JPH10255425A - 磁気ヘッドスライダおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドスライダおよびその製造方法Info
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- JPH10255425A JPH10255425A JP7264597A JP7264597A JPH10255425A JP H10255425 A JPH10255425 A JP H10255425A JP 7264597 A JP7264597 A JP 7264597A JP 7264597 A JP7264597 A JP 7264597A JP H10255425 A JPH10255425 A JP H10255425A
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- facing surface
- pad
- disk
- rail
- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＣＳＳ特性および浮上特性の向上を図りつ
つ、製作を容易にする。 【解決手段】 スライダ１０のディスク対向面１２にク
ロスレール２０と左右のサイドレール２２，２４をつな
げて構成したレール部２６を突出形成する。レール部２
６の前縁部３０および左右側縁部３６，４２をディスク
対向面１２の前縁部２８および左右側縁部３４，４０か
ら少し離して形成する。左右のサイドレールの前後位置
にパッド４８，５０，５２，５４を突出形成する。前側
のパッド４８，５０はレール部前縁部３０から後方に少
し離れた位置に形成する。
つ、製作を容易にする。 【解決手段】 スライダ１０のディスク対向面１２にク
ロスレール２０と左右のサイドレール２２，２４をつな
げて構成したレール部２６を突出形成する。レール部２
６の前縁部３０および左右側縁部３６，４２をディスク
対向面１２の前縁部２８および左右側縁部３４，４０か
ら少し離して形成する。左右のサイドレールの前後位置
にパッド４８，５０，５２，５４を突出形成する。前側
のパッド４８，５０はレール部前縁部３０から後方に少
し離れた位置に形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ハードディスク
装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関し、Ｃ
ＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）特性および浮
上特性の向上を図りつつ、製作を容易にしたものであ
る。
装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関し、Ｃ
ＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）特性および浮
上特性の向上を図りつつ、製作を容易にしたものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ディスク停止状態でディスク面に着地
し、ディスク回転状態で空気流によってディスク面から
浮上するＣＳＳ方式の磁気ヘッドスライダにおいては、
ディスク停止状態でスライダがディスク面に吸着して、
ディスク回転の起動時にモータの負荷を大きくさせた
り、スライダを支持しているサスペンションを破損させ
る等の問題がある。このような問題を解決する手法とし
て、ディスクと対向するスライダ面（ディスク対向面）
に複数の突起を設けて、ディスク停止状態でこの突起部
分でディスク面に着地するようにして、ディスク面に吸
着しないようにしたスライダが提案されている。
し、ディスク回転状態で空気流によってディスク面から
浮上するＣＳＳ方式の磁気ヘッドスライダにおいては、
ディスク停止状態でスライダがディスク面に吸着して、
ディスク回転の起動時にモータの負荷を大きくさせた
り、スライダを支持しているサスペンションを破損させ
る等の問題がある。このような問題を解決する手法とし
て、ディスクと対向するスライダ面（ディスク対向面）
に複数の突起を設けて、ディスク停止状態でこの突起部
分でディスク面に着地するようにして、ディスク面に吸
着しないようにしたスライダが提案されている。
【０００３】例えば、特開平８−２１２７４０号公報に
は、ディスク対向面の左右にレールを平行に形成し、こ
れらレールの前端部付近にテーパ面を形成して空気流に
よる揚力を得るようにしたスライダにおいて、左右レー
ルの前部と後部にそれぞれ突起を形成したものが記載さ
れている。また、特開平７−２１７１６号公報や特開平
７−２１７１７号公報には、ディスク対向面の前部左右
と後部左右にそれぞれ突起（パッド）を形成し、この突
起の表面をテーパ面に形成して空気流による揚力を得る
ようにしたもの、あるいはテーパ面に形成する代わりに
前側の突起の高さを後ろ側の突起の高さよりも高くし
て、ディスク面に着地した状態でディスク対向面全体が
ディスク面に対してテーパ角を形成するようにして空気
流による揚力を得るようにしたものが記載されている。
は、ディスク対向面の左右にレールを平行に形成し、こ
れらレールの前端部付近にテーパ面を形成して空気流に
よる揚力を得るようにしたスライダにおいて、左右レー
ルの前部と後部にそれぞれ突起を形成したものが記載さ
れている。また、特開平７−２１７１６号公報や特開平
７−２１７１７号公報には、ディスク対向面の前部左右
と後部左右にそれぞれ突起（パッド）を形成し、この突
起の表面をテーパ面に形成して空気流による揚力を得る
ようにしたもの、あるいはテーパ面に形成する代わりに
前側の突起の高さを後ろ側の突起の高さよりも高くし
て、ディスク面に着地した状態でディスク対向面全体が
