JPS63197076A - 自己装荷空気支持スライダ - Google Patents
自己装荷空気支持スライダInfo
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- JPS63197076A JPS63197076A JP62313118A JP31311887A JPS63197076A JP S63197076 A JPS63197076 A JP S63197076A JP 62313118 A JP62313118 A JP 62313118A JP 31311887 A JP31311887 A JP 31311887A JP S63197076 A JPS63197076 A JP S63197076A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Braking Arrangements (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
- Exhaust Silencers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は変換器ヘッド組立体に関し、特に磁気ヘッドに
対する自己装荷負圧空気支持スライダに関する。
対する自己装荷負圧空気支持スライダに関する。
（従来の技術）
磁気ディスクに対して浮動する磁気ヘッド組立体は広く
使用されている。磁気変換器および磁気ディスク間の変
換関係を改良する目的は変換器およびディスクの間隔を
小さくすることであり、かつこの間隔を一定の浮動高さ
が得られるように保持することである。非常に小さな変
換間隙および非常に薄い磁気記録フィルムを使用する時
に前記間隔を小さくすれば、短波長、高周波数の信号が
記録され、したがって大きな密度と記憶容量の大きな記
録とが得られる。
使用されている。磁気変換器および磁気ディスク間の変
換関係を改良する目的は変換器およびディスクの間隔を
小さくすることであり、かつこの間隔を一定の浮動高さ
が得られるように保持することである。非常に小さな変
換間隙および非常に薄い磁気記録フィルムを使用する時
に前記間隔を小さくすれば、短波長、高周波数の信号が
記録され、したがって大きな密度と記憶容量の大きな記
録とが得られる。
ディスクに近接する場合にはたとえば磁気ヘッド組立体
の浮動高さは、ヘッドが責なるデータトラックに対して
半径方向に移動するために変化する。その理由は外方ト
ラックにおける回転ディスクの角速度は内方トラックに
おける角速度より大となるからである。ディスク表面に
対して浮動高さをほぼ一定に維持することが望ましい。
の浮動高さは、ヘッドが責なるデータトラックに対して
半径方向に移動するために変化する。その理由は外方ト
ラックにおける回転ディスクの角速度は内方トラックに
おける角速度より大となるからである。ディスク表面に
対して浮動高さをほぼ一定に維持することが望ましい。
何となればこれによって平均浮動高さが内方から外方に
向って半径方向に減少し、したがって信頼度を低下させ
ることなく記憶密度を大となし得るからである。
向って半径方向に減少し、したがって信頼度を低下させ
ることなく記憶密度を大となし得るからである。
はぼ一定の磁気ヘッド対ディスク間隔を得るための一つ
の方法は自己装荷負圧空気支持スライダを使用づ゛るこ
とである。昭和５９年１０月２日付、讐ａｒｎｅｒ他の
米国特許第４，４７５．１３５号に記載されているよう
な負圧空気支持スライダを使用することにより、回転デ
ィスク上の内方および外方トラック間の空気トラック速
度の差は空気支持スライダ上の正圧および負圧内の変動
を補償し、したがって磁気ヘッド対ディスク間隔がほぼ
一定となる。
の方法は自己装荷負圧空気支持スライダを使用づ゛るこ
とである。昭和５９年１０月２日付、讐ａｒｎｅｒ他の
米国特許第４，４７５．１３５号に記載されているよう
な負圧空気支持スライダを使用することにより、回転デ
ィスク上の内方および外方トラック間の空気トラック速
度の差は空気支持スライダ上の正圧および負圧内の変動
を補償し、したがって磁気ヘッド対ディスク間隔がほぼ
一定となる。
ディスク表面に対して非常に低い高さで浮動するように
設計された負圧空気支持スライダの製造は困難である。
設計された負圧空気支持スライダの製造は困難である。
磁気ヘッドを反復可能な物理的寸法を有するものとし、
かつレーザを使用する方法は昭和６１年９月２３日付の
