KR20000022648A - Negative pressure head slider - Google Patents
Negative pressure head slider Download PDFInfo
- Publication number
- KR20000022648A KR20000022648A KR1019990023243A KR19990023243A KR20000022648A KR 20000022648 A KR20000022648 A KR 20000022648A KR 1019990023243 A KR1019990023243 A KR 1019990023243A KR 19990023243 A KR19990023243 A KR 19990023243A KR 20000022648 A KR20000022648 A KR 20000022648A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- slider
- air bearing
- bearing surface
- negative pressure
- width direction
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
Abstract
Description
본 발명은 자기 디스크 구동 장치나 기타 기록 디스크 구동 장치에 사용되는 부압 헤드 슬라이더에 관한 것이다.The present invention relates to a negative pressure head slider used in a magnetic disk drive device or other recording disk drive device.
예를 들어 자기 디스크 구동 장치의 분야에서는, 자기 디스크에 대한 정보의 입력이나 출력시에 디스크면으로부터 부상하는 부상 헤드 슬라이더를 자기 헤드로 사용하는 일이 많다. 이러한 부상 헤드 슬라이더에서는 자기 디스크의 디스크면에 대향하는 슬라이더 본체의 부상면에 공기 베어링면(소위 ABS(air bearing surface))이 형성된다. 자기 디스크가 회전하면, 디스크면을 따라 발생하는 기류가 공기 베어링면에 작용하여 슬라이더 본체에 부력을 발생시키는 것이다.For example, in the field of the magnetic disk drive device, a floating head slider which floats from the disk surface at the time of inputting or outputting information on the magnetic disk is often used as the magnetic head. In this floating head slider, an air bearing surface (so-called air bearing surface) is formed on the floating surface of the slider body opposite the disk surface of the magnetic disk. When the magnetic disk rotates, airflow generated along the disk surface acts on the air bearing surface to generate buoyancy in the slider body.
근년, 자기 디스크 구동 장치의 분야에서는 가일층의 기록 밀도 향상이 요구되고 있다. 기록 밀도를 향상시키기 위해서는 슬라이더 본체의 부상량을 극력 낮게 설정할 필요가 있다. 그러나 부상량을 낮게 설정하면, 부상 중에 슬라이더 본체가 디스크면에 충돌할 확률이 높아져 버린다. 그래서 종래에는 공기 베어링면에 생기는 부력에 대항하는 부압을 발생시켜, 부력과 부압과의 평형에 의해 부상량을 규정하는 부압 헤드 슬라이더가 제안되어 있다. 이 부압 헤드 슬라이더에서는 슬라이더 본체를 디스크면으로 끌어 당기는 방향으로 부압이 작용하여 슬라이더 본체의 부상 안정성을 높일 수 있다. 그 결과 슬라이더 본체와 디스크면과의 충돌의 확률을 저하시킬 수 있는 것이다.In recent years, in the field of the magnetic disk drive device, there is a demand for further improvement in recording density. In order to improve the recording density, it is necessary to set the float amount of the slider main body to be extremely low. However, if the flotation amount is set low, the probability that the slider main body collides with the disc surface during injury increases. Therefore, conventionally, a negative pressure head slider has been proposed which generates a negative pressure against the buoyancy generated on the air bearing surface and defines the floating amount by the balance between the buoyancy force and the negative pressure. In this negative pressure head slider, negative pressure acts in the direction in which the slider main body is pulled to the disc surface, whereby the floating stability of the slider main body can be improved. As a result, the probability of collision between the slider body and the disk surface can be reduced.
금후, 기록 밀도의 향상을 더욱 요구하게 되면, 부상 안정성을 가일층 높일 필요가 있고, 동시에 슬라이더 본체의 구름 강성을 높일 필요가 생기게 된다. 구름 강성이 낮으면, 부상 중에 슬라이더 본체가 기류를 따라 중심축을 중심으로 회전해 슬라이더 본체가 디스크면에 충돌해 버리기 때문이다.In the future, when further improvement of the recording density is required, the floating stability needs to be further increased, and at the same time, the rolling rigidity of the slider body needs to be increased. This is because if the rolling stiffness is low, the slider body rotates about the central axis along the airflow during injury, and the slider body collides with the disk surface.
본 발명은 상기 실상을 감안하여 행해진 것으로서, 부상 안전성 및 구름 강성이 높은 부압 헤드 슬라이더를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above-described situation, and an object thereof is to provide a negative pressure head slider having high floating safety and rolling rigidity.
도1은 하드 디스크 구동 장치(HDD)의 내부 구조를 나타낸 평면도.1 is a plan view showing the internal structure of a hard disk drive device (HDD).
도2는 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더의 확대 사시도.2 is an enlarged perspective view of a negative pressure head slider according to the present invention;
도3은 부압 헤드 슬라이더의 압력 분포를 나타낸 도면.3 shows the pressure distribution of the negative pressure head slider.
도4는 부압 헤드 슬라이더에 생기는 압력에 대한 주위 분위기의 기압의 영향을 나타낸 그래프.4 is a graph showing the effect of atmospheric pressure on the ambient atmosphere to the pressure generated in the negative pressure head slider.
도5는 간극의 효과를 나타낸 그래프.5 is a graph showing the effect of a gap;
도6은 부압 헤드 슬라이더의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 도면.6 is a schematic view showing a method of manufacturing a negative pressure head slider.
도7은 도2의 7-7 선을 따른 개략 단면도로서, 부상면의 형성 방법을 개략적으로 나타낸 도면.FIG. 7 is a schematic cross sectional view along line 7-7 of FIG. 2, schematically showing a method of forming a floating surface; FIG.
도8은 도2의 7-7 선을 따른 개략 단면도로서, 부상면의 형성 방법을 개략적으로 나타낸 도면.FIG. 8 is a schematic sectional view taken along line 7-7 of FIG. 2, schematically showing a method of forming a floating surface;
도9는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.9 is a plan view of a negative pressure head slider showing the shape of a floating surface;
도10은 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.Fig. 10 is a plan view of the negative pressure head slider showing the shape of the floating surface;
도11은 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.Fig. 11 is a plan view of a negative pressure head slider showing the shape of a floating surface.
도12는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.12 is a plan view of a negative pressure head slider showing the shape of a floating surface;
도13은 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.Fig. 13 is a plan view of the negative pressure head slider showing the shape of the floating surface;
도14는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.14 is a plan view of a negative pressure head slider showing the shape of a floating surface;
도15는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.Fig. 15 is a plan view of the negative pressure head slider showing the shape of the floating surface;
부호의 설명Explanation of the sign
10 기록 디스크 구동 장치로서의 하드 디스크 구동 장치(HDD)10 Hard disk drive unit (HDD) as recording disc drive unit
14 부압 헤드 슬라이더14 negative pressure head slider
19 부상면19 floating surface
21 프론트 레일21 front rail
22 유통로22 distribution channels
23 리어 레일23 rear rails
24 제1 공기 베어링면24 1st air bearing surface
25a 한쪽의 제2 공기 베어링면25a second air bearing surface on one side
25b 다른 쪽의 제2 공기 베어링면25b second air bearing surface on the other side
27a,27b,27c 단차27a, 27b, 27c step
28 헤드 소자의 갭28 Head element gap
29 사이드 레일29 side rail
30 간극30 clearance
31a,31b,31c,31d 흡착 방지 패드31a, 31b, 31c, 31d adsorption prevention pad
51 상류단51 upstream
52 하류단52 downstream
55 다른 쪽의 제2 공기 베어링면의 상류단55 Upstream end of second air bearing face on the other side
56 한쪽의 제2 공기 베어링면의 상류단56 Upstream of one side of the second air bearing surface
57 변위된 하류단57 Displaced Downstream
W1 제1폭W1 first width
W2 제2폭W2 second width
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의하면, 슬라이더 본체의 부상면에 형성되어 슬라이더 본체의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 제1 공기 베어링면과, 이 제1 공기 베어링면으로부터 분리하여 상기 부상면에 형성되고 슬라이더 본체의 하류측에서 기류의 유통로를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 제2 공기 베어링면을 구비한 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더가 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, the first air bearing surface of the first line formed on the floating surface of the slider body and extending in the slider width direction upstream of the slider body, and separated from the first air bearing surface A negative pressure head slider is provided, comprising a pair of second air bearing surfaces formed on the floating surface and arranged in the slider width direction via a flow path of airflow at a downstream side of the slider body.
이러한 부압 헤드 슬라이더에 의하면, 헤드 소자가 매입되는 슬라이더 본체의 하류측에서, 슬라이더 폭방향으로 나란한 2개의 제2 공기 베어링면에 정압 즉 부력이 생성된다. 그와 같은 2개의 정압에 의해 슬라이더 본체가 지지되기 때문에, 슬라이더 본체의 구름 강성을 현저히 높일 수 있다.According to such a negative pressure head slider, a static pressure, ie buoyancy, is generated on two second air bearing surfaces parallel to the slider width direction on the downstream side of the slider body into which the head element is embedded. Since the slider main body is supported by such two positive pressures, the rolling rigidity of the slider main body can be remarkably increased.
