JPH0476863A - 磁気ディスク検査装置 - Google Patents
磁気ディスク検査装置Info
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- JPH0476863A JPH0476863A JP2191158A JP19115890A JPH0476863A JP H0476863 A JPH0476863 A JP H0476863A JP 2191158 A JP2191158 A JP 2191158A JP 19115890 A JP19115890 A JP 19115890A JP H0476863 A JPH0476863 A JP H0476863A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
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- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
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- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Rotational Drive Of Disk (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、磁気ディスク検査装置、特に回転する磁気
ディスクにおける検査ヘッドに対応する部位の周速が近
イ以的に一定である磁気ディスク検査装置に関する。
ディスクにおける検査ヘッドに対応する部位の周速が近
イ以的に一定である磁気ディスク検査装置に関する。
従来、その表面に高度の平坦度が要求されるディスク媒
体、例えば磁気ディスク等はグライドテスターと称され
る専用の検査装置により検査が行われる。第２図により
その検査方法を説明する。
体、例えば磁気ディスク等はグライドテスターと称され
る専用の検査装置により検査が行われる。第２図により
その検査方法を説明する。
同図において、磁気ディスク１の回転による空気流によ
りある高さでヘッド５が浮上している。その浮上高さＨ
はディスクｌとヘッド５の相対速度で決まる高さになる
。ディスク面上に浮上高さＨより高い突起１５があると
、その突起１５はヘッド５と衝突し、浮上高さより低い
突起１６の場合は衝突せずに通過する。そこでヘッド５
にビエヅセンサー１７をつけておくと衝突を検出できる
ので浮上高さより高い突起の存在がわかる。従って基準
の高さより高い突起があったら不合格とする場合、第３
図のようにヘッドはディスク面上の位置５二かかわらず
常↓こ一定の浮上高さを維持する必要がある。
りある高さでヘッド５が浮上している。その浮上高さＨ
はディスクｌとヘッド５の相対速度で決まる高さになる
。ディスク面上に浮上高さＨより高い突起１５があると
、その突起１５はヘッド５と衝突し、浮上高さより低い
突起１６の場合は衝突せずに通過する。そこでヘッド５
にビエヅセンサー１７をつけておくと衝突を検出できる
ので浮上高さより高い突起の存在がわかる。従って基準
の高さより高い突起があったら不合格とする場合、第３
図のようにヘッドはディスク面上の位置５二かかわらず
常↓こ一定の浮上高さを維持する必要がある。
尚、第３図でＡＩは浮上高さが高く設定されている場合
で、Ａ２は低く設定されている場合である。
で、Ａ２は低く設定されている場合である。
浮上高さを一定に保つためにはディスクとへ／）の相対
速度、すなわち周速を一定にすることが必要である。へ
、ノドは半径方向にキャリッジにより移動するので、そ
の半径位置によりディスクを回転させるスピンドルの回
転速度をかえて周速を一定にする。
速度、すなわち周速を一定にすることが必要である。へ
、ノドは半径方向にキャリッジにより移動するので、そ
の半径位置によりディスクを回転させるスピンドルの回
転速度をかえて周速を一定にする。
第４図において、１はディスク、５はヘッドを表す。そ
してヘッドが半径ｒ（ｍ）の位置にある時、スピンドル
の回転速度をω（ＲＰ？ｌ） 、ディスクに対するヘッ
ドの周速をＶ （ｍｍ／５ｅｃ）とすると下記のような
弐になる。
してヘッドが半径ｒ（ｍ）の位置にある時、スピンドル
の回転速度をω（ＲＰ？ｌ） 、ディスクに対するヘッ
ドの周速をＶ （ｍｍ／５ｅｃ）とすると下記のような
弐になる。
すなわち、回転速度ωと半径ｒは反比例の関係になり、
縦軸に回転速度、横軸に半径をとると第５図のようにな
り、へ、トとディスクの相対速度Ｖを一定にしようとす
ると、ヘッドが内周側に行くほど回転速度が大きくなる
。第５図において、曲ｇＢ１は周速か大で８２は小の場
合である。この回転速度曲線を実現するために、従来は