ディスク面に対してテーパ角を形成するようにして空気
流による揚力を得るようにしたものが記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記特開平８−２１２
７４０号公報に記載のスライダのレール上の突起は揚力
を与える作用は有しないから、揚力を与えるためには別
途レール先端部付近にテーパ面を形成する必要があり、
製作が容易でなかった。また、前記特開平７−２１７１
６号公報や特開平７−２１７１７号公報に記載のスライ
ダは、上流側から下流側に延びるレールに相当するもの
が存在せず、前側のパッドと後ろ側のパッドは空気力学
的に完全に分断されており、安定した浮上特性を得るの
が難しかった。また、パッド下面にテーパをつける必要
があり、製作が容易でなかった。
７４０号公報に記載のスライダのレール上の突起は揚力
を与える作用は有しないから、揚力を与えるためには別
途レール先端部付近にテーパ面を形成する必要があり、
製作が容易でなかった。また、前記特開平７−２１７１
６号公報や特開平７−２１７１７号公報に記載のスライ
ダは、上流側から下流側に延びるレールに相当するもの
が存在せず、前側のパッドと後ろ側のパッドは空気力学
的に完全に分断されており、安定した浮上特性を得るの
が難しかった。また、パッド下面にテーパをつける必要
があり、製作が容易でなかった。
【０００５】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して、ＣＳＳ特性および浮上特性の向上を図り
つつ、製作を容易にした磁気ヘッドスライダを提供しよ
うとするものである。
点を解決して、ＣＳＳ特性および浮上特性の向上を図り
つつ、製作を容易にした磁気ヘッドスライダを提供しよ
うとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の磁気ヘッドス
ライダは、ディスク対向面の前縁部に沿って突出形成さ
れたクロスレールと当該ディスク対向面の左右側縁部に
沿って突出形成された左右のサイドレールを相互につな
がった状態に形成して当該ディスク対向面にレール部を
構成し、このレール部で囲まれた箇所に負圧発生凹部を
構成してなる磁気ヘッドスライダにおいて、前記レール
部の外周縁部のうち少なくとも前縁部および左右側縁部
を前記ディスク対向面の前縁部および左右側縁部から所
定距離離して形成し、前記レール部上には、前記左右の
サイドレールの前部位置でかつ当該レール部の前縁部か
ら所定距離後方に離れた位置にパッドを左右別々に突出
形成し、かつ当該左右のサイドレールの後部位置にパッ
ドを左右別々に突出形成してなり、前記ディスク対向面
を、前記レール部の周囲の部分を構成する下段の高さの
平坦面と、前記パッド以外のレール部を構成する中段の
高さの平坦面と、前記パッドを構成する上段の高さの平
坦面の互いに平行な３段階の平坦面で構成してなるもの
である。また、この発明の別の磁気ヘッドスライダは、
前側のパッドを左右のサイドレール間をつなぐように形
成された１つの連続したパッドとして構成したものであ
る。
ライダは、ディスク対向面の前縁部に沿って突出形成さ
れたクロスレールと当該ディスク対向面の左右側縁部に
沿って突出形成された左右のサイドレールを相互につな
がった状態に形成して当該ディスク対向面にレール部を
構成し、このレール部で囲まれた箇所に負圧発生凹部を
構成してなる磁気ヘッドスライダにおいて、前記レール
部の外周縁部のうち少なくとも前縁部および左右側縁部
を前記ディスク対向面の前縁部および左右側縁部から所
定距離離して形成し、前記レール部上には、前記左右の
サイドレールの前部位置でかつ当該レール部の前縁部か
ら所定距離後方に離れた位置にパッドを左右別々に突出
形成し、かつ当該左右のサイドレールの後部位置にパッ
ドを左右別々に突出形成してなり、前記ディスク対向面
を、前記レール部の周囲の部分を構成する下段の高さの
平坦面と、前記パッド以外のレール部を構成する中段の
高さの平坦面と、前記パッドを構成する上段の高さの平
坦面の互いに平行な３段階の平坦面で構成してなるもの
である。また、この発明の別の磁気ヘッドスライダは、
前側のパッドを左右のサイドレール間をつなぐように形
成された１つの連続したパッドとして構成したものであ
る。
【０００７】この発明によれば、ディスク停止状態でパ
ッド部分でディスク面に着地するので、ディスク面との
接触面積が縮小されて、ディスク面への吸着が防止さ
れ、ＣＳＳ特性が向上する。また、ディスク対向面の上
流側の左右両側部分が、ディスク対向面の前縁部からレ
ール部の前縁部までの下段の高さに構成された部分と、
レール前縁部から前側のパッドの前縁部までの中段の高
さに構成された部分と、前側のパッドの表面の上段の高
さに構成された部分の３段階に順次ステップアップする
ように構成されているので、テーパ面と同等に作用しデ
ィスク回転による空気流によって揚力を発生することが
できる。したがって、ディスク対向面にテーパ面を形成
する必要がなく、製作が容易になる。特に、前側のパッ
ドをその位置でのサイドレールのほぼ全幅にわたり形成
することにより、３段階に順次ステップアップする部分
の幅が広く得られ、大きな揚力を得ることができる。ま
た、各パッドの長手方向寸法を短くして横長に形成する
ことにより、スキュー角（トラック接線方向に対するス
ライダ前後方向中心線のなす角度）が生じた時やシーク
動作時にスライダ側面から流入する空気流による浮上量
の変動を小さく抑えることができる。また、この発明に
よれば、クロスレールと左右のサイドレールで囲まれた
箇所に構成される負圧発生凹部によって負圧スライダを
構成するので、サスペンション荷重やサスペンションに
対する着地位置のばらつき等加工組立公差の影響を受け
にくい。
ッド部分でディスク面に着地するので、ディスク面との