상기 제1 공기 베어링면은 기류의 상류측에서 상기 부상면에 형성되어 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 프론트 레일의 정상면에 형성되면 좋다. 이러한 프론트 레일의 형성에 의하면, 디스크면에 생성되는 기류가 맨 먼저 프론트 레일로 차단되고, 그 결과 프론트 레일의 뒤쪽에 생성되는 부압이 감소하는 것을 저지할 수 있다. 상기 제2 공기 베어링면은 기류의 하류측에서 상기 부상면에 형성되어 기류의 유통로를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 리어 레일의 정상면에 각각 형성되면 좋다.The first air bearing surface may be formed on the top surface of one row of front rails formed on the floating surface on the upstream side of the airflow and extending in the slider width direction. According to the formation of the front rail, the air flow generated on the disk surface is first blocked by the front rail, and as a result, it is possible to prevent the negative pressure generated at the rear of the front rail from decreasing. The second air bearing surface may be formed on the floating surface on the downstream side of the airflow, respectively, and formed on the top surfaces of the pair of rear rails arranged in the slider width direction via the flow path of the airflow therebetween.
제1 공기 베어링면이나 제2 공기 베어링면은 단차에 의해 프론트 레일의 정상면이나 리어 레일의 정상면에 접속되는 것이 바람직하다. 이러한 단차의 작용에 의해 제1 및 제2 공기 베어링면에 큰 정압을 생성시킬 수 있기 때문이다.It is preferable that the first air bearing surface or the second air bearing surface is connected to the top surface of the front rail or the top surface of the rear rail by a step. This is because a large static pressure can be generated on the first and second air bearing surfaces by the action of the step.
부상면에는 상기 프론트 레일의 슬라이더 폭방향 양단으로부터 하류측으로 뻗는 1쌍의 사이드 레일이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 사이드 레일의 작용에 의하면, 디스크면을 따라 생성되는 기류가 프론트 레일을 우회하여 프론트 레일의 뒤쪽으로 돌아 갈 수 없게 되고, 그 결과 프론트 레일의 뒤쪽에 확실히 큰 부압을 생성시킬 수 있게 된다. 특히 이러한 사이드 레일의 슬라이더 폭방향의 두께는 리어 레일의 슬라이더 폭방향의 두께에 비해서 얇게 설정되는 것이 바람직하다. 사이드 레일의 두께가 얇으면 부압을 발생시키는 영역을 넓힐 수 있어서, 큰 부압을 발생시킬 수 있기 때문이다.It is preferable that a pair of side rails which extends downstream from the slider width direction both ends of the said front rail are formed in the floating surface. By the action of this side rail, the airflow generated along the disk surface cannot bypass the front rail and return to the rear of the front rail, and as a result, a large negative pressure can be surely generated at the rear of the front rail. In particular, the thickness in the slider width direction of the side rail is preferably set thinner than the thickness in the slider width direction of the rear rail. This is because if the thickness of the side rail is thin, the area for generating negative pressure can be widened, and a large negative pressure can be generated.
단 상기 사이드 레일에는 상기 프론트 레일을 우회하는 기류를 상기 유통로로 유도하는 간극이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 간극에 의하면, 상술한 프론트 레일이나 리어 레일의 높이를 낮게 설정하여도, 낮은 주속(tangential velocity)에서 부압의 포화가 발생하는 것을 극력 저지할 수 있게 된다. 그 결과 부압의 주속 응답성이 높여져서, 주속의 변동에 불구하고 슬라이더 본체의 부상량을 일정하게 유지할 수 있게 된다.However, it is preferable that a gap is formed in the side rail to guide the air flow bypassing the front rail to the flow path. According to such a gap, even when the height of the above-described front rail or rear rail is set low, it is possible to prevent the occurrence of saturation of negative pressure at a low tangential velocity as much as possible. As a result, the peripheral speed responsiveness of the negative pressure is increased, so that the floating amount of the slider body can be kept constant despite the variation of the peripheral speed.
상기 프론트 레일의 정상면이나 리어 레일의 정상면에는 슬라이드 본체가 디스크면에 착좌할 때에 제1 공기 베어링면이나 제2 공기 베어링면과 디스크면과의 접촉을 회피시키는 흡착 방지 패드가 형성되어도 좋다. 이러한 흡착 방지 패드에 의하면, 제1 및 제2 공기 베어링면이 직접 디스크면에 접촉하는 것이 회피된다. 그 결과 디스크면 상에 성막된 윤활제의 흡착력이 약화되어, 디스크의 회전 개시시에 바로 본체가 부상할 수 있게 된다.An adsorption prevention pad may be provided on the top surface of the front rail or the top surface of the rear rail to avoid contact between the first air bearing surface or the second air bearing surface and the disk surface when the slide body seats on the disk surface. According to such an adsorption prevention pad, the contact of the first and second air bearing surfaces directly with the disk surface is avoided. As a result, the adsorption force of the lubricant deposited on the disk surface is weakened, so that the main body can rise immediately at the start of rotation of the disk.
그리고 또한, 상기 제2 공기 베어링면 중, 헤드 소자가 매입되는 한쪽의 제2 공기 베어링면은 다른 쪽의 제2 공기 베어링면보다 작게 형성되어도 좋다. 이렇게 하면, 구름각에 따른 경사 자세를 슬라이더 본체가 취할 수 있게 되고, 따라서 헤드 소자의 근방에서 부상면과 디스크면의 거리를 가장 짧게 할 수 있게 된다.The second air bearing surface on which the head element is embedded may be smaller than the second air bearing surface on the other side of the second air bearing surface. In this way, the slider main body can take the inclined posture according to the rolling angle, and thus the distance between the floating surface and the disk surface can be made shortest in the vicinity of the head element.
상기 한쪽의 제2 공기 베어링면을 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면보다 작게 형성할 때, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면은 제1폭 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차에 연결하는 상류단과, 제1폭보다 큰 제2폭 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗는 하류단을 구비하면 좋다. 예를 들어 출력용 헤드 소자로서 MR(자기 저항) 소자가 사용되는 경우, MR(자기 저항) 소자가 쉴드층(shield layer)에 의해 개재되어야 한다. 이 쉴드층은 슬라이더 폭방향으로 충분히 뻗어 있지 않으면, MR 소자로 불필요한 자기가 작용해서 MR 소자는 정확한 정보를 출력할 수 없게 된다. 일반적으로 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체의 하류측을 가장 기록 매체에 접근시키는 경사 자세로 유지되는 일이 많다. 이러한 경사 자세가 유지되는 한, 슬라이더 본체의 하류측에 매입된 헤드 소자를 충분히 기록 매체에 접근시킬 수 있는 한편, 기록 매체에 대한 슬라이더 본체의 접촉 면적을 최소한으로 억제할 수 있기 때문이다. 따라서 상술한 바와 같이 제2 공기 베어링면의 하류단에 큰 폭을 확보해 두면, 슬라이더 폭방향을 따른 쉴드층의 폭을 확보하면서 제2 공기 베어링면을 작게 형성할 수 있는 것이다.When the one second air bearing surface is formed smaller than the other second air bearing surface, the one second air bearing surface extends in the slider width direction by a first width and connects to the step; What is necessary is just to provide the downstream end extended in the slider width direction by the 2nd width larger than 1 width. For example, when an MR (Magnetic Resistance) element is used as the output head element, the MR (Magnetic Resistance) element should be interposed by a shield layer. If the shield layer does not extend sufficiently in the slider width direction, unnecessary magnetism acts on the MR element and the MR element cannot output accurate information. In general, the head slider is often kept in an inclined posture that brings the downstream side of the slider body closest to the recording medium. This is because the head element embedded on the downstream side of the slider main body can be sufficiently brought close to the recording medium, while the contact area of the slider main body with respect to the recording medium can be kept to a minimum as long as this inclined posture is maintained. Therefore, as described above, if a large width is ensured at the downstream end of the second air bearing surface, the second air bearing surface can be made small while securing the width of the shield layer along the slider width direction.
또는 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면을 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면 보다도 작게 형성할 때, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차를 형성하는 상류단은 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차를 형성하는 상류단보다도 하류측에 배치되어도 좋다. 이러한 배치에 의하면, 한쪽의 제2 공기 베어링면에서는 다른 쪽의 제2 공기 베어링면에 비해서 기류의 흐름 방향을 따라 퍼지는 것이 축소된다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면의 면적은 감소하고, 그 결과 다른 쪽의 제2 공기 베어링면에 비해서 한쪽의 제2 공기 베어링면의 부력은 억제된다. 슬라이더 폭방향을 따른 쉴드층의 퍼짐을 압박하는 일없이, 한쪽의 제2 공기 베어링면에 생기는 부력을 억제할 수 있는 것이다. 이렇게 부력이 억제되면, 한쪽의 제2 공기 베어링면은 디스크면에 접근할 수 있다.Alternatively, when the one second air bearing surface is formed smaller than the other second air bearing surface, an upstream end extending in the slider width direction from the upstream side of the one second air bearing surface to form the step is It may be arranged downstream from the upstream end extending in the slider width direction from the upstream side of the other second air bearing surface to form the step. According to this arrangement, spreading along the flow direction of the airflow is reduced in one second air bearing surface compared with the other second air bearing surface. Therefore, the area of one side of the second air bearing surface is reduced, and as a result, the buoyancy of one side of the second air bearing surface is suppressed as compared with the other side of the second air bearing surface. It is possible to suppress the buoyancy generated on one of the second air bearing surfaces without pressing the spread of the shield layer along the slider width direction. When the buoyancy is suppressed in this way, one of the second air bearing surfaces can approach the disk surface.
