CN1249516A - 负压空气支承滑动器 - Google Patents

Abstract

一种负压空气支承滑动器,包括一个第一空气支承表面,在滑动体的底部上游位置处形成,以便沿滑动体的横向延伸,以及一对第二空气支承表面,在滑动体的底部下游位置处与第一空气支承表面分开形成,它们沿横向隔开,以便在它们之间限定一个空气流通路。第二空气支承表面用来在滑动体中嵌有一个换能器元件的下游位置处,产生隔开的正压,以便能提高滑动器对滚动作用的抗度。前轨和后轨的合作能够产生较高的负压。

Description

负压空气支承滑动器

本发明涉及一种负压空气支承滑动器，意图是用于信息存储装置，例如磁盘驱动器。

空气支承滑动器经常用于磁盘驱动器。当从磁盘读出或向磁盘写入信息时，空气支承滑动器使一个换能器元件可以在磁盘的盘表面上方浮动。可选择地，滑动器可以安排在磁盘下方，在这种情况下，滑动器在底盘面下方微小距离处浮动。在任何一种方式下，都在与磁盘表面相对的滑动体的表面上限定一个空气支承表面(ABS)。当存储盘旋转时，沿盘表面产生的空气流作用在该空气支承表面上，以使滑动体与盘表面分开微小距离。为简单起见，在本说明书整个范围内，这种分开将称为浮动高度，而不管滑动器是在盘上方还是在盘下方。

最近，在磁盘驱动器领域内期望越来越高的存储密度。为了实现高存储密度，减小滑动体的浮动高度是有利的。然而，随着浮动高度减小，滑动体在浮动期间趋于与盘表面碰撞。

一些现有技术装置包括一种负压空气支承滑动器，它能够产生与作用在空气支承表面上的升力(或正压)相对的负压。在这种类型的负压空气支承滑动器中，负压与升力之间的平衡用来限制浮动高度。负压用来使滑动体吸向盘表面，以便有可能使滑动体的浮动特性稳定。结果，能减小滑动体与盘表面之间碰撞的可能性。

对高存储密度需求的不断增加要求进一步改进滑动体的稳定性，同时还要求增加对滑动体的任何滚动作用的耐抗性。如果对滚动没有足够的耐抗性，滑动体在浮动期间趋于沿空气流方向绕其中心轴滚动，并且滑动体可能与盘表面碰撞。

因此本发明的一个目的是提供一种负压空气支承滑动器，它既增加稳定性，又增加浮动期间对滚动的耐抗性。

按照本发明的第一方面，提供一种负压空气支承滑动器，它包括一个第一空气支承表面，在滑动体的底部上游位置处形成，以便沿滑动体的横向延伸；以及一对第二空气支承表面，在滑动体的底部下游位置处与第一空气支承表面分开地形成，它们沿横向隔开，以便在它们之间限定一个空气流通路。

应用上述滑动器，沿横向隔开的第二空气支承表面用来在下游位置处产生升力或正压，在该下游位置处，在滑动体中一般嵌有一个换能器或头元件。由于在下游位置处一对隔开的升力支持滑动体，所以有可能显著地提高滑动体抗滚动作用的刚性。

第一空气支承表面可以限定在一个前轨的底面上，该前轨从滑动体的底部靠近其上游端延伸。前轨还沿滑动体的横向延伸。前轨最前端接收沿盘表面的空气流，以便能减小在前轨后面产生的负压。另外，第二空气支承表面可以分别限定在一对后轨的底面上，这对后轨在滑动体的底部下游位置处伸出。这些后轨沿横向隔开，以便在它们之间限定空气流通路。