、本発明と同じ代理人に指定された出願中の米国特願０
６／９１０５３に記載されている。周知の設計において
は、磁気へラドスライダの追従縁に対し種々の手段によ
って機械加工を行う必要がある。この機械加工において
は薄膜磁気変換器組立体から材料を除去せねばならぬ。
かつレーザを使用する方法は昭和６１年９月２３日付の
、本発明と同じ代理人に指定された出願中の米国特願０
６／９１０５３に記載されている。周知の設計において
は、磁気へラドスライダの追従縁に対し種々の手段によ
って機械加工を行う必要がある。この機械加工において
は薄膜磁気変換器組立体から材料を除去せねばならぬ。
（発明が解決しようとする問題点）
１１一
本発明は薄膜変換器組立体材料に機械加工を施すことな
く、側方通気磁気ヘッド空気支持スライダを供するもの
である。
く、側方通気磁気ヘッド空気支持スライダを供するもの
である。
（問題を解決するための手段）
本発明によれば先導縁および追従縁を有する支持構造よ
りなる、変換器素子支持用の自己装荷負圧空気支持スラ
イダが得られる。前記支持構造の側縁に沿って延びる１
対の隔置された側方レールが設けられる。これら側方レ
ールを結合するために構造物の表面を横切って横方向に
横レールが配設される。前記横レールおよび側方レール
は共働して凹欠部分を画定し、該部分はレールによって
その三方が閉鎖される。支持構造の追従縁の近くにおい
て各側方レールに切欠きが形成され、前記凹欠部分を周
囲空気圧力と連通せしめ得るようにされる。このような
構造によれば前記凹欠部分には負圧区画が形成され、一
方側方レールには正圧区画が形成され、それによって支
持構造の表面は磁気ディスクの如き対向平面に近接して
浮動し、ディスク速度の広範な変動に対して実質的に一
定の高さを有するようになる。
りなる、変換器素子支持用の自己装荷負圧空気支持スラ
イダが得られる。前記支持構造の側縁に沿って延びる１
対の隔置された側方レールが設けられる。これら側方レ
ールを結合するために構造物の表面を横切って横方向に
横レールが配設される。前記横レールおよび側方レール
は共働して凹欠部分を画定し、該部分はレールによって
その三方が閉鎖される。支持構造の追従縁の近くにおい
て各側方レールに切欠きが形成され、前記凹欠部分を周
囲空気圧力と連通せしめ得るようにされる。このような
構造によれば前記凹欠部分には負圧区画が形成され、一
方側方レールには正圧区画が形成され、それによって支
持構造の表面は磁気ディスクの如き対向平面に近接して
浮動し、ディスク速度の広範な変動に対して実質的に一
定の高さを有するようになる。
正圧および負圧なる用語は周囲圧力に対する圧力を意味
１−ることに注意すべぎである。周囲ガスは必ずしも空
気であることは必要ではなく、スライダとディスクとの
組合わせを囲繞するガス媒体を意味する。
１−ることに注意すべぎである。周囲ガスは必ずしも空
気であることは必要ではなく、スライダとディスクとの
組合わせを囲繞するガス媒体を意味する。
この側方通気負圧空気支持スライダによれば、これを上
■させるに大きな力に対して必要な大きな剛性を与える
ことによってすぐれた安定性が得られる。改良された自
己装荷空気支持スライダによればほぼ一定のディスク対
ヘッド浮動高さを有する特性を維持することができる。
■させるに大きな力に対して必要な大きな剛性を与える
ことによってすぐれた安定性が得られる。改良された自
己装荷空気支持スライダによればほぼ一定のディスク対
ヘッド浮動高さを有する特性を維持することができる。
空気支持スライダの変換器組立体区画に対する機械加工
も不要となる。
も不要となる。
（実施例）
第１図はフェライトの如きセラミックよりなる、実質的
に矩形のブロック１０によって形成された負圧空気支持
スライダを示す。スライダは先導縁デーパ１２および段
付き先導縁空洞１４を有するものとして示されている。
に矩形のブロック１０によって形成された負圧空気支持
スライダを示す。スライダは先導縁デーパ１２および段
付き先導縁空洞１４を有するものとして示されている。
側方レール１６．１８はスライダ本体の長さに沿って延
びている。
びている。
側方レールは横レール２０によって連結されている。側
方レールおよび横レールは実質的に共通の面を形成して
いる。これら３本のレールは追従空洞を形成する凹欠部
分２２を囲繞している。スライダ本体の追従縁には薄膜
変換器組立体３０が設けられている。この組立体はスラ
イダ本体と一体的に形成することができ、または空気支