이렇게 한쪽의 제2 공기 베어링면의 상류단이 변위되는 경우에는, 상류단의 배치에 따라 리어 레일과 사이드 레일 사이에 형성되는 간극의 크기가 조정되는 것이 바람직하다. 예를 들어 상류단의 변위에 추종하여 사이드 레일이 리어 레일를 향해 뻗지 않는 경우에는, 사이드 레일과 리어 레일 사이에 큰 간극이 생겨 버린다. 이러한 큰 간극은 프론트 레일의 배후에 생기는 부압을 추방하고 만다. 반면에 상류단의 변위에 수반하여 사이드 레일이 리어 레일을 향해 뻗어 있으면, 간극의 크기가 축소되고, 그 결과 높은 부압을 유지할 수 있게 된다. 이렇게 높은 부압이 유지되면 한쪽의 제2 공기 베어링면은 디스크면에 접근할 수 있는 것이다.When the upstream end of one second air bearing surface is displaced in this manner, it is preferable that the size of the gap formed between the rear rail and the side rail is adjusted according to the arrangement of the upstream end. For example, when the side rail does not extend toward the rear rail following the displacement of the upstream end, a large gap is generated between the side rail and the rear rail. This large gap expels the negative pressure behind the front rail. On the other hand, if the side rail extends toward the rear rail with the displacement of the upstream end, the size of the gap is reduced, so that high negative pressure can be maintained. If such a high negative pressure is maintained, one of the second air bearing surfaces may approach the disk surface.
그리고 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면에 비해서 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면에 부력을 작게 하기 위해서는, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면 측에서 상기 리어 레일의 정상면에 대해서 제2 공기 베어링면의 배치가 조정되어도 좋다. 상기의 단차에서 생기는 큰 정압에는 단차의 면적이나 높이, 제2 공기 베어링면의 크기 외에 단차에 연결되는 리어 레일 정상면의 퍼짐이 영향을 준다. 정상면의 퍼짐이 작으면, 정압은 발생하기 어렵고, 반대로 정상면의 퍼짐이 크면 큰 정압이 발생하기 쉽다. 따라서 기류를 받기 쉬운 방향으로 단차에 연결되는 리어 레일 정상면의 퍼짐을 좁히면, 한쪽의 제2 공기 베어링면의 부력을 억제할 수 있는 것이다.And in order to make buoyancy smaller in the said one 2nd air bearing surface than the other 2nd air bearing surface, the 2nd air bearing surface of the 2nd air bearing surface side with respect to the top surface of the said rear rail The arrangement may be adjusted. In addition to the area and height of the step and the size of the second air bearing surface, the spread of the rear rail top surface connected to the step affects the large static pressure generated in the step. If the spread on the top surface is small, static pressure is less likely to occur. On the contrary, when the spread on the top surface is large, large static pressure is likely to occur. Therefore, if the spread of the rear rail top surface connected to the step | step in the direction which is easy to receive airflow is narrowed, the buoyancy of one 2nd air bearing surface can be suppressed.
그리고 또한 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면을 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면 보다도 작게 형성할 때, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면은 하류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어, 상류측으로 변위된 하류단을 구비하여도 좋다. 상술한 부압 헤드 슬라이더에서는 슬라이더 본체의 하류측에 보다 큰 정압이 생긴다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면의 하류단을 상류측으로 변위시킴으로써 한쪽의 제2 공기 베어링면의 면적을 감소시키면, 한쪽의 제2 공기 베어링면에 생기는 부력을 효율적으로 억제할 수 있게 된다.Further, when the second air bearing surface is formed smaller than the second air bearing surface of the other side, the one second air bearing surface extends in the slider width direction from the downstream side and is displaced upstream. It may be provided. In the above-described negative pressure head slider, a larger static pressure is generated downstream of the slider body. Therefore, if the area of one second air bearing surface is reduced by displacing the downstream end of one second air bearing surface to the upstream side, the buoyancy generated on the one second air bearing surface can be effectively suppressed.
이상과 같은 부압 헤드 슬라이더는 하드 디스크 구동 장치(HDD)를 비롯한 자기 디스크 구동 장치나 기타의 기록 디스크 구동 장치에 조립해 넣어 사용될 수 있다.The negative pressure head slider as described above can be used by being assembled to a magnetic disk drive device including a hard disk drive device (HDD) or other recording disk drive device.
실시예Example
이하 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 설명한다.Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
도1은 자기 디스크 구동 장치의 1 구체예로서의 하드 디스크 구동 장치(HDD)(10)의 내부 구조를 나타낸다. HDD(10)의 하우징(11)에는 스핀들 모터(12)에 장착된 자기 디스크(13)와, 자기 디스크(13)에 대향하는 부압 헤드 슬라이더(14)가 수용된다. 부압 헤드 슬라이더(14)는 샤프트(15)를 중심으로 요동할 수 있는 캐리지 암(carriage arm)(16)의 선단에 고착된다. 자기 디스크(13)에 대한 정보의 입력이나 출력시에는 자기 회로로 구성되는 액추에이터(17)에 의해 캐리지 암(16)이 요동 구동되고, 그 결과 부압 헤드 슬라이더(14)가 자기 디스크(13)의 소망하는 기록 트랙에 위치 결정된다. 하우징(11)의 내부 공간은 도시하지 않은 커버에 의해 폐쇄된다.1 shows the internal structure of a hard disk drive (HDD) 10 as one specific example of the magnetic disk drive. The housing 11 of the HDD 10 houses a magnetic disk 13 mounted on the spindle motor 12 and a negative pressure head slider 14 facing the magnetic disk 13. The negative pressure head slider 14 is fixed to the tip of a carriage arm 16 which can swing about the shaft 15. At the time of inputting or outputting information on the magnetic disk 13, the carriage arm 16 is oscillated and driven by an actuator 17 constituted of a magnetic circuit, and as a result, the negative pressure head slider 14 causes the magnetic disk 13 to be moved. It is positioned on the desired recording track. The inner space of the housing 11 is closed by a cover (not shown).
도2는 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더(14)를 나타낸다. 이 부압 헤드 슬라이더(14)의 슬라이더 본체는 자기 디스크(13)에 대향하는 부상면(19)을 구비한다. 부상면(19)에는 자기 디스크(13)가 회전할 때 생성되는 기류(20)의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 프론트 레일(21)과, 기류(20)의 하류측에 기류의 유통로(22)를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 리어 레일(23)이 형성된다.2 shows a negative pressure head slider 14 according to the present invention. The slider body of this negative pressure head slider 14 has a floating surface 19 opposite the magnetic disk 13. The floating surface 19 has one row of front rails 21 extending in the slider width direction from the upstream side of the airflow 20 generated when the magnetic disk 13 rotates, and the airflow downstream of the airflow 20. A pair of rear rails 23 which are arranged in the slider width direction via the flow path 22 are formed.
프론트 레일(21)의 정상면에는 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 제1 공기 베어링면(24)이 형성된다. 한편, 2개의 리어 레일(23)이 정상면에는 기류의 유통로(22)를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 제2 공기 베어링면(25a,25b)이 각각 형성된다. 자기 디스크(13)가 회전하여 디스크면을 따라 기류(20)가 발생하면, 그 기류(20)가 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 작용한다. 그 결과 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에는 슬라이더 본체를 디스크면으로부터 부상시키는 부력이 생성된다. 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 제1 공기 베어링면(24)에 큰 부력이 생성되는 결과, 슬라이더 본체는 피치각(α)의 경사 자세로 유지된다. 여기서 피치각(α)이란 기류(20)의 흐름 방향을 따른 슬라이더 본체 전후 방향의 경사각을 말한다.The top surface of the front rail 21 is formed with one row of first air bearing surfaces 24 extending in the slider width direction. On the other hand, the two rear rails 23 are each provided with a pair of second air bearing surfaces 25a and 25b arranged in the slider width direction with the air flow passage 22 interposed therebetween. When the magnetic disk 13 rotates to generate airflow 20 along the disk surface, the airflow 20 acts on the first and second air bearing surfaces 24, 25a, 25b. As a result, buoyancy is generated on the first and second air bearing surfaces 24, 25a, 25b to float the slider body from the disk surface. In this negative pressure head slider 14, a large buoyancy force is generated in the first air bearing surface 24, and as a result, the slider body is maintained in the inclined attitude of the pitch angle α. Pitch angle (alpha) here means the inclination angle of the slider main body front-back direction along the flow direction of the airflow 20. As shown in FIG.
제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)은 단차(27a,27b,27c)에 의해 프론트 레일(21) 및 리어 레일(23)의 정상면에 접속된다. 이 단차(27a,27b,27c)는 후술하는 바와 같이, 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 큰 정압 즉 부력을 발생시킬 수 있다.The first and second air bearing surfaces 24, 25a, 25b are connected to the top surfaces of the front rail 21 and the rear rail 23 by steps 27a, 27b, 27c. These steps 27a, 27b, and 27c can generate a large positive pressure, that is, a buoyancy force, on the first and second air bearing surfaces 24, 25a, and 25b, as will be described later.
한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 비해서 작게 형성된다. 따라서 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 비해서 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 큰 부력이 생성된다. 그 결과 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 슬라이더 본체는 구름각(β)의 경사 자세로 유지된다. 여기서, 구름각(β)이란 기류(20)의 흐름 방향에 직교하는 슬라이더 본체 폭방향의 경사각을 말한다.One second air bearing surface 25a is formed smaller than the other second air bearing surface 25b. Therefore, in this negative pressure head slider 14, a big buoyancy force is generated in the other 2nd air bearing surface 25b compared with one 2nd air bearing surface 25a. As a result, in the negative pressure head slider 14, the slider main body is maintained in the inclined attitude | position of the cloud angle (beta). Here, cloud angle (beta) means the inclination angle of the slider main body width direction orthogonal to the flow direction of the airflow 20. As shown in FIG.