第一和第二空气支承表面优选地通过台阶与前轨和后轨的底面连接。台阶用来在第一和第二空气支承表面上产生较高正压。

该负压空气支承表面优选地包括一对侧轨，它们在滑动体的底部形成，以便从前轨的横端向下游延伸。侧轨用来防止绕过前轨的横端流动的空气流进入前轨后面的空间。因此，有可能在前轨后面可靠地产生较高负压。特别是，侧轨优选地在横向比后轨具有较小的厚度。较薄侧轨用来扩大由前轨后面的侧轨所包围的负压腔，以便能增加负压。

此外，优选地在侧轨形成一个槽，以便把绕过前轨流动的空气引入空气流通路。即使在使用较低前轨和后轨情况下，该槽也在存储盘的较低切线速度下用来避免负压的饱和。结果，该槽使负压能够可靠地随着切线速度增加，以便负压空气支承表面可以使滑动体的浮动高度保持恒定，而与切线速度的变化无关。

另外，可以在前轨或后轨的底面上形成一个垫，以便当滑动体安放在盘表面上时，防止第一或第二空气支承表面粘到存储盘的盘表面上。这样的垫用来避免第一或第二空气支承表面与盘表面直接接触。结果，使分布在盘表面上的润滑剂或润滑油作用在滑动体上的粘着力较小，以便滑动体能在存储盘旋转开始时，立刻离开盘表面。

此外，其中嵌入一个换能器元件的第二空气支承表面可以比另一个第二空气支承表面具有较小的表面积。具有换能器元件的较小第二空气支承表面用来使滑动体以一个倾侧角保持在倾斜姿态。因此，有可能使换能器元件周围滑动体的底部与盘表面之间的距离最小。

当具有换能器元件的第二空气支承表面比另一个空气支承表面小时，具有换能器元件的第二空气支承表面可能具有一个上游端，它沿横向延伸第一宽度，以便引到台阶，以及一个下游端，它沿横向延伸比第一宽度大的第二宽度。例如，在换能器元件包括一个磁阻(MR)元件的情况下，该磁阻元件应该保护在一对屏蔽层之间。如果屏蔽层没能具有足够大的横向尺寸，以屏蔽MR元件使之不受附近磁场的磁干扰，那么MR元件将不能够正确地读出数据。一般地，滑动体保持在倾斜姿态，以使下游端接近盘表面。只要保持倾斜姿态，在滑动体下游位置嵌入的换能器元件就能接近盘表面。因此，较宽下游端使第二空气支承表面能够具有较小面积，同时仍使屏蔽层保持在较大横向尺寸。

另外，当具有换能器元件的第二空气支承表面比另一个空气支承表面小时，沿横向延伸以便在具有换能器元件的第二空气支承表面的前面限定台阶的上游端，可以比沿横向延伸以便在另一个第二空气支承表面的前面限定台阶的上游端更靠下游安排。沿空气流方向与另一个第二空气支承表面的长度比较，这样安排的第二空气支承表面用来减小具有换能器元件的第二空气支承表面的长度。因此，能实现较小的第二空气支承表面，以在具有换能器元件的第二空气支承表面设置升力，它比另一个第二支承表面的升力小。因此有可能减小具有换能器元件的第二空气支承表面处的升力，而不减小屏蔽层的横向宽度。

如上所述，当具有换能器元件的第二空气支承表面的上游端向下游位移时，优选地调节后轨与侧轨之间的槽的尺寸。例如，如果侧轨没能向后轨延伸，以跟随第二空气支承表面的上游端的位移，则槽变得较大或较宽。宽槽可能释放在前轨后面产生的负压。另一方面，当使侧轨延伸以跟随上游端的位移时，能获得较小或较窄槽，以便能在前轨后面保持较高负压。较高负压使具有换能器元件的第二空气支承表面能够可靠地尽可能近地接近盘表面。

