確率を小さくす
ることがでる。これにより、スライダ３２Ｅと磁気ディ
スク表面との間の摩擦力増加と付着力の増加を防止する
ことができる。
あり、１１８は保護膜１１６上の潤滑剤を示している。
このように段差付の流線形パッド１０８，１１０，１１
２，１１４を採用すると、パッドで掻き集めた潤滑剤１
１８が表面張力によって段差を超え難くなり、レール表
面上に潤滑剤のメニスカスが形成される確率を小さくす
ることがでる。これにより、スライダ３２Ｅと磁気ディ
スク表面との間の摩擦力増加と付着力の増加を防止する
ことができる。
【００７１】例え、潤滑剤１１８が段差１２０を超えて
レール５０の表面上に達した場合でも、一様な太さのパ
ッドを採用した場合よりも、潤滑剤とレール表面との接
触面積を小さくできるため、スライダ３２Ｅと磁気ディ
スク表面との間の摩擦力増加と付着力増加を防止するこ
とができる。
レール５０の表面上に達した場合でも、一様な太さのパ
ッドを採用した場合よりも、潤滑剤とレール表面との接
触面積を小さくできるため、スライダ３２Ｅと磁気ディ
スク表面との間の摩擦力増加と付着力増加を防止するこ
とができる。
【００７２】以上、本発明を磁気ディスク装置に適用し
た例について説明したが、本発明は浮上型ヘッドスライ
ダを有する光ディスク装置にも同様に適用可能である。
た例について説明したが、本発明は浮上型ヘッドスライ
ダを有する光ディスク装置にも同様に適用可能である。
【００７３】
【発明の効果】本発明は以上詳述したように、流線形パ
ッドを各レール表面上に形成することにより、パッドに
よるディスクの潤滑剤の掻き集めを少なくすることがで
き、掻き集めた潤滑剤に起因するヘッドスライダとディ
スク表面との間の摩擦力の増加及び付着力の増加を低減
することができる。
ッドを各レール表面上に形成することにより、パッドに
よるディスクの潤滑剤の掻き集めを少なくすることがで
き、掻き集めた潤滑剤に起因するヘッドスライダとディ
スク表面との間の摩擦力の増加及び付着力の増加を低減
することができる。
【００７４】また、ディスク装置の信頼性及び耐久性を
向上させることができ、ディスク装置の寿命を向上させ
ることができる。従って、ディスク装置起動の際のモー
タの負荷を低減できるため小型モータを採用することが
でき、ディスク装置の小型化を図れると共に低消費電力
化を図ることができる。
向上させることができ、ディスク装置の寿命を向上させ
ることができる。従って、ディスク装置起動の際のモー
タの負荷を低減できるため小型モータを採用することが
でき、ディスク装置の小型化を図れると共に低消費電力
化を図ることができる。
【図１】磁気ディスク装置の斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は本発明第１実施形態の磁気ヘッド
スライダの平面図、図２（Ｂ）はその正面図、図２
（Ｃ）はその左側面図である。
スライダの平面図、図２（Ｂ）はその正面図、図２
（Ｃ）はその左側面図である。
【図３】本発明の流線型パッドの拡大平面図である。
【図４】図４（Ａ）〜図４（Ｈ）は磁気ヘッドスライダ
の製造工程を示す図である。
の製造工程を示す図である。
【図５】図５（Ａ）〜図５（Ｄ）は磁気ヘッドスライダ
の製造工程を示す斜視図である。
の製造工程を示す斜視図である。
【図６】本発明第２実施形態の磁気ヘッドスライダとＣ
ＳＳトラックとの関係を示す図である。
ＳＳトラックとの関係を示す図である。
【図７】図７（Ａ）は本発明第３実施形態の磁気ヘッド
スライダの平面図、図７（Ｂ）はその正面図、図７
（Ｃ）はその左側面図である。
スライダの平面図、図７（Ｂ）はその正面図、図７
（Ｃ）はその左側面図である。
【図８】図８（Ａ）は本発明第４実施形態の磁気ヘッド
スライダの平面図、図８（Ｂ）は図８（Ａ）のＢ方向矢
視図、図８（Ｃ）は図８（Ａ）のＣ方向矢視図、図８
（Ｄ）は図８（Ａ）のＤ方向矢視図、図８（Ｅ）は図８
（Ａ）のＥ方向矢視図である。
スライダの平面図、図８（Ｂ）は図８（Ａ）のＢ方向矢
視図、図８（Ｃ）は図８（Ａ）のＣ方向矢視図、図８
（Ｄ）は図８（Ａ）のＤ方向矢視図、図８（Ｅ）は図８
（Ａ）のＥ方向矢視図である。
【図９】図９（Ａ）は本発明第５実施形態の磁気ヘッド
スライダの平面図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）のＢ方向矢
視図、図９（Ｃ）は図９（Ａ）のＣ方向矢視図、図９
（Ｄ）は図９（Ａ）のＤ方向矢視図である。
スライダの平面図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）のＢ方向矢
視図、図９（Ｃ）は図９（Ａ）のＣ方向矢視図、図９
（Ｄ）は図９（Ａ）のＤ方向矢視図である。
【図１０】図１０（Ａ）は本発明第６実施形態の磁気ヘ
ッドスライダの平面図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）の
Ｂ方向矢視図、図１０（Ｃ）は図１０（Ａ）のＣ方向矢
視図、図１０（Ｄ）は図１０（Ａ）のＤ方向矢視図であ
る。
ッドスライダの平面図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）の
Ｂ方向矢視図、図１０（Ｃ）は図１０（Ａ）のＣ方向矢
視図、図１０（Ｄ）は図１０（Ａ）のＤ方向矢視図であ
る。
【図１１】パッドと磁気ディスクとの接触状態を示す拡
大図である。
大図である。
４８，５０ レール ４８ａ，５０ａ 空気ベアリング表面 ４８ｂ，５０ｂ テーパ面 ５２，５４，５６，５８ 流線形パッド ６０ 電磁トランスデューサ
Claims (9)
- 【請求項１】 空気流入端と空気流出端を有するヘッド
スライダであって、ディスクに対向するディスク対向面
に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生
するための平坦な空気ベアリング表面と該空気ベアリン
グ表面に連続して空気流入端側に形成されたテーパ面と
