JPWO2019151396A1 - 摺動部品 - Google Patents

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Abstract

高圧の被密封流体の漏れが少なくかつ低トルクの摺動部品を提供する。円環状のメイティングリング20と、円環状のシールリング10とが対向して各摺動面11,21を相対回転させることにより、当該相対回転摺動する摺動面11,21の径方向の一方側に存在する被密封流体を密封する摺動部品10,20において、メイティングリング20およびシールリング10の少なくともいずれかの摺動面11,21には、メイティングリング20とシールリング10との相対回転摺動により動圧を生起する段状凹部24が円周方向に複数形成され、段状凹部24は、動圧凹部23が該動圧凹部23よりも深さの深い静圧凹部22を取り囲んで該動圧凹部23と該静圧凹部22とにより断面段状に形成されている。

Description

本発明は、相対回転する摺動部品に関し、例えば自動車、一般産業機械またはその他のシール分野のメカニカルシールに用いられる摺動部品に関する。
被密封流体の漏れを防止する密封装置として、相対回転し、かつ平面上の端面同士が摺動するように構成された2部品からなるもの、例えば、メカニカルシールにおいて、密封性を長期的に維持させるためには、「密封」と「潤滑」という相反する条件を両立させなければならない。特に、近年においては、環境対策等のために、被密封流体の漏れ防止を図りつつ、機械的損失を低減させるべく、より一層、低摩擦化の要求が高まっている。低摩擦化の手法としては、回転により摺動面間に動圧を発生させ、液膜を介在させた状態で摺動することにより達成できる。
従来、回転により摺動面間に動圧を発生させるようにしたメカニカルシールとして、例えば特許文献1に記載された摺動部品を使用したものが知られている。一方の摺動部品の摺動面には、平坦な摺動面に深さの異なる2種類のディンプルが多数形成され、個々のディンプルは、レイリーステップを構成している。摺動部品が相対回転すると、ディンプルの反回転方向側は負圧となる一方、同回転方向側では正圧が生じ、ディンプルの回転方向下流側の端面壁によるくさび作用によって正圧が大きくなり、全体として正圧が作用し、大きな浮力が得られる。また、深さの異なる2種類のディンプルを形成することにより、密封条件によらず安定した摺動性を発揮できるようになっている。
このようなメカニカルシールでは、摺動面間に正圧が発生するため、流体が正圧部分から摺動面外へ流出する。この流体の流出は、シールの場合の被密封流体の漏れに該当する。
特開平11−287329号公報(第3頁、第2図)
ところで、高圧の被密封流体を対象とする摺動部品においても更なる「密封」と「潤滑」の向上が求められている。ディンプルの形状・深さを変更することにより、高圧の被密封流体を密封することができる。深さが深すぎると浮力が不十分となって潤滑性の悪化、一方、深さが浅すぎると貧潤滑となって潤滑性の悪化が確認され、漏れが多いまたは高トルクの摺動部品となってしまうという問題があった。これらの問題は、被密封流体の圧力が高圧となるほど顕著であった。また、高圧の被密封流体を対象とするほど、十分な浮力を得るためにディンプルの深さを浅くする傾向にあり、ディンプルの体積が小さくなるので内部に被密封流体を保持する機能が低下することが考えられる。
本発明は、従来技術の問題を解決するためになされたもので、高圧の被密封流体の漏れが少なくかつ低トルクの摺動部品を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明の摺動部品は、
円環状のメイティングリングと、円環状のシールリングとが対向して各摺動面を相対回転させることにより、当該相対回転摺動する前記摺動面の径方向の一方側に存在する被密封流体を密封する摺動部品において、
前記メイティングリングおよび前記シールリングの少なくともいずれかの摺動面には、前記メイティングリングと前記シールリングとの相対回転摺動により動圧を生起する段状凹部が円周方向に複数形成され、
