JP2015060606A - 磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査のスループットを低下させることなく磁気ディスクの検査若しくは磁気ディスクの検査を行えるようにする。【解決手段】磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置を、スピンドルモータと、磁気ディスク上の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、磁気ディスクにサーボパターン及びデータを書き込むことと、書き込んだサーボパターンを読み取った信号に基づいて磁気ディスクに書き込んだデータを読み取った信号を処理して検査を行う制御回路部とを備えて構成し、制御回路部は、第1の回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ディスクにサーボパターンを書き込み、第1の回転速度とは異なる回転速度で磁気ディスクを回転させているときに書き込まれたサーボパターンを磁気ヘッドで読み取り、この読み取って得た信号に基づいて磁気ヘッドの位置を調整するサーボ制御信号を発信するようにした。【選択図】 図1
Description
本発明は、磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法に係わり、特に、磁気ヘッドで磁気ディスクに所望のデータを書き込んで、この書き込んだデータを磁気ヘッドで読み出してリード・ライトテストを行うのに適した磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法に関する。
従来のリード・ライトテストを行う磁気ヘッド検査装置として、特許文献1には、磁気ヘッドを磁気ディスク上の所望の位置に位置決めする微動ステージと、微動アクチュエータの移動特性を測定するデータ処理回路と、データ処理回路の測定結果に基づいて磁気ヘッドを磁気ディスク上のサーボトラックに追従させるサーボ制御回路を備えた装置構成が記載されている。更に特許文献1には、微動アクチュエータの移動量が許容範囲を超えるとき、サーボ制御回路が微動ステージを駆動して磁気ヘッドを移動させ、微動アクチュエータの移動量が許容範囲内に収まるように制御することが記載されている。
また、特許文献2には、磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置が、サーボ情報の書込みの他に等間隔にトラック情報の書き込を行う、またサーボオンする際にトラック情報を読み取りサーボオンすることにより幅広く書き込んだサーボ情報に対し指定した位置に位置決めを行うことが記載されている。
特許文献1及び2に記載されている磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置では、磁気ディスクまたは磁気ヘッド特性を安定して測定するために、磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置にて独自にサーボパターンを磁気ヘッドから磁気ディスクに書込むと共に磁気ディスク上に信号を書込み、サーボ・オンすることによりサーボパターンを検出しながら安定した位置にて磁気ディスクに書込んだ信号を磁気ヘッドで読み取ることで磁気ヘッドの再生特性の測定を行っている。
検査方法として、磁気ヘッドの再生特性を測定するに当たり、磁気ディスクの回転速度を順次変えて、複数の回転数(回転速度)におけるヘッドの再生特性の測定が行われる。
一方、特許文献2には、スピンドルのエンコーダ信号を等分割してサーボの起点とし、この起点からA〜F相のサーボバースト信号(サーボ信号)を書込み、ヘッドの再生特性を測定する際にサーボ信号として使用することが記載されている。
しかし、この書込まれたサーボ信号は、書込み時の磁気ディスクの回転数(回転速度)には対応するが、磁気ディスクの回転数を変えることによりサーボ条件が変わってしまう。その結果、磁気ディスクに書込み済みのサーボパターンを使用して異なる回転速度でサーボ制御を行おうとしても、そのままではサーボ制御を行うことができない。
従って、特許文献2に記載されている磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置を用いて磁気ディスクの回転速度を変えてヘッドの再生特性を測定するためには、磁気ディスクの回転速度を変えるごとにサーボパターンを磁気ヘッドから磁気ディスクに書込むことが必要になる。
磁気ディスクの検査又は磁気ディスクの検査において、事前にデータを書き込んだ磁気ディスクに対し回転速度を変え再生特性を測定する検査はサーボ機能を使用できず検査を安定して行うことが障害となる。
しかし、特許文献2に記載されている発明においては、この点について配慮されていない。
一方、特許文献1においても、この点については配慮されていない。
一方、特許文献1においても、この点については配慮されていない。
本発明は、この従来技術の課題を解決して、検査のスループットを低下させることなく磁気ディスクの検査又は磁気ディスクの検査を行える磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法を提供するものである。