持スライダ面の機械加工を行う前に接着剤あるいはガラ
ス結合剤によって装着することができる。この在来技術
の例において示される如く、磁極端３２は密接なジスク
間隔が必要とされる変換器素子である。この磁極端は側
方レールによって画定された面と同じ面内に位置してい
る。
方レールおよび横レールは実質的に共通の面を形成して
いる。これら３本のレールは追従空洞を形成する凹欠部
分２２を囲繞している。スライダ本体の追従縁には薄膜
変換器組立体３０が設けられている。この組立体はスラ
イダ本体と一体的に形成することができ、または空気支
持スライダ面の機械加工を行う前に接着剤あるいはガラ
ス結合剤によって装着することができる。この在来技術
の例において示される如く、磁極端３２は密接なジスク
間隔が必要とされる変換器素子である。この磁極端は側
方レールによって画定された面と同じ面内に位置してい
る。
先導および追従空洞の形成は機械加工、化学的腐食、イ
オンミリングまたは本発明と同じ代理人を有する先願０
６／９１０．５９３に記載されているようにレーザ加工
によって行うことができる。
オンミリングまたは本発明と同じ代理人を有する先願０
６／９１０．５９３に記載されているようにレーザ加工
によって行うことができる。
レーザ加工、特にＮｄ ： ＹＡＧレーザによる加工に
おいては、フェライトおよび酸化アルミニウム／炭化チ
タン組成の如きセラミック材料はその加工は容易である
が、純酸化アルミニウムを沈殿せしめた薄膜の場合はレ
ーザエネルギーの吸収および蒸発はそれほど容易ではな
い。薄膜組立体を包埋するための酸化物３４は砕は易い
または割れ易い傾向があり、したがってセラミックに対
して有用な作業条件と同じ条件ではレーザ加工を行うこ
とはできない。前述の在来技術においては酸化物および
他の材料は数字３６によって表わされた区画において除
去され、凹欠空洞２２が形成される時にセラミックスラ
イダ材料だけが加工されるようにする必要があった。包
埋酸化物３４の選択的除去は分離光マスク作業と、これ
に続く３６によって示された区画の化学的腐食、イオン
ミリングまたは逆マスク離昇を必要とする。
おいては、フェライトおよび酸化アルミニウム／炭化チ
タン組成の如きセラミック材料はその加工は容易である
が、純酸化アルミニウムを沈殿せしめた薄膜の場合はレ
ーザエネルギーの吸収および蒸発はそれほど容易ではな
い。薄膜組立体を包埋するための酸化物３４は砕は易い
または割れ易い傾向があり、したがってセラミックに対
して有用な作業条件と同じ条件ではレーザ加工を行うこ
とはできない。前述の在来技術においては酸化物および
他の材料は数字３６によって表わされた区画において除
去され、凹欠空洞２２が形成される時にセラミックスラ
イダ材料だけが加工されるようにする必要があった。包
埋酸化物３４の選択的除去は分離光マスク作業と、これ
に続く３６によって示された区画の化学的腐食、イオン
ミリングまたは逆マスク離昇を必要とする。
第２図は本発明の好適な実施例を示す。側方レールおよ
び横レール（またはバー）を有する基本的負圧空気支持
パタンが使用されている。先細先導縁１２および先導縁
段付き空洞１４を有するスライダ本体が示されている。
び横レール（またはバー）を有する基本的負圧空気支持
パタンが使用されている。先細先導縁１２および先導縁
段付き空洞１４を有するスライダ本体が示されている。
在来技術と同様に側 １５一
方レール１６．１８および横レール２０がスライダ本体
の共通面上に形成されている。磁極端３２および包埋酸
化物３４を有する薄膜変換器組立体３０がスライダ本体
と一体的に形成されでいる。
の共通面上に形成されている。磁極端３２および包埋酸
化物３４を有する薄膜変換器組立体３０がスライダ本体
と一体的に形成されでいる。
このスライダ本体の追従縁の近くには側方通気溝３８が
機械加工によって形成されている。この側方通気溝は十
分な大きさを有し、スライダがディスクの上方に浮動し
た時にスライダおよび媒体面の間を通る空気がこの側方
通気溝を通ってスライダの両側に自由に流入し、かつ追
従空洞内の負圧が影響を受けないようになっている必要
がある。
機械加工によって形成されている。この側方通気溝は十
分な大きさを有し、スライダがディスクの上方に浮動し
た時にスライダおよび媒体面の間を通る空気がこの側方
通気溝を通ってスライダの両側に自由に流入し、かつ追
従空洞内の負圧が影響を受けないようになっている必要
がある。
この側方通気溝の最小寸法はその幅がほぼ１．０１６ミ