이렇게 작게 형성된 제2 공기 베어링면(25a)에는 슬라이더 본체에 매입된 자기 헤드 소자의 입력 및 출력 갭(28)이 노출한다. 슬라이더 본체의 피치각(α) 및 구름각(β)의 작용에 의해, 자기 헤드 소자의 갭(28) 근방에서 슬라이더 본체와 디스크면의 거리가 가장 짧아진다.The input and output gaps 28 of the magnetic head elements embedded in the slider body are exposed on the second air bearing surface 25a formed so small. By the action of the pitch angle α and the rolling angle β of the slider body, the distance between the slider body and the disk surface becomes the shortest in the vicinity of the gap 28 of the magnetic head element.
프론트 레일(21)의 슬라이더 폭방향 양단에는 하류측으로 뻗는 1쌍의 사이드 레일(29)이 접속된다. 이 사이드 레일(29)에 의하여, 프론트 레일(21)을 폭방향 양측으로부터 우회하는 기류가 프론트 레일(21)의 뒤쪽으로 진입하지 않게 된다. 따라서 제1 공기 베어링면(24)을 따라 흐르는 기류가 프론트 레일(21)을 통과하는 동시에 디스크면 연직 방향으로 퍼지고, 그 결과 부압이 생성된다. 이 부압이 상술한 부력과 평형하게 됨으로써 슬라이더 본체의 부상량을 규정할 수 있게 된다. 1쌍의 사이드 레일(29)과 1쌍의 리어 레일(23) 사이에는 프론트 레일(21)을 폭방향 양측으로부터 우회하는 기류를 유통로(22)로 유도하는 간극(30)이 형성된다.A pair of side rails 29 extending downstream are connected to both ends of the slider width direction of the front rail 21. By this side rail 29, the airflow which bypasses the front rail 21 from the width direction both sides does not enter the back of the front rail 21. As shown in FIG. Thus, the airflow flowing along the first air bearing surface 24 passes through the front rail 21 and simultaneously spreads in the vertical direction of the disk surface, resulting in negative pressure. Since this negative pressure is balanced with the above-mentioned buoyancy force, the floating amount of the slider main body can be prescribed | regulated. A gap 30 is formed between the pair of side rails 29 and the pair of rear rails 23 to guide the airflow bypassing the front rail 21 from both sides in the width direction to the flow path 22.
프론트 레일(21)의 정상면이나 리어 레일(23)의 정상면에는, 슬라이더 본체가 디스크면에 착좌할 때에 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)과 디스크면과의 접촉을 회피시키는 복수의 흡착 방지 패드(31a,31b,32c,31d)가 더 형성된다. 그리고 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 큰 부력을 발생하는 제2 공기 베어링면(25b)측에 배치되는 흡착 방지 패드(31c)에 대해서, 작은 부력 밖에 발생하지 않는 제2 공기 베어링면(25a)측에 배치되는 흡착 방지 패드(31d)는 기류(20)의 상류측에 배치된다. 상술한 구름각(β)의 작용에 의해 제2 공기 베어링면(25a)측에는 부압 헤드 슬라이더(14)의 부상량이 작기 때문에, 이와 같이 흡착 방지 패드(31d)를 어긋나게 함으로써 흡착 방지 패드(31d)가 디스크면에 접촉하는 것은 회피될 수 있다.On the top surface of the front rail 21 or the top surface of the rear rail 23, contact between the first and second air bearing surfaces 24, 25a, 25b and the disk surface is prevented when the slider body is seated on the disk surface. A plurality of adsorption prevention pads 31a, 31b, 32c, and 31d are further formed. In the negative pressure head slider 14, the second air bearing surface 25a side in which only small buoyancy is generated with respect to the adsorption prevention pad 31c disposed on the second air bearing surface 25b side in which large buoyancy is generated. 31 d of adsorption prevention pads arrange | positioned at the upstream are arrange | positioned upstream of the airflow 20. Since the floating amount of the negative pressure head slider 14 is small on the side of the second air bearing surface 25a due to the above described rolling angle β, the adsorption prevention pad 31d is shifted by shifting the adsorption prevention pad 31d in this way. Contact with the disk surface can be avoided.
지금, 자기 디스크(13)가 회전하면, 디스크면을 따라 기류(20)가 생성된다. 기류(20)가 생성되면, 그때까지 디스크면에 착좌하고 있던 부압 헤드 슬라이더(14)는 디스크면으로부터 부상한다. 이때 부착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)의 작용에 의해, 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)은 디스크면에 직접 접촉하고 있지 않는다. 따라서 디스크면 상에 성막된 윤활제의 흡착력이 약해져서, 부압 헤드 슬라이더(14)는 즉시 부상할 수 있게 된다. 슬라이더 본체의 부상 중, 헤드 소자의 입력 및 출력 갭(28)에 의해 자기 디스크(13)에 대한 정보의 입력이나 출력이 실행된다.Now, when the magnetic disk 13 rotates, airflow 20 is generated along the disk surface. When the airflow 20 is generated, the negative pressure head slider 14 which has been seated on the disk surface up until then rises from the disk surface. At this time, the first and second air bearing surfaces 24, 25a, and 25b are not in direct contact with the disk surface by the action of the anti-stick pads 31a, 31b, 31c, and 31d. Therefore, the adsorption force of the lubricant deposited on the disk surface is weakened, so that the negative pressure head slider 14 can immediately float. During the floating of the slider main body, input and output of information on the magnetic disk 13 are performed by the input and output gap 28 of the head element.
기류(20)가 부압 헤드 슬라이더(14)에 작용하면, 예를 들어 도3에 나타낸 바와 같이 슬라이더 본체의 부상면(19)에는 정압 즉 부력과 부압이 생성된다. 도3에는 시뮬레이션 소프트 웨어에 의해 산출된 부압 헤드 슬라이더(14)의 1 구체예의 압력 분포가 나타나 있다. 슬라이더 본체의 크기는 세로 1.25mm, 폭 1mm, 두께 0.3mm로 한다.When the airflow 20 acts on the negative pressure head slider 14, for example, as shown in Fig. 3, a positive pressure, that is, a buoyancy force and a negative pressure is generated on the floating surface 19 of the slider main body. 3 shows the pressure distribution of one specific example of the negative pressure head slider 14 calculated by the simulation software. The size of the slider body is 1.25 mm long, 1 mm wide and 0.3 mm thick.
도3으로부터 명백하듯이, 기류(20)가 흘러오면 제1 공기 베어링면(24)의 전면(前面)에 형성된 단차(27a)(위치B)에 큰 정압이 생긴다. 생긴 정압은 제1 공기 베어링면(24)의 하류측을 향해 가면서 증대한다.As is apparent from FIG. 3, when the airflow 20 flows, a large static pressure is generated in the step 27a (position B) formed on the front surface of the first air bearing surface 24. The generated static pressure increases while going toward the downstream side of the first air bearing surface 24.
이어서 기류(20)가 프론트 레일(21)을 통과한 시점(위치C)에서 정압은 소실한다. 정압 대신에 부압이 생성된다(위치D). 이 부압은 프론트 레일(21)의 뒤쪽에 기류(20)의 통로가 급격히 디스크면 연직 방향으로 퍼짐으로써 생성된다. 그리고 사이드 레일(29)의 작용에 의해 프론트 레일(21)의 정면에 충돌하여 프론트 레일(21)을 우회하는 기류(20)는 프론트 레일(21)의 뒤쪽으로 진입할 수가 거의 없다. 그 결과 프론트 레일(21)의 뒤쪽에 큰 부압이 생성하게 된다.Subsequently, the static pressure disappears at the point in time (position C) where the airflow 20 has passed through the front rail 21. Negative pressure is generated instead of the static pressure (position D). This negative pressure is produced by the passage of the airflow 20 rapidly spreading in the vertical direction of the disk surface behind the front rail 21. And the airflow 20 which collides with the front of the front rail 21 by the action of the side rail 29, and detours the front rail 21 hardly enters the back of the front rail 21. As a result, a large negative pressure is generated at the rear of the front rail 21.
하류측이 리어 레일(23)에 도달한 기류(20)는 제2 공기 베어링면(25a,25b)의 전면에 형성된 단차(27b,27c)(위치E)에 다시 큰 정압을 발생시킨다. 생긴 정압은 제2 공기 베어링면(25a,25b)의 하류측을 향해 가면서 증대한다. 제2 공기 베어링면(25a,25b)이 끊긴 시점(위치F)에서 정압은 소실한다.The airflow 20 in which the downstream side reaches the rear rail 23 generates a large static pressure again in the steps 27b and 27c (position E) formed on the front surface of the second air bearing surfaces 25a and 25b. The generated static pressure increases as it goes toward the downstream side of the second air bearing surfaces 25a and 25b. The static pressure disappears at the time point (position F) where the second air bearing surfaces 25a and 25b are disconnected.
이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 위치(B~C)나 위치(E~F)에서 생기는 정압과, 위치(D)에서 생기는 부압과의 평행에 의해 슬라이더 본체의 부상량이 결정된다. 그리고 큰 정압과 큰 부압이 평형을 유지함으로써 높은 부상 안정성이 얻어진다. 정압과 부압의 평형을 유지하기 위해서는 단차(27a,27b,27c)의 높이를 0.2μm 이하로 설정하는 것이 바람직하다.In this negative pressure head slider 14, the floating amount of a slider main body is determined by the parallel of the positive pressure which generate | occur | produces in position B-C or the positions E-F, and the negative pressure which generate | occur | produces in position D. In FIG. And high floating stability is obtained by equilibrating large static pressure and large negative pressure. In order to maintain the balance between the positive pressure and the negative pressure, it is preferable to set the heights of the steps 27a, 27b, and 27c to 0.2 m or less.