上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置を、磁気ディスクを搭載して回転可能なスピンドルモータと、このスピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、この磁気ヘッド位置決め機構により回転駆動されている磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込むことと、磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを磁気ヘッドで読み取った信号に基づいて磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを磁気ヘッドで読み取った信号を処理して磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う制御回路部とを備えて構成し、制御回路部は、スピンドルモータが第1の回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ディスク上の所望の位置に設定された磁気ヘッドから磁気ディスクにサーボパターンを書き込み、スピンドルモータが第1の回転速度とは異なる回転速度で磁気ディスクを回転させているときに書き込まれたサーボパターンを磁気ヘッドで読み取り、この読み取って得た信号に基づいて磁気ヘッドの位置を調整するサーボ制御信号を発信するようにした。
また、上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う方法を、スピンドルモータに磁気ディスクを搭載して回転させ、磁気ヘッド位置決め機構を制御してスピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定し、磁気ヘッド位置決め機構により回転駆動されている磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込み、磁気ディスクに書き込んだサーボパターンに基づいて磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを磁気ヘッドで読み取り、磁気ヘッドで読み取った信号を処理して磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う方法とし、スピンドルモータが第1の回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ディスク上の所望の位置に設定された磁気ヘッドから磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを、スピンドルモータが第1の回転速度とは異なる回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ヘッドで読み取り、この読み取って得た信号に基づいて磁気ヘッドの位置を調整するようにした。
本発明によれば、サーボタイミングのプログラマブル化、回転数の変化を検出し読み出し周波数の自動検出を行うことにより回転数を変えても書き込み済みサーボパターンを使用し再サーボ・オンを行うことができるようになり、検査のスループットを向上させることができるようになった。
以下に、本発明における実施の態様について図面を用いて説明する。図1は、本実施例に係る磁気ヘッド検査装置10の概略の構成を示すブロック図である。ここでは、圧電素子などの微動アクチュエータを内蔵したDSA(Dual Stage Actuator)型磁気ヘッド(以下、単に磁気ヘッドという。)を検査対象とするものである。
磁気ヘッド検査装置10は、機械動作を行う機構部で構成される検査用キャリッジ30と、それに繋がる制御回路部20を備える。
磁気ヘッド検査装置10は、機械動作を行う機構部で構成される検査用キャリッジ30と、それに繋がる制御回路部20を備える。
検査用キャリッジ30は、磁気ディスク1を回転させるスピンドルモータ2と、ジンバルスプリング4の先端部分に取り付けた磁気ヘッド3を磁気ディスク1上の半径方向の所望の位置に位置決めするための磁気ヘッド位置決め機構として、ヘッドカートリッジ5、ピエゾアクチュエータ51、カートリッジ取付ベース6、微動ステージ7、X軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9を備えている。
検査用キャリッジ30のX軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9は、ジンバルスプリング4とジンバルスプリング4の先端部分に取り付けた磁気ヘッド3を磁気ディスク1から外れた場所から磁気ディスク1上へ移動させるもので、X軸粗動ステージ8は磁気ディスク1の半径方向へ、Y軸粗動ステージ9は磁気ディスク1の円周方向へ移動させる。X軸粗動ステージ8の上にはY軸粗動ステージ9が、Y軸粗動ステージ9の上にはX方向の微小位置決めが可能な微動ステージ7が搭載されている。微動ステージ7にはカートリッジ取付けベース6が固定されており、カートリッジ取付けベース6には、磁気ヘッド3をθ方向に駆動するピエゾアクチュエータ51を搭載したジンバルスプリング4を備えたヘッドカートリッジ5が取り付けられている。
上記した検査用キャリッジ30の構成において、検査を行う際に、X軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9とを駆動して磁気ヘッド3を磁気ディスク1の所望の位置に概略の位置決めをした後に、微動ステージ7を駆動して磁気ヘッド3をX方向に移動させて磁気ディスク1上の所望のトラック位置(磁気ディスク1上の半径方向の位置)に位置決めし、磁気ディスク1の回転速度の変動に追従させてピエゾアクチュエータ51でジンバルスプリング4に実装した磁気ヘッド3のθ方向の位置を微調整しながら磁気ヘッド3のリード・ライト特性を測定する(パラメトリック測定ともいう)。