リメードル＜、００４インチ）、その深さがほぼ０．５
０８ミリメートル（，００２インチ）程度である。この
側方通気溝の実際の断面形状は必ずしも矩形であること
を必要としない。
リメードル＜、００４インチ）、その深さがほぼ０．５
０８ミリメートル（，００２インチ）程度である。この
側方通気溝の実際の断面形状は必ずしも矩形であること
を必要としない。
最も大切なことはその断面積がその中を通る空気を著し
く制限しないような大きさを有していることである。側
方通気溝の後部は追従縁桟レール４０であり、このレー
ルは変換器組立体３０に隣接するスライダ本体材料１０
よりなる十分な部分によって形成され、これを機械的に
支持するようになっている。この追従横レールの幅最小
となるように、すなわち０．７６２ミリメートル（、０
０３インチ）から１．２７０ミリメートル（、００５イ
ンチ）程度とされ、負圧空気支持スライダの周知の好適
な特性を保持するようにされている。
く制限しないような大きさを有していることである。側
方通気溝の後部は追従縁桟レール４０であり、このレー
ルは変換器組立体３０に隣接するスライダ本体材料１０
よりなる十分な部分によって形成され、これを機械的に
支持するようになっている。この追従横レールの幅最小
となるように、すなわち０．７６２ミリメートル（、０
０３インチ）から１．２７０ミリメートル（、００５イ
ンチ）程度とされ、負圧空気支持スライダの周知の好適
な特性を保持するようにされている。
追従横レール４０および磁極端３２の表面は側方レール
１６．１８および横レール２０と共面をなしている。
１６．１８および横レール２０と共面をなしている。
側方通気溝を使用することにより、追従縁空洞３６によ
って示される如く変換器組立体層から包埋酸化物を選択
的に除去する必要がなくなり、しかも基本的な負圧空気
支持特性を保持することができる。側方通気負圧空気支
持のパタンは変換器組立体を損なうことなく、レーザ加
工によって形成することかできる。空気支持面の追従縁
を切削する必要がないから、機械加工を行う時に部品を
傾けたり、スライダ組立体の二重整合を行ったりする必
要はない。追従縁全体はディスクに近接して浮動し、し
たがって多重ヘッド変換器構造に対してさらに大きな面
積を与えることができる。この設計は空気支持スライダ
の製造工程におけるイオンミリングまたは化学的腐食を
排除するものではない。より深い側方通気溝は酋通のダ
イヤモンドソー切削法によって形成し得るものと基体さ
れている。スライダの追従縁の全幅員はディスク面に近
接して浮動するように形成し得るから、この設計は磁気
ディスク媒体表面のガタ付き、凹凸または欠陥を検出す
る低浮動検出器の如く媒体ふるい分は試験（浮動完全性
試験すなわちＦＩＴ試験）を行う時に有効である。
って示される如く変換器組立体層から包埋酸化物を選択
的に除去する必要がなくなり、しかも基本的な負圧空気
支持特性を保持することができる。側方通気負圧空気支
持のパタンは変換器組立体を損なうことなく、レーザ加
工によって形成することかできる。空気支持面の追従縁
を切削する必要がないから、機械加工を行う時に部品を
傾けたり、スライダ組立体の二重整合を行ったりする必
要はない。追従縁全体はディスクに近接して浮動し、し
たがって多重ヘッド変換器構造に対してさらに大きな面
積を与えることができる。この設計は空気支持スライダ
の製造工程におけるイオンミリングまたは化学的腐食を
排除するものではない。より深い側方通気溝は酋通のダ
イヤモンドソー切削法によって形成し得るものと基体さ
れている。スライダの追従縁の全幅員はディスク面に近
接して浮動するように形成し得るから、この設計は磁気
ディスク媒体表面のガタ付き、凹凸または欠陥を検出す
る低浮動検出器の如く媒体ふるい分は試験（浮動完全性
試験すなわちＦＩＴ試験）を行う時に有効である。
第３図のａは好適な本発明の別の実施例を示すもので、
この場合は空気支持面は傾斜した側方通気開口４２と、
三角形追従縁桟レールすなわちバー４４との形成された
凹欠空洞２２を有している。
この場合は空気支持面は傾斜した側方通気開口４２と、
三角形追従縁桟レールすなわちバー４４との形成された
凹欠空洞２２を有している。
この傾斜側方通気間口４２は勾配を付し、かつ実際の角
度および中断点を広範囲にわたって変えるようになすこ
とができる。この図は第２図に示された側方通気口３８
より幅の大きな側方通気口４２にして、凹欠空洞２２と
同じ深さを有する通気口を示す。この変形は加工が非常