또한 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 피치각(α)의 자세일 때 가장 디스크면에 다가가는 슬라이더 본체의 하류측에서, 슬라이더 폭방향으로 나란한 2개의 정압에 의해 슬라이더 본체가 지지되기 때문에, 구름 강성이 현저히 높아지게 된다.In addition, in this negative pressure head slider 14, the slider body is supported by two positive pressures parallel to the slider width direction on the downstream side of the slider body closest to the disc surface when the pitch angle α is in the posture. Will be significantly higher.
일반적으로 자기 디스크 구동 장치(10)가 놓여지는 분위기의 기압이 낮으면, 공기가 희박하게 되는 결과, 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 생성되는 정압은 기압에 거의 비례하여 감소한다. 따라서 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 기압의 감소에 수반하여 감소하는 정압에 비례하여 부압을 감소시킬 필요가 있다. 부압이 일정한 상태에서는 슬라이더 본체의 부상량이 감소하여 버리기 때문이다.In general, when the air pressure in the atmosphere in which the magnetic disk drive device 10 is placed is low, the air is thinned, and as a result, the static pressure generated on the first and second air bearing surfaces 24, 25a, and 25b is almost proportional to the air pressure. To decrease. Therefore, in the negative pressure head slider 14, it is necessary to reduce the negative pressure in proportion to the static pressure which decreases with the decrease in the atmospheric pressure. This is because the floating amount of the slider body decreases when the negative pressure is constant.
도4는 부압 헤드 슬라이더(14)에 대한 기압의 영향을 나타낸 그래프이다. 그래프 중의 실선에 의하면 비율=(기압 P=0.7 atom 시의 정압)/(기압 P=1 atom 시의 정압)의 변화의 모양이 나타나 있고, 그래프 중의 점선에 의하면 비율=(기압 P=0.7 atom 시의 부압)/(기압 P=1 atom 시의 부압)의 변화의 모양이 나타나 있다. 이 그래프로부터 명백하듯이 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이(H)(도2 참조), 환언하면 프론트 레일(21)이나 사이드 레일(29), 리어 레일(23)로 둘러싸인 홈의 깊이가 변동하여도 정압의 비율은 거의 변동하지 않는다. 반면에 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이가 낮아짐에 따라, 부압과 정압 사이에 비율의 차가 줄어 들어가는 모양이 관찰된다. 즉 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이를 낮게 설정하면, 부압의 기압 의존성을 높일 수 있고, 그 결과 기압의 변동에 불구하고 슬라이더 본체의 부상량을 극력 일정하게 유지시킬 수 있음을 알 수 있다. 따라서 자기 디스크 구동 장치(10)가 사용되는 지역의 표고에 영향을 받는 일없이, 거의 일정한 부상량을 기대할 수 있다. 이 경우에는 높이(H)는 2㎛ 이하 일 것이 바람직하다.4 is a graph showing the influence of air pressure on the negative pressure head slider 14. The solid line in the graph shows the change in ratio = (atmospheric pressure at P = 0.7 atom) / (atmospheric pressure at P = 1 atom), and the dotted line in the graph shows ratio = (atmospheric pressure at P = 0.7 atom). Of negative pressure) / (negative pressure at atmospheric pressure P = 1 atom) is shown. As is apparent from this graph, the grooves surrounded by the height H of the front rail 21 and the rear rail 23 (see FIG. 2), in other words, the front rail 21, the side rail 29, and the rear rail 23. The ratio of the static pressure hardly fluctuates even if the depth of the fluctuates. On the other hand, as the height of the front rail 21 or the rear rail 23 is lowered, it is observed that the difference in ratio between the negative pressure and the positive pressure decreases. In other words, if the height of the front rail 21 or the rear rail 23 is set low, the pressure dependence of the negative pressure can be increased, and as a result, the floating amount of the slider main body can be maintained to be extremely constant despite the fluctuations in the air pressure. Able to know. Therefore, an almost constant floating amount can be expected without being affected by the elevation of the region where the magnetic disk drive device 10 is used. In this case, it is preferable that height H is 2 micrometers or less.
한편, 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이를 낮게 설정하면, 비교적 낮은 자기 디스크(13)의 주속에서 부압이 포화하여 버린다. 따라서 주속이 빨라져서 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 생기는 부력이 증대하여도, 그 증대에 추종하여 부압이 증대하지 않게 되고 만다. 그 결과 주속이 빨으면 빨을수록 슬라이더 본체의 부상량이 증대하고 만다. 예를 들어 자기 디스크(13)의 중심측에 비해서 주속이 빠른 자기 디스크(13)의 외주측에서는 슬라이더 본체의 부상량이 커져 버린다.On the other hand, if the height of the front rail 21 or the rear rail 23 is set low, the negative pressure will saturate at a relatively low circumferential speed of the magnetic disk 13. Therefore, even if the buoyancy which arises in the 1st and 2nd air bearing surfaces 24, 25a, and 25b increases by the circumferential speed, it will not follow the increase and the negative pressure will not increase. As a result, the faster the circumferential speed, the higher the floating amount of the slider body. For example, the floating amount of the slider main body increases on the outer circumferential side of the magnetic disk 13 having a higher peripheral speed than the center side of the magnetic disk 13.
그래서 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 간극(30)의 형성에 의해 이 주속에 대한 부압의 응답성을 높이고 있다. 예를 들어 도5에 나타낸 바와 같이 간극(30)이 형성되어 있으면, 상술한 바와 같이 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이를 낮게 설정하여도, 주속이 높아짐에 따라서 부압이 증가해 가는 것을 알 수 있다. 간극(30)이 형성되어 있지 않으면, 낮은 주속에서 부압이 포화해 버리므로, 그 이상 주속을 빠르게 하여도 부압이 증가하는 일이 없다는 것을 알 수 있다.Therefore, in the negative pressure head slider 14 according to the present invention, the response of the negative pressure to this circumferential speed is enhanced by the formation of the gap 30. For example, if the clearance gap 30 is formed as shown in FIG. 5, even if the height of the front rail 21 or the rear rail 23 is set low as mentioned above, underpressure will increase as a circumferential speed becomes high. I can see it goes. If the gap 30 is not formed, the negative pressure saturates at a low circumferential speed. Thus, it can be seen that the negative pressure does not increase even if the circumferential speed is further increased.
또한 간극(30)은 가능한 한 하류측에 형성되는 것이 바람직하다. 그렇게 하면 프론트 레일(21)과 사이드 레일(29)로 둘러싸인 공간이 퍼져서 생성되는 부압을 크게 할 수 있는 동시에, 부압의 작용점을 하류측으로 시프트 시킬 수 있기 때문이다. 그 결과 슬라이더 본체의 부상 안정성이 향상한다.In addition, the gap 30 is preferably formed on the downstream side as much as possible. This is because the space surrounded by the front rail 21 and the side rail 29 can be spread to increase the negative pressure generated and to shift the action point of the negative pressure to the downstream side. As a result, the floating stability of the slider body is improved.
다음에는 부압 헤드 슬라이더(14)의 제조 방법을 상술한다. 우선 도6a에 나타낸 바와 같이, Al2O3(알루미나)층이 표면에 성막된 Al2O3-TiC(알틱)제의 웨이퍼(40) 표면에 자기 헤드 소자를 형성한다. 자기 헤드 소자는 1 부압 헤드 슬라이더(14)로 잘라내는 1 블록씩 형성된다. 직경 5인치의 웨이퍼에서는, 예를 들어 100×100=10000 개의 부압 헤드 슬라이더를 잘라낼 수 있다. 형성된 자기 헤드 소자는 Al2O3층의 보호막으로 피복된다.Next, the manufacturing method of the negative pressure head slider 14 is explained in full detail. First, as shown in Fig. 6A, a magnetic head element is formed on the surface of the wafer 40 made of Al 2 O 3 -TiC (altic) on which an Al 2 O 3 (alumina) layer is formed. The magnetic head elements are formed one block at a time cut out by one negative pressure head slider 14. For wafers with a diameter of 5 inches, for example, 100 x 100 = 10,000 negative pressure head sliders can be cut out. The formed magnetic head element is covered with a protective film of an Al 2 O 3 layer.
이어서 도6b에 나타낸 바와 같이, 자기 헤드 소자가 형성된 웨이퍼(40)로부터, 부압 헤드 슬라이더(14)가 일렬로 나란한 웨이퍼 바(40a)를 잘라낸다. 잘라낸 웨이퍼 바(40a)의 절단면(41)에 부상면(19)을 형성한다. 최종적으로 도6c에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 바(40a)로부터 각 부압 헤드 슬라이더(14)를 잘라낸다.Subsequently, as shown in Fig. 6B, the wafer bars 40a in which the negative pressure head sliders 14 are arranged in a row are cut out from the wafer 40 on which the magnetic head elements are formed. The floating surface 19 is formed in the cut surface 41 of the cut wafer bar 40a. Finally, as shown in FIG. 6C, each negative pressure head slider 14 is cut out from the wafer bar 40a.