前記段状凹部は、動圧凹部が該動圧凹部よりも深さの深い静圧凹部を取り囲んで該動圧凹部と該静圧凹部とにより断面段状に形成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、シールリングとメイティングリングとの相対回転時に、断面段状の段状凹部は、動圧凹部よりも深さの深い静圧凹部から該静圧凹部を取り囲む動圧凹部に被密封流体が供給され得るようになっているため、貧潤滑となることなく確実に動圧を生じさせることができる。このとき、動圧凹部は、主に摺動面間に動圧を発生させて摺動面間の接触面圧を調整する機能を果たすとともに、静圧凹部は、主にその内部に保持する被密封流体を外径側の動圧凹部に供給する機能を果たしている。このようにして、シールリングとメイティングリングとが互いに完全に相対的に浮上しない程度に動圧を発生させることにより、両摺動面が互いに接触状態にありながら接触面圧が抑えられるため、高圧の被密封流体の漏れが少なくかつ低トルクの摺動部品を得ることができる。
好適には、前記動圧凹部および前記静圧凹部は、正面視円形である。
これによれば、動圧凹部において発生する圧力を滑らかに立ち上がらせることができる。
好適には、前記動圧凹部は、前記静圧凹部と同心状に設けられている。
これによれば、摺動面における動圧凹部および静圧凹部の加工が容易になる。また、シールリングとメイティングリングとの両方向の相対回転に使用できる。
好適には、前記動圧凹部は、前記静圧凹部に対して回転方向に偏心して設けられている。
これによれば、シールリングとメイティングリングとの一方向の相対回転に対して動圧凹部の回転方向側で広い正圧領域を生成するとともに、同反回転方向側で狭い負圧領域を生成することができるため、動圧発生効率を高めることができる。
好適には、前記静圧凹部の周方向の長さは、前記動圧凹部の周方向の長さよりも長い。
これによれば、動圧に比べて静圧の発生領域が多くなるため、静圧凹部による流体保持機能を高めることができる。
好適には、前記動圧凹部は、深さの異なる断面複数段状に形成されている。
これによれば、動圧凹部において発生する正圧に急峻なピークを持たせることができるため、動圧発生効率を高めることができる。
好適には、前記段状凹部は、前記メイティングリングまたは前記シールリングの摺動面の前記被密封流体側のみに配置されている。
これによれば、シールリングとメイティングリングとの相対回転時に、被密封流体側における貧潤滑を防止できる。
好適には、前記段状凹部とは異なる無段状凹部が、前記メイティングリングおよび前記シールリングの少なくともいずれかの摺動面に配置されている。
これによれば、被密封流体側に形成される段状凹部は、貧潤滑となることなく確実に動圧を生じさせるとともに、無段状凹部は、段状凹部が形成されない箇所において内部に被密封流体を保持することにより、貧潤滑になり難くなっている。
好適には、前記動圧凹部は、その深さ寸法がその正面視における開口最大径寸法よりも小さく、かつ前記静圧凹部は、その深さ寸法が10μm以上である。
これによれば、静圧凹部は、外径側の動圧凹部に被密封流体を供給する機能が高められるとともに、内部に被密封流体を保持する機能が高められる。
好適には、前記被密封流体は、0.1MPa以上の高圧液体である。
これによれば、被密封流体が高圧でも摺動面の面荒れが少なくかつ漏れが少ない。
本発明の実施例1に係る一般産業機械用のメカニカルシールの一例を示す断面図である。 本発明の実施例1に係るシールリングの摺動面を示す平面図である。 図2のシールリングに対向配置される段状凹部および無段状凹部が形成されたメイティングリングの摺動面を示す平面図である。 (a)は、メイティングリングの摺動面における段状凹部を構成する動圧凹部および静圧凹部を示す拡大平面図、(b)は、同じく拡大断面図である。 図2および図3のシールリングおよびメイティングリングを径方向で切った非回転時の断面図である。 図2および図3のシールリングおよびメイティングリングによる動圧発生を説明するための周方向で切った回転時の断面模式図である。 (a)および(b)は、実施例1の段状凹部における静圧凹部の変形例Aを示す断面図である。 実施例1の段状凹部における動圧凹部の変形例Bを示す断面図である。 (a)〜(d)は、実施例1の段状凹部の変形例Cを示す平面図である。 本発明の実施例2に係る段状凹部であり、(a)は、メイティングリングの摺動面における段状凹部を構成する動圧凹部および静圧凹部を示す拡大平面図、(b)は、同じく拡大断面図である。 本発明の実施例3に係るシールリングおよびメイティングリングを径方向で切った非回転時の断面図である。 本発明の実施例4に係るシールリングおよびメイティングリングを径方向で切った非回転時の断面図である。
本発明に係る摺動部品を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
