JP3063751B2 - スライダ― - Google Patents
スライダ―Info
- Publication number
- JP3063751B2 JP3063751B2 JP11024584A JP2458499A JP3063751B2 JP 3063751 B2 JP3063751 B2 JP 3063751B2 JP 11024584 A JP11024584 A JP 11024584A JP 2458499 A JP2458499 A JP 2458499A JP 3063751 B2 JP3063751 B2 JP 3063751B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- floating
- stepped portion
- debris
- surface roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録再生装置
等に用いられるスライダーに関するものである。
等に用いられるスライダーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】スライダーを製造する方法としては、機
械加工のみによってスライダーに浮上レール及び浮上レ
ール等の角部に段落ち部を形成する方法や、またはエッ
チング技術を用いて同様に浮上レール及び浮上レール等
の縁周部に段落ち部を形成する方法がある。このスライ
ダーの縁周部に段落ち部を形成する理由として、回転し
ている磁気ディスク上にスライダーを浮上させた際に、
スライダーの浮上量が磁気ディスクの内周と外周で異な
らない様にするためである。
械加工のみによってスライダーに浮上レール及び浮上レ
ール等の角部に段落ち部を形成する方法や、またはエッ
チング技術を用いて同様に浮上レール及び浮上レール等
の縁周部に段落ち部を形成する方法がある。このスライ
ダーの縁周部に段落ち部を形成する理由として、回転し
ている磁気ディスク上にスライダーを浮上させた際に、
スライダーの浮上量が磁気ディスクの内周と外周で異な
らない様にするためである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の構成では、ときどきスライダー及び磁気ディスクに
傷が入りクラッシュするという問題点があった。この現
象は、浮上レールの表面粗さを所定以下に制御すること
で、ある程度は解決できるが、それでもスライダーのク
ラッシュは発生している。
来の構成では、ときどきスライダー及び磁気ディスクに
傷が入りクラッシュするという問題点があった。この現
象は、浮上レールの表面粗さを所定以下に制御すること
で、ある程度は解決できるが、それでもスライダーのク
ラッシュは発生している。
【０００４】本発明は前記従来の課題を解決するもの
で、スライダーのクラッシュを低減する事ができるスラ
イダーを提供する事を目的としている。
で、スライダーのクラッシュを低減する事ができるスラ
イダーを提供する事を目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、浮上レールの縁周部に設ける段落ち部の底面の最大
表面粗さ（Ｒｍａｘ）を前記段落ち部の深さの１０％以
下とした。
に、浮上レールの縁周部に設ける段落ち部の底面の最大
表面粗さ（Ｒｍａｘ）を前記段落ち部の深さの１０％以
下とした。
【０００６】上記構成により、浮上レールの縁周部の段
落ち部に屑を溜り難くする事ができる。
落ち部に屑を溜り難くする事ができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明者達は鋭意検討を重ねた結
果、スライダーがクラッシュを起こす要因として、浮上
レールの縁周部に設ける段落ち部の底面の最大表面粗さ
が関係する事がわかった。すなわち段落ち部の底面はス
ライダーが磁気ディスク上を浮上している際に、浮上レ
ールの浮上面についで磁気ディスクに近い位置にある。
すなわち、その段落ち部には空気流が非常に速く通過
し、それにともなって屑が多く段落ち部に接触する事と
なる。従って段落ち部の底面の最大表面粗さが大きい
と、その底面に屑等が溜り易くなり、その屑が何かの原
因で、スライダーからこぼれ落ちる。するとそのこぼれ
落ちた屑が、浮上しているスライダーと磁気ディスクの
間にかみこんで、両者を傷付ける場合がある。これは、
浮上レール等を形成する深い段落ち部の底面が粗くて
も、その底面は、スライダーが浮上している際には、磁
気ディスクから離れているのでさほど屑が溜ることはな
い。
果、スライダーがクラッシュを起こす要因として、浮上
レールの縁周部に設ける段落ち部の底面の最大表面粗さ
が関係する事がわかった。すなわち段落ち部の底面はス
ライダーが磁気ディスク上を浮上している際に、浮上レ
ールの浮上面についで磁気ディスクに近い位置にある。
すなわち、その段落ち部には空気流が非常に速く通過
し、それにともなって屑が多く段落ち部に接触する事と
