WO2022230460A1 - 摺動部品 - Google Patents

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WO2022230460A1
WO2022230460A1 PCT/JP2022/013241 JP2022013241W WO2022230460A1 WO 2022230460 A1 WO2022230460 A1 WO 2022230460A1 JP 2022013241 W JP2022013241 W JP 2022013241W WO 2022230460 A1 WO2022230460 A1 WO 2022230460A1
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WO
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groove portion
groove
fluid
pressure generating
dynamic pressure
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/013241
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English (en)
French (fr)
Inventor
健太 内田
忠継 井村
岩 王
翔悟 福田
啓志 鈴木
Original Assignee
イーグル工業株式会社
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Publication date
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Priority to EP22795380.9A priority patent/EP4332415A1/en
Priority to US18/288,369 priority patent/US20240209891A1/en
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3404—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal
    • F16J15/3408—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface
    • F16J15/3412—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves

Definitions

  • the present invention relates to a sliding part that rotates relative to each other, for example, a sliding part used in a shaft sealing device for sealing a rotating shaft of a rotating machine in the field of automobiles, general industrial machinery, or other sealing fields, or automobiles, general industrial machinery. , or other sliding parts used in bearings of machines in the field of bearings.
  • a mechanical seal consisting of a pair of annular sliding parts that rotate relative to each other and whose sliding surfaces slide against each other is known as a shaft sealing device that prevents leakage of the sealed fluid around the rotating shaft in a rotating machine.
  • a shaft sealing device that prevents leakage of the sealed fluid around the rotating shaft in a rotating machine.
  • a plurality of dynamic pressure generating grooves are provided in the circumferential direction on the sliding surface of one of the sliding parts.
  • the dynamic pressure generating groove has a first groove portion extending in the circumferential direction and having a starting end portion on the upstream side of relative rotation, and a second groove portion extending in the circumferential direction and having an end portion on the downstream side of relative rotation.
  • the first groove and the second groove are radially offset, and the downstream end of the first groove communicates with the upstream end of the second groove in the radial direction. That is, the dynamic pressure generating groove has a crank shape in a plan view.
  • the sealed fluid present in the dynamic pressure generating grooves moves toward the end portion, and the sealed fluid concentrates at the end portion to generate positive pressure, thereby sliding the sliding surfaces together. are spaced apart from each other, and a fluid film of the sealed fluid is formed on the sliding surface, thereby improving lubricity and realizing low friction.
  • a relative negative pressure is generated in the vicinity of the starting end of the dynamic pressure generating groove, and the sealed fluid that has flowed out to the sliding surface is sucked into the dynamic pressure generating groove. You can do it.
  • the sealed fluid between the sliding surfaces sucked into the dynamic pressure generating groove by the relative negative pressure generated at the starting end of the dynamic pressure generating groove is pushed into the dynamic pressure generating groove. It is adapted to move to the end and generate a positive pressure.
  • the communicating portion connecting the first groove portion and the second groove portion of the dynamic pressure generating groove extends in the radial direction so as to be substantially perpendicular to the first groove portion and the second groove portion. Therefore, corners forming substantially right angles in a plan view are formed at the boundaries between the first groove and the communicating portion and between the second groove and the communicating portion, and vortices are likely to occur in the vicinity of these corners. ing.
  • the sealed fluid sucked into the dynamic pressure generating groove is less likely to move to the terminal end, and there is a risk that the sealed fluid supplied to the terminal end of the dynamic pressure generating groove will be insufficient, making it difficult to generate positive pressure. was there.
  • the present invention has been made with attention paid to such problems, and an object of the present invention is to provide a sliding component capable of reliably generating positive pressure at the end portion of the hydrodynamic groove.
  • the sliding component of the present invention is A sliding component that is disposed at a position of a rotating machine that relatively rotates and slides relative to another sliding component, and that has a dynamic pressure generating groove having a starting end and a terminal end on its sliding surface,
  • a first groove portion extending in the circumferential direction on the starting end side and a second groove portion extending in the circumferential direction on the terminal end side are arranged so as to be displaced in the circumferential direction and the radial direction,
  • the first groove portion and the second groove portion are communicated with each other by an inclined groove portion extending from the first groove portion toward the downstream side in the relative rotation direction.
  • the sealed fluid collected in the first groove portion on the starting end side moves smoothly along the inclined groove portion extending inclined toward the downstream side in the relative rotation direction. Since the fluid is introduced into the second groove portion, positive pressure can be reliably generated at the end portion of the dynamic pressure generating groove.