次に、制御回路部20の構成を説明する。制御回路部20は、サーボ制御回路11、サーボ信号・データ書込み回路12、データ検出回路13、ヘッドアクセス制御回路14、データ処理・制御回路15、書込みデータ・信号発生回路16、モータ制御回路17を備えている。
データ処理・制御回路15は、サーボ制御回路11、サーボ信号・データ書込み回路12、データ検出回路13、ヘッドアクセス制御回路14、データ・信号発生回路16、モータ制御回路17の各回路に対し動作条件等の必要なパラメータを発行する。
モータ制御回路17は、データ処理・制御回路15からの命令に従い適切な速度でスピンドルモータ2の回転制御を行う。ヘッドアクセス制御回路14は、X軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9と微動ステージ7とピエゾアクチュエータ51を動作させ、磁気ヘッド3を、スピンドルモータ2により高速に回転している磁気ディスク1上へロードして所望のトラック上に位置決めさせる。
書込みデータ・信号発生回路16とサーボ信号・データ書込み回路12は、磁気ヘッド3に形成されたインダクティブヘッド(図示せず)により磁気ディスク1上へパラメトリック測定用のデータとサーボ信号の書込みを行う(以下、簡略化して、磁気ヘッド3により書込みを行うと記す)。サーボ信号は、磁気ヘッド3が磁気ディスク1上へサーボ追従するために必要な情報であり、サーボ信号・データ書込み回路12からの信号を受けて、図2に示すように、磁気ヘッド3から磁気ディスク1上の所定のトラック幅領域101に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域100にサーボバースト信号A〜Fとして書き込まれる。また、磁気ディスク1の所定のトラック幅領域101に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域100の間の領域(データ書き込み領域102)には、データ処理・制御回路15より生成される情報(検査用データ)が磁気ヘッド3により書き込まれる。
書込みデータ・信号発生回路16とサーボ信号・データ書込み回路12は、磁気ヘッド3に形成されたインダクティブヘッド(図示せず)により磁気ディスク1上へパラメトリック測定用のデータとサーボ信号の書込みを行う(以下、簡略化して、磁気ヘッド3により書込みを行うと記す)。サーボ信号は、磁気ヘッド3が磁気ディスク1上へサーボ追従するために必要な情報であり、サーボ信号・データ書込み回路12からの信号を受けて、図2に示すように、磁気ヘッド3から磁気ディスク1上の所定のトラック幅領域101に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域100にサーボバースト信号A〜Fとして書き込まれる。また、磁気ディスク1の所定のトラック幅領域101に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域100の間の領域(データ書き込み領域102)には、データ処理・制御回路15より生成される情報(検査用データ)が磁気ヘッド3により書き込まれる。
サーボ制御回路11は、磁気ヘッド3に形成されたMRヘッド(GMRヘッド、又はTMRヘッド:図示せず)により読み出された(以下、簡略化して、磁気ヘッド3により読み出されたと記す)磁気ディスク1上のサーボパターン書込み領域100に書き込まれたサーボバースト信号A〜Fの検出信号を処理し、微動ステージ7及びピエゾアクチュエータ51へ制御信号を送ることによりサーボ追従を行う。サーボ追従を行う際の指令はデータ処理・制御回路15から発行される。
データ検出回路13は、磁気ヘッド3により読み出された磁気ディスク1上のサーボパターン書込み領域100のサーボバースト信号A〜F(サーボパターン)と、データ書き込み領域102に書き込まれたデータが検出される。この磁気ヘッド3で検出された検出信号は、データ処理・制御回路15に送られて磁気ヘッド3の測定データとして処理される。サーボ制御回路11は、信号を書き込むときの磁気ディスク1の回転速度をスピンドルモータ2により変化させたとき、磁気ディスク1に信号を書き込む周波数及び前記サーボタイミングを、磁気ディスク1の回転速度の変化に追従させて変更する。
リード・ライト特性の検査(リード・ライトテスト)を行うときには、磁気ディスク1の回転速度を順次変化させて、各回転速度における磁気ヘッド3から磁気ディスク1のデータ書き込み領域102への信号の書込みと、この書き込んだ信号の読み取りを行って磁気ヘッド3のリード・ライト特性の検査を行う。このリード・ライトテストを行うときに、従来は、磁気ディスク1の回転速度を変える毎にサーボパターン書込み領域100にサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3から磁気ディスク1に書き込み、この回転速度をかえる毎に書き込んだサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3で読み取ってサーボ制御を行いながらリード・ライト特性の検査を行っていた。
これに対して、本実施例においては、最初のリード・ライト特性の検査を行うときに磁気ディスク1のサーボパターン書込み領域100に書き込んだサーボバースト信号A〜Fを、次回以降の磁気ディスク1の回転速度を変えて行うリード・ライト特性の検査を行う時にも使用するようにした。これにより磁気ディスク1の回転速度を変える毎にサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3から磁気ディスク1に書き込む手間が省けて、リード・ライト特性の検査を行う時間を短縮できるようにした。
