JPWO2020031976A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2020031976A5
JPWO2020031976A5 JP2020535765A JP2020535765A JPWO2020031976A5 JP WO2020031976 A5 JPWO2020031976 A5 JP WO2020031976A5 JP 2020535765 A JP2020535765 A JP 2020535765A JP 2020535765 A JP2020535765 A JP 2020535765A JP WO2020031976 A5 JPWO2020031976 A5 JP WO2020031976A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
meth
acrylate
carbon atoms
photosensitive resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020535765A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2020031976A1 (ja
JP7363789B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from PCT/JP2018/029468 external-priority patent/WO2020031240A1/ja
Application filed filed Critical
Publication of JPWO2020031976A1 publication Critical patent/JPWO2020031976A1/ja
Publication of JPWO2020031976A5 publication Critical patent/JPWO2020031976A5/ja
Priority to JP2023172290A priority Critical patent/JP7616311B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7363789B2 publication Critical patent/JP7363789B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2020535765A 2018-08-06 2019-08-05 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品 Active JP7363789B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023172290A JP7616311B2 (ja) 2018-08-06 2023-10-03 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/029468 WO2020031240A1 (ja) 2018-08-06 2018-08-06 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品
JPPCT/JP2018/029468 2018-08-06
PCT/JP2019/030771 WO2020031976A1 (ja) 2018-08-06 2019-08-05 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023172290A Division JP7616311B2 (ja) 2018-08-06 2023-10-03 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2020031976A1 JPWO2020031976A1 (ja) 2021-09-24
JPWO2020031976A5 true JPWO2020031976A5 (https=) 2022-09-22
JP7363789B2 JP7363789B2 (ja) 2023-10-18

Family

ID=69414249

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020535765A Active JP7363789B2 (ja) 2018-08-06 2019-08-05 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品
JP2023172290A Active JP7616311B2 (ja) 2018-08-06 2023-10-03 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023172290A Active JP7616311B2 (ja) 2018-08-06 2023-10-03 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Country Status (5)

Country Link
US (1) US12386256B2 (https=)
JP (2) JP7363789B2 (https=)
KR (1) KR102671323B1 (https=)
TW (1) TWI834702B (https=)
WO (2) WO2020031240A1 (https=)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020217699A1 (ja) * 2019-04-25 2020-10-29 Jsr株式会社 感光性樹脂組成物
WO2022137294A1 (ja) * 2020-12-21 2022-06-30 Hdマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、硬化物及び電子部品
JP2023132964A (ja) * 2022-03-11 2023-09-22 Hdマイクロシステムズ株式会社 絶縁膜形成材料、半導体装置の製造方法及び半導体装置
KR20220056159A (ko) 2022-04-04 2022-05-04 김용원 물탱크 내의 스팀집 슈퍼히터에 전력공급한 스팀공급으로 스팀터빈을 구동하는 것과 슈퍼히터로 스팀을 공급하는 스팀청소기에 발전기들을 설치하는 것과 공기터빈의 흡입구들의 공기필터들 설치와 펠티에소자를 이용한 냉온 공기배출과 얼음제조기 시스템
KR20220080053A (ko) 2022-05-27 2022-06-14 김용원 다중 에어 레이어 튜브보트
KR20230004349A (ko) 2022-12-05 2023-01-06 김용원 선풍기에 설치하는 발전기
KR20230047973A (ko) 2023-03-21 2023-04-10 김용원 자전거에 발전기를 설치
WO2025099883A1 (ja) * 2023-11-08 2025-05-15 Hdマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、パターン硬化物、及び電子部品
KR20230175138A (ko) 2023-12-06 2023-12-29 김용원 자전거에 발전기를 설치(Install the generator ona bike)10-2023-0036696하고 자전거 뒷바퀴의 양측 보조 바퀴가 있는 뒤 짐받이에 찜기를 싣고 폭설, 빙판 녹이는 장치
WO2025243483A1 (ja) * 2024-05-23 2025-11-27 Hdマイクロシステムズ株式会社 樹脂組成物、硬化物、硬化物の製造方法、及び電子部品
KR20250009398A (ko) 2024-12-30 2025-01-17 김용원 자전거 앞바퀴 부분 제설재 또는 모래살포기 : 자전거에 발전기를 설치(10-2023-0036696), 자전거 뒷바퀴의 양측 보조 바퀴가 있는 뒤 짐받이에 찜기를 싣고 폭설, 빙판 녹이는 장치(10-2023-0175944)와 같이 사용
KR20250044828A (ko) 2025-03-14 2025-04-01 김용원 양축 모터 구동으로 양축 모터 양축의 2공기 컴프레셔로 4바퀴 터빈을 구동시키는 4바퀴 터빈과 4바퀴 외주 면에 설치하는 발전기가 있는 구조도르래
KR20250047667A (ko) 2025-03-17 2025-04-04 김용원 9 필터가 있는 3 양축 모터 6 발전기
KR20250070006A (ko) 2025-04-23 2025-05-20 김용원 수륙양용 전동보드

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2626696B2 (ja) 1988-04-11 1997-07-02 チッソ株式会社 感光性重合体
DE69904073T2 (de) 1998-10-29 2003-07-17 Ciba Speciality Chemicals Holding Inc., Basel Oximderivate und ihre verwendung als latente saüre
NL1014545C2 (nl) 1999-03-31 2002-02-26 Ciba Sc Holding Ag Oxim-derivaten en de toepassing daarvan als latente zuren.
DK1392675T3 (da) 2001-06-01 2005-04-04 Ciba Sc Holding Ag Substituerede oximderivater og anvendelsen deraf som latente syrer
JP2004045491A (ja) * 2002-07-09 2004-02-12 Sumitomo Bakelite Co Ltd ポジ型感光性樹脂の膜形成方法
KR100692339B1 (ko) 2002-07-11 2007-03-13 아사히 가세이 일렉트로닉스 가부시끼가이샤 고내열성 네가티브형 감광성 수지 조성물
JP4337481B2 (ja) 2002-09-17 2009-09-30 東レ株式会社 ネガ型感光性樹脂前駆体組成物およびそれを用いた電子部品ならびに表示装置
JP3995253B2 (ja) * 2004-09-28 2007-10-24 Tdk株式会社 感光性ポリイミドパターンの形成方法及び該パターンを有する電子素子
JP2006193691A (ja) 2005-01-17 2006-07-27 Nippon Kayaku Co Ltd 感光性ポリアミド酸及びこれを含有する感光性組成物
WO2006098291A1 (ja) 2005-03-15 2006-09-21 Toray Industries, Inc. 感光性樹脂組成物
JP2006342310A (ja) 2005-06-10 2006-12-21 Kaneka Corp 新規ポリイミド前駆体およびその利用
KR101351286B1 (ko) 2005-12-20 2014-02-17 시바 홀딩 인크 옥심 에스테르 광개시제
JP4761989B2 (ja) * 2006-02-02 2011-08-31 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ポリアミド酸エステル組成物
US8293436B2 (en) 2006-02-24 2012-10-23 Fujifilm Corporation Oxime derivative, photopolymerizable composition, color filter, and process for producing the same
WO2008138733A1 (en) 2007-05-11 2008-11-20 Basf Se Oxime ester photoinitiators
JP5663826B2 (ja) 2008-02-26 2015-02-04 日立化成株式会社 接着シート、接着剤層付半導体ウェハ、並びに半導体装置及びその製造方法
JP5169446B2 (ja) 2008-04-28 2013-03-27 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたポリベンゾオキサゾール膜、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品
JP2015127817A (ja) 2009-04-14 2015-07-09 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物及びこれを用いた回路形成用基板
JP4818458B2 (ja) 2009-11-27 2011-11-16 株式会社Adeka オキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤
US8759989B2 (en) 2010-07-09 2014-06-24 Toray Industries, Inc. Photosensitive adhesive composition, photosensitive adhesive film, and semiconductor device using each
JP2012198361A (ja) 2011-03-22 2012-10-18 Fujifilm Corp 感光性組成物、感光性フィルム、永久パターン形成方法、永久パターン、及びプリント基板
WO2012176694A1 (ja) * 2011-06-24 2012-12-27 東京応化工業株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物、パターン形成方法、硬化膜、絶縁膜、カラーフィルタ、及び表示装置
JP6085920B2 (ja) 2012-09-10 2017-03-01 日立化成株式会社 感光性樹脂組成物、フィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置
WO2014142259A1 (ja) 2013-03-14 2014-09-18 富士フイルム株式会社 固体撮像素子及びその製造方法、赤外光カットフィルタ形成用硬化性組成物、カメラモジュール
KR102276251B1 (ko) 2013-10-09 2021-07-12 에이치디 마이크로시스템즈 가부시키가이샤 폴리이미드 전구체를 포함하는 수지 조성물, 및 그것을 사용한 경화막의 제조 방법
JP6549848B2 (ja) 2014-01-17 2019-07-24 太陽インキ製造株式会社 積層構造体
KR102301297B1 (ko) 2014-02-19 2021-09-10 에이치디 마이크로시스템즈 가부시키가이샤 수지 조성물, 그에 따라 형성되는 경화막 및 패턴 경화막, 및 그들의 제조 방법
JP6447242B2 (ja) * 2014-05-15 2019-01-09 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物、絶縁膜及びその製造方法、並びに有機el素子
JP6398364B2 (ja) 2014-06-20 2018-10-03 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品
TWI671343B (zh) 2014-06-27 2019-09-11 Fujifilm Corporation 熱硬化性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜的製造方法以及半導體裝置
JP6935982B2 (ja) * 2014-09-29 2021-09-15 旭化成株式会社 樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法、及び半導体装置
JP6427383B2 (ja) * 2014-10-21 2018-11-21 旭化成株式会社 樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法、及び半導体装置
KR101910691B1 (ko) 2014-12-26 2018-12-28 현대중공업 주식회사 평형수 서비스 전용 육상 설비
JP2016200643A (ja) 2015-04-07 2016-12-01 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品
JP2016199662A (ja) 2015-04-09 2016-12-01 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 ポリイミド前駆体を含む樹脂組成物、それを用いた硬化膜及びパターン硬化膜の製造方法、並びに電子部品
KR102090451B1 (ko) 2015-08-21 2020-03-18 아사히 가세이 가부시키가이샤 감광성 수지 조성물, 폴리이미드의 제조 방법 및 반도체 장치
TW201710390A (zh) * 2015-08-31 2017-03-16 Fujifilm Corp 組成物、硬化膜、硬化膜的製造方法、半導體元件的製造方法及半導體元件
CN108885401B (zh) 2016-03-28 2021-06-01 东丽株式会社 感光性树脂组合物
KR102090449B1 (ko) * 2016-03-31 2020-03-18 아사히 가세이 가부시키가이샤 감광성 수지 조성물, 경화 릴리프 패턴의 제조 방법 및 반도체 장치
JP7062953B2 (ja) * 2016-08-29 2022-05-09 東レ株式会社 感光性樹脂組成物、硬化膜、有機el表示装置、半導体電子部品、半導体装置
WO2018043467A1 (ja) * 2016-08-31 2018-03-08 富士フイルム株式会社 樹脂組成物およびその応用
KR102380068B1 (ko) * 2016-10-05 2022-03-31 도레이 카부시키가이샤 수지 조성물, 경화막, 반도체 장치 및 그들의 제조 방법
JP2018084626A (ja) * 2016-11-22 2018-05-31 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、硬化膜、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品
KR102646304B1 (ko) * 2017-02-23 2024-03-11 에이치디 마이크로시스템즈 가부시키가이샤 감광성 수지 조성물, 경화 패턴의 제조 방법, 경화물, 층간절연막, 커버 코트층, 표면 보호막, 및 전자부품
WO2018179382A1 (ja) * 2017-03-31 2018-10-04 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、硬化物、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPWO2020031976A5 (https=)
JP2019163463A5 (https=)
JP2024001022A5 (https=)
JPWO2020196139A5 (https=)
TWI631171B (zh) 非感光性樹脂組成物
JP2004526212A5 (https=)
JP2007525701A5 (https=)
JP2022133300A5 (https=)
JPH02194002A (ja) 紫外線硬化性組成物及び基材のコーティング方法
JP2024161571A5 (https=)
JP5078992B2 (ja) 感光性樹脂組成物
JP2020091464A5 (https=)
JP2007512414A5 (https=)
JP2023126803A5 (https=)
KR20100054681A (ko) 임프린팅용 감광성 수지 조성물 및 기판 상에 유기막을 형성하는 방법
JP2025516450A (ja) 光硬化性組成物
JP2008260839A5 (https=)
JPWO2023032821A5 (https=)
JP2023086715A5 (https=)
JP2005517055A5 (https=)
JPWO2021171943A5 (https=)
JPWO2021187481A5 (https=)
JP5279353B2 (ja) 感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体およびパターン形成方法
JPWO2024090486A5 (https=)
JPWO2023008049A5 (https=)