メモリにその曲線の数値を予め書き込んだ変換テーブル
を作成しておき、キャリッジの移動；こ従って、キャリ
、ノ位置に対応した回転速度を変換テーブルから時々刻
々と読み出し、その値をスピンドル駆動装置番こ与えて
周速を一定に制御する方法が取られていた。
縦軸に回転速度、横軸に半径をとると第５図のようにな
り、へ、トとディスクの相対速度Ｖを一定にしようとす
ると、ヘッドが内周側に行くほど回転速度が大きくなる
。第５図において、曲ｇＢ１は周速か大で８２は小の場
合である。この回転速度曲線を実現するために、従来は
メモリにその曲線の数値を予め書き込んだ変換テーブル
を作成しておき、キャリッジの移動；こ従って、キャリ
、ノ位置に対応した回転速度を変換テーブルから時々刻
々と読み出し、その値をスピンドル駆動装置番こ与えて
周速を一定に制御する方法が取られていた。
このような変換テーブルにより回転速度を求める方法に
おいては、周速により複数の変換チーフルを必要とし、
また変換精度をよくしようとするとテーブルを大きくす
る必要がある。従って変換テーブルに大容量のメモリを
必要とする。また変換テーブルの選択や、読み出しに必
要な制御回路がかなり複雑になる問題があった。
おいては、周速により複数の変換チーフルを必要とし、
また変換精度をよくしようとするとテーブルを大きくす
る必要がある。従って変換テーブルに大容量のメモリを
必要とする。また変換テーブルの選択や、読み出しに必
要な制御回路がかなり複雑になる問題があった。
上記課題を解決するために、この発明は周速−定制御を
行う手段として、変換テーブルを使用せず二こ、直接、
回転速度曲線を発注する手段を用いた。この手段はキャ
リツノの移動にともない直線的に回転速度を変化させる
構成から成る。すなわち、第５図に示した曲線を複数の
ゾーンに分割し、各ゾーン毎に直線近似すること番こよ
りこの曲線を実現するものである。すなわち各ゾーンの
始点と終点を結ぶ直線の傾き（スロープ値）と開始速度
を予めソフトウェアで計算し、キャリ、ジが各ゾーンの
始点に来た時、それらの値をハードウェアに与える手段
と、それに基づき直線的に回転速度を変化させる手段を
用いて直線近似を実現させた。
行う手段として、変換テーブルを使用せず二こ、直接、
回転速度曲線を発注する手段を用いた。この手段はキャ
リツノの移動にともない直線的に回転速度を変化させる
構成から成る。すなわち、第５図に示した曲線を複数の
ゾーンに分割し、各ゾーン毎に直線近似すること番こよ
りこの曲線を実現するものである。すなわち各ゾーンの
始点と終点を結ぶ直線の傾き（スロープ値）と開始速度
を予めソフトウェアで計算し、キャリ、ジが各ゾーンの
始点に来た時、それらの値をハードウェアに与える手段
と、それに基づき直線的に回転速度を変化させる手段を
用いて直線近似を実現させた。
上記構成により、通常、外周側から内周側に向かってキ
ャリッジが進んで行く時、予め与えられたスロープ値で
スピンドルの回転速度は上昇していく。そして、各ゾー
ンの最後まで来た時にソフトウェアが次のゾーンのスロ
ープ値をハードウェアに与える。このようにして内側に
いくほど回転速度の上昇率が大きくなり、目的の速度曲
線にほぼ一致した速度変化になる。
ャリッジが進んで行く時、予め与えられたスロープ値で
スピンドルの回転速度は上昇していく。そして、各ゾー
ンの最後まで来た時にソフトウェアが次のゾーンのスロ
ープ値をハードウェアに与える。このようにして内側に
いくほど回転速度の上昇率が大きくなり、目的の速度曲
線にほぼ一致した速度変化になる。
なお、分割数が多いほど回転速度の精度がよくなるので
、目標とする精度から分割数を決める。
、目標とする精度から分割数を決める。
しかし、あまり分割数を多くするとゾーン切り替え時間
の占める割合が大きくなり、スルーブツトが悪くなるの
で最適な分割数にする必要がある。
の占める割合が大きくなり、スルーブツトが悪くなるの
で最適な分割数にする必要がある。
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、この発明の実施例をプロ、り図で表したもの
である。半爽査されるディスク１はスピンドル２に取り
つけられており、スピンドルモータ３により回転する。
である。半爽査されるディスク１はスピンドル２に取り
つけられており、スピンドルモータ３により回転する。
モータドライバー４は、回転速度指令値が与えられると
モータ３をその速度で回転させる。一方、ヘッド５は、
キャリッジ６に取りつけられており、パルスモータフに
よりディスクの半径方向に移動できる。パルスモータド
ライバー８はパルスが入力されるごとに所定角度だケハ
ルスモータ７を回転させる機能を持つ。へ。
モータ３をその速度で回転させる。一方、ヘッド５は、
キャリッジ６に取りつけられており、パルスモータフに