此外，当需要减小具有换能器元件的第二空气支承表面处的升力时，例如，能相对后轨的底面来确定第二空气支承表面的位置。除第二空气支承表面的面积外，上述在台阶处产生的较高正压不仅取决于其面积和高度，而且还取决于后轨上引到台阶的底面的延伸度。较小底面形成较小正压，而较大表面形成较大正压。因此，如果减小后轨上引到面对滑动体外部的台阶的底面的横向宽度，则由于面对滑动体外部的台阶比面对滑动体内部的台阶趋于接受更大量的空气流，所以能减小具有换能器元件的第二空气支承表面处的升力。

此外，当需要减小具有换能器元件的第二空气支承表面处的升力时，例如，可以使具有换能器元件的第二空气支承表面包括一个下游端，它在下游位置沿横向延伸，并且向上游位移。上述负压空气支承滑动器在滑动体的下游端具有最大正压。因此，当使下游端向上游位移，以便减小具有换能器元件的第二空气支承表面的面积时，能有效地减小具有换能器元件的第二空气支承表面处的升力。

应该注意，本发明的负压空气支承表面可以用于各种存储盘驱动器，例如硬盘驱动器装置(HDD)。

这里参考附图，叙述本发明的优选实施例，其中：

图1是说明硬盘驱动器装置(HDD)的内部的平面图；

图2是说明按照本发明的一个实施例的负压空气支承滑动器的放大透视图；

图3A和图3B说明图2负压空气支承滑动器的压力分布；

图4是表示大气压力对负压空气支承滑动器上产生压力的影响的曲线图；

图5是表示槽的影响的曲线图；

图6A至图6C示意说明负压空气支承滑动器的生产方法；

图7A至图7F是沿图2直线7-7所取的示意断面图，并且这些图说明了构成滑动体底部的方法；

图8A和图8B是沿图2直线7-7所取的示意断面图，并且这些图同样说明了构成滑动体底部的方法；

图9是说明本发明的一种变更形式的滑动体的底部布置的平面图；

图10是说明本发明的第二变更形式的滑动体的底部布置的平面图；

图11是说明本发明的第三变更的滑动体的底部布置的平面图；

图12是说明本发明的第四变更的滑动体的底部布置的平面图；

图13是说明本发明的第五变更的滑动体的底部布置的平面图；

图14是说明本发明的第六变更的滑动体的底部布置的平面图；以及

图15是说明本发明的第七变更的滑动体的底部布置的平面图。

图1说明一种硬盘驱动器装置(HDD)10的内部结构，这种硬盘驱动器装置是用于本发明的一种类型的磁盘驱动器的例子。然而，应该注意，本发明还可以用于其他类型的使用浮动滑动器的盘式驱动器，包括磁光(MO)驱动器。HDD 10具有一个容纳磁盘13的壳11，磁盘13安装在主轴电动机12上。一个负压空气支承滑动器安排为与磁盘13的一个表面相对。该负压空气支承滑动器14固定在一个托架臂16的尖端，该托架臂16能够绕轴15摆动。当从磁盘13读出或向磁盘13写入信息时，托架臂16由一个包括磁路的致动器17的作用驱动旋转，以便负压空气支承滑动器14安排在存储盘13上的目标记录滚筒的上方。壳11的内部空间能用一个未示出的盖来封装。

图2说明按照本发明的一个实施例的负压空气支承滑动器14。滑动器14具有一个滑动体，它包括一个与存储盘13相对的底部19。形成一个前轨21，以从滑动体的底部19在其上游端横向延伸。类似地，形成一对后轨23，以从滑动体的底部19在其下游端延伸。后轨23沿横向相互隔开，以便在它们之间限定一个空气流通路22。“上游”和“下游”端是根据磁盘13旋转时所产生的空气流20的方向来限定的。

