JP2014116062A - スライダ本体を備える装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】装置および関連する方法は、前縁および後縁で長手方向の範囲を規定するスライダ本体を企図する。
【解決手段】流体軸受面は、スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在し、かつスライダ本体に沿って実質的に横方向に延在するクロスレールに繋がるサイドレールによって部分的に形成される。サイドレールおよびクロスレールは、正圧凹所の少なくとも一部を規定する。ベントが流体軸受面に規定され、サイドレールの一方側で周囲圧流体と流体連通するが、サイドレールの反対側では正圧凹所とは流体連通しない。
【選択図】図２

Description

発明の詳細な説明
概要
本発明の実施の形態は、前縁および後縁において長手方向の範囲を規定するスライダ本体を有する装置を企図する。サイドレールは、スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在する第１の表面を有し、スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第２の表面を有するクロスレールに繋がる。第１および第２の表面は、正圧凹所の少なくとも一部を規定する。キャビティはサイドレールに規定され、このキャビティは第１の表面と交わらないが、第１の表面に対向する、サイドレールの別の長手表面に交わる。

本発明の実施の形態は、前縁および後縁で長手方向の範囲を規定するスライダ本体を有するスライダを得ることを含む方法を企図し、スライダはさらにサイドレールを有し、サイドレールは、スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在する第１の表面を有し、スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第２の表面を有するクロスレールに繋がる。第１および第２の表面は正圧凹所の少なくとも一部を規定する。スライダはサイドレールにキャビティを有し、このキャビティは第１の表面と交わらないが、第１の表面に対向する、サイドレールの別の長手表面と交わり、媒体を動かすことにより生成される流体流れにより、スライダを媒体から離れるよう浮上させる。

本発明の実施の形態は、前縁および後縁で長手方向の範囲を規定するスライダ本体を有する装置を企図する。流体軸受面は、部分的に、スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在し、かつスライダ本体に沿って実質的に横方向に延在するクロスレールに接続されるサイドレールによって形成される。サイドレールおよびクロスレールは、正圧凹所の少なくとも一部を規定する。ベントが流体軸受面に規定され、これはサイドレールの一方側において周囲圧力流体と流体連通するが、サイドレールの反対側の正圧凹所とは流体連通していない。

本発明の実施の形態に従って構成されるデータ記憶装置の等大図である。 本発明の実施の形態に従って構成される、図１のデータ記憶装置のスライダの概略平面図である。 本発明の実施の形態に従う、図２のスライダの一部の断面図である。 図３と類似しているが、本発明の等価の代替実施の形態を示す、断面図である。 図３と類似しているが、本発明の等価の代替実施の形態を示す、断面図である。 図２のスライダのサイドレールにある１つのキャビティの等大図である。 図６と類似しているが、本発明の等価の代替実施の形態を示す、等大図である。 図６と類似しているが、本発明の等価の代替実施の形態を示す、等大図である。 図２のスライダにある別の１つのキャビティの等大図である。 図２と類似しているが、流体吸着を減少させるよう表面処理されたスライダの領域を示す、概略平面図である。 著しい冠形状を有するスライダを概略的に示す図である。 断面が著しく湾曲している形状を有するスライダを概略的に示す図である。

詳細な説明
ディスク記憶装置は、データ記憶ディスク上にデジタルに符号化された情報を記憶する。ヘッドはディスクからデータを読取ったりデータを書込んだりするが、ディスクはモータによって回転させられる。ヘッドは、読出または書込動作用の磁気抵抗、光磁気またはの誘導素子といったトランスデューサ素子を含む。アクチュエータアセンブリは、ディスク上の選択されたデータトラックに対してヘッドを移動させて、データを転送する。

典型的に、ヘッドはヘッドサスペンションアセンブリに結合されるスライダを含む。ディスクが回転すると、流体流れが作成され、所望の浮上力をもたらすのに十分な圧力プロファイルを生成するよう設計されているスライダ上に空気力学的フィーチャを与える。浮上力は、サスペンションアセンブリからの負荷力によって相殺される。これらの相殺される力のバランスの結果、ディスク１０６の表面に対してスライダの所望の浮上高さがもたらされる。公称の浮上高さは、ディスク記憶装置が外部の衝撃事象、たとえばディスクドライブ記憶装置を落とすまたは急に揺らすなどによって影響を受けた場合に、変わり得る。このような動作上の衝撃はヘッド−ディスクの接触をもたらすこともあり、性能損失をもたらしたり、もっとひどい場合には、記憶されたデータを失うもしくはデータを記憶する機能が損なわれ得ることになる。ヘッド−ディスク接触を防ぐ必要は、ヘッドが非常に小さい浮上高さで浮上するということにより、さらにひどくなる。