よりディスクの半径方向に移動できる。パルスモータド
ライバー８はパルスが入力されるごとに所定角度だケハ
ルスモータ７を回転させる機能を持つ。へ。
ド５にはピエゾセンサーが取りつけてあり、その出力信
号が突起検出回路９に接続されている。突起検出回路９
は信号波形の整形や計数を行う機能を有する。マイクロ
コンピュータＩＯは装置全体の動作を制御している。セ
レクタ１１はスピンドル回転速度値をマイクロコンピュ
ータ１０から直接もらうか、それともブリセントカウン
タ１２からもらうかを選択するためのもので、マイクロ
コンピュータ１．０のセレクト信号で切り替わる。１４
はパルスモタコントローラでマイクロコンピュータ１０
からのキャリッジ移動速度値及び移動距離をもらいそれ
に応したパルス列を発止する。そのパルス列はパルスモ
ータドライ八８を経由してパルスモータを駆動するとと
もに、分周器１３にも与えられる。
号が突起検出回路９に接続されている。突起検出回路９
は信号波形の整形や計数を行う機能を有する。マイクロ
コンピュータＩＯは装置全体の動作を制御している。セ
レクタ１１はスピンドル回転速度値をマイクロコンピュ
ータ１０から直接もらうか、それともブリセントカウン
タ１２からもらうかを選択するためのもので、マイクロ
コンピュータ１．０のセレクト信号で切り替わる。１４
はパルスモタコントローラでマイクロコンピュータ１０
からのキャリッジ移動速度値及び移動距離をもらいそれ
に応したパルス列を発止する。そのパルス列はパルスモ
ータドライ八８を経由してパルスモータを駆動するとと
もに、分周器１３にも与えられる。
分周器１３はマイクロコンピュータ１０からスロープ値
が与えられるとその値に応して分周されたパルス列を出
力する。例えばスロープ値が５の場合、分周率は５にな
り、入力パルス５発ごとに１発ずつ出力される。そして
分周器の出力はプリセットカウンタ１２のカウントアツ
プ端子に入力され、最小単位（例えば１０ＲＰ？ｌ）ず
つ回転速度を上昇させる。
が与えられるとその値に応して分周されたパルス列を出
力する。例えばスロープ値が５の場合、分周率は５にな
り、入力パルス５発ごとに１発ずつ出力される。そして
分周器の出力はプリセットカウンタ１２のカウントアツ
プ端子に入力され、最小単位（例えば１０ＲＰ？ｌ）ず
つ回転速度を上昇させる。
従ってキャリフジの移動に伴って、ブリセントカウンタ
の回転速度値はスロープ値で指定された割合で上昇して
いく。
の回転速度値はスロープ値で指定された割合で上昇して
いく。
マイクロコンピュータ１０はあらかしめ、与えられた周
速、ゾーン分割数及び最内周と最外周半径から各ゾーン
の初期回転速度とスロープ値を計算してメモリに貯えて
おく。
速、ゾーン分割数及び最内周と最外周半径から各ゾーン
の初期回転速度とスロープ値を計算してメモリに貯えて
おく。
この実施例では、第６図のように最外周から最内周まで
を４つのゾーンに分けた場合について説明する。ヘッド
の移動方向は最外周から最内周とする。まずヘッドを最
外周すなわちゾーン１のスタート位置に移動し、ゾーン
１のスロープ値及び初期回転速度値がそれぞれ分周器と
ブリセントカウンタに与えられる。そしてセレクト信号
をブリセントカウンタ側に切り替えるとスピンドルは初
期回転速度で回転する。次にパルスモータコントローラ
にキャリフジの速度と距離を与えると、キャリッジが動
き出す、キ＋リジッジの移動に伴ってスピンドルの回転
が上昇していく。そしてゾーン１の最後に到達すると、
すでに計算してあったゾーン２のスロープ値を分周器に
セットし再度ノマルスモークコントローラにキャリッジ
の速度と距離を与える。ゾーン２ではゾーン１より速い
割合でスピンドルの回転速度が上昇していく。同様にゾ
ーン４まで移動していく。このようにして回転速度曲線
に直線辺イ以することにより、周速一定制御ができる。
を４つのゾーンに分けた場合について説明する。ヘッド
の移動方向は最外周から最内周とする。まずヘッドを最
外周すなわちゾーン１のスタート位置に移動し、ゾーン
１のスロープ値及び初期回転速度値がそれぞれ分周器と
ブリセントカウンタに与えられる。そしてセレクト信号
をブリセントカウンタ側に切り替えるとスピンドルは初
期回転速度で回転する。次にパルスモータコントローラ
にキャリフジの速度と距離を与えると、キャリッジが動
き出す、キ＋リジッジの移動に伴ってスピンドルの回転
が上昇していく。そしてゾーン１の最後に到達すると、
すでに計算してあったゾーン２のスロープ値を分周器に
セットし再度ノマルスモークコントローラにキャリッジ
の速度と距離を与える。ゾーン２ではゾーン１より速い
割合でスピンドルの回転速度が上昇していく。同様にゾ
ーン４まで移動していく。このようにして回転速度曲線
に直線辺イ以することにより、周速一定制御ができる。
近位誤差に関して計算してみると、最外周４４ｍ、最内