在前轨21的底面上限定一个第一空气支承表面24，以便沿滑动体的横向延伸。在后轨23的底面上分别限定一对第二空气支承表面25a、25b，以便沿滑动体的横向形成一行，在它们之间设置空气流通路22。当磁盘13旋转并沿盘表面产生空气流20时，空气流20作用在第一和第二空气支承表面24、25a、25b上。在第一和第二空气支承表面24、25a、25b上分别产生升力，这样使滑动体10可以在盘表面上方浮动。由于在本负压空气支承滑动器14中，能在第一空气支承表面24上产生较大升力，所以滑动体以俯仰角α保持在倾斜姿态。“俯仰角α”可以称为沿滑动体纵向(即空气流20的方向)的倾斜角。在本优选实施例中，俯仰角α优选地约在50μrad至150μrad之间。

第一和第二空气支承表面24、25a、25b分别通过台阶27a、27b、27c，与前轨21和后轨23的底面连接。如这里以下所述，台阶27a、27b、27c用来在第一和第二空气支承表面24、25a、26b上产生较大升力。

第二空气支承表面25a比第二空气支承表面25b具有较小表面积。因此，在本负压空气支承滑动器14中，能在第二空气支承表面25b上产生比第二空气支承表面25a上较大的升力。结果，滑动体以倾侧角β保持在倾斜姿态。“倾侧角β”可以称为沿滑动体横向(即与空气流20垂直的方向)的倾斜角。在本优选实施例中，倾侧角β优选地在10μrad至80μrad之间。

嵌入滑动体的换能器或头元件在第二空气支承表面25a(它比表面25b具有较小面积)露出一个读/写间隙28。上述俯仰角α和倾侧角β用来使读/写间隙28附近滑动体与盘表面之间的距离最小。

使一对侧轨29与前轨21的相对横端连接，以便在向下游方向延伸。侧轨29用来防止空气流绕过前轨21的横端流动，并进入前轨21后面的空间。因此，越过第一空气支承表面24的空气流沿与盘表面垂直的方向分布，并且在前轨21后面产生负压。当产生的负压与上述第一和第二空气支承表面24、25a、25b上的升力平衡时，能使滑动体的浮动高度保持为大体恒定值。在侧轨29与后轨23之间分别限定槽30，以便使绕过前轨21横端流动的空气流吸入空气流通路22。

在前轨21和后轨23的底面上形成多个垫31a、31b、31c、31d，以便当滑动体安放在盘表面时，防止第一和第二空气支承表面24、25a、25b粘到磁盘13的盘表面上。此外，安排在产生较小升力的第二空气支承表面25a一边的垫31d比安排在产生较大升力的第二空气支承表面25b一边的垫31c更靠上游安排。由于倾侧角β使第二空气支承表面25a可以更接近盘表面，所以这样安排的垫31d有助于避免垫31d与盘表面碰撞。

当磁盘13开始旋转时，空气流20开始沿盘表面流动。空气流20用来使安放在盘表面上的负压空气支承滑动器14可以离开盘表面。在离开之前，垫31a、31b、31c、31d使第一和第二空气支承表面24、25a、25b保持在盘表面上方微小距离处。因此，由于减小了与盘表面接触的表面积，所以可能分布在盘表面上的润滑剂或润滑油作用在滑动体上的粘着力较小。在离开之后，换能器元件的读/写间隙25执行读和写操作。

如图3所示，例如，当空气流作用在滑动器14上时，沿滑动体的底部19产生升力(或正压)和负压。图3说明对于滑动器14的一个实施例的一例的压力分布(如常规计算机模拟计算)。在本负压空气支承滑动器14中，滑动体具有1.25mm的长度，1mm的宽度和3mm的厚度。当然其他尺寸也考虑在本发明的范围之内。

如从图3A和图3B显而易见，空气流20在第一空气支承表面24前面的台阶27a处，即在位置B处，产生大的正压。正压随空气流20沿第一空气支承表面24前进而增加。

当空气流20越过前轨21，即在位置C处，正压消失。在位置D处，出现负压以代替正压。当空气流20在前轨21后面沿于盘表面垂直的方向分布时，引起产生这个负压。另外，侧轨29用来防止冲击前轨21的前面，然后绕过前轨21的空气流20进入前轨21后面的空间。因此，能在前轨21后面产生较大负压。