に容易である。
度および中断点を広範囲にわたって変えるようになすこ
とができる。この図は第２図に示された側方通気口３８
より幅の大きな側方通気口４２にして、凹欠空洞２２と
同じ深さを有する通気口を示す。この変形は加工が非常
に容易である。
別の実施例は第３ｂ図に示される如く、側方レールの中
に深い側方通気切欠き４６を有し、側方通気溝３８に入
る時の正圧の低下を助けるようになっている。なお側方
通気溝に対する切欠きの位置により、スライダに対する
正圧および負圧の平衡をある程度制御し、これによって
スライダの速度応答に対する浮動高さに影響をおよぼす
ようになすことができる。側方通気切欠き４６は、正圧
が側方通気溝３８に達する前に側方レールの正圧を低下
させる。これは凹欠空洞２２内に周囲圧力より低い圧力
を発生させる時に側方通気溝の作用を助ける。
に深い側方通気切欠き４６を有し、側方通気溝３８に入
る時の正圧の低下を助けるようになっている。なお側方
通気溝に対する切欠きの位置により、スライダに対する
正圧および負圧の平衡をある程度制御し、これによって
スライダの速度応答に対する浮動高さに影響をおよぼす
ようになすことができる。側方通気切欠き４６は、正圧
が側方通気溝３８に達する前に側方レールの正圧を低下
させる。これは凹欠空洞２２内に周囲圧力より低い圧力
を発生させる時に側方通気溝の作用を助ける。
第４図の曲線５０は４倍のディスク速度の変動に対づる
本発明の自己装荷スライダのほぼ一定の浮動高さを表わ
す。曲線５２はスライダの勾配をディスク速度の関数と
して示したものである。右方垂直軸線上に示された勾配
すなわちピッチはスライダの追従縁に対する先導縁の浮
動高さの差を示す尺度でインチ当りミルで表わされてい
る。第４図に示された結果は幅がほぼ０．２４４ミリメ
ートル（９，６ミル）、深さがほぼ０．０５ミリメート
ルく２ミル）なる側方通気口を有する、第２図に示され
た形のスライダに対するものである。
本発明の自己装荷スライダのほぼ一定の浮動高さを表わ
す。曲線５２はスライダの勾配をディスク速度の関数と
して示したものである。右方垂直軸線上に示された勾配
すなわちピッチはスライダの追従縁に対する先導縁の浮
動高さの差を示す尺度でインチ当りミルで表わされてい
る。第４図に示された結果は幅がほぼ０．２４４ミリメ
ートル（９，６ミル）、深さがほぼ０．０５ミリメート
ルく２ミル）なる側方通気口を有する、第２図に示され
た形のスライダに対するものである。
以上に説明したのは変換器素子を支持するための自己装
荷空気支持スライダで、これは容易に機械加工によって
製作することができ、しかもディスク速度が広範囲にわ
たって変動する場合においてもディスク対変換器浮動高
さをほぼ一定に保持する負圧空気支持スライダの所要の
特性を維持することができる。前述したスライダの形態
およびレールの形状は本発明の範囲内において変型し得
るものと解すべきである。
荷空気支持スライダで、これは容易に機械加工によって
製作することができ、しかもディスク速度が広範囲にわ
たって変動する場合においてもディスク対変換器浮動高
さをほぼ一定に保持する負圧空気支持スライダの所要の
特性を維持することができる。前述したスライダの形態
およびレールの形状は本発明の範囲内において変型し得
るものと解すべきである。
【図面の簡単な説明】
第１図は在来技術によるスライダの透視図、第２図は本
発明によるスライダの透視図、第３ａ図および第３ｂ図
はそれぞれ本発明の別の実施例を示す頂面図、第４図は
本発明による空気支持スライダのディスク速度に対する
スライダの浮動高さおよび勾配をプロットした図表。 １０ブツロク、１２先導縁、１４空洞、１６゜１８側方
レール、２０横レール、２２凹欠部分、３０変換器組立
体、３２磁極端、３４酸化物、３６空洞、３８側方通気
溝、４０横レール、４２側方通気開口、４４横レール、
４６切欠き。
発明によるスライダの透視図、第３ａ図および第３ｂ図
はそれぞれ本発明の別の実施例を示す頂面図、第４図は
本発明による空気支持スライダのディスク速度に対する
スライダの浮動高さおよび勾配をプロットした図表。 １０ブツロク、１２先導縁、１４空洞、１６゜１８側方
レール、２０横レール、２２凹欠部分、３０変換器組立
体、３２磁極端、３４酸化物、３６空洞、３８側方通気
溝、４０横レール、４２側方通気開口、４４横レール、
４６切欠き。
Claims (27)
- （１）自己装荷空気支持スライダにおいて、先導縁およ