実施例1に係る摺動部品につき、図1から図9を参照して説明する。尚、本実施例においては、摺動部品の一例であるメカニカルシールを例にして説明する。また、メカニカルシールを構成する摺動部品の外周側を被密封流体側、内周側を大気側として説明する。
図1に示される一般産業機械用のメカニカルシールは、摺動面の外周側から内周側に向かって漏れようとする被密封流体を密封するインサイド形のものであって、回転軸1側にスリーブ2を介して回転軸1と一体的に回転可能な状態で設けられた円環状のメイティングリング20(摺動部品)と、被取付機器のハウジング4に固定されたシールカバー5に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた円環状のシールリング10(摺動部品)と、から主に構成され、ベローズ7によってシールリング10が軸方向に付勢されることにより、ラッピング等により鏡面仕上げされたシールリング10の摺動面11とメイティングリング20の摺動面21とが互いに密接摺動するようになっている。尚、本実施における被密封流体は、0.1MPa以上の高圧液体であるものとする。
シールリング10およびメイティングリング20は、代表的にはSiC(硬質材料)同士またはSiC(硬質材料)とカーボン(軟質材料)の組み合わせで形成されるが、これに限らず、摺動材料はメカニカルシール用摺動材料として使用されているものであれば適用可能である。尚、SiCとしては、ボロン、アルミニウム、カーボン等を焼結助剤とした焼結体をはじめ、成分、組成の異なる2種類以上の相からなる材料、例えば、黒鉛粒子の分散したSiC、SiCとSiからなる反応焼結SiC、SiC−TiC、SiC−TiN等があり、カーボンとしては、炭素質と黒鉛質の混合したカーボンをはじめ、樹脂成形カーボン、焼結カーボン等が利用できる。また、上記摺動材料以外では、金属材料、樹脂材料、表面改質材料(コーティング材料)、複合材料等も適用可能である。
図2に示されるように、シールリング10は、軸方向一端に軸方向から見た正面視において環状の摺動面11を有している。摺動面11は、平坦面として形成されている。
図3に示されるように、メイティングリング20は、シールリング10の摺動面11と軸方向に対向する環状の摺動面21を有している。摺動面21は、平坦面であって、円周方向に複数の段状凹部24およびディンプル25(無段状凹部)が形成されている。摺動面21の外径側(被密封流体側)に配置される段状凹部24は、ディンプル22(静圧凹部)と、ディンプル22の周囲に形成される座ぐり23(動圧凹部)とから構成されている。尚、摺動面21は、段状凹部24およびディンプル25に対してランド部とも言え、座ぐり23は摺動面21に全周が途切れることなく囲まれている。
また、メイティングリング20の摺動面21の径方向の長さw21は、シールリング10の摺動面11の径方向の長さw11よりも長く(w11<w21)形成されている(図5参照)。
段状凹部24のディンプル22は、軸方向から見た正面視において円形(図3および図4(a)参照)、径方向断面略矩形(図4(b)および図5参照)の円柱状に形成され、ディンプル25とともに摺動面21の全面に径方向に6個ずつ千鳥配置されている。尚、摺動面21の全面とは、摺動面11との実質的に摺動する領域のことを示している。さらに尚、本実施例の段状凹部24のディンプル22およびディンプル25は、レーザ加工により形成されているが、これに限らず、他の方法で形成されてもよい。
また、段状凹部24のディンプル22の深さ寸法h22は、正面視におけるディンプル22の開口最大径寸法r22よりも大きく(r22<h22)形成されている(図4参照)。これにより、ディンプル22は、周囲に形成される座ぐり23に被密封流体を供給する機能が高められるとともに、内部に被密封流体を保持する機能が高められる。尚、ディンプル22の深さ寸法h22は、正面視におけるディンプル22の開口最大径寸法r22よりも小さく、または略同一に形成されていてもよい。また、ディンプル22の軸方向の深さ寸法h22は、くさび作用が十分に作用しない10μm以上であることが好ましい。