在到达后轨23时，空气流20在第二空气支承表面25a、26b前面的台阶27b、27c处，即位置E处，产生另一大的正压。该正压随空气流20沿第二空气支承表面25a、25b前进而增大。正压在第二空气支承表面25a、25b的下游端，即在位置F处消失。

在本负压空气支承滑动器14中，在位置B到C和位置E到F的正压与位置D的负压之间的平衡用来固定滑动体的浮动高度。此外，当与常规滑动器比较时，本发明的较大正压与其较大负压平衡，以便预期浮动特性具有较高稳定性。台阶27a、27b、27c优选地具有等于或小于0.2μm的高度，以便使正压与负压相互平衡。

另外，当滑动体具有俯仰角α的倾斜姿态时，第二空气支承表面对25a、25b在最靠近盘表面的下游位置处产生正压，这样提高了滑动体的抗滚动性。

一般地，当磁盘驱动器10操作下的大气中的空气压力低时。在第一和第二空气支承表面24、25a、25b的正压与空气压力减小成正比地减小。因此，于是有必要与正压减小成正比地减小负压。如果当正压减小时负压保持恒定，滑动体的浮动高度将减小。

图4是说明空气压力变化的影响的曲线图。在该曲线图中，实线表示在0.7atm空气压力下的正压与1.0atm空气压力下的正压的比率。虚线表示在0.7atm空气压力下的负压与1.0atm空气压力下的负压的比率。如从该曲线图显而易见，正压的比率仅随前轨21和后轨23的高度H(图2)的变化(即随前轨21、侧轨29和后轨23所包围的腔的深度变化)而稍微变化。另一方面，可以看到，正压的比率与负压的比率之间的差随前轨21和后轨23的高度减小而减小。特别是，较低高度的前轨21和后轨23使负压能够更好地跟随空气压力的变化，以便有可能使滑动体的浮动高度保持恒定，而与空气压力的变化无关。预期较低高度的前轨21和后轨23将使滑动体在磁盘驱动器10将要操作的各种姿态下(具有不同的大气压力)，可以更好地使浮动高度保持恒定。在第一实施例的本例中，高度H优选地设置为不大于2μm。

较低高度的前轨21和后轨23在磁盘13相对低的切线速度下，可能引起负压的饱和。随着磁盘13的切线速度增加，当负压不能跟随第一和第二空气支承表面24、25a、25b上的升力或正压的进一步增加时，发生这样的饱和。切线速度变得越快。滑动体的浮动高度就变得越大。例如，滑动体的浮动高度在靠近磁盘13周缘的位置处变得较大，在该位置处切线速度比靠近磁盘13中心处大。

在本负压空气支承滑动器14中，槽30使负压能够跟随切线速度。如图5所示，例如，即使使用较低高度的前轨21和后轨23，也看到负压随切线速度变快而增大。一个没有槽30的滑动器在较低切线速度下导致负压的饱和，从而使负压不能随切线速度变高而作任何增加。

槽30优选地尽可能远地向下游安排。如果这样，则由前轨21和侧轨29所包围的腔就变大，以便能产生较大负压。另外，能使负压区移向下游。因此，有可能进一步使滑动体的浮动特性稳定。

其次，将叙述生产负压空气支承滑动器14的优选方法。如图6A所示，在一个薄片40的盘面上形成多个换能器元件或磁头元件，薄片40优选地由Al₂O₃-TiC制成，其上形成Al₂O₃层。换能器元件分别形成块，各限定一个单负压空气支承滑动器14。例如，从一个直径5英寸的薄片能切成10,000个滑动器(按100行乘100列来安排，100×100＝10,000)。换能器元件用一个优选地用Al₂O₃制成的保护层来覆盖。