を有する一対のレールと；前記各レールの空気流入端近
傍及び空気流出端近傍の前記空気ベアリング表面上にそ
れぞれ形成された複数のパッドとを具備し；前記各パッ
ドは流線形の横断面形状を有していることを特徴とする
ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記ヘッドスライダがディスクの接触可
能領域に載置されたとき、前記各流線形パッドの長手方
向中心線が前記接触可能領域のディスクの円形トラック
の接線に概略一致するように、前記各流線形パッドはヘ
ッドスライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端
側がディスクのインナー方向に近づくように所定の角度
傾斜している請求項１記載のヘッドスライダ。 - 【請求項３】 前記各パッドはそれぞれ前記空気ベアリ
ング表面に概略垂直な穴を有している請求項１記載のヘ
ッドスライダ。 - 【請求項４】 前記各穴は、前記空気ベアリング表面ま
で達する深さを有している請求項３記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項５】 前記各レールの前記空気流入端近傍に形
成された各パッドは、前記空気流出端近傍に形成された
各パッドの高さよりも高さが高い請求項１記載のヘッド
スライダ。 - 【請求項６】 前記レールの一方が位置する前記空気流
出端に形成された電磁トランスデューサをさらに具備
し；前記電磁トランスデューサが形成された側のレール
上に形成された各パッドは、電磁トランスデューサを有
しない側のレール上に形成された対応するパッドよりも
その高さが低い請求項５記載のヘッドスライダ。 - 【請求項７】 前記各流線形パッドは細い根元部分と太
い先端部分を有しており、両者の間に段差が形成されて
いる請求項１記載のヘッドスライダ。 - 【請求項８】 空気流入端と空気流出端を有するヘッド
スライダであって、 ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それ
ぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記各レー
ルの空気流入端近傍及び空気流出端近傍の前記空気ベア
リング表面上にそれぞれ形成された複数の流線形パッド
とを具備し；前記空気流入端近傍に形成された各パッド
は前記空気流出端近傍に形成された各パッドよりその高
さが高いことを特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項９】 ディスク装置であって、 ハウジングと；該ハウジング内に回転可能に取り付けら
れたディスクと；前記ディスクに対してデータをライト
／リードするヘッドを有するヘッドスライダと；前記ヘ
ッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させ
るアクチュエータとを具備し；前記ヘッドスライダは、 前記ディスクに対向するディスク対向面に形成された、
それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦
な空気ベアリング表面と該空気ベアリング表面に連続し
て空気流入端側に形成されたテーパ面とを有する一対の
レールと；前記各レールの空気流入端近傍及び空気流出
端近傍の前記空気ベアリング表面上にそれぞれ形成され
た複数の流線形パッドとを具備していることを特徴とす
るディスク装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9239237A JPH1186483A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | ヘッドスライダ及びディスク装置 |
| US09/020,759 US6185071B1 (en) | 1997-09-04 | 1998-02-09 | Head slider having streamlined pads |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9239237A JPH1186483A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | ヘッドスライダ及びディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1186483A true JPH1186483A (ja) | 1999-03-30 |
Family
ID=17041792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9239237A Withdrawn JPH1186483A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | ヘッドスライダ及びディスク装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6185071B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1186483A (ja) |
Cited By (1)
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1997
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| Publication number | Publication date |
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| US6185071B1 (en) | 2001-02-06 |
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