座ぐり23は、ディンプル22の外径側に摺動面21と平行な平面として形成される底面23Aと、底面23Aに直交する壁面として形成される内周壁23Bとにより画成され、軸方向から見た正面視において円形(図3および図4(a)参照)、かつディンプル22の周囲を取り囲む同心状の浅溝として形成されている。これにより、摺動面21における座ぐり23およびディンプル22の加工が容易になるとともに、シールリング10とメイティングリング20との両方向の相対回転に使用できる。また、段状凹部24において、座ぐり23とディンプル22が正面視円形に形成されているため、座ぐり23において発生する圧力を滑らかに立ち上がらせることができる。さらに、座ぐり23の内周壁23Bは、摺動面21に対してエッジ状に直交するように形成されているため、大きな正圧を発生させることができる。尚、本実施例の段状凹部24の座ぐり23は、レーザ加工により形成されているが、これに限らず、他の方法で形成されてもよい。
また、座ぐり23の深さ寸法h23は、正面視における座ぐり23の開口最大径寸法r23よりも小さく(h23<r23)形成されている(図4参照)。これにより、座ぐり23は、摺動面11,21間に十分な動圧を発生させることができる。さらに、座ぐり23の軸方向の深さは、5μm未満、好ましくは1μm以上に形成され、摺動面21の外径側における径方向の1/2以下、好ましくは1/4以下の領域に配置されるディンプル22(段状凹部24)にのみ形成されている(図3参照)。これにより、座ぐり23で発生する各動圧の全体の合計の力(浮力)が大きくなり過ぎることがない。尚、座ぐり23は、摺動面11の内径側に配置されないことが好ましい。これにより、シールリング10とメイティングリング20との相対回転時に、摺動面21の外径側が対向する摺動面11と直接接触し難くなり、回転速度の速い外径側における貧潤滑を防止できる。
図4(a)に示されるように、段状凹部24において、座ぐり23の開口最大径寸法r23は、ディンプル22の開口最大径寸法r22よりも大きく(r22<r23)形成されている。また、図4(b)に示されるように、ディンプル22の深さ寸法h22は、座ぐり23の深さ寸法h23よりも大きく(h23<h22)形成されている。このように、段状凹部24は、ディンプル22と座ぐり23とにより断面段状に形成されている。さらに、ディンプル22の周方向の長さ(L1)は、座ぐり23(底面23A)の周方向の長さ(2×L2)よりも長く形成されている(2×L2<L1)。これにより、段状凹部24において、動圧に比べて静圧の発生領域が多くなるため、ディンプル22による流体保持機能を高めることができる。
次いで、摺動面11,21間における動圧発生について説明する。図6に示されるように、シールリング10とメイティングリング20とが相対回転(回転方向は、図6において紙面上側から紙面下側に向かう白矢印で図示)すると、段状凹部24における座ぐり23の反回転方向側(図6の紙面下側:相手側のシールリング10の回転方向を基準として反対の回転方向側)は負圧となる一方、同回転方向側(図6の紙面上側)は正圧が生じ、座ぐり23の回転方向側の内周壁23Bによるくさび作用によって正圧が大きくなり、全体として正圧が作用し、大きな浮力が得られる。また、座ぐり23は、座ぐり23よりも深さの深いディンプル22から被密封流体が供給されるため、貧潤滑となることなく確実に動圧を発生させることができる。このとき、座ぐり23は、主に摺動面11,21間に動圧を発生させて摺動面11,21間の接触面圧を調整する機能を果たすとともに、ディンプル22は、主にその内部に保持する被密封流体を座ぐり23に供給する機能を果たしている。また、座ぐり23が形成されない無段状のディンプル25も、摺動面21の内径側において内部に被密封流体を保持する機能を果たしているため、摺動面11,21において貧潤滑となり難い。さらに、図5に示されるように、摺動面21の外径側に形成される段状凹部24の座ぐり23は、摺動面11が径方向に重畳することにより、摺動面11,21間において外径側(被密封流体側)に開放しておらず、座ぐり23による動圧発生効率が高められている。尚、図6に模式的に示すように、摺動面11,21は微視的には表面の粗さ、うねり、動圧による変形によって波打つ形状となっている。
このように、段状凹部24は、座ぐり23とディンプル22の恊働によって、シールリング10とメイティングリング20とが互いに完全に相対的に浮上しない程度に動圧を発生させることにより、摺動面11、21同士は、流体潤滑と境界潤滑とが混合した混合潤滑となり、互いに一部が接触した状態となることで、両摺動面11、21が互いに接触状態にありながら接触面圧が抑えられるため、高圧の被密封流体の漏れが少なくかつ低トルクの摺動部品を得ることができる。さらに、低トルクとなることにより、摺動面11、21の面荒れを抑えることができる。尚、実施例1とは異なり、従来のディンプルは流体潤滑となる流体膜を発生させるものであった。
尚、実施例1における段状凹部24の座ぐり23の変形例として、座ぐり23の内周壁23Bは、底面23Aに直交しなくてもよく、例えば傾斜した状態で交差してもよい。また、底面23Aは、摺動面21に対して平行でなくともよく、例えば傾斜面であってもよい。さらに、底面23Aは、平面でなくてもよく、例えば湾曲面であってもよい。
また、実施例1における段状凹部24のディンプル22の変形例Aとして、ディンプル22の断面形状は、図7(a)に示される円錐形、図7(b)に示される半回転楕円体形状に形成されてもよい。
また、実施例1における段状凹部24の座ぐり23の変形例Bとして、図8に示されるように、座ぐり23は、深さ寸法の異なる二段階座ぐりとして形成されてもよい。これによれば、座ぐりにおいて発生する正圧に急峻なピークを持たせることができるため、動圧発生効率を高めることができる。尚、座ぐりは、断面二段状のものに限らず、深さの異なる断面複数段状に形成されていてもよい。
さらに、実施例1の段状凹部24の変形例Cとして、図9(a)〜(d)に示されるように平面視の形状が異なっている。尚、図9において、左右方向は摺動面21の周方向に沿った方向であり、上下方向は摺動面21の半径方向である。
図9(a)に示されるように、段状凹部24aは、正面視半円形状の2つの座ぐり23aに正面視矩形のディンプル22aが挟まれて全体として正面視スタジアム形状に形成されている。
図9(b)に示されるように、段状凹部24bは、正面視正方形の座ぐり23bの中央に小さな正面視正方形のディンプル22bが配置され全体として正面視正方形に形成されている。
図9(c)に示されるように、段状凹部24cは、正面視略矩形の2つの座ぐり23cに正面視略矩形のディンプル22cが挟まれて全体として周方向面24x,24yがメイティングリング20の外周面20xに平行な正面視帯状に形成されている。
図9(d)に示されるように、段状凹部24dは、正面視円形の座ぐり23dの中央に径方向に2つの小さな正面視円形のディンプル22d,22dが配置され全体として正面視円形に形成されている。
尚、変形例A〜Cを互いに組み合わせて段状凹部24を構成できることはいうまでもない。
次に、実施例2に係る摺動部品につき、図10を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
実施例2における摺動部品について説明する。図10(a)に示されるように、段状凹部124のディンプル122(静圧凹部)は、軸方向から見た正面視において円形、図10(b)に示されるように、径方向断面略矩形の円柱状に形成されている。
座ぐり123(動圧凹部)は、ディンプル122の外径側に摺動面21と平行な平面として形成される底面123Aと、底面123Aに直交する壁面として形成される内周壁123Bとにより画成され、軸方向から見た正面視において円形(図10(a)参照)、かつ段状凹部124の回転方向側(図10の紙面左側)に偏心した浅溝として形成されている。
これによれば、シールリング10とメイティングリング20との一方向の相対回転(回転方向は、図10(a)において紙面右側から紙面左側に向かう白矢印で図示)に対して座ぐり123の回転方向側(図10の紙面右側)で広い正圧領域を生成するとともに、同反回転方向側(図10の紙面左側)で狭い負圧領域を生成することができるため、動圧発生効率を高めることができる。
次に、実施例3に係る摺動部品につき、図11を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
実施例3における摺動部品について説明する。図11に示されるように、摺動面21の外径側に形成される段状凹部24の座ぐり23は、摺動面11,21の径方向の長さの違い(w11<w21)により、摺動面11,21間において外径側(被密封流体側)を僅かに開放させている。
これによれば、段状凹部24は、座ぐり23の外径側の開放部分から被密封流体による静圧を導入することにより、摺動面11,21間における動圧の発生に寄与することができる。
次に、実施例4に係る摺動部品につき、図12を参照して説明する。尚、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。
実施例4における摺動部品について説明する。図12に示されるように、メイティングリング20の外径側には軸方に窪む段部26が形成されており、摺動面21の外径側に形成される段状凹部24の座ぐり23は、摺動面11,21間において外径側(被密封流体側)を僅かに開放させている。
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
また、前記実施例では、メカニカルシールを構成する部品が摺動部品である場合を例にして説明したが、本発明はこれに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。
例えば、摺動部品として、一般産業機械用のメカニカルシールを例に説明したが、ウォータポンプ用等の他のメカニカルシールであってもよい。また、メカニカルシールは、アウトサイド形のものであってもよい。
また、前記実施例では、段状凹部と無段状のディンプルをメイティングリングにのみ設ける例について説明したが、段状凹部と無段状のディンプルをシールリングにのみ設けてもよく、シールリングとメイティングリングの両方に設けてもよい。
また、前記実施例では、段状凹部は、摺動面の外径側に周方向に亘って配置され、内径側に無段状のディンプルが配置されるものとして説明したが、これに限らず、例えば、無段状ディンプルが配置されることなく摺動面の外径側に段状凹部のみ配置されるものであってもよいし、また、無段状ディンプルが配置されることなく摺動面の全面に段状凹部を配置されるものであってもよいし、さらに、摺動面の外径側には、段状凹部と無段状のディンプルとが周方向に交互に配置されていてもよい。尚、段状凹部の数は、多すぎると発生する動圧が大きくなり、少なすぎると摺動面の周方向に亘って作用する動圧の変化が大きくなるため、使用環境等に応じて適宜設定されることが好ましい。
また、摺動部品として、メカニカルシールを例について説明したが、すべり軸受等メカニカルシール以外の摺動部品であってもよい。
1 回転軸
2 スリーブ
4 ハウジング
5 シールカバー
7 ベローズ
10 シールリング(摺動部品)
11 摺動面
20 メイティングリング(摺動部品)
21 摺動面
22 ディンプル(静圧凹部)
23 座ぐり(動圧凹部)
23A 底面
23B 内周壁
24 段状凹部
25 ディンプル(無段状凹部)
122 ディンプル(静圧凹部)
123 座ぐり(動圧凹部)
123A 底面
123B 内周壁
124 段状凹部

Claims (10)

  1. 円環状のメイティングリングと、円環状のシールリングとが対向して各摺動面を相対回転させることにより、当該相対回転摺動する前記摺動面の径方向の一方側に存在する被密封流体を密封する摺動部品において、
    前記メイティングリングおよび前記シールリングの少なくともいずれかの摺動面には、前記メイティングリングと前記シールリングとの相対回転摺動により動圧を生起する段状凹部が円周方向に複数形成され、
    前記段状凹部は、動圧凹部が該動圧凹部よりも深さの深い静圧凹部を取り囲んで該動圧凹部と該静圧凹部とにより断面段状に形成されていることを特徴とする摺動部品。
  2. 前記動圧凹部および前記静圧凹部は、正面視円形である請求項1に記載の摺動部品。
  3. 前記動圧凹部は、前記静圧凹部と同心状に設けられている請求項1または2に記載の摺動部品。
  4. 前記動圧凹部は、前記静圧凹部に対して回転方向に偏心して設けられている請求項1または2に記載の摺動部品。
  5. 前記静圧凹部の周方向の長さは、前記動圧凹部の周方向の長さよりも長い請求項1ないし4のいずれかに記載の摺動部品。
  6. 前記動圧凹部は、深さの異なる断面複数段状に形成されている請求項1ないし5のいずれかに記載の摺動部品。
  7. 前記段状凹部は、前記メイティングリングまたは前記シールリングの摺動面の前記被密封流体側のみに配置されている請求項1ないし6のいずれかに記載の摺動部品。
  8. 前記段状凹部とは異なる無段状凹部が、前記メイティングリングおよび前記シールリングの少なくともいずれかの摺動面に配置されている請求項7に記載の摺動部品。
  9. 前記動圧凹部は、その深さ寸法がその正面視における開口最大径寸法よりも小さく、かつ前記静圧凹部は、その深さ寸法が10μm以上である請求項1ないし8のいずれかに記載の摺動部品。
  10. 前記被密封流体は、0.1MPa以上の高圧液体である請求項1ないし9のいずれかに記載の摺動部品。
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