如图6B所示，其上形成换能器元件的薄片40被切成薄片条40a，它们包括排成一行的滑动器。薄片条40a的暴露表面41构成滑动体的底部19。最终，如图6C所示，从薄片条40a切成各负压空气支承滑动器14。

其次，将作更详细地叙述，以说明怎样构成滑动体的底部19。如图7A所示，用一个金刚石类碳(DLC)层43来覆盖薄片条40a的暴露表面41，在它们之间设置一个Si粘附层42。然后在DLC层上层盖又一个DLC层45，在它们之间设置一个Si粘附层44。在DLC层45的表面上形成一个抗蚀剂膜46，以便构图垫31a、31b、31c、31d的轮廓。

如图7B所示，使用活性离子蚀刻法来蚀刻DLC层45和Si粘附层，以便暴露DLC层43。按照图形构成垫31a、31b、31c、31d的尖端。然后如图7C所示移去抗蚀剂46。

如图7D所示，形成一个光致抗蚀剂47，以构图第一和第二空气支承表面24、25a、25b的轮廓。所构成的垫31a、31b、31c、31d用光致抗蚀剂47来覆盖。如图7E所示，在曝光及显影之后，执行离子铣削法，以蚀刻DLC层43、Si粘附层42和薄片条40a的Al₂O₃-TiC的本体。结果，按照图形构成第一和第二空气支承表面24、25a、25b。同时，完成垫31a、31b、31c、31d的成形。其后，如图7F所示，移去光致抗蚀剂47。

然后，如图8A所示，形成光致抗蚀剂48，以构图前轨21、侧轨29和后轨23的轮廓。所构成的垫31a、31b、31c、31d和构成的第一和第二空气支承表面24、25a、25b用光致抗蚀剂48来覆盖。在暴光及显影之后，执行离子铣削法，以进一步蚀刻薄片条40a的Al₂O₃-TiC的本体。结果，按照图形构成前轨21、侧轨29和后轨23。如图8B所示，当移去光致抗蚀剂48时，在前轨21、侧轨29和后轨23的顶面上出现垫31a、31b、31c、31d，尖端由DLC层45来保护。第一和第二空气支承表面24、25a、25b类似地出现在前轨21和后轨23的顶面上，顶部由DLC层43来保护。这样完成滑动体的底部19的成形。

如图9所示，例如，具有上述负压空气支承滑动器14的换能器元件的第二空气支承表面25a可能包括一个上游端51，它在横向沿第一宽度W1延伸，以便引到台阶27b，以及一个下游端52，它在横向沿比第一宽度W1大的第二宽度延伸。例如，在换能器元件包括一个磁阻(MR)元件的情况下，MR元件应该保护在一对屏蔽层53之间。如果屏蔽层53没能具有足够大的横向尺寸，以屏蔽MR元件免受附近磁场的磁干扰，则MR元件将不能够正确地从磁盘13读出数据。较宽下游端52能够使第二空气支承表面25a具有较小面积，同时仍保持屏蔽层53有较大横向尺寸，从而使第二空气支承表面25b的升力比第二空气支承表面25a的升力大。

第二宽度W2的较宽下游端52能通过沿纵向改变第二空气支承表面25a的横向宽度来实现。例如，如图9所示，第二空气支承表面25a可以沿其横向宽度，从第一宽度W1的上游端51向第二宽度W2的下游端52连续地变大。如图10所示，作为一种变更，第二空气支承表面25a可以沿其纵向保持上游端51的第一宽度W1，直到刚好达到第二宽度W2的下游端52之前为止，其中第二空气支承表面25a一般为L形。图11表示另一种变更，它大体上为图9和图10的部分的组合，其中第二空气支承表面25a保持为上游端51的第一宽度W1，直到第二空气支承表面25a的横向宽度开始向下游端52的第二宽度W2连续地变大为止。