여기서 부상면(19)의 형성 방법을 상술한다. 우선 도7a에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 바(40a)의 절단면(41)에 Si 밀착층(42)을 통해서 DLC(diamond-like- carbon)층(43)을 적층한다. 이 DLC층(43)에 다시 Si 밀착층(44)을 통해서 DLC층(45)을 적층한다. DLC층(45) 표면에 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)의 패턴을 형성하는 필름 레지스트(46)를 성막한다.Here, the formation method of the floating surface 19 is explained in full detail. First, as shown in FIG. 7A, a diamond-like carbon layer 43 is laminated on the cut surface 41 of the wafer bar 40a through the Si adhesion layer 42. The DLC layer 45 is laminated on the DLC layer 43 again through the Si adhesion layer 44. The film resist 46 which forms the pattern of the adsorption prevention pads 31a, 31b, 31c, and 31d on the surface of the DLC layer 45 is formed.
다음에 도7b에 나타낸 바와 같이, 반응성 이온 에칭(RIE)에 의해 DLC층(45) 및 Si 밀착층(44)을 에칭하여 DLC층(43)을 노출시킨다. 이에 따라 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)의 선단 부분이 형성된다. 이어서 도7c에 나타낸 바와 같이 레지스트(46)를 제거한다.Next, as shown in FIG. 7B, the DLC layer 45 and the Si adhesion layer 44 are etched by reactive ion etching (RIE) to expose the DLC layer 43. As a result, tip portions of the adsorption preventing pads 31a, 31b, 31c, and 31d are formed. Then, the resist 46 is removed as shown in Fig. 7C.
다음에 도7d에 나타낸 바와 같이, 포토 레지스트(47)에 의해 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)의 패턴을 형성한다. 포토 레지스트(47)는 동시에, 형성된 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)를 피복한다. 노광 현상 후, 도7e에 나타낸 바와 같이 이온밀을 실시하여 DLC층(43) 및 Si 밀착층(42)이나, 웨이퍼 바(40a)의 본체 즉 알틱을 에칭한다. 이 에칭에 의해 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)이 형성된다. 도7b에서 선단 부분이 형성된 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)가 동시에 완성한다. 그 후 도7f에 나타낸 바와 같이, 포토 레지스트(47)가 제거된다.Next, as shown in Fig. 7D, patterns of the first and second air bearing surfaces 24, 25a, and 25b are formed by the photoresist 47. Figs. The photoresist 47 simultaneously covers the formed adsorption prevention pads 31a, 31b, 31c, and 31d. After exposure development, as shown in Fig. 7E, ion milling is performed to etch the DLC layer 43, the Si adhesion layer 42, and the main body, or the altic, of the wafer bar 40a. This etching forms the first and second air bearing surfaces 24, 25a, and 25b. In Fig. 7B, the adsorption preventing pads 31a, 31b, 31c, and 31d having the tip portion are completed at the same time. Thereafter, as shown in Fig. 7F, the photoresist 47 is removed.
다음에 도8a에 나타낸 바와 같이, 포토 레지스트(48)에 의해 프론트 레일(21), 사이드 레일(29) 및 리어 레일(23)의 패턴을 형성한다. 형성된 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d) 및 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)은 포토 레지스트(48)로 피복된다. 노광 현상 후, 이온밀을 실시하여 웨이퍼 바(40a)의 본체 즉 알틱을 다시 에칭한다. 이 에칭에 의해 프론트 레일(21), 사이드 레일(29) 및 리어 레일(23)이 형성된다. 프론트 레일(21), 사이드 레일(29) 및 리어 레일(23)의 정상면에는 DLC층(45)에 의해 정상면이 보호되는 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)나, 마찬가지로 DLC층(43)에 의해 정상면이 보호되는 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)이 형성되어 있다. 그 후 도8b에 나타낸 바와 같이 포토 레지스트(48)가 제거되면, 부상면(19)이 완성한다.Next, as shown in FIG. 8A, the pattern of the front rail 21, the side rail 29, and the rear rail 23 is formed by the photoresist 48. Next, as shown in FIG. The formed adsorption prevention pads 31a, 31b, 31c, 31d and the first and second air bearing surfaces 24, 25a, 25b are covered with a photoresist 48. After exposure development, an ion mill is performed to etch the main body of the wafer bar 40a, that is, the altic. By this etching, the front rail 21, the side rail 29, and the rear rail 23 are formed. Adsorption preventing pads 31a, 31b, 31c, and 31d on which the top surface is protected by the DLC layer 45 on the top surfaces of the front rail 21, the side rail 29 and the rear rail 23, and the DLC layer 43 likewise. The first and second air bearing surfaces 24, 25a, 25b are protected by the top surface. Then, as shown in FIG. 8B, when the photoresist 48 is removed, the floating surface 19 is completed.
이상과 같은 부압 헤드 슬라이더(14)에서는, 예를 들어 도9에 나타낸 바와 같이 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 제1폭(W1) 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗어 단차(27b)에 연결되는 상류단(51)과, 제1폭(W1)보다도 큰 제2폭(W2) 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗는 하류단(52)을 구비해도 좋다. 예를 들어 자기 헤드 소자가 출력용 헤드로서 MR(자기 저항) 소자를 구비하는 경우, MR 소자는 쉴드층(53)에 의해 개재된다. 이 쉴드층(53)이 슬라이더 폭방향으로 충분히 뻗어 있지 않으면 MR 소자에 불필요한 자기가 작용하여, MR 소자는 정확한 정보를 출력할 수 없게 되어 버린다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 하류단(52)에 큰 폭을 확보해 두면, 슬라이더 폭방향의 쉴드층의 퍼짐을 확보하면서 제2 공기 베어링면(25a)의 크기를 작게 하고, 그 결과 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 비해서 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 큰 부력을 생기게 할 수 있다.In the negative pressure head slider 14 as described above, for example, as shown in FIG. 9, one of the second air bearing surfaces 25a extends in the slider width direction by the first width W1 and is connected to the step 27b. The upstream end 51 and the downstream end 52 extending in the slider width direction by the second width W2 larger than the first width W1 may be provided. For example, when the magnetic head element includes an MR (magnetic resistance) element as an output head, the MR element is interposed by the shield layer 53. If the shield layer 53 does not extend sufficiently in the slider width direction, unnecessary magnetism acts on the MR element, and the MR element cannot output accurate information. Therefore, if a large width is secured to the downstream end 52 of one second air bearing surface 25a, the size of the second air bearing surface 25a is reduced while ensuring the spread of the shield layer in the slider width direction. As a result, a larger buoyancy can be produced in the other 2nd air bearing surface 25b compared with one 2nd air bearing surface 25a.
이러한 제1폭(W1)의 상류단(51)과 제2폭(W2)의 하류단(52)을 형성할 때, 제2 공기 베어링면(25a)은 슬라이더 폭방향의 퍼짐을 변화시킨다. 예를 들어 도9에 나타낸 바와 같이, 제2 공기 베어링면(25a)은 제1폭(W1)의 상류단(51)으로부터 제2폭(W2)의 하류단을 향해 서서히 슬라이더 폭방향의 크기를 확장시켜도 좋다. 또 제2 공기 베어링면(25a)은 도10에 나타낸 바와 같이, 상류단(51)으로부터 하류단(52)을 향해 제1폭(W1)을 유지하여도 좋다. 또한 제2 공기 베어링면(25a)은 도11에 나타낸 바와 같이, 상류단(51) 부근에서 제1폭(W1)을 유지하고, 하류단(52)으로 다가감에 따라 서서히 슬라이더 폭방향의 크기를 확장시켜 가도 좋다.When the upstream end 51 of the first width W1 and the downstream end 52 of the second width W2 are formed, the second air bearing surface 25a changes the spread in the slider width direction. For example, as shown in FIG. 9, the 2nd air bearing surface 25a gradually increases the magnitude | size of the slider width direction toward the downstream end of the 2nd width W2 from the upstream end 51 of the 1st width W1. You may expand it. In addition, as shown in FIG. 10, the second air bearing surface 25a may maintain the first width W1 from the upstream end 51 toward the downstream end 52. In addition, as shown in FIG. 11, the second air bearing surface 25a maintains the first width W1 near the upstream end 51, and gradually approaches the downstream end 52, thereby increasing the size in the slider width direction. You may extend it.
그리고 또한 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 비해서 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 큰 부력을 생기게 하기 위해서는, 예를 들어 도12에 나타낸 바와 같이, 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어서 단차(27c)에 연결되는 상류단(55)에 비해서 하류측에, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어서 단차(27b)에 연결되는 상류단(56)을 배치하여도 좋다. 이러한 배치에 의하면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에서는 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 비해서 기류의 흐름 방향을 따른 퍼짐이 축소된다. 그 결과 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 면적은 감소하고, 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 비해서 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력은 억제된다. 슬라이더 폭방향을 따른 쉴드층(53)의 퍼짐을 압박하는 일없이, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 생기는 부력을 억제할 수 있다.In addition, in order to generate a great buoyancy on the other 2nd air bearing surface 25b compared with one 2nd air bearing surface 25a, as shown in FIG. 12, the other 2nd air bearing is shown, for example. It extends in the slider width direction from an upstream side of one second air bearing surface 25a to the downstream side as compared with an upstream end 55 extending from the upstream side of the surface 25b and connected to the step 27c. The upstream end 56 connected to the step 27b may be disposed. According to this arrangement, spreading along the flow direction of the airflow is reduced in one second air bearing surface 25a compared with the other second air bearing surface 25b. As a result, the area of one second air bearing surface 25a is reduced, and the buoyancy of one second air bearing surface 25a is suppressed as compared with the other second air bearing surface 25b. The buoyancy which arises in one 2nd air bearing surface 25a can be suppressed, without pressing the spread of the shield layer 53 along a slider width direction.