接触面積が縮小されて、ディスク面への吸着が防止さ
れ、ＣＳＳ特性が向上する。また、ディスク対向面の上
流側の左右両側部分が、ディスク対向面の前縁部からレ
ール部の前縁部までの下段の高さに構成された部分と、
レール前縁部から前側のパッドの前縁部までの中段の高
さに構成された部分と、前側のパッドの表面の上段の高
さに構成された部分の３段階に順次ステップアップする
ように構成されているので、テーパ面と同等に作用しデ
ィスク回転による空気流によって揚力を発生することが
できる。したがって、ディスク対向面にテーパ面を形成
する必要がなく、製作が容易になる。特に、前側のパッ
ドをその位置でのサイドレールのほぼ全幅にわたり形成
することにより、３段階に順次ステップアップする部分
の幅が広く得られ、大きな揚力を得ることができる。ま
た、各パッドの長手方向寸法を短くして横長に形成する
ことにより、スキュー角（トラック接線方向に対するス
ライダ前後方向中心線のなす角度）が生じた時やシーク
動作時にスライダ側面から流入する空気流による浮上量
の変動を小さく抑えることができる。また、この発明に
よれば、クロスレールと左右のサイドレールで囲まれた
箇所に構成される負圧発生凹部によって負圧スライダを
構成するので、サスペンション荷重やサスペンションに
対する着地位置のばらつき等加工組立公差の影響を受け
にくい。
【０００８】また、請求項２の発明によれば、前側のパ
ッドが左右のレール間をつなぐように連続した１つのパ
ッドとして構成されているので、前側のパッドの幅方向
中央部から負圧発生凹部へ至る部分の段差が大きく、負
圧発生凹部に、より大きな負圧を発生させることができ
る。
ッドが左右のレール間をつなぐように連続した１つのパ
ッドとして構成されているので、前側のパッドの幅方向
中央部から負圧発生凹部へ至る部分の段差が大きく、負
圧発生凹部に、より大きな負圧を発生させることができ
る。
【０００９】また、請求項１の発明によれば、前側のパ
ッドおよび後ろ側のパッドがともに左右に分けて配置さ
れているので、流入空気によって各パッド位置で発生す
る正圧によってスライダを前側左右位置および後ろ側左
右位置で安定に支持することができる。請求項２の発明
においても、前側のパッドの中央部分の前後方向の長さ
を左右の部分の前後方向の長さよりも短く形成すること
により、前側のパッドの左右部分に発生する正圧を中央
部分に発生する正圧よりも大きくすることができ、スラ
イダを前側左右位置および後ろ側左右位置で安定に支持
することができる。
ッドおよび後ろ側のパッドがともに左右に分けて配置さ
れているので、流入空気によって各パッド位置で発生す
る正圧によってスライダを前側左右位置および後ろ側左
右位置で安定に支持することができる。請求項２の発明
においても、前側のパッドの中央部分の前後方向の長さ
を左右の部分の前後方向の長さよりも短く形成すること
により、前側のパッドの左右部分に発生する正圧を中央
部分に発生する正圧よりも大きくすることができ、スラ
イダを前側左右位置および後ろ側左右位置で安定に支持
することができる。
【００１０】なお、パッドの合計の面積は、ディスク対
向面全体の面積の１０％以上３０％以下で最適である。
また、レールの基準面に対するパッドの高さ（すなわ
ち、中段と上段の高さの差）は０．０５〜０．５μｍが
最適である。また、ディスク対向面の基底面に対するパ
ッド表面の高さ（すなわち下段と上段の高さの差）は
０．５〜５．０μｍが最適である。
向面全体の面積の１０％以上３０％以下で最適である。
また、レールの基準面に対するパッドの高さ（すなわ
ち、中段と上段の高さの差）は０．０５〜０．５μｍが
最適である。また、ディスク対向面の基底面に対するパ
ッド表面の高さ（すなわち下段と上段の高さの差）は
０．５〜５．０μｍが最適である。
【００１１】この発明の磁気ヘッドスライダの製造方法
は、上段に相当する高さで平坦面状に形成されたディス
ク対向面を、パッドを形成する部分をマスクした状態で
中段の高さまでエッチングする第１の工程と、レール部
全体を形成する部分をマスクした状態で下段の高さまで
エッチングする第２の工程とにより、３段階の平坦面で
構成されるディスク対向面を形成してなるものである。
これによれば、２回のエッチングでこの発明の磁気ヘッ
ドスライダのディスク対向面を形成することができ、テ
ーパ面を形成する必要がないので、製造が容易である。
は、上段に相当する高さで平坦面状に形成されたディス
ク対向面を、パッドを形成する部分をマスクした状態で
中段の高さまでエッチングする第１の工程と、レール部
全体を形成する部分をマスクした状態で下段の高さまで
エッチングする第２の工程とにより、３段階の平坦面で
構成されるディスク対向面を形成してなるものである。
これによれば、２回のエッチングでこの発明の磁気ヘッ
ドスライダのディスク対向面を形成することができ、テ
ーパ面を形成する必要がないので、製造が容易である。
【００１２】
（実施の形態１）この発明の第１の実施の形態を図１に
ディスク対向面斜め上流側から見た斜視図で示す。ま
た、その平面図を図２に示す。スライダ１０は、アルチ
ック（Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ）等の材料で作られている。
スライダ１０のディスク対向面１２にはレールパターン
がイオンミリングによる堀込加工等で形成されている。
ディスク対向面１２は、上段、中段、下段の３段階の互
いに平行な平坦面で構成されている。図２において、白
抜き部分は上段の高さの平坦面１４を示し、間隔が粗い
ハッチング部分は中段の高さの平坦面１６を示し、間隔
が密なハッチング部分は下段の高さの平坦面１８を示
す。
ディスク対向面斜め上流側から見た斜視図で示す。ま
た、その平面図を図２に示す。スライダ１０は、アルチ