周２０ｍの３．５インチディスクを４分割した場合、近
似誤差番よ最大で１，７％になる。
周２０ｍの３．５インチディスクを４分割した場合、近
似誤差番よ最大で１，７％になる。
また８分割した場合は０．５％になる。この程度の誤差
は実用上全く無視できる。
は実用上全く無視できる。
なお、近億誤差は内周はど大きくなるので、等分割せず
に内周側の分割を細かくする方法をとると分割総数は増
やさずに誤差を小さくできる。
に内周側の分割を細かくする方法をとると分割総数は増
やさずに誤差を小さくできる。
この発明は、以上説明したように比較的簡単な回路によ
り実用上問題ない誤差範囲で周速一定制御ができ検査装
置が安価になる。またこの装置ではスピンドル回転速度
設定分解能の最小単位ずつ回転速度が上昇するので非常
に滑らかな速度変化となりヘッドの浮上量が安定すると
いう効果があ
り実用上問題ない誤差範囲で周速一定制御ができ検査装
置が安価になる。またこの装置ではスピンドル回転速度
設定分解能の最小単位ずつ回転速度が上昇するので非常
に滑らかな速度変化となりヘッドの浮上量が安定すると
いう効果があ
第１図は本発明の実施例を示す回路ブロック図、第２図
はディスクの突起の検出方法の説明図、第３図はヘッド
の浮上高さの説明図、第４図は回転速度と周速の関係の
説明図、第５図は周速一定条件において、ヘッド位置と
スピンドルの回転速度の関係を表わす速度曲線図、第６
閏は速度曲線を４分割直線近似した速度線図である。 工・・・ディスク ２・・・スピンドル ５・・・ヘッド ６・・・キャリッジ １５゜１６・・・突起 １７・・・ピエゾセンサー 以上
はディスクの突起の検出方法の説明図、第３図はヘッド
の浮上高さの説明図、第４図は回転速度と周速の関係の
説明図、第５図は周速一定条件において、ヘッド位置と
スピンドルの回転速度の関係を表わす速度曲線図、第６
閏は速度曲線を４分割直線近似した速度線図である。 工・・・ディスク ２・・・スピンドル ５・・・ヘッド ６・・・キャリッジ １５゜１６・・・突起 １７・・・ピエゾセンサー 以上
Claims (1)
- 磁気ディスクを保持する回転自在の回転保持体と、回
転保持体に保持される磁気ディスク表面に近接して略半
径方向に移動自在の検査ヘッドと、回転保持体を回転駆
動する回転保持体駆動手段と、検査ヘッドを磁気ディス
クの略半径方向に駆動する検査ヘッド駆動手段と、回転
保持体駆動手段の回転速度を制御する回転速度制御手段
とから構成され、回転速度制御手段は、磁気ディスクの
半径方向範囲を適宜数に分割した同心帯域と検査ヘッド
の位置との対応連動において各帯域毎に設定された増速
率をもって回転保持体駆動手段の回転速度を制御するこ
とを特徴とする磁気ディスク検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2191158A JPH0476863A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 磁気ディスク検査装置 |
| US07/731,753 US5237861A (en) | 1990-07-19 | 1991-07-16 | Magnetic disk inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2191158A JPH0476863A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 磁気ディスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0476863A true JPH0476863A (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=16269871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2191158A Pending JPH0476863A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 磁気ディスク検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5237861A (ja) |
| JP (1) | JPH0476863A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5488857A (en) * | 1991-11-22 | 1996-02-06 | Hitachi Electronic Engineering Co., Ltd. | Protrusion sensor for sensing protrusion on a disc |