すなわち、本実施例においては、モータ制御回路17でスピンドルモータ2を回転駆動させて磁気ディスク1が第1の回転速度で回転しているときに、まず、サーボ信号・データ書込み回路12からの信号を受けて磁気ヘッド3から磁気ディスク1上の所定のトラック幅領域101に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域100にサーボバースト信号A〜Fを書き込む。次に、この書き込んだサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3で検出して得た情報に基づいて、書込みデータ信号発生回路16から発生してサーボ信号・データ書込み回路12を経由した書込み信号を、磁気ヘッド3から磁気ディスク1のデータ書き込み領域102に書き込む。次に、磁気ディスク1が第1の回転速度で回転している状態で、この磁気ディスク1のサーボパターン書込み領域100に書き込んだサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3で順次読み取ってサーボ制御回路11で処理し、ピエゾアクチュエータ51や微動ステージ7を制御しながらデータ書き込み領域102に書き込んだ信号を磁気ヘッド3で順次読み取り、データ検出回路13を経由してデータ処理・制御回路15で処理して磁気ディスク1の第1の回転速度における磁気ヘッド3の検査又は磁気ディスク1の検査を行う。
次に、モータ制御回路17でスピンドルモータ2を制御して磁気ディスク1の回転速度を第2の回転速度に変化させる。この状態で、第1の回転速度で回転しているときに磁気ディスク1上のサーボパターン書込み領域100に書き込まれたサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3で検出する。この検出して得たサーボバースト信号A〜Fの情報を用いて、書込みデータ信号発生回路16から発生してサーボ信号・データ書込み回路12を経由した書込み信号を磁気ヘッド3から磁気ディスク1に書き込む。次に第1の回転速度で回転しているときに磁気ディスク1に書き込まれたサーボバースト信号A〜F(サーボパターン)を磁気ヘッド3で検出して得た情報を用いて、この磁気ディスク1が第2の回転速度で回転しているときに書き込んだ信号を磁気ヘッド3で読み取り、データ検出回路13を経由してデータ処理・制御回路15で処理して磁気ディスク1の第2の回転速度における磁気ヘッド3の検査又は磁気ディスク1の検査を行う。
次に、モータ制御回路17でスピンドルモータ2を制御して磁気ディスク1の回転速度を第3、第4の回転速度に変化させ、順次検査を行う。このように、本実施例においては、モータ制御回路17でスピンドルモータ2を制御して磁気ディスク1の回転速度を順次変化させたときに、その都度磁気ディスク1にサーボバースト信号A〜F(サーボパターン)を書き込むのではなく、最初(磁気ディスク1が第1の回転速度のとき)に書き込んだサーボバースト信号A〜F(サーボパターン)を用いて第2、第3の回転速度における検査を行うようにした。
本実施例における磁気ヘッド検査装置10の動作について、図3のフロー図に基づいて説明する。
まず、スピンドルモータ2に磁気ディスク1を装着し(S301),データ処理・制御回路15からの指令に基づいてモータ制御回路17でスピンドルモータ2を第1の回転速度で回転駆動させ(S302)、ヘッドアクセス制御回路14でX軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9と微動ステージ7とピエゾアクチュエータ51を動作させ、磁気ヘッド3を磁気ディスク1上へロードして所望のトラック上に位置決めさせる(S303)。
まず、スピンドルモータ2に磁気ディスク1を装着し(S301),データ処理・制御回路15からの指令に基づいてモータ制御回路17でスピンドルモータ2を第1の回転速度で回転駆動させ(S302)、ヘッドアクセス制御回路14でX軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9と微動ステージ7とピエゾアクチュエータ51を動作させ、磁気ヘッド3を磁気ディスク1上へロードして所望のトラック上に位置決めさせる(S303)。
次に、サーボ信号・データ書込み回路12からの信号を受けて磁気ヘッド3から磁気ディスク1上の所定のトラック幅領域101に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域100にサーボデータであるサーボバースト信号A〜Fを書き込む(S304)。次に、サーボ制御回路11を作動させてサーボ・オンにし(S305)、この状態でS304で書き込んだサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3で読み取り、この読み取って得た情報に基づいて書込みデータ信号発生回路16から発生してサーボ信号・データ書込み回路12を経由した書込み信号を、磁気ヘッド3から磁気ディスク1のデータ書き込み領域102に書き込む(S306)。
次に、磁気ディスク1が第1の回転速度で回転している状態で、S304で磁気ディスク1の所定のトラック幅領域101のサーボパターン書込み領域100に書き込んだサーボバースト信号A〜Fと、S306で磁気ディスク1のデータ書き込み領域102に書き込んだ情報を磁気ヘッド3で読み取り(S307)、データ検出回路13を経由してデータ処理・制御回路15で読み出したデータ信号を評価して磁気ディスク1の第1の回転速度における磁気ヘッド3の検査を行う(S308)。