ック（Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ）等の材料で作られている。
スライダ１０のディスク対向面１２にはレールパターン
がイオンミリングによる堀込加工等で形成されている。
ディスク対向面１２は、上段、中段、下段の３段階の互
いに平行な平坦面で構成されている。図２において、白
抜き部分は上段の高さの平坦面１４を示し、間隔が粗い
ハッチング部分は中段の高さの平坦面１６を示し、間隔
が密なハッチング部分は下段の高さの平坦面１８を示
す。
【００１３】ディスク対向面１２の構造を説明する。デ
ィスク対向面１２には、クロスレール２０と左右のサイ
ドレール２２，２４を相互につないだ状態に形成したレ
ール部２６が構成されている。クロスレール２０はディ
スク対向面前縁部２８に沿って形成されている。ディス
ク対向面前縁部２８とレール部前縁部３０との間には、
細幅の下段部３２が構成されている。左サイドレール２
２はディスク対向面左側縁部３４に沿って形成されてい
る。ディスク対向面左側縁部３４とレール部左側縁部３
６との間には細幅の下段部３８が形成されている。ディ
スク対向面右側縁部４０とレール部右側縁部４２との間
には細幅の下段部４４が構成されている。クロスレール
２０と左右サイドレール２２，２４で囲まれた部分に
は、下段の高さの負圧発生凹部４６が構成されている。
ィスク対向面１２には、クロスレール２０と左右のサイ
ドレール２２，２４を相互につないだ状態に形成したレ
ール部２６が構成されている。クロスレール２０はディ
スク対向面前縁部２８に沿って形成されている。ディス
ク対向面前縁部２８とレール部前縁部３０との間には、
細幅の下段部３２が構成されている。左サイドレール２
２はディスク対向面左側縁部３４に沿って形成されてい
る。ディスク対向面左側縁部３４とレール部左側縁部３
６との間には細幅の下段部３８が形成されている。ディ
スク対向面右側縁部４０とレール部右側縁部４２との間
には細幅の下段部４４が構成されている。クロスレール
２０と左右サイドレール２２，２４で囲まれた部分に
は、下段の高さの負圧発生凹部４６が構成されている。
【００１４】左右サイドレール２２，２４の前部位置で
レール部前縁部３０から所定距離後方に離れた位置に
は、パッド４８，５０が左右サイドレール２２，２４の
全幅にわたりそれぞれ形成されている。また、左右サイ
ドレール２２，２４の後部位置には、パッド５２，５４
が左右サイドレール２２，２４の全幅にわたりそれぞれ
形成されている。パッド４８，５０，５２，５４は上段
の高さに形成されている。パッド４８，５０，５２，５
４以外のレール部２６は中段の高さに形成されている。
レール部前縁部３０から所定距離後方に離れた位置に
は、パッド４８，５０が左右サイドレール２２，２４の
全幅にわたりそれぞれ形成されている。また、左右サイ
ドレール２２，２４の後部位置には、パッド５２，５４
が左右サイドレール２２，２４の全幅にわたりそれぞれ
形成されている。パッド４８，５０，５２，５４は上段
の高さに形成されている。パッド４８，５０，５２，５
４以外のレール部２６は中段の高さに形成されている。
【００１５】パッド４８，５０，５２，５４はいずれも
横長でほぼ等しい面積に形成されている。また、各パッ
ド４８，５０，５２，５４の前寄り内側の角部には面取
り４８ａ，５０ａ，５２ａ，５４ａが施され、後ろ寄り
外側の角部には面取り４８ｂ，５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ
が施されている。右サイドレール２４の後部位置のパッ
ド５４の後縁部付近には、ＭＲ型素子（ＧＭＲ型素子を
含む。）と誘導型素子を組み合わせた、あるいは誘導型
素子単独の薄膜磁気ヘッド素子５６が埋設されており、
そのポール端面がパッド５４の表面に露出している。
横長でほぼ等しい面積に形成されている。また、各パッ
ド４８，５０，５２，５４の前寄り内側の角部には面取
り４８ａ，５０ａ，５２ａ，５４ａが施され、後ろ寄り
外側の角部には面取り４８ｂ，５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ
が施されている。右サイドレール２４の後部位置のパッ
ド５４の後縁部付近には、ＭＲ型素子（ＧＭＲ型素子を
含む。）と誘導型素子を組み合わせた、あるいは誘導型
素子単独の薄膜磁気ヘッド素子５６が埋設されており、
そのポール端面がパッド５４の表面に露出している。
【００１６】左右のサイドレール２２，２４の外周縁部
の、パッド４８，５０よりも下流側の位置には山型の切
り込み５８，６０が形成され、この切り込み５８，６０
よりも下流側の内周縁部には、山型の切り込み６２，６
４が形成されている。
の、パッド４８，５０よりも下流側の位置には山型の切
り込み５８，６０が形成され、この切り込み５８，６０
よりも下流側の内周縁部には、山型の切り込み６２，６
４が形成されている。
【００１７】尚、上段の高さの平坦面１４と中段の高さ
の平坦面１６との高さの差は例えば０．０５〜０．５μ
ｍに設定し、上段の高さの平坦面１４と下段の高さの平
坦面１８との高さの差は例えば０．５〜５．０μｍに設
定する。また、パッド４８，５０，５２，５４を合わせ
た面積はディスク対向面１２の全面積の例えば１０〜３
０％に設定する。
の平坦面１６との高さの差は例えば０．０５〜０．５μ
ｍに設定し、上段の高さの平坦面１４と下段の高さの平
坦面１８との高さの差は例えば０．５〜５．０μｍに設
定する。また、パッド４８，５０，５２，５４を合わせ
た面積はディスク対向面１２の全面積の例えば１０〜３
０％に設定する。
【００１８】図１の磁気ヘッドスライダ１０を、４００
０ｒｐｍで回転しているハードディスクの中心から２
６．６４mmの位置に３．１度のスキュー角で浮上させた
時のディスク対向面１２に生じる圧力分布を図３に示
す。ディスク対向面１２の上流端の左右両側の部分は、