ディスクドライブに与えられる動作上の衝撃は、衝撃励起を典型的にもたらす。すなわち短時間の急激な負荷が与えられる。ディスクドライブシャーシおよび取付システムの構造上の減衰は、衝撃を時間を掛けて広げることにより衝撃の程度を減少させる。この衝撃励起は窪み点においてスライダに最終的に伝えられ、歪みを引起こして、スライダとディスクとの間の空気を押出す。その結果、スライダは高いおよび低い予備負荷、ピッチトルクおよびロールトルクの交互の負荷を受ける。こうして誤りは、正の負荷状態での後縁（ＴＥ）ロールオフと負の負荷状態での前縁（ＬＥ）スラップダウンによる。

動作上の衝撃は、外部の衝撃事象が起こり得る用途において、記録ヘッドの信頼のおける性能に対して厳しい制限ファクタとなり得る。なぜなら、非常に低い浮上高さは、動作衝撃事象の際にヘッド−ディスク接触が起こり得る可能性を高めるからである。衝撃に対する頑丈さ、特に短いパルス幅の衝撃入力の臨界的レジメに向けられる実施の形態がここに記載される。

図１は、本発明の実施の形態が有用である、ディスクドライブ１００として特徴付けられるデータ記憶装置の等大図である。本明細書のディスクドライブ１００の使用は例示的であり、クレームに記載の主題を排除または制限するものではない。これら示される実施の形態において、ディスクドライブ１００は、磁気ディスクドライブ、光ディスクドライブ、光磁気ディスクドライブなどであり得る。

ディスクドライブ１００はベース１０２を含む。ディスクドライブ１００はさらに、ディスククランプ１０８によってスピンドルモータ１０９の選択的回転のために取付けられる１つ以上のディスク１０６を含む。各ディスク１０６は、記録面を有し、これは対応するヘッド１１０とデータ転送関係で関連付けられる。図１に示される実施の形態において、各ヘッド１１０はサスペンションアセンブリ１１２によって支持され、これはアクチュエータ１１６のトラックアクセスアーム１１４に取付けられる。図１に示されるアクチュエータ１１６は、回転移動コイルアクチュエータとして知られる種類のものであり、総括的に１１８で示されるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を含む。ボイスコイルモータ１１８は、ピボットシャフト１２０を中心として、取付ヘッド１１０とともにアクチュエータ１１６を回転させて、ヘッド１１０をディスクの最も内側のデータトラックと最も外側のデータトラックとの間の円弧経路に沿って位置付ける。ボイスコイルモータ１１８は、ディスク１０６に対してフォーマット化されたサーボデータを読出すヘッド１１０によって生成される信号に基づき、サーボエレクトロニクス１２８によって駆動される。各ヘッド１１０は流体軸受スライダ面（または「スライダ」）を有する。ディスク１０６が高速に回転すると、動作流体（たとえば、空気、ヘリウムなど）がディスク１０６の周りに、外方向に回る流れを生成する。各ヘッド１１０はスライダに当たる流体流れによって空気力学的に持上げられ、ヘッド１１０はそれぞれのディスク１０６の記録面から少しの距離離れて（「浮上高さ」）浮上させる。

図２は、本発明の具体的実施の形態に従って構成されるヘッド１１０のスライダ部（それぞれのディスク１０６に対向する表面）の概略図である。一般に、スライダにはヘッド１１０がディスク１０６に非常に近接して浮上できるようにする空気力学的機能が備えられ、それにより短い波長の高周波信号が小さい浮上高さにわたって伝えられて、高密度データをディスク１０６上に記憶およびディスク１０６から引出す。

スライダは一般に構造体１４０を含み、これは一般に矩形の本体１４０であり、矢印１４６によって示される流体流れの方向に対して前縁１４２および後縁１４４を規定する。縁１４２および１４４は、長手方向の軸１４８に跨る本体１４０の長手方向の範囲を規定する。

空気軸受面（ＡＢＳ）１５０（斜線によって示される）は、本体１４０の表面１５２から実質的に平行に延在する。ＡＢＳ１５０の一部は、本体１４０に沿って実質的に長手方向に延在するサイドレール１５３によって形成される。ＡＢＳ１５０の別の隣接する部分はクロスレール１５４によって形成され、これはサイドレール１５３に繋がり、かつ本体１４０に沿って実質的に横方向に延在する。別のレール１５６がクロスレール１５４の端部に接合され、本体１４０に沿って実質的に長手方向に延在する。レール１５３、１５４および１５６は、スライダ面１５２から外方向に突出する側面を有し、正圧凹所１５８を規定する。正圧凹所１５８は長手レール１５３および１５６に沿って方向１４６に流れる流体によって正加圧され、次にクロスレール１５４に当たって、それによりスライダに対して浮上力を生成し、ヘッド１１０をディスク１０６から離れさせる。

空気力学的遷移フィーチャを提供して、正圧凹所１５８内におよびそこを越えて流れる流体流れによって生成される乱流を減らすことができる。図３は記載されたサイドレール１５３の拡大断面を示し、外方向に、本体１４０の表面１５２に対して実質的に垂直に突き出る表面１５５を一般に有し、それにより正圧凹所１５８の一部を形成する。これら実施の形態における鋭い角の遷移は、図４の矩形段階状の遷移表面１６２または図５の段階的角度が遷移する表面１６４と比べて、乱流を生成しやすくなる。

図２を再度参照すると、ディスク１０６の回転により、方向１４６における流体の流れは、スライダの前縁１４２から後縁１４４の方に向けられる。流体はＡＢＳ１５０に当たり、スライダに対して、およびそれによりヘッド１１０に対して浮上力を与える、流体軸受圧力プロファイルを生成する。この浮上力は、ある負荷点（ヘッド１１０が縦揺れおよび回転する）においてサスペンションアセンブリ１１２を介して与えられる負荷力によって相殺され、それによりディスク１０６の表面に隣接するヘッド１１０の浮上高さを規定することに寄与する。ＡＢＳ１５０は、能動および受動状態の両方に対して所望のヘッド−ディスクスペースのための圧力プロファイルを提供するよう特定的に設計されている。能動的状態とは、ヘッド１１０が熱的作用などによる浮上高さの変動を減少および／または制御するために動かされることを指す。能動的状態は、ヘッド１１０が熱的にまたは何らかの他の手段によって動かされない場合に存在する。

キャビティ（時には「ベント」と呼ぶ）１６８は、サイドレール１５３に形成される。具体的実施の形態において、キャビティ１６８はスライダの前縁部においてサイドレール１５３内に位置付けられる、すなわち前縁１４２と、前縁１４２および後縁１４４の間の中間点軸１８０との間にある。図６は、サイドレール１５３に延在し、部分的に閉鎖端１７１によって形成されるキャビティ１６８の拡大詳細図であり、キャビティ１６８は正圧凹所１５８の一部を形成するサイドレール１５３の表面１５５と交わらない。これら実施の形態において、キャビティ１６８の深さは、サイドレール１５３の厚さ全体にわたって一致しており、それによりスライダ面１５２はキャビティ１６８の底部全体を成す。

キャビティ１６８の対向する開放端は、表面１５５に対向するサイドレール１５３の別の表面１７０と交わり、表面１５５は、対向する（これらの実施の形態において、実質的に平行な）面１７０と比べて、長手方向軸１４８により近い。これにより、キャビティ１６８は周囲の流体と流体連通する、すなわち流体は方向１４６に流れるが、サイドレール１５３に当たらず、正圧凹所１５８と反対側にある。周囲流体の圧力は、正圧凹所１５８内の流体の圧力よりも比較的低い。キャビティ１６８は、正圧凹所１５８内の比較的より高い圧力の流体を、サイドレール１５３を通る周囲流体と流体連通させない。

これら具体的実施の形態において、キャビティ１６８は平行でない表面１８０、１８２によって規定されるので、開放端は閉鎖端よりも広い。中央軸１８４は開放端を方向１４６に流れる入来周囲流体を角度付けて、周囲流体がキャビティ１６８に入ることを促進する。（たとえば外部励起といった）動作上の衝撃は、ＡＢＳ１５０に当たる方向１４６の流体によって生成される圧力プロファイルを変える。その結果、性能が劣化したり、ヘッド１１０および／またはディスク１０６に損傷を与えたりする。キャビティ１６８は、サイドレール１５３によって形成されるＡＢＳ１５０の部分を動的に加圧するよう機能する。これは、外部衝撃事象によってもたらされる、ヘッド１１０の浮上方向におけるロールオフ抵抗を増加させることにより、動作上の衝撃の悪影響を有利に減衰させる。この減衰機能は衝撃事象に対してのみ作用し、他の態様ではスライダのＡＢＳ１５０性能に悪影響を与えないよう有利に働く。

中央軸１８４の最適角度配向は、スライダの公称歪曲およびディスクの形状係数に関連して引出される。この歪曲は、長手方向軸１４８とデータトラックに／からデータを書込むまたは読出すよう位置付けられるヘッド１１０を伴う選択されたデータトラックに対して構成される正弦との間の匹敵するオフセットである。歪曲はデータトラックの異なる半径方向の位置にわたって変動する。最適角度配向は、ヘッド１１０が最も内側のトラックから最も外側の記憶トラックに移動する際、歪曲値の範囲にわたって公称浮上、縦揺れおよび回転の態様ができるだけ一定であるよう求められる。

スライダの中間点１８０に対するキャビティ１６８の長手方向のオフセットは、動作衝撃事象の際の動的回転および揺れの剛直性に影響する。長手方向のオフセット距離、キャビティ１６８の幅、キャビティ１６８の深さ、およびキャビティ１６８の段差数はすべて、後縁ロールオフモードおよび前縁スラップダウンモードの両方において衝撃の堅牢性を最適化するよう選択される。

図７は図６と類似した実施の形態を示すが、キャビティ１６８′は非線形表面１７１′、１８０′、および１８２′によって規定される。等価の代替実施の形態（図示されていない）において、キャビティ１６８は図６に示される線形表面と同様のものと図７に示されるような非線形表面と同様のものとの組合せによって規定され得る。図８は図６と類似した別の実施の形態を示すが、キャビティ１６８の深さにおいて、スライダ面１５２よりもより浅い深さを規定する中間面１８６によって段差がある。この段差のある深さは、キャビティを通って流れる周囲流体によって生成される乱流を有利に減衰させることができ、こうして上記の図３−図５のような円弧のまたは角度の付いた遷移表面から代替的に構成され得る。複数の段差の深さの違いおよび段差の数は、励起に応答してヘッド１１０に与えられる動的減衰の大きさを定める。

スライダの前縁における浮上力は、ディスク１０６にわたって半径方向での移動に従い変動する。なぜなら、ディスクの表面速度は、内側径と比較して外側径においてより大きいからである。この浮上力の変動を補償する有効な方法は、セルフローディングの負圧スライダ機能と相殺させることである。スライダに対する正圧および負圧間の変動を補償することは、ほぼ全ディスクトラック半径にわたって一定の浮上高さを提供することをもたらす。

そのため、図２に戻ると、これら具体的実施の形態において、長手サイドレール１９０は、スライダの後縁部、すなわちスライダの中間点軸１８０と後縁１４４との間において、ＡＢＳ１５０の別の部分を形成する。サイドレール１９０は別の横方向のクロスレール１９２と繋がり、これも別の長手レール１９４と繋がる。レール１９０、１９２および１９４の側面は、スライダ面１５２から外方向に突き出て負圧凹所１９６を規定する。負圧凹所１９６は、まずクロスレール１９２を通って流れ、次に方向１４６において長手レール１９０および１９４に沿って流れる流体によって負的に加圧され、それによりスライダに真空効果を生成して、ヘッド１１０をディスク１０６の方に付勢する。

別のキャビティ（または「ベント」）２００は、スライダの後縁部において、サイドレール１９０に形成される。図９はサイドレール１９０に延在するキャビティ２００の拡大詳細図であり、サイドレール１９０は閉鎖端２０２によって形成され、それによりキャビティ２００は負圧凹所１９６の一部を形成するサイドレール１９０の表面２０４と交わらない。これら実施の形態において、キャビティ２００の深さはサイドレール１９０の厚さ全体にわたって一致しており、それによりスライダ面１５２はキャビティ２００の底部全体を成す。しかし、等価の代替の実施の形態において、キャビティは１つ以上の非線形面を有することができ、図７および図８を参照して記載したように、段差を有することができる。

キャビティ２００の反対側の開放端は、サイドレール１９０の表面２０４と反対側の別の表面２０６と交わり、表面２０４は反対側の表面２０６（これらの実施の形態において、実質的に非平行）と比べて長手方向軸１４８により近い。キャビティ２００は方向１４６に流れる周囲流体と流体連通し、その圧力は負圧凹所１９６を通って流れる流体によって形成される空所の圧力よりも比較的高い。キャビティ２００は負圧凹所１９６内の比較的より低い圧力の流体を、サイドレール１９０を通る周囲流体と流体連通させない。

これら具体的実施の形態において、キャビティ２００は実質的に平行な表面２０８および２１０によって規定され、これらの表面は方向１４６での周囲流れに対して角度付けられている中央軸２１２に沿って延在して、周囲流体がキャビティ２００内に入ることを促進する。しかし、クレームに記載の発明はこれら具体的実施の形態に限定されるものではない。さらに、（外部励起といった）動作衝撃は、ＡＢＳ１５０に対する方向１４６における流体流れによって作成された圧力プロファイルを変える。キャビティ２００は、サイドレール１９０によって形成されたＡＢＳ１５０の部分を動的に加圧するよう機能している。これは衝撃の影響を減衰し、増加した動的回転剛性によって後縁ロールオフ事象を防止することにより、動作衝撃の悪影響を有利に減衰させる。別の利点は、減衰が衝撃事象に応答する場合のみ作用し、それにより他の態様でのＡＢＳ性能に悪影響を与えない。

図２に戻ると、これら具体的実施の形態において、長手方向軸１４８の反対側での対向長手サイドレール２２０は、スライダの後縁部上にＡＢＳ１５０の別の部分を同様に形成する。サイドレール２２０は別の横方向クロスレール２２２に繋がり、これは別の長手レール２２４に繋がる。レール２２０、２２２、２２４の側面はスライダ面１５２から外方向に突出して別の負圧凹所２２６を規定する。これは上記の負圧凹所１９６と同様に機能する。等価の代替実施の形態（図示されていない）ではサイドレール１９０、２２０は同じクロスレールに繋がることができ、各サイドレール１９０および２２０は共通の負圧力凹所の別の部分を形成する。

別のキャビティ（または「ベント」）２２８は、スライダの後縁部においてサイドレール２２０に形成される。キャビティ２００を反映して、キャビティ２２８はサイドレール２２０内に延在するが、閉鎖端によって形成されるので、キャビティ２２８は負圧凹所２２６の一部を形成するサイドレール２２０の表面と交わらない。しかし、これら具体的実施の形態で明確に示されるように、キャビティ２２８はキャビティ２００よりも長いので、キャビティ２００および２２８は長手方向軸１４８に対して非対称である。キャビティ２２８の深さは、キャビティ２００と同様に、サイドレール２２０全部を通って延在する、または２つ以上の異なる深さを有するよう段差を持つことができる。

キャビティ２２８の反対側の開放端は、サイドレール２２０の最も外の表面と交わる。それにより、キャビティ２００は方向１４６に流れる周囲流体と流体連通し、その圧力は負圧凹所２２６内の流体の圧力よりも比較的高い。キャビティ２００は、負圧凹所２２６内の比較的より低い圧力流体を、サイドレール２２０を通る周囲流体と流体連通させない。

上記のように、キャビティ２２８は方向１４６に流れる周囲流体に対して角度付けられて、周囲流体がキャビティ２２８内に入ることを促進する。ここでも、（外部励起といった）動作衝撃は、ＡＢＳ１５０に当たる方向１４６の流体流れによって作成される圧力プロファイルを変える。キャビティ２２８はサイドレール２２０によって形成されるＡＢＳ１５０の部分を動的に加圧するよう機能する。これは有利に動作衝撃の悪影響に動的に応答し、衝撃に対する応答を減衰させて大きくなった動的回転剛直性によって後縁ロールオフを防止し、負の方向の負荷における増加した動的回転抵抗を与える。別の利点は、減衰が衝撃事象に応答してのみ作用し、それにより他の態様ではＡＢＳ性能に対して有利に悪影響を与えない。

動作衝撃性能は、キャビティ１６８、２００および２２８の使用を伴って、ＡＢＳ１５０の選択された領域での吸着力を減少させることによりさらに高めることができる。スライダがディスク１０６に近づくにつれ与えられるより広いＡＢＳ１５０面積に対して吸着力が働く。これらの力はスライダとディスクとの間のクリアランスが減少するにつれ迅速に高まる。これはスライダがディスク１０６に対して１から２ナノメートル内に近づくと、突然の引込みを起し得る。動作衝撃事象の際に起こる大きい外部負荷に鑑み、吸着力はスライダのクリアランスを著しく減少させ、それによりヘッド１１０とディスク１０６との間に不所望の接触が起こり得る可能性を高める。

図１０は、吸着力を減らし、それにより、より低いロールトルクにより後縁のロール−オフモードでの衝撃堅牢性を高め、ピボット点を中央のパッド領域の方に押して、ロールトルクおよびピッチトルクのモーメントを有効にバランスさせるよう働くために、選択された表面処理を与えることができる、ＡＢＳ１５０の部分を概略的に示す（ハッチングが施されたパターン）。表面処理は有効な表面エネルギを減少させ、ディスクの潤滑剤による表面の濡れ性を減少させ、および／またはテクスチャ化などによって表面の粗面性を増加させるために、適切な表面コートを塗布することを含むことができる。

図１１はスライダの増加した冠部を概略的に示し、これはスライダとディスク１０６との間の前縁クリアランスマージン２５０での利得をもたらす。前縁でのクリアランスが増えることは、動作上の衝撃負荷の負のサイクルの際に起こる前縁スラップダウンによる誤りを防止し、これは動作上の衝撃しきい値を増加させる。クリアランスの増加は、さらに前縁１４２に最も近いスライダの部分に対する吸着力がより低くなることになり、それにより衝撃事象の際の吸着によって誘起される前縁１４２スラップダウンの傾向を減らす。

図１２はより一層湾曲した断面のスライダを概略的に示し、後縁サイドレール１９０、２２０でのスライダ−ディスククリアランスマージン２５２の利得をもたらす。後縁サイドレール１９０、２２０でのクリアランスが増加すると、動作上の衝撃負荷の正のサイクルの際に起こる後縁ロールオフによる誤りを防止し、それにより動作上の衝撃しきい値を増加させる。クリアランスの増加は、さらにスライダのサイドレール１９０、２２０部分での吸着力がより低くなることになり、それにより衝撃事象の際の吸着によって誘起される後縁サイドレールのロールオフの傾向を減らす。

ここに記載されているように、１つ以上のキャビティ、吸着力の減少、増加した冠部、およびより一層湾曲した断面を導入することにより、動作上の衝撃の性能はベースラインの性能と比べて向上させることができ、これによりディスクドライブの信頼性を高めることになる。

説明においてさまざまな局面のたくさんの特徴および利点が構造および機能の詳細とともに記載されているが、これは例示的なものであり、詳細において変更、特に添付の請求項で記載している用語の広い一般的な意味によって示される限りにおいて、変更を行なうことができる。

Claims (20)

1. 装置であって、
   前縁および後縁で長手方向の範囲を規定するスライダ本体と、
   前記スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在する第１の表面を有し、前記スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第２の表面を有するクロスレールに繋がるサイドレールとを備え、前記第１および第２の表面は、正圧凹所の少なくとも一部を規定し、さらに
   前記第１の表面とは交わらないが、第１の表面の反対側の、サイドレールの別の長手表面と交わるサイドレールのキャビティを備える、装置。
2. 前記キャビティは、前記前縁と前記前縁および後縁の間の中間点との間において、レール内にある、請求項１に記載の装置。
3. 前記サイドレールは第１のサイドレールとして特徴付けられ、前記クロスレールは第１のクロスレールとして特徴付けられ、前記装置は
   前記スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在する第３の表面を有し、前記スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第４の表面を有する第２のクロスレールに繋がる第２のサイドレールを備え、前記第３および第４の表面は、負圧凹所の少なくとも一部を規定し、さらに
   前記第３の表面と交わらないが、前記第３の表面の反対側の、第２のサイドレールの別の長手表面と交わる第２のサイドレール内にある第２のキャビティを備える、請求項１に記載の装置。
4. 前記第２のキャビティは、後縁と前記前縁および前記後縁の間の中間点との間において、第２のレール内にある、請求項３に記載の装置。
5. 前記スライダの長手方向軸を中心として、第２のレールに対向する第３のレールを備え、前記第３のレールは、前記スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在する第５の表面を有し、前記スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第６の表面を有する第３のクロスレールに繋がり、前記第５および第６の表面は、別の負圧凹所の少なくとも一部を規定し、さらに
   前記第５の表面と交わらないが、前記第５の表面の反対側の、前記第３のレールの別の長手表面と交わる第３のサイドレール内にある第３のキャビティを備える、請求項３に記載の装置。
6. 前記第３のキャビティは、前記後縁と前記前縁および前記後縁の間の中間点との間において、第３のレール内にある、請求項５に記載の装置。
7. 前記第１の表面は、前記別の長手表面よりも前記長手方向軸に近い、請求項１に記載の装置。
8. 前記第１の表面および前記別の長手表面は互いに対して実質的に平行である、請求項１に記載の装置。
9. 前記キャビティは、第１の中央軸に沿って互いに反対側にある、平行でない表面によって規定される、請求項１に記載の装置。
10. 前記キャビティは第１の中央軸に沿って延在する反対側にある表面によって規定され、前記反対側にある表面の少なくとも一方の少なくとも一部は非線形である、請求項１に記載の装置。
11. 前記キャビティは２つ以上の異なる深さを規定する、請求項１に記載の装置。
12. 前記第２および第３のキャビティは、前記スライダ本体の前記長手方向軸を中心として、非対称である、請求項５に記載の装置。
13. 前端および後縁において長手方向の範囲を規定するスライダ本体を有するスライダを得るステップを備え、前記スライダは、スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在する第１の表面を含み、かつ前記スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第２の表面を含むクロスレールに繋がるサイドレールを有し、前記第１および第２の表面は、正圧凹所の少なくとも一部を規定し、前記スライダは、前記第１の表面と交わらないが、前記第１の表面の反対側の、前記サイドレールの別の長手表面と交わるキャビティをサイドレールに有し、さらに
    媒体を動かすことによって生成される流体流れにより、前記スライダを媒体から離れるよう浮上させるステップを備える、方法。
14. 装置であって、
    前縁および後縁で長手方向の範囲を規定するスライダ本体と、
    前記スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在しかつ前記スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在するクロスレールに繋がるサイドレールによって部分的に形成される流体軸受表面とを備え、前記サイドレールおよびクロスレールは、正圧凹所の少なくとも一部を規定し、さらに
    前記サイドレールの一方側において周囲圧力流体と流体連通するが、前記サイドレールの反対側の正圧凹所とは流体連通しない、前記流体軸受表面に規定されるベントを備える、装置。
15. 前記流体軸受表面は、前記スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在し、かつ前記スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第２のクロスレールに繋がる第２のサイドレールによって部分的に形成され、前記第３および第４の表面は、負圧凹所の少なくとも一部を規定し、前記装置は、前記第２のサイドレールの一方側において周囲圧力流体と流体連通するが、前記第２のサイドレールの反対側の負圧凹所とは流体連通しない、流体軸受表面に規定される第２のベントを備える、請求項１４に記載の装置。
16. 前記流体軸受表面は、前記スライダの長手方向軸を中心として、前記第２のサイドレールと反対側にある第３のサイドレールによって部分的に形成され、前記第３のサイドレールは、前記スライダ本体に沿って実質的に長手方向に延在し、かつ前記スライダ本体に沿って実質的に横方向に延在する第３のクロスレールと繋がり、前記第３のサイドレールおよび第３のクロスレールは、別の負圧凹所の少なくとも一部を規定し、前記装置は、前記第３のサイドレールの一方側において周囲圧力流体と流体連通するが、前記第３のサイドレールの反対側の前記別の負圧凹所とは流体連通しない、前記流体軸受表面に規定される第３のベントを備える、請求項１５に記載の装置。
17. 前記ベントは、第１の中央軸に沿って互いに反対側にある、平行でない表面によって規定される、請求項１４に記載の装置。
18. 前記ベントは第１の中央軸に沿って延在する、反対側にある表面によって規定され、前記反対側にある表面の少なくとも一方の少なくとも一部は非線形である、請求項１４に記載の装置。
19. 前記ベントは２つ以上の異なる厚さによって規定される、請求項１４に記載の装置。
20. 前記第２および第３のベントは、前記スライダ本体の前記長手方向軸を中心として非対称である、請求項５に記載の装置。