磁気ディスク1の所定の領域についてS306とS307の処理を終了すると、サーボ制御回路11の作動を停止させてサーボ・オフにし(S309)、この状態でヘッドアクセス制御回路14でX軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9と微動ステージ7とピエゾアクチュエータ51を動作させ、磁気ヘッド3を磁気ディスク1から外れた退避位置に退避させる(S310)。
次に、データ処理・制御回路15からの指令に基づいてモータ制御回路17でスピンドルモータ2を第2の回転速度で回転駆動させ(S311)、ヘッドアクセス制御回路14でX軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9と微動ステージ7とピエゾアクチュエータ51を動作させ、第2の回転速度で回転している磁気ディスク1上へ磁気ヘッド3をロードして所望のトラック上に位置決めさせる(S312)。
次に、磁気ディスク1が第2の回転速度で回転している状態で、スピンドルモータ2の第1の回転速度の情報と第2の回転速度の情報、及びS304において第1の回転速度で回転している磁気ディスク1のサーボパターン書込み領域100に書き込まれたサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3で検出して得た情報とを用いてデータ処理・制御回路15でサーボバースト検出タイミングを設定し(S313)、次に、スピンドルモータ2の第1の回転速度の情報と第2の回転速度の情報及び磁気ヘッド3で検出した磁気ディスク1のサーボパターン書込み領域100に書き込まれたサーボバースト信号A〜Fの情報とを用いてサーボ制御回路11でサーボバースト信号A〜Fを検出した信号の周波数変動成分を算出する(S314)。
次に、サーボ・オンの状態にして(S315)、S314で算出した周波数変動成分の情報に基づいてサーボ制御回路11を作動させてピエゾアクチュエータ51、ヘッドカートリッジ5をサーボ制御した状態(サーボ・オンの状態)で、S313で設定したサーボバースト検出タイミングの情報に基づいて書込みデータ信号発生回路16で発生してサーボ信号・データ書込み回路12を経由した書込みデータ信号を、磁気ヘッド3から第2の回転速度で回転している磁気ディスク1上のデータ書き込み領域102に書き込む(S316)。
次に、磁気ディスク1が第1の回転速度で回転しているときにサーボパターン書込み領域100に書き込まれたサーボバースト信号A〜Fを磁気ヘッド3で読み取り、この読み取って得た情報に基づいてS213で磁気ディスク1上のデータ書き込み領域102に書き込んだ信号を磁気ヘッド3で読み取り(S317)、データ検出回路13を経由してデータ処理・制御回路15で読み出したデータ信号を評価して磁気ディスク1の第2の回転速度における磁気ヘッド3の検査を行う(S318)。
磁気ディスク1の所定の領域についてS311からS318までの処理を終了すると、サーボ制御回路11の作動を停止させてサーボ・オフの状態とし(S319)、ヘッドアクセス制御回路14でX軸粗動ステージ8とY軸粗動ステージ9と微動ステージ7とピエゾアクチュエータ5を動作させ、磁気ヘッド3を磁気ディスク1から外れた退避位置に退避させる(S320)。
次に、スピンドルモータ2の第3の回転速度が設定されているかをチェックし(S321)、第3の回転速度が設定されている場合にはNをN+1に書き換えて(S322)S311に戻ってS320までの各ステップを、スピンドルモータ2の第3の回転速度に対応させて実行する。
このS311からS320までのステップを、スピンドルモータ2の回転速度を順次変化させて予め設定した回転速度の数だけ繰返して行い、磁気ヘッド3のリード・ライト特性の検査を実行する。
予め設定した回転速度の数だけ繰返して行った後、リード・ライト特性の検査を終了する。
図4に、S304において磁気ディスク1のサーボパターン書込み領域(サーボエリア)100に書き込んだ図2に示したようなサーボバースト信号A〜F(サーボパターン)と、S306で磁気ディスク1のデータ書き込み領域(データエリア)102に書き込んだデータを、S307のデータ読み出しステップにおいて磁気ヘッド3で読み出したサーボバースト信号A〜Fからなるサーボ信号401とデータ信号402の波形を示す。図4は、サーボ制御が行われて、サーボバースト信号A〜Fの中心位置とデータ信号402の波形の中心とが重なっている状態を示している。
このサーボバースト信号A〜Fは、スピンドルモータ2に取り付けたエンコーダ(図示せず)からの出力信号を用いて設定される。本実施例においては、スピンドルモータ2がある回転速度で回転している状態で、磁気ディスク1のサーボパターン書込み領域100に図2に示すようなサーボバースト信号A〜Fを書き込み、リード・ライトテストを行う。次にサーボ制御をオフの状態にしてスピンドルモータの回転速度を変化させたとき、その変化させた回転速度の情報とサーボバースト信号A〜Fを書き込んだときの回転速度の情報とサーボバースト信号A〜Fを書き込んだときの情報(書き込みのタイミング情報:a〜f、各相の書込み時間の情報など)を用いて、データ処理・制御回路15において、変化させた回転速度におけるサーボパターン検出のタイミングを算出し、サーボ制御回路11、データ検出回路13、書込みデータ信号発生回路16等を制御してサーボ制御をオンの状態とすることにより、スピンドルモータ2がある回転速度で回転している状態で書き込んだサーボデータ(サーボバースト信号A〜F)を、スピンドルモータ2の回転速度を変えても使えるようにしてリード・ライトテストを行えるようにした。