下段の高さの平坦面１８で構成される下段部３２から中
段の高さの平坦面１６で構成されるレール部２６の左右
前部６６，６８を経て上段の高さの平坦面１４で構成さ
れるパッド４８，５０へと順次ステップアップするの
で、テーパ面を形成したのと同様になり、揚力が得られ
る。特にパッド４８，５０はその位置での左右のサイド
レール２２，２４の全幅にわたり形成されているので十
分な揚力が得られる。また、パッド４８，５０，５２，
５４は横長に形成されているのでスキュー角の影響を受
けにくくなっている。これはまたシーク時の浮上量変動
の減少につながる。特に、パッド４８，５０，５２，５
４には面取り４８ａ，４８ｂ，５０ａ，５０ｂ，５２
ａ，５２ｂ，５４ａ，５４ｂが施されているので、斜行
気流による影響を受けにくく、スキュー角やシーク動作
による浮上量変動がより効果的に抑えられる。
０ｒｐｍで回転しているハードディスクの中心から２
６．６４mmの位置に３．１度のスキュー角で浮上させた
時のディスク対向面１２に生じる圧力分布を図３に示
す。ディスク対向面１２の上流端の左右両側の部分は、
下段の高さの平坦面１８で構成される下段部３２から中
段の高さの平坦面１６で構成されるレール部２６の左右
前部６６，６８を経て上段の高さの平坦面１４で構成さ
れるパッド４８，５０へと順次ステップアップするの
で、テーパ面を形成したのと同様になり、揚力が得られ
る。特にパッド４８，５０はその位置での左右のサイド
レール２２，２４の全幅にわたり形成されているので十
分な揚力が得られる。また、パッド４８，５０，５２，
５４は横長に形成されているのでスキュー角の影響を受
けにくくなっている。これはまたシーク時の浮上量変動
の減少につながる。特に、パッド４８，５０，５２，５
４には面取り４８ａ，４８ｂ，５０ａ，５０ｂ，５２
ａ，５２ｂ，５４ａ，５４ｂが施されているので、斜行
気流による影響を受けにくく、スキュー角やシーク動作
による浮上量変動がより効果的に抑えられる。
【００１９】また、図３によれば、左サイドレール２２
の前後のパッド４８，５２の間の部分および右サイドレ
ール２４の前後のパッド５０，５４の間の部分では正圧
はほとんど発生してない。したがって、このスライダ１
０は浮上時に４箇所のパッド４８，５０，５２，５４の
位置に発生する正圧によって４点で安定に支持される。
また負圧発生凹部４６には一般的なスライダと同程度の
負圧が発生している。これにより、負圧スライダの利点
である加工組立公差の浮上への影響を小さくする効果を
備え持つ。
の前後のパッド４８，５２の間の部分および右サイドレ
ール２４の前後のパッド５０，５４の間の部分では正圧
はほとんど発生してない。したがって、このスライダ１
０は浮上時に４箇所のパッド４８，５０，５２，５４の
位置に発生する正圧によって４点で安定に支持される。
また負圧発生凹部４６には一般的なスライダと同程度の
負圧が発生している。これにより、負圧スライダの利点
である加工組立公差の浮上への影響を小さくする効果を
備え持つ。
【００２０】また、ディスク停止時には、パッド４８，
５０，５２，５４のみでディスク面に着地するので吸着
力が弱く、良好なＣＳＳ特性が得られる。また、パッド
４８，５０，５２，５４は前後方向の長さが短く、また
クラウン頂上部のほとんどが切り欠かれている（パッド
４８，５０，５２，５４によって挟まれる空間部）の
で、クラウンという概念自体あまり無く、クラウン量コ
ントロールを必要としない。つまり、一般にクラウン量
は最大部分（ディスク対向面周縁部のクラウンボトム部
とディスク対向面中央部のクラウン頂上部との高さの
差）が０．０５μｍ程度で、パッド４８，５０，５２，
５４で挟まれた部分のクラウン量はそれよりも小さいの
で、上段の高さの平坦面１４と中段の高さの平坦面１６
との高さの差を前述のように０．０５〜０．５μｍ程度
に設定すれば、パッド４８，５０，５２，５４によって
挟まれた部分のサイドレール２２，２４の表面の高さは
パッド４８，５０，５２，５４の表面の高さよりも必ず
低くなり、パッド４８，５０，５２，５４以外がディス
ク面に着地することはない。
５０，５２，５４のみでディスク面に着地するので吸着
力が弱く、良好なＣＳＳ特性が得られる。また、パッド
４８，５０，５２，５４は前後方向の長さが短く、また
クラウン頂上部のほとんどが切り欠かれている（パッド
４８，５０，５２，５４によって挟まれる空間部）の
で、クラウンという概念自体あまり無く、クラウン量コ
ントロールを必要としない。つまり、一般にクラウン量
は最大部分（ディスク対向面周縁部のクラウンボトム部
とディスク対向面中央部のクラウン頂上部との高さの
差）が０．０５μｍ程度で、パッド４８，５０，５２，
５４で挟まれた部分のクラウン量はそれよりも小さいの
で、上段の高さの平坦面１４と中段の高さの平坦面１６
との高さの差を前述のように０．０５〜０．５μｍ程度
に設定すれば、パッド４８，５０，５２，５４によって
挟まれた部分のサイドレール２２，２４の表面の高さは
パッド４８，５０，５２，５４の表面の高さよりも必ず
低くなり、パッド４８，５０，５２，５４以外がディス
ク面に着地することはない。
【００２１】図１のスライダ１０のディスク対向面１２
の加工手順を図４を参照して説明する。 ｉ） ディスク対向面１２は当初全体が上段の高さの平
坦面１４に形成されている。右後縁部付近には薄膜磁気
ヘッド素子５６のポール先端面が露出している。 ii） パッド４８，５０，５２，５４を形成する部分に
レジストでマスク７０を施し、ミリングイオンを照射し
て、露出している部分をイオンミリングでエッチング掘
り込みして、中段の高さの平坦面１６を形成する。
の加工手順を図４を参照して説明する。 ｉ） ディスク対向面１２は当初全体が上段の高さの平
坦面１４に形成されている。右後縁部付近には薄膜磁気
ヘッド素子５６のポール先端面が露出している。 ii） パッド４８，５０，５２，５４を形成する部分に
