JPH08321026A - 浮上型磁気ヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 浮上型磁気ヘッドが磁気記録媒体から浮上し
た場合に、磁気ヘッドの電磁変換素子の部分の浮上量が
微小であって、その浮上量が磁気記録媒体との相対速度
の変化に対して、安定となるようにした。 【構成】 浮上型磁気ヘッドのスライダに設けられてい
る２本の浮上レール２は、磁気記録媒体に対する進行方
向の後部が切断されてその前方のみに存在する。また一
方の浮上レール２の後方に、浮上レールより巾が狭くて
電磁変換素子のトラック巾より広く、かつ浮上レールと
ほぼ同一高さの補助レール８が設けられ、補助レール８
の後ろ側に電磁変換素子３が配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主としてコンピュータ
のハードディスクドライブに用いられる浮上型磁気ヘッ
ドに関し、特に磁気ヘッドの電磁変換素子の部分を磁気
記録媒体に対して微小間隔で浮上させて、記録再生の作
用を行なえるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】ソフトウエアの大型化、ＣＰＵの処理速
度の高速化に伴い、磁気ヘッドは小型で高記録密度化に
対応できることが要求されている。これら要求に対応で
きるものとして浮上型磁気ヘッドが知られている。それ
は、電磁変換素子をスライダに搭載し、スライダの浮上
レールが磁気記録媒体に対する相対移動により空気抵抗
を受けて、スライダを磁気記録媒体から微小間隔で浮上
させ、電磁変換素子と磁気記録媒体との間で磁気的な記
録再生作用をできるようにしている。

【０００３】浮上型磁気ヘッドを、高記録密度化に対応
できるようにするためには、磁気ヘッドのスライダを磁
気記録媒体から微小間隔で浮上させること、さらに磁気
記録媒体はその半径方向の外側ほど速度が速いため、速
度変化に対するスライダの浮上量変化を小さくする必要
がある。そのために、スライダの形状や浮上レール面の
大きさを変えること、あるいは磁気ヘッドを取付ける保
持部材のバネ材の押し付け力の大きさを調整することが
行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たように、浮上型磁気ヘッドの磁気記録媒体からの浮上
量を微小にしたり、磁気ヘッドと磁気記録媒体との相対
速度の変化に対する浮上量の変化を少なくする提案があ
るが、それら要求を十分に満足できるものではない。例
えば、スライダの浮上量を微小にしても、浮上量が安定
しない場合に、スライダが磁気記録媒体と接触し、磁気
ヘッドや磁気記録媒体が傷つくという問題がある。

【０００５】また従来技術のように、スライダの浮上量
を下げるため、浮上レールの巾を小さくすることが考え
られるが、磁気コアを浮上レール内に埋設する必要があ
るため、浮上レールの狭小化には限界がある。さらに、
スライダの磁気記録媒体側への押し付けるバネ材の力を
大きくしてスライダの浮上量を小さくすることが考えら
れるが、磁気記録媒体が回転、停止を繰返す過程でスラ
イダの媒体に与える衝撃が強く、使用されるにつれて両
者の間の摩擦力が増加し、最悪の場合は所謂クラッシュ
が生じて磁気記録媒体が損傷する。

【０００６】また磁気記録媒体が回転する際には、その
内周から外周にかけて、スライダと磁気記録媒体との相
対運動の速度も変化し、また方向も変化するため、スラ
イダの浮上量の変化を招き、磁気ヘッドの特性向上に望
まれる一定浮上の条件を満足させることができない。こ
のようなスライダの周速依存性を低減するためには、所
謂負圧型スライダがある。これは、スライダに流入する
空気が急激に膨張するキャビティを作りここで発生する
負圧により、従来の浮上レールで発生する陽圧を補償す
ることで周速依存性を弱めている。しかし、この場合、
キャビティが磁気記録媒体上の汚染物質を吸い付ける
為、スライダ上に付着物がつき易く、信頼性を下げると
いう欠点があった。

【０００７】さらに磁気記録媒体とスライダとの相対運
動の方向が変わることによる影響、即ち浮上レールに対
して空気流が斜めに入り込むことによる浮上量変化を防
ぐ方法として、浮上レールの側面を面取りしたり、ある
いは１μｍ程度の微小段差を設け、斜めに入り込む空気
を取り込み易くする提案もある。しかし、このように加
工することは、イオンミリングなどの高価な装置を使っ
た精密加工が必要であり、経済的ではない。