磁気ヘッドのリード・ライト特性の検査において、従来は磁気ディスクの回転速度を変える毎にサーボパターンを磁気ヘッドから磁気ディスクに書込んでから磁気ディスクに書込んだ信号を磁気ヘッドで読取ってヘッドの再生特性を測定すると検査のための時間が嵩んでしまっていたのに対して、本実施例によれば、磁気ディスクの回転速度を変える毎にサーボ制御を作動させる(サーボ・オン)ための条件(周波数、サーボタイミング)を自動的に切り替えて再サーボ・オンを行うようにしたので、磁気ヘッドの検査において、検査のスループットを向上させることができるようになった。
本実施例によれば、サーボタイミングをプログラマブル化して、磁気ディスクの回転速度を変化させたときの磁気ディスクへのデータの書き込み・読み出し周波数を算出ことにより、回転速度を変えても書き込み済みのサーボパターンを使用して再サーボ・オンを行うことができるようになった。また、回転速度を変えて磁気ディスクの検査を行うときに同じサーボパターンを用いるので、検査の信頼性を向上させることができるようになった。
上記実施例においては、検査用キャリッジ30のY軸粗動ステージ9の上に微動ステージ7を備えた構成について説明したが、ヘッドカートリッジ5に取り付けられたピエゾアクチュエータ51を制御することで磁気ディスク1に書き込まれたサーボパターンへの磁気ヘッド3の追従が十分な精度で行われる場合には、微動ステージ7は必ずしも必要ではない。
なお、上記実施例では、磁気ヘッド検査装置の例を示したが、本発明はこれに限られるものではなく、検査対象を磁気ディスクとする磁気ディスク検査装置にも適用することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
1・・・磁気ディスク 2・・・スピンドルモータ 3・・・磁気ヘッド 4・・・ジンバルスプリング 5・・・ヘッドカートリッジ 6・・・カートリッジ取付ベース 7・・・微動ステージ 8・・・X軸粗動ステージ 9・・・Y軸粗動ステージ 10・・・磁気ヘッド検査装置 11・・・サーボ制御回路 12・・・サーボ信号・データ書き込み回路 13・・・データ検出回路 14・・・ヘッドアクセス制御回路 15・・・データ処理・制御回路 16・・・書込みデータ信号発生回路 17・・・モータ制御回路 20・・・制御回路部 30・・・検査用キャリッジ 51・・・ピエゾアクチュエータ。
Claims (8)
- 磁気ディスクを搭載して回転可能なスピンドルモータと、
該スピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、
該磁気ヘッド位置決め機構により前記回転駆動されている磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された磁気ヘッドにより前記磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込むことと、該磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを前記磁気ヘッドで読み取った信号に基づいて該磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを前記磁気ヘッドで読み取った信号を処理して前記磁気ディスク又は前記磁気ヘッドの検査を行う制御回路部と
を備えた磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、
前記制御回路部は、前記スピンドルモータが第1の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に設定された前記磁気ヘッドから前記磁気ディスクにサーボパターンを書き込み、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記書き込まれたサーボパターンを前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッドの位置を調整するサーボ制御信号を発信することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。 - 請求項1記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記制御回路部から発信されたサーボ制御信号により前記アクチュエータを制御することにより前記磁気ヘッドの位置を調整することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
- 請求項1記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記磁気ヘッド位置決め機構は前記ヘッドカートリッジの位置を調整する微動ステージを備えており、前記制御回路部から発信されたサーボ制御信号により前記アクチュエータと前記微動ステージとを制御することにより前記磁気ヘッドの位置を調整することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
- 請求項1乃至3の何れかに記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記制御回路部は、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスクにデータを書き込み、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させている状態で前記書き込んだデータを前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッド又は前記磁気ディスクを検査することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
- スピンドルモータに磁気ディスクを搭載して回転させ、
磁気ヘッド位置決め機構を制御して前記スピンドルモータにより回転駆動されている前記磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定し、
前記磁気ヘッド位置決め機構により前記回転駆動されている磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された磁気ヘッドにより前記磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込み、
該磁気ディスクに書き込んだサーボパターンに基づいて該磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを前記磁気ヘッドで読み取り、
該磁気ヘッドで読み取った信号を処理して前記磁気ディスク又は前記磁気ヘッドの検査を行う方法であって、
前記スピンドルモータが第1の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に設定された前記磁気ヘッドから前記磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッドの位置を調整することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。 - 請求項5記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記磁気ヘッドの位置を調整することが、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に書き込んだサーボパターンを前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ヘッドで読み取って得た信号に基づいて前記アクチュエータを制御することにより行うことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
- 請求項5記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記磁気ヘッドの位置を調整することが、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に書き込んだサーボパターンを前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ヘッドで読み取って得た信号に基づいて前記アクチュエータと前記微動ステージとを制御することにより行うことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
- 請求項5乃至7の何れかに記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスクにデータを書き込み、前記スピンドルモータが前記第1の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させている状態で前記書き込んだデータを前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッド又は前記磁気ディスクを検査することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
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JP2013193108A JP2015060606A (ja) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013193108A JP2015060606A (ja) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 |
Publications (1)
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JP2015060606A true JP2015060606A (ja) | 2015-03-30 |
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Family Applications (1)
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JP2013193108A Pending JP2015060606A (ja) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 |
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2013
- 2013-09-18 JP JP2013193108A patent/JP2015060606A/ja active Pending
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