レジストでマスク７０を施し、ミリングイオンを照射し
て、露出している部分をイオンミリングでエッチング掘
り込みして、中段の高さの平坦面１６を形成する。
【００２２】iii) マスク７０を除去した後、レール部
２６全体を形成する部分にレジストでマスク７２を施
し、ミリングイオンを照射して、露出している部分をイ
オンミリングでエッチング掘り込みして、下段の高さの
平坦面１８を形成する。 iv） マスク７０を除去することにより、ディスク対向
面１２の加工が完了する。 以上のようにして、２回のエッチングで簡単かつ高精度
にディスク対向面１２を加工形成することができる。
２６全体を形成する部分にレジストでマスク７２を施
し、ミリングイオンを照射して、露出している部分をイ
オンミリングでエッチング掘り込みして、下段の高さの
平坦面１８を形成する。 iv） マスク７０を除去することにより、ディスク対向
面１２の加工が完了する。 以上のようにして、２回のエッチングで簡単かつ高精度
にディスク対向面１２を加工形成することができる。
【００２３】（実施の形態２）この発明の第２の実施の
形態を図５にディスク対向面斜め上流側から見た斜視図
で示す。また、その平面図を図６に示す。このスライダ
７４は、薄膜磁気ヘッド素子５６を、ディスク対向面１
２の後端部中央位置に上段の高さに形成した突部７６に
埋設配置したものである。突部７６の前縁部には面取り
７８，８０が施されている。他の構成は前記図１のスラ
イダ１０と概ね同じである。図１のスライダと共通する
部分には同一の符号を用いる。
形態を図５にディスク対向面斜め上流側から見た斜視図
で示す。また、その平面図を図６に示す。このスライダ
７４は、薄膜磁気ヘッド素子５６を、ディスク対向面１
２の後端部中央位置に上段の高さに形成した突部７６に
埋設配置したものである。突部７６の前縁部には面取り
７８，８０が施されている。他の構成は前記図１のスラ
イダ１０と概ね同じである。図１のスライダと共通する
部分には同一の符号を用いる。
【００２４】図５のスライダ７４による浮上時のディス
ク対向面１２での圧力分布を図７に示す。これは４２０
０ｒｐｍで回転しているハードディスク上の中心から１
４．３mmの位置に６．３８度のスキュー角で浮上させた
時のものである。これによれば、前記図１のスライダ１
０と同様の４点支持による浮上特性が得られている。
ク対向面１２での圧力分布を図７に示す。これは４２０
０ｒｐｍで回転しているハードディスク上の中心から１
４．３mmの位置に６．３８度のスキュー角で浮上させた
時のものである。これによれば、前記図１のスライダ１
０と同様の４点支持による浮上特性が得られている。
【００２５】（実施の形態３）この発明の第３の実施の
形態を図８にディスク対向面斜め上流側から見た斜視図
で示す。また、その平面図を図９に示す。前記図１、図
５のスライダ１０，７４と共通する部分には、同一の符
号を用いる。このスライダ８２は、前側のパッド８４を
左右のサイドレール２２，２４をつなぎかつクロスレー
ル２０を構成するように連続した１つのパッドとして構
成したものである。パッド８４の中央部分８４ａの前後
方向の長さＬ１はその左右部分８４ｂ，８４ｃの前後方
向の長さＬ２よりも短く形成され、中央部分８４ａでの
正圧が左右部分８４ｂ，８４ｃの正圧よりも低くなるよ
うにしている。また、パッド８４の左右部分８４ｂ，８
４ｃの前方には、サイドレール２２，２４の延長上に中
段の高さの部分８６，８８がディスク対向面前縁部２８
の近くまで形成されている。後ろ側のパッド５２，５４
には薄膜磁気ヘッド素子９０，５６がそれぞれ配設され
ている。
形態を図８にディスク対向面斜め上流側から見た斜視図
で示す。また、その平面図を図９に示す。前記図１、図
５のスライダ１０，７４と共通する部分には、同一の符
号を用いる。このスライダ８２は、前側のパッド８４を
左右のサイドレール２２，２４をつなぎかつクロスレー
ル２０を構成するように連続した１つのパッドとして構
成したものである。パッド８４の中央部分８４ａの前後
方向の長さＬ１はその左右部分８４ｂ，８４ｃの前後方
向の長さＬ２よりも短く形成され、中央部分８４ａでの
正圧が左右部分８４ｂ，８４ｃの正圧よりも低くなるよ
うにしている。また、パッド８４の左右部分８４ｂ，８
４ｃの前方には、サイドレール２２，２４の延長上に中
段の高さの部分８６，８８がディスク対向面前縁部２８
の近くまで形成されている。後ろ側のパッド５２，５４
には薄膜磁気ヘッド素子９０，５６がそれぞれ配設され
ている。
【００２６】図８のスライダ８２による浮上時のディス
ク対向面１２での圧力分布を図１０に示す。これは４０
００ｒｐｍで回転しているハードディスク上の中心から
１９．３mmの位置に２．９１度のスキュー角で浮上させ
た時のものである。これによれば、前記図１、図５のス
ライダ１０，７４と同様に４点支持の浮上特性が得られ
ている。特に前側パッド８４の中央部８４ａから負圧発
生凹部４６への段差が大きいので大きな負圧が得られ
る。尚、前側パッド８４の上流に形成する中段部を左右
の部分８６，８８に分断せずに前側パッド８４の上流側
の幅方向全体に中段部を構成することもできる。
ク対向面１２での圧力分布を図１０に示す。これは４０
００ｒｐｍで回転しているハードディスク上の中心から
１９．３mmの位置に２．９１度のスキュー角で浮上させ
た時のものである。これによれば、前記図１、図５のス
ライダ１０，７４と同様に４点支持の浮上特性が得られ
ている。特に前側パッド８４の中央部８４ａから負圧発
生凹部４６への段差が大きいので大きな負圧が得られ
る。尚、前側パッド８４の上流に形成する中段部を左右
の部分８６，８８に分断せずに前側パッド８４の上流側
の幅方向全体に中段部を構成することもできる。
【図１】 この発明の第１の実施の形態を示す図で、デ