如图12所示，当第二空气支承表面25b处的升力规定比具有换能器元件的第二空气支承表面25a的升力大时，可以使沿横向延伸，以便在第二空气支承表面25a上限定台阶27b的上游端56，比沿横向延伸，以便在第二空气支承表面25b上限定台阶27c的上游端55更靠下游安排。与第二空气支承表面25b的长度比较，这样安排的第二空气支承表面25a、25b用来减小第二空气支承表面25a沿空气流方向的长度。因此，能实现较小的第二空气支承表面25a，以使具有换能器元件的第二空气支承表面25a处的升力设置得比没有换能器元件的第二支承表面25b的升力小。因此，有可能减小第二空气支承表面25a处的升力，而不减小屏蔽层53的横向宽度。

如上所述，当第二空气支承表面25a的上游端56向下游移位时，优选地调节后轨23与前轨29之间的槽30的尺寸。如图12所示，例如，如果侧轨29没能伸向后轨23，以跟随第二空气支承表面25a的上游端56的位移，则槽30变大或变宽。如上所述，宽槽30可以释放在前轨21后面产生的负压。另一方面，如图13所示，当使侧轨29延伸，以跟随上游端56的位移时，能获得较小或较窄槽30，以便能在前轨21后面保持较高负压。较高负压使第二空气支承表面25a能够尽可能近地可靠地接近盘表面。

此外，如图14所示，例如，当需要减小具有换能器元件的第二空气支承表面25a处的升力时，能相对后轨23的底面确定第二空气支承表面25a的位置。除第二空气支承表面25a、25b的面积外，上述在台阶27b、27c产生的较高正压不仅取决于它们的面积和高度，而且取决于后轨23上引到台阶27b、27c的底面的面积。较小底面积产生较小正压，而较大底面积产生较大正压。因此，如图14所示，如果减小后轨23上引到面对滑动体外部的台阶27b的底面积的横向宽度W3，则由于面对滑动体外部的台阶27b比面对滑动体内部的台阶27b接收更大量的空气流，所以能减小带有换能器元件的第二空气支承表面25a处的升力。

此外，如图15所示，例如，当需要减小带有换能器元件的第二空气支承表面25a处的升力时，可以使第二空气支承表面25a包括一个在下游位置处沿横向延伸的下游端57，它能向上游位移。如上所述，从图3显而易见，负压空气支承滑动器14在滑动体的下游端具有最大正压。因此，当下游端57向上游位移，以便减小第二空气支承表面25a的面积时，能有效地减小具有换能器元件的第二空气支承表面25a处的升力。

应该注意，除上述硬盘驱动器(HDD)10外，本发明的负压空气支承滑动器14还可用于各种存储盘驱动器。

虽然已经表示和叙述了本发明的各种不同实施例，但是应该理解，对本领域技术人员来说，其他变更、替换和选择是显而易见的。在不违反应该由所附权利要求书所确定的本发明的精神和范围下，能实现这样的变更、替换和选择。

所附权利要求书中陈述了本发明的各种特征。

Claims (19)

1.一种负压空气支承滑动器，包括：

一个滑动体；

一个第一空气支承表面，形成在滑动体的底部靠近其上游端处，所述第一空气支承表面沿滑动体的横向延伸；以及

一对第二空气支承表面，形成在滑动体的底部靠近其下游端处，所述一对第二空气支承表面与第一空气支承表面分开，并且所述一对第二空气支承表面沿横向相互隔开，以便在它们之间限定一个空气流通路。

2.根据权利要求1的负压空气支承滑动器，其中所述第一空气支承表面限定在一个前轨的底面上，所述前轨从滑动体的底部靠近所述上游端延伸，并且其中所述前轨还沿滑动体的横向延伸。

3.根据权利要求2的负压空气支承滑动器，其中所述第一空气支承表面通过一个台阶与所述前轨的底面连接。

4.根据权利要求2的负压空气支承滑动器，其中在所述前轨的底面上形成一个垫，以便当滑动体安放在盘表面上时，防止所述第一空气支承表面粘到存储盘的盘表面上。

5.根据权利要求2的负压空气支承滑动器，其中所述一对第二空气支承表面分别限定在一对后轨的底面上，所述一对后轨从滑动体的底部靠近其下游端延伸，并且其中所述一对后轨沿横向相互隔开，以便在它们之间限定空气流通路。

6.根据权利要求5的负压空气支承滑动器，其中所述第二空气支承表面分别通过一个台阶，与所述后轨中对应一个的底面连接。

7.根据权利要求5的负压空气支承滑动器，其中在所述后轨中至少一个的底面上限定一个垫，以便当滑动体安放在盘表面上时，防止第二空气支承表面粘到盘表面上。

8.根据权利要求5的负压空气支承滑动器，还包括一对侧轨，形成在滑动体的底部，以便从所述前轨的横端向下游延伸。

9.根据权利要求8的负压空气支承滑动器，其中所述侧轨沿横向各自具有一个厚度，这个厚度比各后轨横向的厚度小。

10.根据权利要求8的负压空气支承滑动器，其中在各所述侧轨与其对应的所述后轨中的一个之间形成一个槽，从而使所述槽把绕过所述前轨流动的空气吸入所述空气流通路。

11.根据权利要求10的负压空气支承滑动器，其中所述第二空气支承表面中的一个之中嵌入一个换能器元件，并且具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面比另一个第二空气支承表面具有较小的表面积。

12.根据权利要求11的负压空气支承滑动器，其中具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面具有一个第一横向宽度的上游端和一个第二横向宽度的下游端，所述第二宽度比所述第一宽度大。

13.根据权利要求11的负压空气支承滑动器，其中具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面在其上游侧通过一个台阶与所述对应的后轨连接，并且没有所述换能器元件的所述第二空气支承表面在其上游侧通过另一个台阶与所述对应的后轨连接，其中在具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面上的所述台阶，比没有所述换能器元件的所述第二空气支承表面上的所述另一个台阶更靠下游安排。

14.根据权利要求13的负压空气支承滑动器，其中靠近具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面的所述槽，比靠近没有所述换能器元件的所述第二空气支承表面的所述槽要长。

15.根据权利要求13的负压空气支承滑动器，其中靠近具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面的所述槽，和靠近没有所述换能器元件的所述第二空气支承表面的所述槽大约具有相同长度。

16.根据权利要求13的负压空气支承滑动器，其中具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面具有一个沿横向延伸的下游端，它向上游移位，以与所述滑动体的所述下游端分开。

17.根据权利要求5的负压空气支承滑动器，其中所述第二空气支承表面中的一个之中嵌入一个换能器元件，并且其中具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面具有一个成角度的侧边部分，以便使具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面的上游端，比所述同一第二空气支承表面的下游端具有较小宽度。

18.根据权利要求5的负压空气支承滑动器，其中所述第二空气支承表面中的一个之中嵌入一个换能器元件，并且其中具有所述换能器元件的所述第二空气支承表面一般形成L形，以便其上游端比其下游端具有较小宽度。

19.一种存储盘驱动器，包括：

至少一个盘，适合于其上存储信息；

一个电动机，用于旋转所述至少一个盘；

一个致动臂，适合于绕一个轴摆动，以选取所述至少一个盘的不同径向部分；

一个负压空气支承滑动器，靠近所述致动臂的远端安排；并且

其中所述负压空气支承滑动器包括：

一个滑动体；

一个第一空气支承表面，形成在滑动体的底部靠近其上游端处，所述第一空气支承表面沿滑动体的横向延伸；以及

一对第二空气支承表面，形成在滑动体的底部靠近其下游端处，所述一对第二空气支承表面与第一空气支承表面分开，并且所述一对第二空气支承表面沿横向相互隔开，以便在它们之间限定一个空气流通路。

Images