なる。従って段落ち部の底面の最大表面粗さが大きい
と、その底面に屑等が溜り易くなり、その屑が何かの原
因で、スライダーからこぼれ落ちる。するとそのこぼれ
落ちた屑が、浮上しているスライダーと磁気ディスクの
間にかみこんで、両者を傷付ける場合がある。これは、
浮上レール等を形成する深い段落ち部の底面が粗くて
も、その底面は、スライダーが浮上している際には、磁
気ディスクから離れているのでさほど屑が溜ることはな
い。
【０００８】この知見に基き、以下に本発明の実施の形
態を示す。
態を示す。
【０００９】図１，図２はそれぞれ本発明の一実施の形
態におけるスライダーを示す斜視図及び部分拡大図であ
る。
態におけるスライダーを示す斜視図及び部分拡大図であ
る。
【００１０】図１，図２において、１はスライダーで、
スライダー１はアルチック材等のセラミック材料等によ
って構成されている。２，３はそれぞれスライダー１に
設けられた浮上レールで、浮上レール２，３にはそれぞ
れ浮上面４，５を有している。
スライダー１はアルチック材等のセラミック材料等によ
って構成されている。２，３はそれぞれスライダー１に
設けられた浮上レールで、浮上レール２，３にはそれぞ
れ浮上面４，５を有している。
【００１１】また浮上レール２の縁周部には段落ち部
６，７（浮上面４からの深さＭが約１５μｍ以下）が設
けられており、しかも段落ち部６，７のそれぞれの底面
８，９の最大表面粗さＲｍａｘを深さＭの１０％以下と
した。
６，７（浮上面４からの深さＭが約１５μｍ以下）が設
けられており、しかも段落ち部６，７のそれぞれの底面
８，９の最大表面粗さＲｍａｘを深さＭの１０％以下と
した。
【００１２】浮上レール２の縁周部には段落ち部６，７
（浮上面４からの深さＭが約１５μｍ以下）が設けられ
ており、しかも段落ち部６，７のそれぞれの底面８，９
の最大表面粗さＲｍａｘを深さＭの１０％以下とした。
（浮上面４からの深さＭが約１５μｍ以下）が設けられ
ており、しかも段落ち部６，７のそれぞれの底面８，９
の最大表面粗さＲｍａｘを深さＭの１０％以下とした。
【００１３】また浮上レール３の方も同様に縁周部には
段落ち部１０，１１（浮上面５からの深さＮが約１５μ
ｍ以下）が設けられており、しかも段落ち部１０，１１
のそれぞれの底面１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを
深さＮの１０％以下とした。
段落ち部１０，１１（浮上面５からの深さＮが約１５μ
ｍ以下）が設けられており、しかも段落ち部１０，１１
のそれぞれの底面１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを
深さＮの１０％以下とした。
【００１４】１４は浮上レール２，３の間に設けられた
段落ち部で、段落ち部１４は段落ち部６，７，１０，１
１に比べてはるかに浮上面４，５からの深さは深くなる
様に構成されている。１５は浮上レール３の空気流出端
に形成された磁気変換素子である。
段落ち部で、段落ち部１４は段落ち部６，７，１０，１
１に比べてはるかに浮上面４，５からの深さは深くなる
様に構成されている。１５は浮上レール３の空気流出端
に形成された磁気変換素子である。
【００１５】以上の様に構成されたスライダー１は、底
面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを深さ
Ｍ，Ｎの１０％以下とすることによって、底面８，９，
１２，１３に屑が溜る事はなく、スライダー１がクラッ
シュを起こすことはない。すなわち、磁気ディスク上に
スライダー１を浮上させている時に、磁気ディスクの表
面にできる空気流中の屑が底面８，９，１２，１３に接
触しても、底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍ
ａｘを所定以下にする事によって、屑が底面８，９，１
２，１３に捕獲される事が少なくなり、また捕獲されて
も屑が小さいときに底面８，９，１２，１３より離脱す
るので、スライダー１をクラッシュさせるような屑を成
長させることはない。
面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを深さ
Ｍ，Ｎの１０％以下とすることによって、底面８，９，
１２，１３に屑が溜る事はなく、スライダー１がクラッ
シュを起こすことはない。すなわち、磁気ディスク上に
スライダー１を浮上させている時に、磁気ディスクの表
面にできる空気流中の屑が底面８，９，１２，１３に接
触しても、底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍ
ａｘを所定以下にする事によって、屑が底面８，９，１
２，１３に捕獲される事が少なくなり、また捕獲されて
も屑が小さいときに底面８，９，１２，１３より離脱す
るので、スライダー１をクラッシュさせるような屑を成
長させることはない。
【００１６】従来の技術ではこの本実施の形態の底面
８，９，１２，１３に対応する部分の表面最大粗さＲｍ
ａｘが非常に粗かったので、屑がすぐに底面８，９，１
２，１３に捕獲され、その屑に他の屑が付着して、更に
大きな屑になり、その大きな屑がスライダー１をクラッ
シュさせる原因となっていた。
８，９，１２，１３に対応する部分の表面最大粗さＲｍ
ａｘが非常に粗かったので、屑がすぐに底面８，９，１
２，１３に捕獲され、その屑に他の屑が付着して、更に
大きな屑になり、その大きな屑がスライダー１をクラッ
シュさせる原因となっていた。
【００１７】また段落ち部１４の底面については、スラ
イダー１を磁気ディスク上に浮上させた際に、磁気ディ
スクと段落ち部１４の底面の間隔は比較的広いので、磁
気ディスク上に発生する空気流に接触することはなく、
またその底面と空気流中の屑が接触する事はない。従っ
て、段落ち部１４の底面の粗さはあまり関係ない。
イダー１を磁気ディスク上に浮上させた際に、磁気ディ
スクと段落ち部１４の底面の間隔は比較的広いので、磁
気ディスク上に発生する空気流に接触することはなく、
またその底面と空気流中の屑が接触する事はない。従っ
て、段落ち部１４の底面の粗さはあまり関係ない。
【００１８】なお本実施の形態では、２レール型のヘッ
ドに対して説明したが、単数及び３本以上のレールを有
するものでも同様の効果を得る事ができる。
ドに対して説明したが、単数及び３本以上のレールを有
するものでも同様の効果を得る事ができる。
【００１９】また本実施の形態では、段落ち部６，７，
１０，１１はステップ加工にしたが、傾斜加工にしても
よい。すなわちスライダー１に傾斜して入って来る空気
流に対して浮上力を得る様な加工にすればよい。
１０，１１はステップ加工にしたが、傾斜加工にしても
よい。すなわちスライダー１に傾斜して入って来る空気
流に対して浮上力を得る様な加工にすればよい。
【００２０】次に底面８，９，１２，１３の最大表面粗
さＲｍａｘとクラッシュ発生率の関係を説明する。
さＲｍａｘとクラッシュ発生率の関係を説明する。
【００２１】まず段落ち部６，７，１０，１１のそれぞ
れの深さＭ，Ｎを０．５μｍとしたサンプル１を複数作
製し、また深さＭ，Ｎを１．０μｍとしたサンプル２を
複数作製した。サンプル１，２とも各々の底面８，９，
１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを異ならせた。それ
らサンプルに２万回のＣＳＳ（コンタクトスタートスト
ップ）を行ない、そのクラッシュ発生率を測定した。そ
の結果を図３に示す。
れの深さＭ，Ｎを０．５μｍとしたサンプル１を複数作
製し、また深さＭ，Ｎを１．０μｍとしたサンプル２を
複数作製した。サンプル１，２とも各々の底面８，９，
１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを異ならせた。それ
らサンプルに２万回のＣＳＳ（コンタクトスタートスト
ップ）を行ない、そのクラッシュ発生率を測定した。そ
の結果を図３に示す。
【００２２】図３からサンプル１では底面８，９，１
２，１３の最大表面粗さＲｍａｘが５００ｎｍ以上にな
ると、クラッシュ発生率が急上昇しており、サンプル２
では底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘが
１０００ｎｍ以上になると、クラッシュ発生率が急上昇
している事がわかる。すなわち底面８，９，１２，１３
の最大表面粗さＲｍａｘが深さＭ，Ｎの１０％以下の粗
さであればクラッシュの発生は抑制する事ができる。
２，１３の最大表面粗さＲｍａｘが５００ｎｍ以上にな
ると、クラッシュ発生率が急上昇しており、サンプル２
では底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘが
１０００ｎｍ以上になると、クラッシュ発生率が急上昇
している事がわかる。すなわち底面８，９，１２，１３
の最大表面粗さＲｍａｘが深さＭ，Ｎの１０％以下の粗
さであればクラッシュの発生は抑制する事ができる。
【００２３】次に深さＭ，Ｎについて説明する。
【００２４】図４は、深さＭ，Ｎに対する媒体の周速と
浮上量の関係を示すグラフである。すなわち深さＭ，Ｎ
を５μｍ，１０μｍ，１５μｍとしたサンプルを作製す
るとともに、機械加工で十分に深い段落ち部（スライダ
ー１に対して傾斜して入ってきた空気流によって浮上力
を得られないほど深く形成された段落ち部）のサンプル
を作製した。
浮上量の関係を示すグラフである。すなわち深さＭ，Ｎ
を５μｍ，１０μｍ，１５μｍとしたサンプルを作製す
るとともに、機械加工で十分に深い段落ち部（スライダ
ー１に対して傾斜して入ってきた空気流によって浮上力
を得られないほど深く形成された段落ち部）のサンプル
を作製した。
【００２５】図４から分かるように、深さＭ，Ｎが１５
μｍ以上になると、ほとんど機械加工の段落ち部と同じ
測定結果になっているので、浮上力を得る事ができなく
なっていることが分かり、その結果深さＭ，Ｎは１５μ
ｍ以下が好ましい事が分かる。