이와 같이 제2 공기 베어링면(25a)의 상류단(56)을 하류측으로 변위시킨 경우에는, 리어 레일(23)과 사이드 레일(29) 사이에 형성되는 간극(30)의 크기가 조정되는 것이 바람직하다. 예를 들어 도12에 나타낸 바와 같이, 상류단(56)의 변위에 추종하여 사이드 레일(29)이 리어 레일(23)을 향해 뻗지 않을 경우에는, 사이드 레일(29)과 리어 레일(23) 사이에 큰 간극(30)이 생성되어 버린다. 이러한 큰 간극(30)은 상술한 바와 같이 프론트 레일(21)의 배후에 생기는 부압을 추방하고 만다. 반면에 예를 들어 도13에 나타낸 바와 같이, 상류단(56)의 변위에 수반하여 사이드 레일(29)이 리어 레일(23)을 향해 뻗어 있으면, 간극(30)의 크기가 축소되고, 그 결과 높은 부압을 유지할 수 있게 된다. 이렇게 하여 높은 부압이 유지되면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 디스크면에 접근할 수 있는 것이다.Thus, when the upstream end 56 of the 2nd air bearing surface 25a is displaced downstream, it is preferable that the magnitude | size of the clearance gap 30 formed between the rear rail 23 and the side rail 29 is adjusted. Do. For example, as shown in FIG. 12, when the side rail 29 does not extend toward the rear rail 23 following the displacement of the upstream end 56, between the side rail 29 and the rear rail 23. A large gap 30 is generated in the gap. This large gap 30 expels the negative pressure generated behind the front rail 21 as described above. On the other hand, for example, as shown in Fig. 13, when the side rail 29 extends toward the rear rail 23 with the displacement of the upstream end 56, the size of the gap 30 is reduced, and as a result, High negative pressure can be maintained. In this way, when the high negative pressure is maintained, one of the second air bearing surfaces 25a can approach the disk surface.
그리고 또한 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력을 조정할 때는, 예를 들어 도14에 나타낸 바와 같이 리어 레일(23)의 정상면에 대해서 제2 공기 베어링면(25a)의 배치가 조정되어도 좋다. 상술한 바와 같이 단차(27b,27c)에 생기는 큰 정압에는 단차(27b,27c)의 면적이나 높이, 제2 공기 베어링면(25a,25b)의 크기 외에, 단차(27b,27c)로 연결되는 리어 레일(23) 정상면의 퍼짐이 영향을 준다. 정상면의 퍼짐이 작으면 정압은 발생하기 어렵고, 반대로 정상면의 퍼짐이 크면 큰 정압이 발생하기 쉽다. 따라서 예를 들어 도14에 나타낸 바와 같이, 기류를 받기 쉬운 방향 즉 슬라이더 본체로부터 외향의 단차(27b)에 연결되는 리어 레일(23) 정상면의 퍼짐(W3)을 좁히면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력을 억제할 수 있는 것이다.And when adjusting the buoyancy of one 2nd air bearing surface 25a, the arrangement | positioning of the 2nd air bearing surface 25a may be adjusted with respect to the top surface of the rear rail 23, for example as shown in FIG. . As described above, in addition to the area and height of the steps 27b and 27c and the size of the second air bearing surfaces 25a and 25b, a large positive pressure generated in the steps 27b and 27c is connected to the steps 27b and 27c. Spread of the top surface of the rail 23 affects. If the spread of the top surface is small, static pressure is less likely to occur. On the contrary, if the spread of the top surface is large, large static pressure is likely to occur. For example, as shown in FIG. 14, when the spreading W3 of the top surface of the rear rail 23 connected to the step 27b of the direction which is easy to receive airflow, ie outward from the slider main body, narrows, one second air bearing The buoyancy of the surface 25a can be suppressed.
그리고 또 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력을 조정할 때는, 예를 들어 도15에 나타낸 바와 같이, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 하류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗고, 상류측으로 변위된 하류단(57)을 구비해도 좋다. 상술한 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 도3으로부터 명백하듯이, 슬라이더 본체의 하류단에 최대의 정압이 생긴다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 하류단(57)을 상류측으로 변위시킴으로써 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 면적을 감소시키면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 생기는 부력을 효율적으로 억제할 수 있는 것이다.When adjusting the buoyancy of one of the second air bearing surfaces 25a, for example, as shown in FIG. 15, one of the second air bearing surfaces 25a extends in the slider width direction from the downstream side and moves upward. The displaced downstream end 57 may be provided. In the above-described negative pressure head slider 14, as is apparent from Fig. 3, the maximum static pressure is generated at the downstream end of the slider body. Therefore, if the area of one second air bearing surface 25a is reduced by displacing the downstream end 57 of one second air bearing surface 25a to the upstream side, the second air bearing surface 25a is formed on one second air bearing surface 25a. Buoyancy can be effectively suppressed.
또한 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더(14)는 상술한 바와 같이 하드 디스크 구동 장치(HDD)(10)에 적용될 뿐 아니라, 기타의 기록 디스크 구동 장치에 적용되어도 좋다.The negative pressure head slider 14 according to the present invention may be applied not only to the hard disk drive (HDD) 10 as described above but also to other recording disk drive devices.
이상과 간이 본 발명에 의하면, 제1 및 제2 공기 베어링면의 위치를 조정함으로써, 부력 안정성 및 구름 강성이 높은 부압 헤드 슬라이더를 제공할 수 있다.According to the present invention, the negative pressure head slider having high buoyancy stability and rolling rigidity can be provided by adjusting the positions of the first and second air bearing surfaces.
Claims (17)
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27271198 | 1998-09-28 | ||
| JP98-272711 | 1998-09-28 | ||
| JP33683498A JP3674347B2 (en) | 1998-09-28 | 1998-11-27 | Negative pressure head slider |
| JP98-336834 | 1998-11-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000022648A true KR20000022648A (en) | 2000-04-25 |
| KR100613152B1 KR100613152B1 (en) | 2006-08-17 |
Family
ID=26550349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990023243A KR100613152B1 (en) | 1998-09-28 | 1999-06-21 | Negative pressure head slider |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6349018B2 (en) |
| JP (1) | JP3674347B2 (en) |
| KR (1) | KR100613152B1 (en) |
| CN (1) | CN1234125C (en) |
| DE (1) | DE19929504A1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100727908B1 (en) * | 2000-07-20 | 2007-06-13 | 삼성전자주식회사 | A negative pressure air bearing slider |
| KR100750229B1 (en) * | 2005-06-08 | 2007-08-20 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | Magnetic head slider |
Families Citing this family (44)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6373661B1 (en) * | 1998-04-28 | 2002-04-16 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider and a magnetic disk device in which the slider is mounted |
| JP2000057724A (en) * | 1998-08-04 | 2000-02-25 | Hitachi Ltd | Magnetic head slider and magnetic disk device using the same |
| JP4261072B2 (en) * | 1999-05-07 | 2009-04-30 | 新科實業有限公司 | Configuration of slider with starting friction reduction pad |
| JP3366609B2 (en) * | 1999-12-27 | 2003-01-14 | アルプス電気株式会社 | Magnetic head and magnetic recording device |
| CN1197053C (en) * | 1999-12-28 | 2005-04-13 | 阿尔卑斯电气株式会社 | Magnetic head sliding block with projection set on relative surface of meetium, and its manufacture method |
| JP3444256B2 (en) * | 2000-01-18 | 2003-09-08 | 株式会社日立製作所 | Magnetic disk drive |
| JP2001210037A (en) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Alps Electric Co Ltd | Magnetic head slider |
| JP3990091B2 (en) | 2000-04-13 | 2007-10-10 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | Magnetic head slider and magnetic disk device |
| JP2001344724A (en) * | 2000-06-01 | 2001-12-14 | Fujitsu Ltd | Floating head slider |
| JP2002050020A (en) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Fujitsu Ltd | Head slider and disk driving device using the same |
| JP3977579B2 (en) * | 2000-09-20 | 2007-09-19 | 株式会社東芝 | Contact type magnetic head slider and magnetic disk drive |
| DE10052234A1 (en) * | 2000-10-21 | 2002-05-02 | Brose Fahrzeugteile | Motor vehicle car seat adjustment mechanism has a coupling and switching mechanism that allows switching between fixed and adjustment modes that is not placed in the magnetic field of the stepper mechanism |
| US6477013B1 (en) * | 2000-11-09 | 2002-11-05 | International Business Machines Corporation | Slider air bearing design and method providing writing of a laser field (WOLF) measurement without substantial fly height affect |
| WO2002041318A1 (en) | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Fujitsu Limited | Head slider, disk device comprising the same, and method of water repellent finishing of the head slider |
| US6795275B2 (en) * | 2001-01-18 | 2004-09-21 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk device and magnetic head slider |
| US6657820B2 (en) * | 2001-01-18 | 2003-12-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider |
| US7095592B2 (en) | 2001-03-27 | 2006-08-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Head slider and disk drive apparatus |
| JP4050152B2 (en) * | 2001-04-05 | 2008-02-20 | 富士通株式会社 | Manufacturing method of head slider |
| JPWO2002086892A1 (en) | 2001-04-20 | 2004-08-12 | 富士通株式会社 | Head slider |
| US6719794B2 (en) * | 2001-05-03 | 2004-04-13 | Synthes (U.S.A.) | Intervertebral implant for transforaminal posterior lumbar interbody fusion procedure |
| JP2002373409A (en) | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Fujitsu Ltd | Head slider and disk device |
| US6999282B2 (en) * | 2001-08-22 | 2006-02-14 | Seagate Technology Llc | Slider with cavity dam angled leading edge and further displaced recessed surface positioned outside angled rails |
| US6771468B1 (en) * | 2001-10-22 | 2004-08-03 | Western Digital Corporation | Slider with high pitch-stiffness air bearing design |