び追従縁を備えたスライダ構造と、１対の隔置された側
方レールにして、前記スライダ構造の表面の側縁に沿つ
て配設されたレールと、 前記スライダ構造の表面を横切つて横方向に配設され、
前記側方レールを結合する横レールとを有し、 前記側方レールが前記横レールに沿つて凹欠部分を画定
し、該凹欠部分がレールによつてその三方が閉鎖される
ようになつており、 さらに前記側方レールの追従縁に配設された１対の側方
通気口にして、前記凹欠部分を周囲ガス圧力と連通させ
るようになつた通気口を有し、前記凹欠部分に負圧区画
が形成され、一方前記側方レールに正圧区画が形成され
、それによつてスライダ構造の表面が対向する平らな面
に対し実質的に一定の高さで近接的に浮動し得るように
なつていることを特徴とする空気支持スライダ。 - （２）特許請求の範囲第１項記載の空気支持スライダに
おいて、前記スライダ構造の先導縁部分が先細となつて
いる空気支持スライダ。 - （３）特許請求の範囲第２項記載の空気支持スライダに
おいて、前記側方レールおよび横レールがスライダの先
導縁の方に向いて配設された比較的深い凹欠部分を画定
している空気支持スライダ。 - （４）特許請求の範囲第１項記載の空気支持スライダに
おいて、前記スライダ構造が矩形である空気支持スライ
ダ。 - （５）特許請求の範囲第１項記載の空気支持スライダに
おいて、対向平面に対する平均浮動高さが０．００００
７６２ミリメートル（３．０マイクロインチ）から０．
０００２７９ミリメートル（１１．０マイクロインチ）
までの範囲内にある空気支持スライダ。 - （６）特許請求の範囲第１項記載の空気支持スライダに
おいて、前記凹欠部分がレール面に対し０．００５０８
ミリメートル（２０マイクロインチ）から０．０３０４
ミリメートル（１，２００マイクロインチ）までの深さ
を有している空気支持スライダ。 - （７）特許請求の範囲第１項記載の空気支持スライダに
おいて、前記追従縁横レールが移動平面に対し複数のト
ラックのアドレスを指定するための複数の変換器素子を
有している空気支持スライダ。 - （８）特許請求の範囲第１項記載の空気支持スライダに
おいて、前記追従縁横レールが移動対向平面上の媒体の
粗さを検出する全幅員近接検出器を形成するようになつ
ている空気支持スライダ。 - （９）特許請求の範囲第１項記載の自己装荷空気支持ス
ライダにおいて、正圧および負圧区画がスライダ構造の
面を横切つて実質的に零の正味負荷を発生させるように
なつている空気支持スライダ。 - （１０）自己装荷空気支持スライダにおいて、先導縁お
よび追従縁を有するスライダ構造と、支持構造の表面の
側縁に沿つて配設された１対の隔置側方レールと、 支持構造の表面を横切つて横方向に配設され、前記側方
レールを結合する横レールとを有し、前記側方レールが
前記横レールに沿つて凹欠部分を画定し、該凹欠部分が
レールによつてその三方が実質的に閉鎖されるようにな
つており、さらに前記側方レールの追従縁に近接して配
設された１対の側方通気口にして、前記凹欠部分を周囲
ガス圧力と連通せしめるようになつており、かつこの側
方通気口が前記側方レールに対し鋭角をなすように形成
され、 前記凹欠部分に負圧区画が形成され、一方前記側方レー
ルに正圧区画が形成され、それによつて支持構造の表面
が対向する平らな面に対し実質的に一定の高さで近接的
に浮動し得るようになつている空気支持スライダ。 - （１１）特許請求の範囲第１０項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記スライダ構造の先導縁部分が先細とな
つている空気支持スライダ。 - （１２）特許請求の範囲第１１項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記側方レールおよび横レールがスライダ
の先導縁の方に向いて配設された比較的深い凹欠部分を
画定している空気支持スライダ。 - （１３）特許請求の範囲第１０項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記支持構造が矩形である空気支持スライ
ダ。 - （１４）特許請求の範囲第１０項記載の空気支持スライ
ダにおいて、対向平面に対する浮動高さが０．００００
７６２ミリメートル（３．０マイクロインチ）から０．
０００２７９ミリメートル（１１．０マイクロインチ）
までの範囲内にある空気支持スライダ。 - （１５）特許請求の範囲第１０項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記追従凹欠部分がレール表面に対し０．
０００５０８ミリメートル（２０マイクロインチ）から
０．０３０４ミリメートル（１２００マイクロインチ）
までの深さを有している空気支持スライダ。 - （１６）特許請求の範囲第１０項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記追従緑横レールが移動平面に対し複数
のトラックのアドレスを指定するための複数の変換器素
子を有している空気支持スライダ。 - （１７）特許請求の範囲第１０項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記追従縁横レールが移動対向平面上の媒
体の粗さを検出する全幅員近接検出器を形成するように
なつている空気支持スライダ。 - （１８）特許請求の範囲第１０項記載の自己装荷空気支
持スライダにおいて、正圧および負圧部分がスライダ構
造の面を横切つて実質的に零の正味負荷を発生させるよ
うになつている空気支持スライダ。 - （１９）自己装荷空気支持スライダにおいて、先導縁お
よび追従縁を備えたスライダ構造と、１対の隔置された
側方レールにして、前記スライダ構造の表面の側縁に沿
つて配設されたレールと、 前記スライダ構造の表面を横切つて横方向に配設され、
前記側方レールを結合する横レールとを有し、 前記側方レールが前記横レールに沿つて凹欠部分を画定
し、該凹欠部分がレールによつてその三方が実質的に閉
鎖されるようになつており、さらに前記側方レールの追
従縁に配設された１対の側方通気口にして、前記凹欠部
分を周囲ガス圧力と連通させるようになつた通気口と、 前記側方通気口に近接して前記側方レール内に配設され
た１対の切欠きにして、該側方通気開口に近接するレー
ルの先導部分から正圧力を釈放するようになつた切欠き
とを有し、 前記凹欠部分に負圧区画が形成され、一方前記側方レー
ルに正圧力区画が形成され、それによつて支持構造の表
面が対向する平らな面に対し、実質的に一定の高さで近
接的に浮動し得るようになつている空気支持スライダ。 - （２０）特許請求の範囲第１９項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記スライダ構造の先導縁部分が先細とな
つている空気支持スライダ。 - （２１）特許請求の範囲第２０項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記側方レールおよび横レールがスライド
の先導縁の方に向いて配設された比較的深い凹欠部分を
画定している空気支持スライダ。 - （２２）特許請求の範囲第１９項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記支持構造が矩形である空気支持スライ
ダ。 - （２３）特許請求の範囲第１９項記載の空気支持スライ
ダにおいて、対向平面に対する浮動高さが０．００００
７６２ミリメートル（３．０マイクロインチ）から０．
０００２７９ミリメートル（１１．０マイクロインチ）
の範囲内にある空気支持スライダ。 - （２４）特許請求の範囲第１９項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記追従縁凹欠部分がレール表面に対して
０．０００５０８ミリメートル（２０マイクロインチ）
から０．０３０４ミリメートル（２０マイクロインチ）
までの深さを有している空気支持スライダ。 - （２５）特許請求の範囲第１９項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記追従縁横レールが移動平面に対し複数
のトラックのアドレスを指定するための複数の変換器素
子を有している空気支持スライダ。 - （２６）特許請求の範囲第１９項記載の空気支持スライ
ダにおいて、前記追従縁横レールが移動対向平面上の媒
体の粗さを検出する全幅員近接検出器を形成するように
なつている空気支持スライダ。 - （２７）特許請求の範囲第１９項記載の自己装荷空気支
持スライダにおいて、正圧および負圧区画がスライダ構
造の面を横切つて実質的に零の正味負荷を発生させるよ
うになつている空気支持スライダ。
Applications Claiming Priority (2)
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