| US5963396A (en) | 1997-04-02 | 1999-10-05 | Marburg Technology, Inc. | Glide head with an outside active rail |
| US6611401B1 (en) | 1997-04-02 | 2003-08-26 | Marburg Technology, Inc. | Glide head with a transverse contact rail |
| US5929326A (en) * | 1997-05-22 | 1999-07-27 | International Business Machines Corporation | Glide sensor integrated suspension |
| US7002310B2 (en) * | 2004-02-25 | 2006-02-21 | Somfy Sas | Piezo-based encoder with magnetic brake for powered window covering |
| US6968731B2 (en) * | 2003-07-29 | 2005-11-29 | Seagate Technology | High speed glide test for screening magnetic disc micro-waviness and a system therefor |
| US7587057B2 (en) * | 2003-10-10 | 2009-09-08 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Vibroacoustic emulator |
| US7064659B2 (en) * | 2004-08-31 | 2006-06-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Glide testing of disks with calibration confirmation testing by inducing collision of the slider with production disk surface |
| JP2008176849A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスクの検査装置に使用される検査用ヘッド |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3504552A (en) * | 1967-11-22 | 1970-04-07 | Us Navy | Particle contact counter and method |
| US3724626A (en) * | 1970-08-27 | 1973-04-03 | Borg Warner | Transmission |
| US4560924A (en) * | 1983-07-22 | 1985-12-24 | Magnetic Peripherals Inc. | Flatness measuring apparatus |
| JPS62185178A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | デイスク検査方法 |
| US4802042A (en) * | 1987-02-05 | 1989-01-31 | Magnetic Peripherals Inc. | Side-vented magnetic head air bearing slider |
| US4879672A (en) * | 1987-08-21 | 1989-11-07 | Control Data Corporation | Method and apparatus for testing runout velocity and acceleration on a surface |
| US4811594A (en) * | 1988-04-25 | 1989-03-14 | Battelle Memorial Institute | Topography sensor |
-
1990
- 1990-07-19 JP JP2191158A patent/JPH0476863A/ja active Pending
-
1991
- 1991-07-16 US US07/731,753 patent/US5237861A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5237861A (en) | 1993-08-24 |
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