μｍ以上になると、ほとんど機械加工の段落ち部と同じ
測定結果になっているので、浮上力を得る事ができなく
なっていることが分かり、その結果深さＭ，Ｎは１５μ
ｍ以下が好ましい事が分かる。
【００２６】上記結果より、底面８，９，１２，１３の
最大表面粗さＲｍａｘは１．５μｍ以下が好ましい事が
わかる。
最大表面粗さＲｍａｘは１．５μｍ以下が好ましい事が
わかる。
【００２７】また、浮上レール２，３を分割形成してい
る段落ち部１４は、機械加工、砥流噴出加工、レーザー
加工等で形成されている。また段落ち部６，７，１０，
１１はイオンビームエッチング、リアクティブイオンビ
ームエッチング等のドライエッチング法で形成される。
る段落ち部１４は、機械加工、砥流噴出加工、レーザー
加工等で形成されている。また段落ち部６，７，１０，
１１はイオンビームエッチング、リアクティブイオンビ
ームエッチング等のドライエッチング法で形成される。
【００２８】
【発明の効果】本発明は、浮上レールの縁周部に設けら
れた段落ち部の粗さを規定することによって、段落ち部
の底面に屑が付着する事を防止し、スライダーのクラッ
シュを防止できる。
れた段落ち部の粗さを規定することによって、段落ち部
の底面に屑が付着する事を防止し、スライダーのクラッ
シュを防止できる。
【図１】本発明の一実施の形態におけるスライダーを示
す斜視図
す斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスライダーを示
す部分拡大図
す部分拡大図
【図３】底面の最大表面粗さと、クラッシュ発生率の関
係を示すグラフ
係を示すグラフ
【図４】深さＭ，Ｎに対する媒体の周速と浮上量の関係
を示すグラフ
を示すグラフ
１ スライダー ２，３ 浮上レール ４，５ 浮上面 ６，７，１０，１１，１４ 段落ち部 ８，９，１２，１３ 底面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−282646（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−242548（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 21/21 G11B 5/60
Claims (2)
- 【請求項１】浮上面から段落ちした段落ち部を備えたス
ライダーであって、段落ち部の底面の最大表面粗さが前
記段落ち部の浮上面からの深さの１０％以内であること
を特徴とするスライダー。 - 【請求項２】浮上面から段落ちした段落ち部を備えたス
ライダーであって、段落ち部の底面の最大表面粗さが
１．５μｍ以下であることを特徴とするスライダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11024584A JP3063751B2 (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | スライダ― |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11024584A JP3063751B2 (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | スライダ― |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23968293A Division JP2914118B2 (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | スライダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11265558A JPH11265558A (ja) | 1999-09-28 |
| JP3063751B2 true JP3063751B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=12142219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11024584A Expired - Lifetime JP3063751B2 (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | スライダ― |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3063751B2 (ja) |
-
1999
- 1999-02-02 JP JP11024584A patent/JP3063751B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11265558A (ja) | 1999-09-28 |
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