【０００８】また、スライダの浮上量が小さくなった結
果として、浮上しているスライダと磁気記録媒体表面の
微小突起とが衝突する可能性が高くなり、これに対して
安定な浮上と磁気記録媒体に対する損傷の低減が要求さ
れている。このため、スライダが磁気記録媒体と接触す
る可能性がある部分を小型化することが考えられる。し
かし、そのような小型化は、薄膜磁気ヘッドでは可能で
あるが、磁気コアをスライダに埋め込むコンポジット型
磁気ヘッドでは、加工が複雑で多くの工数が必要となり
実用的とはいえない。そこで、本発明は上記の各問題を
解決し、浮上型磁気ヘッドが磁気記録媒体から浮上した
場合に、磁気ヘッドの電磁変換素子の部分の浮上量が微
小であって、その浮上量が、磁気記録媒体との相対速度
の変化に対して安定となるようにすることを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、電磁変換素子
が非磁性材からなるスライダに設けられ、電磁変換素子
の磁気ギャップが磁気記録媒体に対向されて書き込み又
は読み取り動作するようにした浮上型磁気ヘッドにおい
て、上記目的を達成したものである。その浮上型磁気ヘ
ッドでは、スライダの磁気記録媒体対向面に２本の浮上
レールが、磁気記録媒体に対する進行方向に沿ってほぼ
直線状に設けられ、各浮上レールは磁気記録媒体に対す
る進行方向の後部が切断されてそれより前方にのみ存在
し、一方の浮上レールの磁気記録媒体に対する進行方向
の後側に、浮上レールより巾が狭くて電磁変換素子のト
ラック巾より広く、かつ浮上レールとほぼ同一高さの補
助レールを設け、補助レールの後側に電磁変換素子を配
置した。

【００１０】その場合、補助レールの巾は、浮上レール
巾の１／２以下に形成する。あるいは浮上レールの巾の
１／４〜１／２に形成し、浮上レールの切断長さはスラ
イダの全長の１／１０〜２／５に形成するのが、スライ
ダの浮上量を微小に安定させる点で望ましい。なお、補
助レールの巾を磁気コアのトラック巾以上にしたのは、
磁気コアを補助レールの巾内に埋め込めるようにするた
めであり、また補助レールは、浮上レールの巾の１／２
以下にするのが望ましい。すなわち、図６（ａ）に示す
ように、スライダの長さＬ、浮上レールの切断長さｌと
の比ｌ／Ｌを変化させたの場合のスライダの浮上高さ
は、図６（ｂ）に示すようになり、浮上高さは、１／１
０〜２／５の範囲でほぼ均一になる。なお、図６（ｂ）
の測定に使用したスライダの浮上レール巾Ｗと、補助レ
ール巾ｗとの比ｗ／Ｗは、１／３とした。またスライダ
の浮上レール巾Ｗと、補助レール巾ｗとの比ｗ／Ｗを変
化させ、磁気記録媒体の半径Ｒに対する任意半径位置の
スライダの浮上高さは、図６（ｃ）に示すようになり、
ｗ／Ｗが１／４〜１／２の範囲では、半径位置にかかわ
らず浮上高さがほぼ均一になっている。なお、図６
（ｃ）の測定に使用した磁気記録媒体の回転速度は５４
００rpm とし、前記のｌ／Ｌ比は１／５とした。

【００１１】また、上記のように浮上レールの後部を補
助レールに形成する構成として、浮上レールの磁気記録
媒体に対する進行方向の後部の横側部分を電磁変換素子
の隣接部を除いて削り取って、後ろ上りの傾斜面、ある
いは磁気記録媒体対向面に平行な段差平面に形成し、前
記の削り取りで残った電磁変換素子に隣接した部分を補
助レールとして構成するようにしてもよい。その場合、
電磁変換素子が設けられていない方の浮上レールの後部
に、浮上レールより巾狭で、浮上レールとほぼ同一高さ
の第２の補助レールを形成するようにしてもよい。な
お、補助レールの横の後ろ上りの傾斜面１１は、５〜２
０°の傾斜角にするのが望ましい。また電磁変換素子が
設けられていない方の浮上レールの後部は、浮上レール
巾全体にわたって削りとって後ろ上りの傾斜面あるいは
磁気記録媒体対向面に平行な段差平面に形成してもよ
い。さらに、スライダにおける浮上レールの高さは５０
μｍ以上に形成することで、静止時の磁気ヘッドの磁気
記録媒体に対する摩擦を低減でき、ＣＳＳ特性を向上す
ることができる。なお浮上レールの高さは余り高過ぎて
も、小型化に適さないので、せいぜい高さは１００μｍ
までである。

【００１２】上記の浮上型磁気ヘッドの製造方法は、ス
ライダの磁気記録媒体対向面に２本の浮上レールを、磁
気記録媒体に対する進行方向に沿ってほぼ直線状にかつ
スライダの全長に形成した後、一方の浮上レールの後部
を、研削砥石等による機械的加工により削除するととも
に、他方の浮上レールの後部を、研削砥石等による機械
的加工により巾狭の補助レールに形成することを特徴と
する。この場合、補助レールの巾を、電磁変換素子のト
ラック巾を越え浮上レール巾の１／２以下に形成するの
が望ましい。

【００１３】

【作用】上記の浮上型磁気ヘッドでは、スライダの前端
から長手方向にスライダの途中まで伸びる２本のおおよ
そ平行な浮上レールが浮上力を得るようにしている。ま
た、電磁変換素子はスライダの末端に配置され、補助レ
ールに埋め込まれている場合でも、補助レールの巾は浮
上レールに比べて十分に狭いので、その部分に発生する
空気圧によりスライダの浮上に寄与することはなく、低
浮上が可能である。さらに浮上レールの後部が削除され
ているので、浮上レールを比較的巾広に形成することが
でき、浮上レールに対して斜めに入り込む空気流による
浮上量変化も非常に小さい。

【００１４】またスライダは、前上りのいわゆる「ピッ
チ角」を持つので、スライダ末端にある電磁変換素子は
浮上レールでの空気圧力で決まる浮上量より低くなる。
このため実効的浮上力をモデル計算および実際に試作し
て測定した結果、浮上レールでの浮上量は、磁気記録媒
体に対する周速の変化に対し、従来のスライダと同じよ
うな変化をする一方、ピッチ角も周速と共に変化するの
で、これらが打ち消しあって電磁変換素子の部分は、周
速変化があっても浮上量変化が小さくなる。つまり周速
依存性は小さくなる。また磁気記録媒体の微小突起と接
触する可能性のあるのは、スライダ末端の電磁変換素子
部であり、その部分は巾狭に形成されているので磁気記
録媒体を傷つけることは少ない。さらに、上記の浮上型
磁気ヘッドを作成する場合、浮上レールの後部の削除は
研削砥石などにより機械的にされるので、簡単に加工で
きる。

【００１５】

【実施例】本発明の浮上型磁気ヘッドの実施例を図１〜
３により説明する。複合型磁気ヘッドは、非磁性材から
なるスライダ１の磁気記録媒体対向面に２本のほぼ直線
状の浮上レール２を有し、両浮上レール２は磁気記録媒
体に対する進行方向（スライダの長手方向）に沿って平
行であって、一方の浮上レール２の磁気記録媒体の進行
方向の後部に電磁変換素子３が設けられている。電磁変
換素子３は、一対の磁性コア片４の間に磁気ギャップ５
を設けた磁気コアに図示を省略したコイルが巻かれ、そ
のコイルがハードディスク装置本体の外部回路に接続さ
れるようになっているが、電磁変換素子は薄膜プロセス
で形成したものでも適用できる。またスライダ１の磁気
記録媒体対向面とは逆の背面が、保持部材６に設けたバ
ネ材７に接着固定され、電磁変換素子３の磁気ギャップ
５が磁気記録媒体に対向された状態で、スライダの浮上
レール２と磁気記録媒体との相対移動による空気抵抗に
より、浮上レール２に空気抵抗が作用するようになって
いる。そして、その空気抵抗によりスライダ１を磁気記
録媒体から微小間隔で浮上させ、電磁変換素子３と磁気
記録媒体との間で書き込み読み込みのための記録再生作
用をするようになっている。

【００１６】スライダ１に設けられている２本の浮上レ
ール２は、ともに後部が同一長さだけ切断されて、その
位置より前側にのみ高さ約６０μｍの浮上レールが存在
し、各浮上レール２の前端部は前上り（０．５〜１°）
のテーパ面２ａに形成され、また浮上レール２の長手方
向両側の角は面取りされている。なお浮上レール２の前
記切断は、研削砥石などによる機械的加工によりされて
いる。浮上レール２の切断長さは、スライダ１の全長Ｌ
の１／１０〜２／５とし、スライダ１の浮上量が安定す
るようにしている。また一方の浮上レール２の後部から
後方に向かって補助レール８が設けられ、その補助レー
ル８は浮上レール２とほぼ同一高さであって、巾は浮上
レール２の巾の１／４〜１／２に形成されている。なお
補助レール８の巾は、補助レールに電磁変換素子３を埋
め込むため、電磁変換素子３のトラック巾（磁気コアギ
ャップ５の巾）以上で浮上レール巾の１／２以下に作成
するようにしてもよい。そして電磁変換素子３は、補助
レール８の後側に設けられて、電磁変換素子３の後端が
スライダ１の後端とほぼ一致され、補助レール８と電磁
変換素子３の後端は、後ろ上り（１０〜２０°）のテー
パ面３ａに形成されている。なお、テーパ面３ａの部分
は、切り欠き部に形成して、磁気記録媒体との接触を防
止するようにしてもよい。また、図３では浮上レール２
の長手方向中心線を、補助レールの長手方向中心線に一
致させてあるが、補助レールを横にずらせて両者の中心
線が一致しない位置に配置させてもよい。

【００１７】上記実施例の浮上型磁気ヘッドの、浮上高
さを測定したところほぼ前記の図６（ｂ）、（ｃ）のよ
うな結果となり、さらに磁気記録媒体に対する周速変化
に対する浮上高さについても、本実施例のものは従来例
のものに比較してほぼ均一であった。また本実施例のＣ
ＳＳ（contact start and stop) 特性を測定したとこ
ろ、図７に示すようになった。図７には比較のため、従
来例のスライダについてもＣＳＳ特性を測定して示し
た。図７から、本実施例の方が摩擦係数が小さく、ＣＳ
Ｓ回数が大きくなっても摩擦係数がほとんど増加しなか
った。

【００１８】次に第２〜６実施例の浮上型磁気ヘッドを
図４、５により説明する。この実施例の浮上型磁気ヘッ
ドも、前記実施例と同様に非磁性材からなるスライダ１
の磁気記録媒体対向面に２本の浮上レール２が、磁気記
録媒体に対する進行方向に沿ってほぼ直線状に設けら
れ、一方の浮上レールの磁気記録媒体に対する進行方向
の後端に電磁変換素子３が配置され、電磁変換素子３の
磁気ギャップ５が磁気記録媒体に対向されて書き込み又
は読み取り動作するようになっている。そして、電磁変
換素子３が設けられている浮上レール２の後部の構成と
して、浮上レール２の横側が削り取られて、後ろ上りの
傾斜面１１、あるいは磁気記録媒体対向面に平行な段差
平面１２に形成されている。

【００１９】例えば、図４の実施例では、電磁変換素子
３の両横の浮上レール部分が、電磁変換素子の隣接部を
除いて削られて後ろ上り（５〜２０°）の傾斜面１１に
形成され、電磁変換素子３に隣接した浮上レール部分は
削られることなく残されて補助レール８を構成するよう
にした。そして、補助レール８と電磁変換素子３の磁気
記録媒体対向面側の後端がテーパ面３ａに形成されてい
る。また、図４（ｂ）では、電磁変換素子３が設けられ
ない方の浮上レール２の後部は、前記実施例と同様に取
り除かれており、図４（ｃ）の実施例では電磁変換素子
側の補助レール２とほぼ同一巾でほぼ同一高さの第２補
助レール１４が設けられ、その後端はテーパ面１５に形
成されている。これらの場合、補助レール８と浮上レー
ル２の長手方向の中心線は一致させられていたが、一致
させることなく図５（ａ）や図５（ｂ）のようにずらし
た位置に補助レール８を形成し、場合によっては片側の
みに傾斜面１１を形成することも可能である。