ィスク対向面斜め上流側から見た斜視図である。
ィスク対向面斜め上流側から見た斜視図である。
【図２】 図１のスライダの平面図である。
【図３】 図１のスライダの浮上時のディスク対向面に
おける圧力分布図である。
おける圧力分布図である。
【図４】 図１のスライダのディスク対向面の加工工程
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図５】 この発明の第２の実施の形態を示す図で、デ
ィスク対向面斜め上流側から見た斜視図である。
ィスク対向面斜め上流側から見た斜視図である。
【図６】 図５のスライダの平面図である。
【図７】 図５のスライダの浮上時のディスク対向面に
おける圧力分布図である。
おける圧力分布図である。
【図８】 この発明の第３の実施の形態を示す図で、デ
ィスク対向面斜め上流側から見た斜視図である。
ィスク対向面斜め上流側から見た斜視図である。
【図９】 図８のスライダの平面図である。
【図１０】 図８のスライダの浮上時のディスク対向面
における圧力分布図である。
における圧力分布図である。
１０ 磁気ヘッドスライダ １２ ディスク対向面 １４ 上段の高さの平坦面 １６ 中段の高さの平坦面 １８ 下段の高さの平坦面 ２０ クロスレール ２２ 左サイドレール ２４ 右サイドレール ２６ レール部 ２８ ディスク対向面前縁部 ３０ レール部前縁部 ３４ ディスク対向面左側縁部 ３６ レール部左側縁部 ４０ ディスク対向面右側縁部 ４２ レール部右側縁部 ４６ 負圧発生凹部 ４８，５０，５２，５４ パッド ６６，６８，８６，８８ 前側のパッドよりも前方側
の、パッドの一部を構成しないレール部分 ７４，８２ 磁気ヘッドスライダ ８４ １つの連続したパッド ８４ａ パッド幅方向中央部 ８４ｂ，８４ｃ パッド幅方向左右部分 Ｌ１ パッド幅方向中央部の前後方向の長さ Ｌ２ パッド幅方向左右部分の前後方向の長さ
の、パッドの一部を構成しないレール部分 ７４，８２ 磁気ヘッドスライダ ８４ １つの連続したパッド ８４ａ パッド幅方向中央部 ８４ｂ，８４ｃ パッド幅方向左右部分 Ｌ１ パッド幅方向中央部の前後方向の長さ Ｌ２ パッド幅方向左右部分の前後方向の長さ
Claims (8)
- 【請求項１】ディスク対向面の前縁部に沿って突出形成
されたクロスレールと当該ディスク対向面の左右側縁部
に沿って突出形成された左右のサイドレールを相互につ
ながった状態に形成して当該ディスク対向面にレール部
を構成し、このレール部で囲まれた箇所に負圧発生凹部
を構成してなる磁気ヘッドスライダにおいて、 前記レール部の外周縁部のうち少なくとも前縁部および
左右側縁部を前記ディスク対向面の前縁部および左右側
縁部から所定距離離して形成し、 前記レール部上には、前記左右のサイドレールの前部位
置でかつ当該レール部の前縁部から所定距離後方に離れ
た位置にパッドを左右別々に突出形成し、かつ当該左右
のサイドレールの後部位置にパッドを左右別々に突出形
成してなり、 前記ディスク対向面を、前記レール部の周囲の部分を構
成する下段の高さの平坦面と、前記パッド以外のレール
部を構成する中段の高さの平坦面と、前記パッドを構成
する上段の高さの平坦面の互いに平行な３段階の平坦面
で構成してなる磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】ディスク対向面の前縁部に沿って突出形成
されたクロスレールと当該ディスク対向面の左右側縁部
に沿って突出形成された左右のサイドレールを相互につ
ながった状態に形成して当該ディスク対向面にレール部
を構成し、このレール部で囲まれた箇所に負圧発生凹部
を構成してなる磁気ヘッドスライダにおいて、 前記レール部の外周縁部のうち少なくとも前縁部および
左右側縁部を前記ディスク対向面の前縁部および左右側
縁部から所定距離離して形成し、 前記レール部上の前部位置には前記左右のサイドレール
上から前記クロスレール上にかけて１つの連続したパッ
ドを突出形成し、前記左右のサイドレール上の後部位置
にはパッドを左右別々に突出形成し、かつ前記前側のパ
ッドよりも前方側の少なくとも前記左右のサイドレール
の延長上の位置には当該前側のパッドの一部を構成しな
いレール部分を当該前側のパッドの前縁部につなげて構
成してなり、 前記ディスク対向面を、前記レール部の周囲の部分を構
成する下段の高さの平坦面と、前記パッド以外のレール
部を構成する中段の高さの平坦面と、前記パッドを構成
する上段の高さの平坦面の互いに平行な３段階の平坦面
で構成してなる磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項３】前記前側のパッドにおける前記負圧発生凹
部に隣接する幅方向中央部の前後方向の長さを、その左
右部分の前後方向の長さよりも短く形成してなる請求項
２記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項４】前記前側のパッドをその位置での前記左右
のサイドレールのほぼ全幅にわたり形成してなる請求項
１から３のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項５】前記パッドがいずれも横長に形成されてい
る請求項１から４のいずれかに記載の磁気ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項６】前記パッドの合計の面積が前記ディスク対
向面の全体の面積の１０％以上３０％以下に設定されて
いる請求項１から５のいずれかに記載の磁気ヘッドスラ
イダ。 - 【請求項７】前記上段の高さの平坦面と前記中段の高さ
の平坦面との高さの差が０．０５μｍ以上０．５μｍ以
下であり、前記上段の高さの平坦面と前記下段の高さの
平坦面との高さの差が０．５μｍ以上５．０μｍ以下に
設定されている請求項１から６のいずれかに記載の磁気