| JP2003173644A (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-20 | Toshiba Corp | Head slider and disk device |
| US6937439B1 (en) * | 2001-11-30 | 2005-08-30 | Western Digital Technologies, Inc. | Slider having a textured air bearing surface, head stack assembly and disk drive using same |
| JP4020689B2 (en) * | 2002-05-01 | 2007-12-12 | アルプス電気株式会社 | Magnetic head and magnetic recording apparatus having the same |
| US6956718B1 (en) * | 2002-08-19 | 2005-10-18 | Western Digital (Fremont), Inc. | Sandwich diamond-like carbon overcoat for use in slider designs of proximity recording heads |
| US7192447B2 (en) * | 2002-12-19 | 2007-03-20 | Synthes (Usa) | Intervertebral implant |
| EP1596371A4 (en) * | 2003-02-19 | 2008-06-04 | Fujitsu Ltd | Magnetic head slider |
| CN100573671C (en) * | 2003-02-19 | 2009-12-23 | 富士通株式会社 | Head slider |
| JPWO2005004152A1 (en) | 2003-07-03 | 2006-08-17 | 富士通株式会社 | Magnetic head slider and manufacturing method thereof |
| JP4198557B2 (en) | 2003-07-15 | 2008-12-17 | 富士通株式会社 | Head slider and magnetic disk apparatus having the head slider |
| JP3691833B2 (en) * | 2003-07-28 | 2005-09-07 | 株式会社Ｎｅｏｍａｘ | Thin film magnetic head substrate and manufacturing method thereof |
| JP4293933B2 (en) * | 2004-03-31 | 2009-07-08 | 富士通株式会社 | Head slider of disk device |
| JP2006107607A (en) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | Magnetic head and its manufacturing method |
| JP2006107673A (en) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Shinka Jitsugyo Kk | Magnetic head, manufacturing method thereof, and head suspension assembly |
| US7352532B2 (en) * | 2005-02-01 | 2008-04-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for utilizing a small pad to increase a head to a disk interface reliability for a load/unload drive |
| JP4981286B2 (en) * | 2005-09-14 | 2012-07-18 | ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ | Magnetic disk drive and magnetic head slider |
| US7929251B2 (en) * | 2006-01-10 | 2011-04-19 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. | Assembly, apparatus and method for fabricating a structural element of a hard disk drive air bearing |
| US7851138B2 (en) * | 2007-07-19 | 2010-12-14 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands, B.V. | Patterning a surface comprising silicon and carbon |
| US8169743B2 (en) * | 2007-07-20 | 2012-05-01 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. | Minimizing slider vibration effects on a magnetic transducer |
| JP4377947B1 (en) * | 2008-06-12 | 2009-12-02 | 株式会社東芝 | Head, head suspension assembly, and disk device including the same |
| CN101727914B (en) * | 2008-10-27 | 2012-11-28 | 新科实业有限公司 | Method for forming diamond-like carbon layers on air load surfaces of magnetic heads |
| JP5495549B2 (en) * | 2008-12-25 | 2014-05-21 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | Magnetic head slider, magnetic disk drive equipped with a magnetic head slider, and method of manufacturing a magnetic head slider |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5097370A (en) | 1989-03-17 | 1992-03-17 | Digital Equipment Corporation | Subambient pressure air bearing slider for disk drive |
| US5034828A (en) * | 1989-04-07 | 1991-07-23 | Unisys Corp. | Slider with piezo-boss |
| US5086360A (en) * | 1990-09-06 | 1992-02-04 | Applied Magnetics Corporation | Constant flying height slider |
| JP2872384B2 (en) | 1990-10-24 | 1999-03-17 | 株式会社日立製作所 | Magnetic head slider and magnetic disk device |
| US5841608A (en) | 1994-08-30 | 1998-11-24 | Fujitsu Limited | Head slider with projections arranged on rails thereof |
| US5550693A (en) | 1994-10-31 | 1996-08-27 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider having projections that provide minimal actual contact area |
| JPH08147917A (en) | 1994-11-16 | 1996-06-07 | Hitachi Ltd | Magnetic storage device and its slider |
| JP2778518B2 (en) * | 1995-03-31 | 1998-07-23 | 日本電気株式会社 | Magnetic head slider |
| JPH09106528A (en) | 1995-08-04 | 1997-04-22 | Toshiba Corp | Magnetic head assembly and magnetic disk device |
| JP3426082B2 (en) * | 1996-04-26 | 2003-07-14 | 富士通株式会社 | Magnetic head slider and magnetic disk drive |
| JPH09115258A (en) | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Sony Corp | Floating head slider |
| US5734522A (en) * | 1996-07-10 | 1998-03-31 | Seagate Technology, Inc. | Disc drive system with slider for reading and writing adjacent portions of a zone textured disc |
| JP2778588B2 (en) | 1996-07-30 | 1998-07-23 | 日本電気株式会社 | Floating head slider |
| JPH1050020A (en) | 1996-08-01 | 1998-02-20 | Hitachi Ltd | Magnetic head slider and magnetic disk device having the same |
| US5777825A (en) | 1996-09-04 | 1998-07-07 | International Business Machines Corporation | Negative pressure step pad air bearing design and method for making the same |
| US5825588A (en) | 1996-12-04 | 1998-10-20 | International Business Mahcines Corporation | Roll insensitive air bearing slider |
| US5822153A (en) * | 1997-01-03 | 1998-10-13 | Censtor Corp. | Hard disk drive having contact write and recessed magnetorestive read head |
| JPH10255425A (en) * | 1997-03-10 | 1998-09-25 | Yamaha Corp | Magnetic head slider and its manufacture |
| JP3292296B2 (en) | 1997-03-25 | 2002-06-17 | ティーディーケイ株式会社 | Slider, head, head device, and recording / reproducing device |
| US6055128A (en) * | 1997-05-14 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Dual etch step pad air bearing design with three etch depths |
| US5953181A (en) * | 1997-10-17 | 1999-09-14 | Nec Corporation | Flying magnetic head slider for a magnetic disk drive |
-
1998
- 1998-11-27 JP JP33683498A patent/JP3674347B2/en not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-06-17 US US09/334,970 patent/US6349018B2/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-06-21 KR KR1019990023243A patent/KR100613152B1/en not_active IP Right Cessation
- 1999-06-28 DE DE19929504A patent/DE19929504A1/en not_active Withdrawn
- 1999-07-13 CN CNB991103491A patent/CN1234125C/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-03-16 US US09/810,267 patent/US6396664B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100727908B1 (en) * | 2000-07-20 | 2007-06-13 | 삼성전자주식회사 | A negative pressure air bearing slider |
| KR100750229B1 (en) * | 2005-06-08 | 2007-08-20 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | Magnetic head slider |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1249516A (en) | 2000-04-05 |
| US6396664B2 (en) | 2002-05-28 |
| KR100613152B1 (en) | 2006-08-17 |
| US20010022707A1 (en) | 2001-09-20 |
| JP2000173217A (en) | 2000-06-23 |
| DE19929504A1 (en) | 2000-03-30 |
| US20010010612A1 (en) | 2001-08-02 |
| JP3674347B2 (en) | 2005-07-20 |
| US6349018B2 (en) | 2002-02-19 |
| CN1234125C (en) | 2005-12-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100613152B1 (en) | Negative pressure head slider | |
| JP3264895B2 (en) | Flying head slider and manufacturing method thereof | |
| US7719795B2 (en) | Head having a transducer heater and an air bearing surface with a flow-diversion dam and pressure-relief trough disposed upstream of the transducer | |
| US7916426B2 (en) | Head with an air bearing surface having left and right leading pressurizing steps, each with short and long regions | |
| US7616405B2 (en) | Slider with an air bearing surface having a inter-cavity dam with OD and ID dam surfaces of different heights | |
| US7855854B2 (en) | Head with an air bearing surface having a shallow recessed trailing air flow dam | |
| KR100820089B1 (en) | Recording medium drive and head slider | |
| US5430591A (en) | Negative pressure flying head slider having siderails with narrow width portion | |
| KR100249050B1 (en) | Magneto-resistive effect type head with step or protrusion for reducing thermal asperity | |
| JP3825214B2 (en) | Flying head slider | |
| JP2005317188A (en) | Planar type vertical recording head | |
| JP2779529B2 (en) | Floating head slider | |
| US20020008939A1 (en) | Pad design concepts for slider air-bearings | |
| JPH09153210A (en) | Head slider and recording and reproducing device formed by using the same | |
| JP2007242094A (en) | Magnetic head, its manufacturing method, and magnetic disk device | |
| US20070047143A1 (en) | Magnetic head slider having contacted portion at air outflow end side | |
| US6301079B1 (en) | Flying head slider having a splay formed on a flying surface enabling a lower flying height while avoiding collision with a surface of a recording disk | |
| JP3860565B2 (en) | Negative pressure head slider | |
| US6754043B2 (en) | Head slider | |
| JP2872384B2 (en) | Magnetic head slider and magnetic disk device | |
| JP2874484B2 (en) | Floating head slider and rotating disk storage device | |
| US7423843B2 (en) | In-contact magnetic head slider with multiple surface levels for creating multiple positive and negative pressure regions | |
| JP3517673B2 (en) | Slider and rotary disk recorder | |
| KR100233395B1 (en) | Magnetic head slider | |
| JPH08321026A (en) | Floating magnetic head and manufacture thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E801 | Decision on dismissal of amendment | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |