JPH1116140A - ヘッドスライダ及びディスク装置 - Google Patents
ヘッドスライダ及びディスク装置Info
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- JPH1116140A JPH1116140A JP9169711A JP16971197A JPH1116140A JP H1116140 A JPH1116140 A JP H1116140A JP 9169711 A JP9169711 A JP 9169711A JP 16971197 A JP16971197 A JP 16971197A JP H1116140 A JPH1116140 A JP H1116140A
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- air
- slider
- rail
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の課題は、ディスクの半径方向位置に
よらず浮上量が概略一定のスライダを提供することであ
る。 【解決手段】 ヘッドスライダは、インナーレールと、
インナーレールと平行に形成されたアウターレールと、
インナーレールとアウターレールの間の空気流入端の近
傍に形成されたセンターレールと、インナーレールとア
ウターレールの間に画成された一旦圧縮された空気を膨
張させて負圧を発生させる溝とを含んでいる。インナー
レール及びアウターレールの少なくとも中間部分の長手
方向中心線は、スライダの長手方向中心線に対して空気
流入端側がディスクのインナ方向に近付くように所定角
度傾斜して形成されている。
よらず浮上量が概略一定のスライダを提供することであ
る。 【解決手段】 ヘッドスライダは、インナーレールと、
インナーレールと平行に形成されたアウターレールと、
インナーレールとアウターレールの間の空気流入端の近
傍に形成されたセンターレールと、インナーレールとア
ウターレールの間に画成された一旦圧縮された空気を膨
張させて負圧を発生させる溝とを含んでいる。インナー
レール及びアウターレールの少なくとも中間部分の長手
方向中心線は、スライダの長手方向中心線に対して空気
流入端側がディスクのインナ方向に近付くように所定角
度傾斜して形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的に磁気ディ
スク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関
し、特に、低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
スク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関
し、特に、低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
【０００２】近年、磁気ディスク装置は小型化・大容量
化が進み、ヘッドスライダに形成された電磁トランスデ
ューサと磁気ディスクの記録層の間隔をできるだけ小さ
くする必要があり、ディスク表面の平滑化とスライダ浮
上量の低減が不可欠となってきている。
化が進み、ヘッドスライダに形成された電磁トランスデ
ューサと磁気ディスクの記録層の間隔をできるだけ小さ
くする必要があり、ディスク表面の平滑化とスライダ浮
上量の低減が不可欠となってきている。
【０００３】ディスク装置としての耐久性を保ちつつ、
記録再生特性を満足するために、スライダ浮上量はスラ
イダとディスク表面が接触しないように、できる限り低
いことが望ましい。また、アクセスの高速化のため、ア
クセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定
性に優れたスライダが求められている。
記録再生特性を満足するために、スライダ浮上量はスラ
イダとディスク表面が接触しないように、できる限り低
いことが望ましい。また、アクセスの高速化のため、ア
クセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定
性に優れたスライダが求められている。
【０００４】現在の磁気ディスク装置では、ディスク表
面の粗さは半径位置によらずほぼ一定であるので、スラ
イダ浮上量をディスクの半径位置によらず低い高さで一
定に保つことが必要となっている。
面の粗さは半径位置によらずほぼ一定であるので、スラ
イダ浮上量をディスクの半径位置によらず低い高さで一
定に保つことが必要となっている。
【０００５】更に、磁気ディスク装置の小型化、機構の
単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回
転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上
量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回
転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上
量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
【０００６】
【従来の技術】浮上安定性に優れた負圧磁気ヘッドスラ
イダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレー
ル幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの
間に溝を画成し、この溝部で負圧が発生されるスライダ
が提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
イダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレー
ル幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの
間に溝を画成し、この溝部で負圧が発生されるスライダ
が提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
【０００７】図１（Ａ）は上記公開公報に開示された従
来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１
（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状を
しており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有して
いる。
来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１
（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状を
しており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有して
いる。
【０００８】スライダ２のディスク対向面には正圧を発
生させるための一対のレール４，６が形成されている。
各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発
生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）
４ａ，６ａを有している。
生させるための一対のレール４，６が形成されている。
各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発
生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）
４ａ，６ａを有している。
【０００９】各レール４，６の空気流入端側にはテーパ
面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール
４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を
発生させる溝８が画成されている。
面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール
４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を
発生させる溝８が画成されている。
【００１０】レール４が位置するスライダ２の空気流出
端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一
対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１
１が形成されている。
端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一
対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１
１が形成されている。
【００１１】各レール４，６の幅を流入端及び流出端側
で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変
化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ
面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮
上変動を抑制することができる。
で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変
化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ
面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮
上変動を抑制することができる。
【００１２】図１（Ｂ）はレール面側から見たスライダ
２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧
を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。
レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧
が発生する。
２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧
を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。
レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧
が発生する。
【００１３】各レール４，６の長手方向中心線とスライ
ダ２の長手方向中心線とは概略平行に形成されている。
また、磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダ
は半径方向の位置決めのための回転アームに取り付けら
れており、磁気ディスクのインナー側からアウター側に
かけて連続的にスライダのヨー角（ディスクの回転方向
とスライダ中心線のなす角度）が変化する。
ダ２の長手方向中心線とは概略平行に形成されている。
また、磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダ
は半径方向の位置決めのための回転アームに取り付けら
れており、磁気ディスクのインナー側からアウター側に
かけて連続的にスライダのヨー角（ディスクの回転方向
とスライダ中心線のなす角度）が変化する。
【００１４】ヨー角が大きくなると、磁気ディスクのト
ラック幅が減少し、出力の低下を引き起こすことから、
出力低下を防ぐために、磁気ディスクの最インナートラ
ックと最アウタートラックの間でスライダのヨー角が０
°となるように従来のスライダは回転アームに取り付け
られている。
ラック幅が減少し、出力の低下を引き起こすことから、
出力低下を防ぐために、磁気ディスクの最インナートラ
ックと最アウタートラックの間でスライダのヨー角が０
°となるように従来のスライダは回転アームに取り付け
られている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】図２に図１（Ａ）及び
図１（Ｂ）に示した従来のスライダの浮上特性を示す。
横軸は磁気ディスクの中心から半径方向距離であり、縦
軸は浮上高さを示している。
図１（Ｂ）に示した従来のスライダの浮上特性を示す。
横軸は磁気ディスクの中心から半径方向距離であり、縦
軸は浮上高さを示している。
【００１６】図２から明らかなように、スライダの浮上
高さは磁気ディスクの半径方向中間付近で増加する。こ
れは、次のことが原因である。図３（Ａ）に示すよう
に、スライダのヨー角を磁気ディスクの半径方向位置に
係わらず一定とした場合、スライダの浮上高さは磁気デ
ィスクの外周にいく程上昇する。即ち、磁気ディスクの
外周ほど周速が増加するので、ヨー角一定の場合には、
周速の増加に伴ってスライダの浮上高さは増加する。
高さは磁気ディスクの半径方向中間付近で増加する。こ
れは、次のことが原因である。図３（Ａ）に示すよう
に、スライダのヨー角を磁気ディスクの半径方向位置に
係わらず一定とした場合、スライダの浮上高さは磁気デ
ィスクの外周にいく程上昇する。即ち、磁気ディスクの
外周ほど周速が増加するので、ヨー角一定の場合には、
周速の増加に伴ってスライダの浮上高さは増加する。
【００１７】また、磁気ディスクの周速を最インナート
ラックから最アウタートラックに渡り一定と仮定した場
合には、図３（Ｂ）に示すようにスライダのヨー角がほ
ぼ０°付近でスライダの浮上高さは最大となる。
ラックから最アウタートラックに渡り一定と仮定した場
合には、図３（Ｂ）に示すようにスライダのヨー角がほ
ぼ０°付近でスライダの浮上高さは最大となる。
【００１８】図３（Ｂ）に示すように、スライダのヨー
角がほぼ０°付近でスライダの浮上高さが最大となる原
因は以下の通りと考えられる。即ち、レール４，６の長
手方向中心線と同一方向から空気が流入した場合（ヨー
角０°）、正圧力は最大となり、スライダの浮上高さは
最大となる。
角がほぼ０°付近でスライダの浮上高さが最大となる原
因は以下の通りと考えられる。即ち、レール４，６の長
手方向中心線と同一方向から空気が流入した場合（ヨー
角０°）、正圧力は最大となり、スライダの浮上高さは
最大となる。
【００１９】これに対して、空気流入方向とレール中心
線の角度が大きくなると、正圧力は減少し、浮上量は低
下する。よって、図３（Ａ）に示した浮上特性と、図３
（Ｂ）に示した浮上特性の組み合わせにより、従来のス
ライダでは図２に示すように磁気ディスクの半径方向中
間付近でスライダの浮上高さが増加する。
線の角度が大きくなると、正圧力は減少し、浮上量は低
下する。よって、図３（Ａ）に示した浮上特性と、図３
（Ｂ）に示した浮上特性の組み合わせにより、従来のス
ライダでは図２に示すように磁気ディスクの半径方向中
間付近でスライダの浮上高さが増加する。
【００２０】スライダ浮上高さが大きい従来の一般的な
磁気ディスク装置の場合、スライダ浮上高さに対する磁
気ディスクの半径方向中間付近での浮上高さ増加の割合
は小さく、無視できる程度であったが、近年の磁気ディ
スク装置の高密度化に伴い負圧スライダを採用すると、
スライダ浮上高さが低下し、磁気ディスクの半径方向中
間付近での記録再生特性の劣化が問題となってきた。
磁気ディスク装置の場合、スライダ浮上高さに対する磁
気ディスクの半径方向中間付近での浮上高さ増加の割合
は小さく、無視できる程度であったが、近年の磁気ディ
スク装置の高密度化に伴い負圧スライダを採用すると、
スライダ浮上高さが低下し、磁気ディスクの半径方向中
間付近での記録再生特性の劣化が問題となってきた。
【００２１】よって本発明の目的は、磁気ディスクの半
径方向位置によらずスライダの浮上高さが概略一定とな
るヘッドスライダを提供することである。本発明の他の
目的は、磁気ディスクの半径方向位置によらずスライダ
の浮上高さが概略一定となるヘッドスライダを搭載した
ディスク装置を提供することである。
径方向位置によらずスライダの浮上高さが概略一定とな
るヘッドスライダを提供することである。本発明の他の
目的は、磁気ディスクの半径方向位置によらずスライダ
の浮上高さが概略一定となるヘッドスライダを搭載した
ディスク装置を提供することである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】本発明によると、空気流
入端と、空気流出端と、ディスクに対向するディスク対
向面とを有するヘッドスライダであって、ディスク回転
時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面
を有する、前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前
記ディスク対向面に形成されたインナーレールと、ディ
スク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリ
ング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記
空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向
面に形成されたアウターレールと、前記インナーレール
と前記アウターレールの間に画成された、一旦圧縮され
た空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し、前
記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレー
ルの長手方向中心線は互いに平行であり、且つ前記スラ
イダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディ
スクのインナー方向に近づくように所定の角度傾斜して
いることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
入端と、空気流出端と、ディスクに対向するディスク対
向面とを有するヘッドスライダであって、ディスク回転
時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面
を有する、前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前
記ディスク対向面に形成されたインナーレールと、ディ
スク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリ
ング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記
空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向
面に形成されたアウターレールと、前記インナーレール
と前記アウターレールの間に画成された、一旦圧縮され
た空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し、前
記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレー
ルの長手方向中心線は互いに平行であり、且つ前記スラ
イダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディ
スクのインナー方向に近づくように所定の角度傾斜して
いることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２３】インナーレール及びアウターレールの全体
をスライダの長手方向中心線に対して所定角度傾斜させ
る代わりに、インナーレール及びアウターレールの中間
部分のみをスライダの長手方向中心線に対して空気流入
端側がディスクのインナー方向に近づくように所定角度
傾斜させるようにしてもよい。
をスライダの長手方向中心線に対して所定角度傾斜させ
る代わりに、インナーレール及びアウターレールの中間
部分のみをスライダの長手方向中心線に対して空気流入
端側がディスクのインナー方向に近づくように所定角度
傾斜させるようにしてもよい。
【００２４】本発明の他の側面によると、ディスク装置
であって、ハウジングと；該ハウジング内に回転可能に
取り付けられたディスクと；前記ディスクに対してデー
タをライト／リードするトランスデューサを有するヘッ
ドスライダと；前記ヘッドスライダをディスクのトラッ
クを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；前
記ヘッドスライダは、ディスク回転時の浮上力を発生す
るための平坦な空気ベアリング表面を有する、空気流入
端から空気流出端に渡りディスク対向面に形成されたイ
ンナーレールと；ディスク回転時の浮上力を発生するた
めの平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナー
レールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に
渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレール
と；前記インナーレールと前記アウターレールの間に画
成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生
させる溝とを具備し；前記ヘッドスライダはディスクの
最インナートラックでのヨー角が第１所定角度となるよ
うに前記アクチュエータに取り付けられており；前記イ
ンナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの
長手方向中心線は互いに平行であり、且つ前記スライダ
の長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスク
のインナー方向に近づくように前記第１所定角度より大
きい第２所定角度傾斜していることを特徴とするディス
ク装置が提供される。
であって、ハウジングと；該ハウジング内に回転可能に
取り付けられたディスクと；前記ディスクに対してデー
タをライト／リードするトランスデューサを有するヘッ
ドスライダと；前記ヘッドスライダをディスクのトラッ
クを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；前
記ヘッドスライダは、ディスク回転時の浮上力を発生す
るための平坦な空気ベアリング表面を有する、空気流入
端から空気流出端に渡りディスク対向面に形成されたイ
ンナーレールと；ディスク回転時の浮上力を発生するた
めの平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナー
レールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に
渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレール
と；前記インナーレールと前記アウターレールの間に画
成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生
させる溝とを具備し；前記ヘッドスライダはディスクの
最インナートラックでのヨー角が第１所定角度となるよ
うに前記アクチュエータに取り付けられており；前記イ
ンナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの
長手方向中心線は互いに平行であり、且つ前記スライダ
の長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスク
のインナー方向に近づくように前記第１所定角度より大
きい第２所定角度傾斜していることを特徴とするディス
ク装置が提供される。
【００２５】
【発明の実施の形態】図４を参照すると、本発明の磁気
ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が
示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とか
ら構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）
である。
ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が
示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とか
ら構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）
である。
【００２６】ベース１４上にはインナーハブモータによ
って回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けら
れている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示
しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ
１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数
枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハ
ブに取り付けられる。
って回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けら
れている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示
しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ
１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数
枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハ
ブに取り付けられる。
【００２７】符号２２はアクチュエータアームアセンブ
リ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアク
チュエータを示している。アクチュエータアームアセン
ブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回り
に回転可能に取り付けられている。
リ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアク
チュエータを示している。アクチュエータアームアセン
ブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回り
に回転可能に取り付けられている。
【００２８】アクチュエータアームアセンブリ２６は、
回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータア
ーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸
長したコイル支持部材３６を含んでいる。
回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータア
ーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸
長したコイル支持部材３６を含んでいる。
【００２９】各アクチュエータアーム３０の先端部に
は、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペ
ンション３４の基端部が固定されている。コイル支持部
材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２
８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３
８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成され
る。
は、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペ
ンション３４の基端部が固定されている。コイル支持部
材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２
８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３
８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成され
る。
【００３０】符号４２はヘッドスライダ３２に搭載され
た電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシ
ブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材
４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに
電気的に接続されている。
た電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシ
ブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材
４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに
電気的に接続されている。
【００３１】ベース１４上に環状パッキンアセンブリ４
６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟
んでカバー１６をベース１４にネジ締結することによ
り、ハウジング１２内が密封される。
６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟
んでカバー１６をベース１４にネジ締結することによ
り、ハウジング１２内が密封される。
【００３２】図５を参照して、ヘッドスライダ３２のヨ
ー角について説明する。上述したように、ヨー角φは磁
気ディスク２０の回転方向とヘッドスライダ３２の長手
方向中心線２５とがなす角度である。換言すれば、ヨー
角φは磁気ディスク２０の円形トラック２１の接線２３
とヘッドスライダ３２の長手方向中心線２５とがなす角
度である。
ー角について説明する。上述したように、ヨー角φは磁
気ディスク２０の回転方向とヘッドスライダ３２の長手
方向中心線２５とがなす角度である。換言すれば、ヨー
角φは磁気ディスク２０の円形トラック２１の接線２３
とヘッドスライダ３２の長手方向中心線２５とがなす角
度である。
【００３３】ヨー角φが磁気ディスク２０の最インナー
トラックと最アウタートラックの間で０°となるよう
に、サスペンション３４がアーム３０に取り付けられて
いる。最インナートラックでのヨー角は約１０°であ
る。
トラックと最アウタートラックの間で０°となるよう
に、サスペンション３４がアーム３０に取り付けられて
いる。最インナートラックでのヨー角は約１０°であ
る。
【００３４】図６は本発明第１実施形態の磁気ヘッドス
ライダ３２の平面図を示している。磁気ヘッドスライダ
３２は空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有して
おり、直方体形状をしている。磁気ヘッドスライダ３２
は図４に示したサスペンション３４により図６の左側方
向から支持される。
ライダ３２の平面図を示している。磁気ヘッドスライダ
３２は空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有して
おり、直方体形状をしている。磁気ヘッドスライダ３２
は図４に示したサスペンション３４により図６の左側方
向から支持される。
【００３５】磁気ヘッドスライダ３２のディスク対向面
にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を
有するインナーレール５０とアウターレール５２が互い
に離間して形成されている。
にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を
有するインナーレール５０とアウターレール５２が互い
に離間して形成されている。
【００３６】インナーレール５０は幅広の空気流入端部
５０ａと、同じく幅広の空気流出端部５０ｂと、幅の狭
い中間部分５０ｃを含んでいる。同様にアウターレール
５２は幅広の空気流入端部５２ａと、同じく幅広の空気
流出端部５２ｂと、幅の狭い中間部分５２ｃを含んでい
る。
５０ａと、同じく幅広の空気流出端部５０ｂと、幅の狭
い中間部分５０ｃを含んでいる。同様にアウターレール
５２は幅広の空気流入端部５２ａと、同じく幅広の空気
流出端部５２ｂと、幅の狭い中間部分５２ｃを含んでい
る。
【００３７】インナーレール５０の空気流入端部５０ａ
にはテーパ面５１が形成されており、アウターレール５
２の空気流入端部５２ａにもテーパ面５３が形成されて
いる。更に、アウターレール５２の空気流出端部５２ｂ
には電磁トランスデューサ５４が形成されている。
にはテーパ面５１が形成されており、アウターレール５
２の空気流入端部５２ａにもテーパ面５３が形成されて
いる。更に、アウターレール５２の空気流出端部５２ｂ
には電磁トランスデューサ５４が形成されている。
【００３８】インナーレール５０及びアウターレール５
２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形
成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変
動を抑えることができる。
２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形
成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変
動を抑えることができる。
【００３９】また、流入端にテーパ面５１，５３を形成
することによって、テーパ面５１，５３で発生する正圧
により各レール５０，５２の先端側面への汚れの付着を
防止する。
することによって、テーパ面５１，５３で発生する正圧
により各レール５０，５２の先端側面への汚れの付着を
防止する。
【００４０】磁気ヘッドスライダ３２の空気流入端部に
はセンターレール５６が形成されており、このセンター
レール５６とインナー及びアウターレール５０，５２の
間にはそれぞれスリット５８，６０が画成されている。
更に、インナーレール５０とアウターレール５２の間に
はスリット５８，６０に連続する負圧発生用の溝６２が
画成されている。尚、スリット５８，６０もインナーレ
ール、アウターレールと同様に傾斜付きで設けられ、空
気流入特性、浮上安定性の向上を図っている。
はセンターレール５６が形成されており、このセンター
レール５６とインナー及びアウターレール５０，５２の
間にはそれぞれスリット５８，６０が画成されている。
更に、インナーレール５０とアウターレール５２の間に
はスリット５８，６０に連続する負圧発生用の溝６２が
画成されている。尚、スリット５８，６０もインナーレ
ール、アウターレールと同様に傾斜付きで設けられ、空
気流入特性、浮上安定性の向上を図っている。
【００４１】インナーレール５０の長手方向（縦方向）
中心線６４とアウターレール５２の長手方向中心線６６
は互いに平行であり、スライダ３２の長手方向中心線６
８に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方
向に近づくように約１５°傾斜してインナーレール５０
及びアウターレール５２が形成されている。本実施形態
での磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３
２のヨー角は約１０°である。
中心線６４とアウターレール５２の長手方向中心線６６
は互いに平行であり、スライダ３２の長手方向中心線６
８に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方
向に近づくように約１５°傾斜してインナーレール５０
及びアウターレール５２が形成されている。本実施形態
での磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３
２のヨー角は約１０°である。
【００４２】スライダ３２はＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから形
成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデューサ
５４を形成した後ウエハをバー形状に切断する。次い
で、バー形状部材を加工してインナーレール５０、アウ
ターレール５２、センターレール５６を形成した後、個
々のスライダ３２に切断する。
成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデューサ
５４を形成した後ウエハをバー形状に切断する。次い
で、バー形状部材を加工してインナーレール５０、アウ
ターレール５２、センターレール５６を形成した後、個
々のスライダ３２に切断する。
【００４３】スライダサイズは、例えば１．２５ｍｍ×
１．０ｍｍ×０．４ｍｍである。インナーレール５０及
びアウターレール５２の幅は中間部分５０ｃ，５２ｃで
１００μｍ以下となるため、インナーレール５０、アウ
ターレール５２及びセンターレール５６はフォトリソグ
ラフィ技術により形成する。
１．０ｍｍ×０．４ｍｍである。インナーレール５０及
びアウターレール５２の幅は中間部分５０ｃ，５２ｃで
１００μｍ以下となるため、インナーレール５０、アウ
ターレール５２及びセンターレール５６はフォトリソグ
ラフィ技術により形成する。
【００４４】即ち、形成すべき所望のレールパターンに
レジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを
削り取ってスリット５８，６０と、溝６２を形成する。
テーパ面５１，５３はインナーレール５０及びアウター
レール５２を形成する前、或いは後に機械加工によって
形成する。
レジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを
削り取ってスリット５８，６０と、溝６２を形成する。
テーパ面５１，５３はインナーレール５０及びアウター
レール５２を形成する前、或いは後に機械加工によって
形成する。
【００４５】テーパの角度は０．５°〜４．０°、テー
パの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望まし
い。インナーレール５０及びアウターレール５２のレー
ル面（空気ベアリング表面）で正圧が発生し、溝６２部
分で負圧吸引力が発生する。即ち、スリット５８，６０
部分で一旦圧縮された空気が溝６２部分で膨張すること
により負圧が発生する。
パの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望まし
い。インナーレール５０及びアウターレール５２のレー
ル面（空気ベアリング表面）で正圧が発生し、溝６２部
分で負圧吸引力が発生する。即ち、スリット５８，６０
部分で一旦圧縮された空気が溝６２部分で膨張すること
により負圧が発生する。
【００４６】図７を参照すると、レールの傾き量に応じ
たスライダのヨー角とスライダ浮上高さの関係が示され
ている。曲線Ａは従来のスライダを示しており、曲線Ｂ
はインナーレール及びアウターレールをスライダの長手
方向中心線に対して約５°傾けた場合を、曲線Ｃは約１
０°傾けた場合をそれぞれ示している。
たスライダのヨー角とスライダ浮上高さの関係が示され
ている。曲線Ａは従来のスライダを示しており、曲線Ｂ
はインナーレール及びアウターレールをスライダの長手
方向中心線に対して約５°傾けた場合を、曲線Ｃは約１
０°傾けた場合をそれぞれ示している。
【００４７】曲線Ａで示す従来のスライダでは、スライ
ダのヨー角が０°のときにスライダの浮上高さは最大と
なる。一方、曲線Ｂ及びＣで示す本発明のスライダで
は、インナーレール及びアウターレールをスライダ長手
方向中心線に対して傾けた角度が増加すると、スライダ
浮上高さが最大となるヨー角がディスクのインナー方向
にシフトする。
ダのヨー角が０°のときにスライダの浮上高さは最大と
なる。一方、曲線Ｂ及びＣで示す本発明のスライダで
は、インナーレール及びアウターレールをスライダ長手
方向中心線に対して傾けた角度が増加すると、スライダ
浮上高さが最大となるヨー角がディスクのインナー方向
にシフトする。
【００４８】よって、ディスクの周速が最インナートラ
ックから最アウタートラックに渡り一定であると仮定し
た場合に、ディスクの最インナートラックから最アウタ
ートラックにかけて、スライダ浮上高さが低下するよう
にインナーレール５０及びアウターレール５２を傾けて
配置すると、スライダ浮上高さの周速依存性を打ち消し
て、ディスクの半径方向の位置に係わらずスライダ浮上
高さが一定となる。
ックから最アウタートラックに渡り一定であると仮定し
た場合に、ディスクの最インナートラックから最アウタ
ートラックにかけて、スライダ浮上高さが低下するよう
にインナーレール５０及びアウターレール５２を傾けて
配置すると、スライダ浮上高さの周速依存性を打ち消し
て、ディスクの半径方向の位置に係わらずスライダ浮上
高さが一定となる。
【００４９】図８は本発明第１実施形態のスライダのデ
ィスクの中心からの半径方向距離とスライダ浮上高さの
関係を示している。この図から明らかなように、ディス
クの半径方向位置によらずスライダの浮上高さはほぼ一
定で、図２に示した従来のスライダに比較して半径方向
中間部分での浮上高さの増加量が小さくなっている。
ィスクの中心からの半径方向距離とスライダ浮上高さの
関係を示している。この図から明らかなように、ディス
クの半径方向位置によらずスライダの浮上高さはほぼ一
定で、図２に示した従来のスライダに比較して半径方向
中間部分での浮上高さの増加量が小さくなっている。
【００５０】図９（Ａ）は第１実施形態のスライダのヨ
ー角をディスクの最インナートラックから最アウタート
ラックに渡り一定とした場合の、ディスク半径方向位置
とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９
（Ａ）は第１実施形態のスライダの浮上高さの周速依存
特性を示している。
ー角をディスクの最インナートラックから最アウタート
ラックに渡り一定とした場合の、ディスク半径方向位置
とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９
（Ａ）は第１実施形態のスライダの浮上高さの周速依存
特性を示している。
【００５１】図９（Ｂ）は第１実施形態のスライダのデ
ィスクの最インナートラックから最アウタートラックに
渡り周速が一定と仮定した場合の、ディスク半径方向位
置とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９
（Ｂ）は第１実施形態のスライダの浮上高さのヨー角依
存特性を示している。
ィスクの最インナートラックから最アウタートラックに
渡り周速が一定と仮定した場合の、ディスク半径方向位
置とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９
（Ｂ）は第１実施形態のスライダの浮上高さのヨー角依
存特性を示している。
【００５２】図９（Ａ）に示す周速依存特性と図９
（Ｂ）に示すヨー角依存特性を組み合わせたものが、図
８に示す第１実施形態のスライダ浮上特性である。ディ
スクの最インナートラックから最アウタートラックに渡
り概略一定のスライダ浮上高さを得るためには、インナ
ーレール及びアウターレールの傾き角度は約１０°〜約
２０°の範囲内が望ましく、更に望ましくは約１５°程
度である。各レールの傾き角度は、最インナートラック
におけるスライダのヨー角以上であるのが望ましい。
（Ｂ）に示すヨー角依存特性を組み合わせたものが、図
８に示す第１実施形態のスライダ浮上特性である。ディ
スクの最インナートラックから最アウタートラックに渡
り概略一定のスライダ浮上高さを得るためには、インナ
ーレール及びアウターレールの傾き角度は約１０°〜約
２０°の範囲内が望ましく、更に望ましくは約１５°程
度である。各レールの傾き角度は、最インナートラック
におけるスライダのヨー角以上であるのが望ましい。
【００５３】図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）を参照する
と、磁気ディスクの最インナートラックでのスライダの
ヨー角が１０°の場合の、インナーレール５０及びアウ
ターレール５２の傾斜角度とスライダ浮上高さの関係が
示されている。
と、磁気ディスクの最インナートラックでのスライダの
ヨー角が１０°の場合の、インナーレール５０及びアウ
ターレール５２の傾斜角度とスライダ浮上高さの関係が
示されている。
【００５４】図１０（Ａ）はインナー及びアウターレー
ル５０，５２の傾斜角度が０°の場合を示しており、図
２に示した従来の関係に一致する。図１０（Ｂ）はイン
ナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が５°の
場合を、図１０（Ｃ）は１０°の場合を、図１０（Ｄ）
は１５°の場合をそれぞれ示している。
ル５０，５２の傾斜角度が０°の場合を示しており、図
２に示した従来の関係に一致する。図１０（Ｂ）はイン
ナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が５°の
場合を、図１０（Ｃ）は１０°の場合を、図１０（Ｄ）
は１５°の場合をそれぞれ示している。
【００５５】図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）を観察すると
明らかなように、インナー及びアウターレール５０，５
２の傾斜角度が増加するにつれて、スライダ浮上高さの
ピークが低くなっている。
明らかなように、インナー及びアウターレール５０，５
２の傾斜角度が増加するにつれて、スライダ浮上高さの
ピークが低くなっている。
【００５６】図１０（Ｄ）に示すように、ディスクの最
インナートラックでのスライダのヨー角１０°を越えて
インナー及びアウターレール５０，５２を１５°傾斜さ
せた場合には、ディスクの半径方向の位置に係わらずス
ライダ浮上高さが概略一定となる。
インナートラックでのスライダのヨー角１０°を越えて
インナー及びアウターレール５０，５２を１５°傾斜さ
せた場合には、ディスクの半径方向の位置に係わらずス
ライダ浮上高さが概略一定となる。
【００５７】上述した第１実施形態の磁気ヘッドスライ
ダ３２では、スライダの長手方向全長に渡りインナーレ
ール５０及びアウターレール５２をスライダの長手方向
中心線６８に対して傾けているため、従来の幅ではイン
ナーレール５０及びアウターレール５２の一部がスライ
ダからはみ出してしまう。
ダ３２では、スライダの長手方向全長に渡りインナーレ
ール５０及びアウターレール５２をスライダの長手方向
中心線６８に対して傾けているため、従来の幅ではイン
ナーレール５０及びアウターレール５２の一部がスライ
ダからはみ出してしまう。
【００５８】このため、スライダの幅を広くしなければ
ならず、スライダの重量が増加し、量産性が悪化すると
いう問題があった。この問題を解決した本発明第２実施
形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａを図１１を参照して説
明する。
ならず、スライダの重量が増加し、量産性が悪化すると
いう問題があった。この問題を解決した本発明第２実施
形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａを図１１を参照して説
明する。
【００５９】磁気ヘッドスライダ３２Ａは空気流入端３
２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、概略直方体形
状をしている。磁気ヘッドスライダ３２Ａのディスク対
向面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表
面）を有するインナーレール７０とアウターレール７２
が互いに離間して形成されている。
２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、概略直方体形
状をしている。磁気ヘッドスライダ３２Ａのディスク対
向面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表
面）を有するインナーレール７０とアウターレール７２
が互いに離間して形成されている。
【００６０】インナーレール７０は幅広の空気流入端部
７０ａと、同じく幅広の空気流出端部７０ｂと、空気流
入端部７０ａと空気流出端部７０ｂを接続する幅の狭い
中間部分７０ｃを含んでいる。
７０ａと、同じく幅広の空気流出端部７０ｂと、空気流
入端部７０ａと空気流出端部７０ｂを接続する幅の狭い
中間部分７０ｃを含んでいる。
【００６１】同様に、アウターレール７２は幅広の空気
流入端部７２ａと、同じく幅広の空気流出端部７２ｂ
と、空気流入端部７２ａと空気流出端部７２ｂを接続す
る幅の狭い中間部分７２ｃを含んでいる。
流入端部７２ａと、同じく幅広の空気流出端部７２ｂ
と、空気流入端部７２ａと空気流出端部７２ｂを接続す
る幅の狭い中間部分７２ｃを含んでいる。
【００６２】インナーレール７０及びアウターレール７
２の空気流入端部７０ａ，７２ａにはそれぞれテーパ面
７１，７３が形成されている。インナーレール７０及び
アウターレール７２の間の空気流入端部にはセンターレ
ール７６が形成されており、このセンターレール７６と
インナーレール７０及びアウターレール７２の空気流入
端部７０ａ，７２ａの間にはそれぞれスリット７８，８
０が画成されている。
２の空気流入端部７０ａ，７２ａにはそれぞれテーパ面
７１，７３が形成されている。インナーレール７０及び
アウターレール７２の間の空気流入端部にはセンターレ
ール７６が形成されており、このセンターレール７６と
インナーレール７０及びアウターレール７２の空気流入
端部７０ａ，７２ａの間にはそれぞれスリット７８，８
０が画成されている。
【００６３】ここでは、スリット７８，８０はスライダ
中心線と平行に形成され、空気流入特性、浮上安定性の
向上を図っている。また、インナーレール、アウターレ
ール及びセンターレールの全体バランスを考慮すること
により、図６のようにスリット７８，８０が傾斜を有す
るものにすることもできる。
中心線と平行に形成され、空気流入特性、浮上安定性の
向上を図っている。また、インナーレール、アウターレ
ール及びセンターレールの全体バランスを考慮すること
により、図６のようにスリット７８，８０が傾斜を有す
るものにすることもできる。
【００６４】更に、インナーレール７０及びアウターレ
ール７２の間にはスリット７８，８０に連続する負圧発
生用の溝８２が画成されている。アウターレール７２の
空気流出端部７２ｂには電磁トランスデューサ７４が形
成されている。
ール７２の間にはスリット７８，８０に連続する負圧発
生用の溝８２が画成されている。アウターレール７２の
空気流出端部７２ｂには電磁トランスデューサ７４が形
成されている。
【００６５】本実施形態のスライダ３２Ａは図６に示し
た第１実施形態のスライダ３２と同様にＡｌ2 Ｏ3 −Ｔ
ｉＣから形成されている。スライダ製造プロセスは第１
実施形態のスライダ３２の製造プロセスと同様であるの
で省略する。
た第１実施形態のスライダ３２と同様にＡｌ2 Ｏ3 −Ｔ
ｉＣから形成されている。スライダ製造プロセスは第１
実施形態のスライダ３２の製造プロセスと同様であるの
で省略する。
【００６６】本実施形態のスライダ３２Ａでは、インナ
ーレール７０の中間部分７０ｃとアウターレール７２の
中間部分７２ｃのみがスライダ３２Ａの長手方向中心線
８８に対して所定角度傾いて形成されている。
ーレール７０の中間部分７０ｃとアウターレール７２の
中間部分７２ｃのみがスライダ３２Ａの長手方向中心線
８８に対して所定角度傾いて形成されている。
【００６７】即ち、インナーレール７０の中間部分７０
ｃとアウターレール７２の中間部分７２ｃは互いに平行
に形成されており、その長手方向中心線８４，８６が磁
気ヘッドスライダ３２Ａの長手方向中心線８８に対して
空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づく
ように約１５°傾斜して形成されている。
ｃとアウターレール７２の中間部分７２ｃは互いに平行
に形成されており、その長手方向中心線８４，８６が磁
気ヘッドスライダ３２Ａの長手方向中心線８８に対して
空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づく
ように約１５°傾斜して形成されている。
【００６８】このようにインナーレール７０及びアウタ
ーレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダ
の長手方向中心線８８に対して傾けた場合にも、図６に
示した第１実施形態のスライダ３２と同様な効果を上げ
ることができる。
ーレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダ
の長手方向中心線８８に対して傾けた場合にも、図６に
示した第１実施形態のスライダ３２と同様な効果を上げ
ることができる。
【００６９】これは、インナーレール７０及びアウター
レール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃで発生する正圧が
他の部分で発生する正圧に比較して相対的に大きいから
である。
レール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃで発生する正圧が
他の部分で発生する正圧に比較して相対的に大きいから
である。
【００７０】中間部分７０ｃ，７２ｃの傾斜角度は約１
０°〜約２０°の範囲内が望ましく、より望ましくは約
１５°程度である。スライダ３２Ａの磁気ディスクの最
インナートラックでのヨー角は約１０°である。
０°〜約２０°の範囲内が望ましく、より望ましくは約
１５°程度である。スライダ３２Ａの磁気ディスクの最
インナートラックでのヨー角は約１０°である。
【００７１】インナー及びアウターレール７０，７２の
中間部分７０ｃ，７２ｃの傾斜角度は、磁気ディスクの
最インナートラックでのスライダのヨー角以上であるの
が望ましい。
中間部分７０ｃ，７２ｃの傾斜角度は、磁気ディスクの
最インナートラックでのスライダのヨー角以上であるの
が望ましい。
【００７２】このように第２実施形態の磁気ヘッドスラ
イダ３２Ａでは、インナーレール７０及びアウターレー
ル７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダの長手
方向中心線８８に対して所定角度傾けて形成したので、
スライダの幅を従来のスライダの幅と同様に保ったま
ま、ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高
さを概略一定に保つことができる。
イダ３２Ａでは、インナーレール７０及びアウターレー
ル７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダの長手
方向中心線８８に対して所定角度傾けて形成したので、
スライダの幅を従来のスライダの幅と同様に保ったま
ま、ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高
さを概略一定に保つことができる。
【００７３】図１２に第２実施形態のスライダ３２Ａの
ディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示
す。図１２から明らかな通り、ディスクの最インナート
ラックから最アウタートラックに渡りスライダ３２Ａの
浮上高さが概略一定に保たれている。
ディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示
す。図１２から明らかな通り、ディスクの最インナート
ラックから最アウタートラックに渡りスライダ３２Ａの
浮上高さが概略一定に保たれている。
【００７４】図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダ３
２Ａの浮上高さの周速依存特性を示している。即ち、図
１３（Ａ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのヨー角を
ディスクの最インナートラックから最アウタートラック
に渡り一定とした場合の、ディスクの半径方向位置とス
ライダ浮上高さの関係を示している。
２Ａの浮上高さの周速依存特性を示している。即ち、図
１３（Ａ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのヨー角を
ディスクの最インナートラックから最アウタートラック
に渡り一定とした場合の、ディスクの半径方向位置とス
ライダ浮上高さの関係を示している。
【００７５】図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダ３
２Ａの浮上高さのヨー角依存特性を示している。即ち、
図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのディス
クの最インナートラックから最アウタートラックに渡り
その周速が一定と仮定した場合の、ディスクの半径方向
位置とスライダ浮上高さの関係を示している。
２Ａの浮上高さのヨー角依存特性を示している。即ち、
図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのディス
クの最インナートラックから最アウタートラックに渡り
その周速が一定と仮定した場合の、ディスクの半径方向
位置とスライダ浮上高さの関係を示している。
【００７６】図１３（Ａ）の周速依存特性と図１３
（Ｂ）のヨー角依存特性を組み合わせたものが、図１２
に示すスライダ３２Ａの浮上特性である。図１４は本発
明第３実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｂの平面図を
示している。磁気ヘッドスライダ３２Ｂは空気流入端３
２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、直方体形状を
している。
（Ｂ）のヨー角依存特性を組み合わせたものが、図１２
に示すスライダ３２Ａの浮上特性である。図１４は本発
明第３実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｂの平面図を
示している。磁気ヘッドスライダ３２Ｂは空気流入端３
２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、直方体形状を
している。
【００７７】磁気ヘッドスライダ３２Ｂのディスク対向
面にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）
を有するインナーレール９０とアウターレール９２が互
いに離間して形成されている。
面にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）
を有するインナーレール９０とアウターレール９２が互
いに離間して形成されている。
【００７８】インナーレール９０は幅広の空気流入端部
９０ａと、同じく幅広の空気流出端部９０ｂと、幅の狭
い中間部分９０ｃを含んでいる。同様に、アウターレー
ル９２は幅広の空気流入端部９２ａと、同じく幅広の空
気流出端部９２ｂと、幅の狭い中間部分９２ｃを含んで
いる。
９０ａと、同じく幅広の空気流出端部９０ｂと、幅の狭
い中間部分９０ｃを含んでいる。同様に、アウターレー
ル９２は幅広の空気流入端部９２ａと、同じく幅広の空
気流出端部９２ｂと、幅の狭い中間部分９２ｃを含んで
いる。
【００７９】インナーレール９０の空気流入端部９０ａ
にはテーパ面９１が形成されており、アウターレール９
２の空気流入端部９２ａにもテーパ面９３が形成されて
いる。更に、アウターレール９２の空気流出端部９２ｂ
には電磁トランスデューサ９４が形成されている。
にはテーパ面９１が形成されており、アウターレール９
２の空気流入端部９２ａにもテーパ面９３が形成されて
いる。更に、アウターレール９２の空気流出端部９２ｂ
には電磁トランスデューサ９４が形成されている。
【００８０】インナーレール９０及びアウターレール９
２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形
成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変
動を抑えることができる。
２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形
成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変
動を抑えることができる。
【００８１】また、流入端にテーパ面９１，９３を形成
することによって、テーパ面９１，９３で発生する正圧
により各レール９０，９２の先端側面への汚れの付着を
防止できる。
することによって、テーパ面９１，９３で発生する正圧
により各レール９０，９２の先端側面への汚れの付着を
防止できる。
【００８２】インナーレール９０の空気流入端部９０ａ
とアウターレール９２の空気流入端部９２ａの間には、
スリット９６が画成されている。更に、インナーレール
９０とアウターレール９２の間にはスリット９６に連続
する負圧発生用の溝９８が画成されている。
とアウターレール９２の空気流入端部９２ａの間には、
スリット９６が画成されている。更に、インナーレール
９０とアウターレール９２の間にはスリット９６に連続
する負圧発生用の溝９８が画成されている。
【００８３】インナーレール９０の長手方向中心線１０
０とアウターレール９２の長手方向中心線１０２は互い
に平行であり、スライダ３２Ｂの長手方向中心線１０４
に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向
に近づくように約１３°傾斜してインナーレール９０及
びアウターレール９２が形成されている。本実施形態で
の磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２
Ｂのヨー角は約８°である。
０とアウターレール９２の長手方向中心線１０２は互い
に平行であり、スライダ３２Ｂの長手方向中心線１０４
に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向
に近づくように約１３°傾斜してインナーレール９０及
びアウターレール９２が形成されている。本実施形態で
の磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２
Ｂのヨー角は約８°である。
【００８４】本実施形態のようにセンターレールを有し
ない負圧スライダ３２Ｂの場合にも、インナーレール９
０及びアウターレール９２を所定角度以上、望ましくは
磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー
角以上に傾けることにより、ディスクの半径方向位置に
係わらずスライダ浮上高さを概略一定にすることができ
る。
ない負圧スライダ３２Ｂの場合にも、インナーレール９
０及びアウターレール９２を所定角度以上、望ましくは
磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー
角以上に傾けることにより、ディスクの半径方向位置に
係わらずスライダ浮上高さを概略一定にすることができ
る。
【００８５】図１５は本発明第４実施形態の磁気ヘッド
スライダ３２Ｃの平面図を示している。磁気ヘッドスラ
イダ３２Ｃは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを
有しており、概略直方体形状をしている。
スライダ３２Ｃの平面図を示している。磁気ヘッドスラ
イダ３２Ｃは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを
有しており、概略直方体形状をしている。
【００８６】磁気ヘッドスライダ３２Ｃのディスク対向
面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表
面）を有するインナーレール１１０と、アウターレール
１１２が互いに離間して形成されている。
面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表
面）を有するインナーレール１１０と、アウターレール
１１２が互いに離間して形成されている。
【００８７】インナーレール１１０は幅広の空気流入端
部１１０ａと、同じく幅広の空気流出端部１１０ｂと、
空気流入端部１１０ａと空気流出端部１１０ｂを接続す
る幅の狭い中間部分１１０ｃを含んでいる。
部１１０ａと、同じく幅広の空気流出端部１１０ｂと、
空気流入端部１１０ａと空気流出端部１１０ｂを接続す
る幅の狭い中間部分１１０ｃを含んでいる。
【００８８】同様に、アウターレール１１２は幅広の空
気流入端部１１２ａと、同じく幅広の空気流出端部１１
２ｂと、空気流入端部１１２ａと空気流出端部１１２ｂ
を接続する幅の狭い中間部分１１２ｃを含んでいる。
気流入端部１１２ａと、同じく幅広の空気流出端部１１
２ｂと、空気流入端部１１２ａと空気流出端部１１２ｂ
を接続する幅の狭い中間部分１１２ｃを含んでいる。
【００８９】インナーレール１１０及びアウターレール
１１２の空気流入端部１１０ａ，１１２ａにはそれぞれ
テーパ面１１１，１１３が形成されている。インナーレ
ール１１０の空気流入端部１１０ａとアウターレール１
１２の空気流入端部１１２ａの間には、スリット１１６
が画成されている。
１１２の空気流入端部１１０ａ，１１２ａにはそれぞれ
テーパ面１１１，１１３が形成されている。インナーレ
ール１１０の空気流入端部１１０ａとアウターレール１
１２の空気流入端部１１２ａの間には、スリット１１６
が画成されている。
【００９０】更に、インナーレール１１０とアウターレ
ール１１２の間にはスリット１１６に連続する負圧発生
用の溝１１８が画成されている。アウターレール１１２
の空気流出端部１１２ｂには電磁トランスデューサ１１
４が形成されている。
ール１１２の間にはスリット１１６に連続する負圧発生
用の溝１１８が画成されている。アウターレール１１２
の空気流出端部１１２ｂには電磁トランスデューサ１１
４が形成されている。
【００９１】本実施形態のスライダ３２Ｃは、図１１に
示した第２実施形態と同様に、インナーレール１１０の
中間部分１１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１
１２ｃのみがスライダ３２Ｃの長手方向方向中心線１２
４に対して所定角度傾いて形成されている。
示した第２実施形態と同様に、インナーレール１１０の
中間部分１１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１
１２ｃのみがスライダ３２Ｃの長手方向方向中心線１２
４に対して所定角度傾いて形成されている。
【００９２】即ち、インナーレール１１０の中間部分１
１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１１２ｃは互
いに平行に形成されおり、その長手方向中心線１２０，
１２２が磁気ヘッドスライダ３２Ｃの長手方向中心線１
２４に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー
方向に近づくように約１６°傾斜して形成されている。
１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１１２ｃは互
いに平行に形成されおり、その長手方向中心線１２０，
１２２が磁気ヘッドスライダ３２Ｃの長手方向中心線１
２４に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー
方向に近づくように約１６°傾斜して形成されている。
【００９３】本実施形態の負圧スライダ３２Ｃのよう
に、センターレールを有しない場合にも、図１１に示し
た第２実施形態と同様な効果を上げることができる。ス
ライダ３２Ｃの磁気ディスクの最インナートラックでの
ヨー角は約１２°である。インナー及びアウターレール
１１０，１１２の中間部分１１０ｃ，１１２ｃの傾斜角
度は磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３
２Ｃのヨー角以上であるのが望ましい。
に、センターレールを有しない場合にも、図１１に示し
た第２実施形態と同様な効果を上げることができる。ス
ライダ３２Ｃの磁気ディスクの最インナートラックでの
ヨー角は約１２°である。インナー及びアウターレール
１１０，１１２の中間部分１１０ｃ，１１２ｃの傾斜角
度は磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３
２Ｃのヨー角以上であるのが望ましい。
【００９４】本発明は上述した実施形態に限定されるも
のではない。例えば、インナーレール及びアウターレー
ルの一方のみを磁気ディスクのインナー側に所定角度傾
けた場合にも、本発明の範囲内である。
のではない。例えば、インナーレール及びアウターレー
ルの一方のみを磁気ディスクのインナー側に所定角度傾
けた場合にも、本発明の範囲内である。
【００９５】更に、一方のレールの中央部分のみをディ
スクのインナー方向に傾けた場合にも、同様の効果を上
げることができる。これらの場合にはスライダのバラン
ス確保に細心の注意を払う必要があり、例えば、インナ
ーレール及びアウターレールのレール幅を変える必要が
ある。
スクのインナー方向に傾けた場合にも、同様の効果を上
げることができる。これらの場合にはスライダのバラン
ス確保に細心の注意を払う必要があり、例えば、インナ
ーレール及びアウターレールのレール幅を変える必要が
ある。
【００９６】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッドスライダは以上詳述
したように構成したので、ディスクの半径方向位置によ
らず浮上高さが概略一定の磁気ヘッドスライダが得ら
れ、ディスクの半径方向中間付近での記録再生特性の劣
化を防止することができる。
したように構成したので、ディスクの半径方向位置によ
らず浮上高さが概略一定の磁気ヘッドスライダが得ら
れ、ディスクの半径方向中間付近での記録再生特性の劣
化を防止することができる。
【図１】図１（Ａ）は従来の磁気ヘッドスライダの平面
図であり、図１（Ｂ）はその斜視図をそれぞれ示してい
る。
図であり、図１（Ｂ）はその斜視図をそれぞれ示してい
る。
【図２】従来のスライダのディスクの半径方向位置とス
ライダ浮上高さの関係を示す図である。
ライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図３】図３（Ａ）は従来のスライダの周速依存特性を
示す図であり、図３（Ｂ）は従来のスライダのヨー角依
存特性を示す図である。
示す図であり、図３（Ｂ）は従来のスライダのヨー角依
存特性を示す図である。
【図４】本発明の磁気ヘッドスライダを採用した磁気デ
ィスク装置の斜視図である。
ィスク装置の斜視図である。
【図５】スライダのヨー角を説明する概略図である。
【図６】本発明第１実施形態のスライダの平面図であ
る。
る。
【図７】レールの傾き量に応じたスライダのヨー角と浮
上高さの関係を示す図である。
上高さの関係を示す図である。
【図８】第１実施形態のスライダのディスクの半径方向
位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図９】図９（Ａ）は第１実施形態のスライダの周速依
存特性を示す図であり、図９（Ｂ）は第１実施形態のス
ライダのヨー角依存特性を示す図である。
存特性を示す図であり、図９（Ｂ）は第１実施形態のス
ライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図１０】図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）はレールの傾斜
角度とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
角度とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図１１】本発明第２実施形態のスライダの平面図であ
る。
る。
【図１２】第２実施形態のスライダのディスクの半径方
向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図１３】図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダの周
速依存特性を示す図であり、図１３（Ｂ）は第２実施形
態のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
速依存特性を示す図であり、図１３（Ｂ）は第２実施形
態のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図１４】本発明第３実施形態のスライダの平面図であ
る。
る。
【図１５】本発明第４実施形態のスライダの平面図であ
る。
る。
３２，３２Ａ 磁気ヘッドスライダ ５０，７０ インナーレール ５２，７２ アウターレール ５６，７６ センターレール ５４，７４ 電磁トランスデューサ ６２，８２ 溝
Claims (10)
- 【請求項１】 空気流入端と、空気流出端と、ディスク
に対向するディスク対向面とを有するヘッドスライダで
あって、 ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する、前記空気流入端から前記空気流
出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたインナーレ
ールと；ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦
な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと
離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記
ディスク対向面に形成されたアウターレールと；前記イ
ンナーレールと前記アウターレールの間に画成された、
一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と
を具備し；前記インナーレールの長手方向中心線と前記
アウターレールの長手方向中心線は、前記スライダの長
手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのイ
ンナー方向に近づくように所定の角度傾斜していること
を特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記インナーレールと前記アウターレー
ルの間の前記空気流入端の近傍に形成されたセンターレ
ールを更に具備し；前記センターレールの長手方向中心
線が前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気
流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記
所定角度傾斜している請求項１記載のヘッドスライダ。 - 【請求項３】 前記インナーレール及び前記アウターレ
ールは、それぞれその中間部分の幅が空気流入端及び空
気流出端の幅よりも狭く形成されている請求項１記載の
ヘッドスライダ。 - 【請求項４】 空気流入端と、空気流出端と、ディスク
に対向するディスク対向面とを有するヘッドスライダで
あって、 ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する、前記空気流入端から前記空気流
出端に渡り前記ディスク対向面に形成された、空気流入
端側部分と、空気流出端側部分と、前記空気流入端側部
分と前記空気流出端側部分の間の中間部分とを含んだイ
ンナーレールと；ディスク回転時の浮上力を発生するた
めの平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナー
レールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に
渡り前記ディスク対向面に形成された、空気流入端側部
分と、空気流出端側部分と、前記空気流入端側部分と前
記空気流出端側部分の間の中間部分とを含んだアウター
レールと；前記インナーレールと前記アウターレールの
間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧
を発生させる溝とを具備し；前記インナーレールの中間
部分と前記アウターレールの中間部分は、前記スライダ
の長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスク
のインナー方向に近づくように所定角度傾斜しているこ
とを特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項５】 前記インナーレールと前記アウターレー
ルの間の前記空気流入端の近傍に形成されたセンターレ
ールを更に具備した請求項３記載のヘッドスライダ。 - 【請求項６】 前記インナーレール及び前記アウターレ
ールは、それぞれ前記中間部分の幅が前記空気流入端側
部分及び前記空気流出端側部分の幅よりも狭く形成され
ている請求項４記載のヘッドスライダ。 - 【請求項７】 空気流入端と、空気流出端と、ディスク
に対向するディスク対向面とを有するヘッドスライダで
あって、 それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦
な空気ベアリング表面を有する、前記空気流入端から前
記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成された、
空気流入端側部分と、空気流出端側部分と、前記空気流
入端側部分と前記空気流出端側部分の間の中間部分とを
含んだ一対のレールと；前記一対のレールの間に画成さ
れた、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させ
る溝とを具備し；前記一対のレールのうち何れか一方の
レールの少なくとも中間部分が、前記スライダの長手方
向手中心線に対して前記空気流入端側がディスクのイン
ナー方向に近づくように所定角度傾斜していることを特
徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項８】 ディスク装置であって、ハウジングと；
該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスク
と；前記ディスクに対してデータをライト／リードする
トランスデューサを有するヘッドスライダと；前記ヘッ
ドスライダをディスクのトラックを横切って移動させる
アクチュエータとを具備し；前記ヘッドスライダは、 ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する、空気流入端から空気流出端に渡
りディスク対向面に形成されたインナーレールと；ディ
スク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリ
ング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記
空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向
面に形成されたアウターレールと；前記インナーレール
と前記アウターレールの間に画成された、一旦圧縮され
た空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；前
記ヘッドスライダはディスクの最インナートラックでの
ヨー角が第１所定角度となるように前記アクチュエータ
に取り付けられており；前記インナーレールの長手方向
中心線と前記アウターレールの長手方向中心線は、前記
スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側が
ディスクのインナー方向に近づくように前記第１所定角
度より大きい第２所定角度傾斜していることを特徴とす
るディスク装置。 - 【請求項９】 前記スライダは前記インナーレールと前
記アウターレールの間の前記空気流入端の近傍に形成さ
れたセンターレールを更に具備し；前記センターレール
の長手方向中心線が前記スライダの長手方向中心線に対
して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近
づくように前記第２所定角度傾斜している請求項６記載
のディスク装置。 - 【請求項１０】 ディスク装置であって、 ハウジングと；該ハウジング内に回転可能に取り付けら
れたディスクと；前記ディスクに対してデータをライト
／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダ
と；前記スライダをディスクのトラックを横切って移動
させるアクチュエータとを具備し；前記ヘッドスライダ
は、 ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する、空気流入端から空気流出端に渡
りディスク対向面に形成された、空気流入端側部分と、
空気流出端側部分と、前記空気流入端側部分と前記空気
流出端側部分の間の中間部分とを含んだインナーレール
と；ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間
して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディ
スク対向面に形成された、空気流入端側部分と、空気流
出端側部分と、前記空気流入端側部分と前記空気流出端
側部分の間の中間部分とを含んだアウターレールと；前
記インナーレールと前記アウターレールの間に画成され
た、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる
溝とを具備し；前記ヘッドスライダはディスクの最イン
ナートラックでのヨー角が第１所定角度となるように前
記アクチュエータに取り付けられており；前記インナー
レールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、
前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端
側がディスクのインナー方向に近づくように前記第１所
定角度より大きい第２所定角度傾斜していることを特徴
とするディスク装置。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16971197A JP3923140B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | ヘッドスライダ及びディスク装置 |
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Family
ID=15891458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16971197A Expired - Fee Related JP3923140B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | ヘッドスライダ及びディスク装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JPH06203515A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-07-22 | Read Rite Corp | 磁気ヘッドスライダ |
| JPH06223525A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-12 | Sony Corp | 浮上型磁気ヘッド装置 |
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| JPH07111054A (ja) * | 1993-10-14 | 1995-04-25 | Alps Electric Co Ltd | 浮上式磁気ヘッド |
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- 1997-06-26 JP JP16971197A patent/JP3923140B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-11 US US08/988,733 patent/US6128162A/en not_active Expired - Fee Related
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