ヘッドスライダ。 - 【請求項８】前記上段に相当する高さで平坦面状に形成
されたディスク対向面を、前記パッドを形成する部分を
マスクした状態で前記中段の高さまでエッチングする第
１の工程と、 前記レール部全体を形成する部分をマスクした状態で前
記下段の高さまでエッチングする第２の工程とにより、
前記３段階の平坦面で構成されるディスク対向面を形成
してなる請求項１から７のいずれかに記載の磁気ヘッド
スライダの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7264597A JPH10255425A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 磁気ヘッドスライダおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7264597A JPH10255425A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 磁気ヘッドスライダおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10255425A true JPH10255425A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=13495338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7264597A Pending JPH10255425A (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | 磁気ヘッドスライダおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10255425A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6975487B2 (en) | 2002-05-01 | 2005-12-13 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head having pads provided on the medium-facing surface for minimizing influences of air changes and magnetic recording apparatus provided with the same |
| KR100549639B1 (ko) * | 1999-01-12 | 2006-02-06 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 공기 베어링 슬라이더 및 그 제조 방법 |
| KR100613152B1 (ko) * | 1998-09-28 | 2006-08-17 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 부압 헤드 슬라이더 |
| CN100334616C (zh) * | 2004-03-29 | 2007-08-29 | 株式会社东芝 | 浮动磁头滑动件以及磁盘设备 |
| CN100385503C (zh) * | 2004-03-30 | 2008-04-30 | 株式会社东芝 | 磁头滑动件的制造方法、磁头滑动件和磁盘装置 |
| JP2014116062A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Seagate Technology Llc | スライダ本体を備える装置および方法 |
-
1997
- 1997-03-10 JP JP7264597A patent/JPH10255425A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100613152B1 (ko) * | 1998-09-28 | 2006-08-17 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 부압 헤드 슬라이더 |
| KR100549639B1 (ko) * | 1999-01-12 | 2006-02-06 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 공기 베어링 슬라이더 및 그 제조 방법 |
| US6975487B2 (en) | 2002-05-01 | 2005-12-13 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head having pads provided on the medium-facing surface for minimizing influences of air changes and magnetic recording apparatus provided with the same |
| CN100334616C (zh) * | 2004-03-29 | 2007-08-29 | 株式会社东芝 | 浮动磁头滑动件以及磁盘设备 |
| CN100385503C (zh) * | 2004-03-30 | 2008-04-30 | 株式会社东芝 | 磁头滑动件的制造方法、磁头滑动件和磁盘装置 |
| JP2014116062A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Seagate Technology Llc | スライダ本体を備える装置および方法 |
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