【００２０】さらに、図５（ｃ）の実施例は、電磁変換
素子３の両横を電磁変換素子の隣接部を除いて削り取る
ことにより、磁気記録媒体対向面に平行な段差平面１２
を形成し、電磁変換素子３の隣接部に補助レール８を形
成し、電磁変換素子３の前側を削って横溝１６を形成す
ることにより浮上レール２と電磁変換素子３の部分とを
分離させている。さらにまた、図５（ｄ）の実施例は、
電磁変換素子３の両横を電磁変換素子の隣接部を除いて
削り取ることにより、磁気記録媒体対向面に平行な段差
平面を形成するとともにその前部を傾斜曲面１７に形成
し、電磁変換素子３の隣接部に補助レール８を形成し、
電磁変換素子３を埋め込んだ補助レール８は浮上レール
２の後部に連続されている。以上のように、図４、図５
に示す各種の実施例が可能であり、さらにそれらの一部
を他の構成に変更して適用することも可能である。

【００２１】次に上記の図１に示す浮上型磁気ヘッドの
製造方法を図８により説明する。スライダ１の磁気記録
媒体対向面に、２本の浮上レール２をスライダ１の長手
方向に平行にかつその長手方向全長に形成し、各浮上レ
ール２の前端部にテーパ面２ａを形成する。そして一方
の浮上レール２の、磁気記録媒体の進行方向に対する後
端部に溝２１を形成して、その溝２１に電磁変換素子３
を挿入してガラス材により固定する。なお、電磁変換素
子３を溝２１に固定する工程は、後記する浮上レール２
の後部の削除の後に行なうようにしてもよい。

【００２２】この後、図８の矢印方向に研削砥石等によ
る機械的加工をし、一方の浮上レール２の後部を削除す
るとともに、他方の浮上レール２の後部を同様に加工し
て巾狭の補助レール８に形成する。この場合、補助レー
ル８の巾は、電磁変換素子３のトラック巾を越え浮上レ
ール巾の１／２以下に形成し、次いで補助レール８と電
磁変換素子３の後部で磁気記録媒体対向面部をテーパ面
３ａに形成する。なお、前記の機械的加工で、補助レー
ルと浮上レールとの間に切り溝を加工することもある
が、加工しない場合に比較して浮上特性においてそれほ
ど差が生じることはない。また、前記の補助レール８を
加工する場合、スライダ１の電磁変換素子の固定用の溝
２１に電磁変換素子３を固定しない状態で、浮上レール
の後部を研削砥石等による機械的加工をして削除し、そ
の後に電磁変換素子を溝２１に固定するこも可能であ
る。

【００２３】

【発明の効果】本発明の浮上型磁気ヘッドは、スライダ
の浮上レールが後部で切断されているので、浮上レール
の存在する前側のみに浮上力が生じ、スライダの進行方
向後ろ側に生じ易い大きな空気抵抗による浮上力が作用
することがなく、スライダを磁気記録媒体に対して微小
高さに安定して浮上させることができる。また、磁気記
録媒体の半径方向位置による速度変化に対してもスライ
ダの浮上量が安定し、スライダと磁気記録媒体が接触し
て傷つくことを防止でき、さらにＣＳＳ特性を向上する
ことができる。また、浮上型磁気ヘッドの製造方法で
は、研削砥石などによる機械的加工により、浮上レール
の一部を削除するので、簡単な装置により経済的に作成
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の浮上型磁気ヘッドの磁気記録媒体対向
面から見た斜視図と磁気コアの拡大図である。

【図２】本発明の浮上型磁気ヘッドを保持部材に取付け
た状態の斜視図である。

【図３】本発明の浮上型磁気ヘッドの磁気記録媒体対向
面の平面図である。

【図４】第２実施例の浮上型磁気ヘッドの部分斜視図
（ａ）と、その平面図及び側面図（ｂ）と、変形例の平
面図及び側面図（ｃ）である。

【図５】第３実施例の浮上型磁気ヘッドの平面図（ａ）
と、第４実施例の浮上型磁気ヘッドの平面図（ｂ）と、
第５実施例の浮上型磁気ヘッドの部分斜視図、平面図及
び側面図（ｃ）と、第６実施例の浮上型磁気ヘッドの部
分斜視図、平面図及び側面図（ｄ）である。

【図６】浮上型磁気ヘッドの浮上レールの切断長さと、
浮上レールの巾関係を示す図（ａ）と、浮上レールの切
断長さを変えた場合の周速と浮上高さの特性図（ｂ）
と、補助レールの巾を変えた場合の磁気記録媒体の異な
る半径位置での磁気ヘッドの浮上高さの特性図（ｃ）で
ある。

【図７】本発明の浮上型磁気ヘッドのＣＳＳ特性を示す
特性図である。

【図８】浮上型磁気ヘッドの浮上レールの後部を切断す
る方法を示す説明図である。

【符号の説明】

１ スライダ ２ 浮上レール ３ 電磁変換素子 ５ 磁気ギャップ ８ 補助レール １１ 傾斜面 １２ 段差平面

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電磁変換素子が非磁性材からなるスライ
   ダの所定位置に設けられ、電磁変換素子の磁気ギャップ
   が磁気記録媒体に対向されて書き込み又は読み取り動作
   するようにした浮上型磁気ヘッドにおいて、スライダの
   磁気記録媒体対向面に２本の浮上レールが、磁気記録媒
   体に対する進行方向に沿ってほぼ直線状に設けられ、各
   浮上レールは磁気記録媒体に対する進行方向の後部が切
   断されてそれより前方にのみ存在し、一方の浮上レール
   の磁気記録媒体に対する進行方向の後側に、浮上レール
   より巾が狭くて電磁変換素子のトラック巾より広く、か
   つ浮上レールとほぼ同一高さの補助レールが設けられ、
   補助レールの後側に電磁変換素子が設けられていること
   を特徴とする浮上型磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 補助レールの巾は、浮上レール巾の１／
   ２以下に形成されている請求項１に記載の浮上型磁気ヘ
   ッド。
3. 【請求項３】 補助レールの巾は、浮上レールの巾の１
   ／４〜１／２に形成され、浮上レールの切断部分の長さ
   はスライダ全長の１／１０〜２／５に形成されている請
   求項１に記載の浮上型磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 補助レールは、研削砥石等による機械的
   加工により巾狭に形成されていることを特徴とする請求
   項１乃至５に記載の浮上型磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 非磁性材からなるスライダの磁気記録媒
   体対向面に２本の浮上レールが、磁気記録媒体に対する
   進行方向に沿ってほぼ直線状に設けられ、一方の浮上レ
   ールの磁気記録媒体に対する進行方向の後端に電磁変換
   素子が配置され、電磁変換素子の磁気ギャップが磁気記
   録媒体に対向されて書き込み又は読み取り動作するよう
   にした浮上型磁気ヘッドにおいて、浮上レールの磁気記
   録媒体に対する進行方向の後部の横側部分が電磁変換素
   子の隣接部を除いて削り取られて、後ろ上りの傾斜面、
   あるいは磁気記録媒体対向面に平行な段差平面に形成さ
   れ、電磁変換素子に隣接した部分は削り取られることな
   く残されて補助レールとして構成されていることを特徴
   とする浮上型磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 電磁変換素子が設けられていない方の浮
   上レールの後部が、浮上レールより巾狭で、浮上レール
   とほぼ同一高さの補助レールに形成されている請求項５
   に記載の浮上型磁気ヘッド。
7. 【請求項７】 スライダにおける浮上レールの高さは５
   ０μｍ以上に形成されている請求項１乃至６のいずれか
   １つに記載された浮上型磁気ヘッド。
8. 【請求項８】 一対の磁気コア片を接合した磁気ギャッ
   プとコイルからなる電磁変換素子が、スライダの所定位
   置に設けられ、磁気ギャップが磁気記録媒体に対向され
   て書き込み又は読み取り動作するようにした浮上型磁気
   ヘッドの製造方法において、スライダの磁気記録媒体対
   向面に２本の浮上レールを、磁気記録媒体に対する進行
   方向に沿ってほぼ直線状にかつスライダ全長に形成した
   後、一方の浮上レールの後部を、研削砥石等による機械
   的加工により削除するとともに、他方の浮上レールの後
   部を、研削砥石等による機械的加工により巾狭の補助レ
   ールに形成することを特徴とする浮上型磁気ヘッドの製
   造方法。
9. 【請求項９】 補助レールの巾が、電磁変換素子のトラ
   ック巾を越え浮上レール巾の１／２以下に形成される請
   求項８に記載の浮上型磁気ヘッドの製造方法。