  • An end portion of the first groove portion on the downstream side of relative rotation and an end portion of the second groove portion on the upstream side of relative rotation may communicate with each other through the inclined groove portion. According to this, it is possible to smoothly move the sealed fluid without stagnation at the communicating portion between the first groove portion and the inclined groove portion and the communicating portion between the second groove portion and the inclined groove portion.
  • the inclined groove may be deeper than the second groove. According to this, it is possible to suppress the shortage of the sealed fluid supplied from the inclined groove portion to the first groove portion. In addition, cavitation is less likely to occur in the first groove.
  • a fluid introduction groove may be provided for communicating the second groove and the sealed fluid space. According to this, the fluid to be sealed is introduced into the second groove portion from the inclined groove portion, and the fluid to be sealed is also introduced from the fluid space to be sealed through the fluid introduction groove portion. A sufficient positive pressure can be generated at the
  • the second groove communicates with a side surface of the downstream end of the inclined groove
  • the fluid introduction groove portion may communicate with an end surface of the downstream end portion of the inclined groove portion. According to this, since a large communication area can be secured between the inclined groove portion and the second groove portion, the flow of the sealed fluid flowing from the inclined groove portion toward the second groove portion is introduced from the fluid introduction groove portion into the inclined groove portion. It is possible to suppress obstruction by the flow of fluid.
  • the fluid introduction groove portion may be inclined toward the downstream side in the direction of relative rotation. According to this, it is possible to suppress excessive introduction of the sealed fluid from the sealed fluid space into the inclined groove portion through the fluid introduction groove portion, thereby inhibiting the flow of the sealed fluid introduced from the inclined groove portion into the second groove portion. can be avoided.
  • the fluid introduction groove may be deeper than the inclined groove. According to this, since the inclined groove portion is shallower than the fluid introduction groove portion, the shearing force of the sliding surface acts more easily on the sealed fluid in the inclined groove portion than in the sealed fluid in the fluid introduction groove portion, and the second flow rate from the inclined groove portion increases. The sealed fluid preferentially flows into the groove.
  • the first groove portion of one of the dynamic pressure generating grooves may be arranged so as to radially overlap on the leakage space side of the end portion of the other dynamic pressure generating groove adjacent to the relative rotation upstream side. good. According to this, the sealed fluid moving from the terminal end of the other dynamic pressure generating groove toward the leakage space can be easily recovered by the first groove portion of the one dynamic pressure generating groove.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of a mechanical seal in Example 1 of the present invention
  • FIG. FIG. 4 is a view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 1 as seen from the axial direction
  • 4 is an enlarged view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 1 as seen from the axial direction
  • FIG. (a) is a sectional view taken along line AA in FIG. 3
  • (b) is a sectional view taken along line BB
  • (c) is a sectional view taken along line CC.
  • FIG. 8 is an enlarged view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 2 of the present invention, viewed from the axial direction;
  • FIG. 11 is an enlarged view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 3 of the present invention as seen from the axial direction;
  • FIG. 11 is an enlarged view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 4 of the present invention as seen from the axial direction;
  • FIG. 12 is an enlarged view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 5 of the present invention, viewed from the axial direction;
  • (a) is a cross-sectional view along DD in FIG. 8, and
  • (b) is a cross-sectional view along EE.
  • FIG. 12 is an enlarged view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 6 of the present invention, viewed from the axial direction;
  • FIG. 12 is an enlarged view of the sliding surface of the stationary seal ring in Example 6 of the present invention, viewed from the axial direction;
  • FIG. 10 is a view of the sliding surface of the stationary seal ring of Modification 1-1 of Embodiment 1, viewed from the axial direction;
  • FIG. 10 is a view of the sliding surface of the stationary seal ring of Modification 1-2 of Embodiment 1 as seen from the axial direction;
  • FIG. 1 A sliding component according to Example 1 will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
  • FIG. 1 the sealed fluid F exists in the inner space S1 of the mechanical seal, and the atmosphere A exists in the outer space S2.
  • the space side (high pressure side) and the outer diameter side will be described as the leakage space side (low pressure side).
  • dots may be attached to grooves formed on the sliding surface in the drawings.
  • the automotive mechanical seal shown in FIG. 1 seals the sealed fluid F in the inner space S1 that is about to leak from the inner diameter side of the sliding surface toward the outer diameter side, and the outer space S2 communicates with the atmosphere A. It has a side shape.
  • the sealed fluid F is a high-pressure liquid
  • the atmosphere A is a gas with a pressure lower than that of the sealed fluid F.
  • the mechanical seal is fixed to a rotary seal ring 20 as another annular sliding member provided on the rotary shaft 1 via a sleeve 2 so as to be rotatable together with the rotary shaft 1, and to the housing 4 of the equipment to which it is attached. and an annular stationary seal ring 10 as a sliding member provided in the seal cover 5 in a non-rotating and axially movable state. , the sliding surface 11 of the stationary seal ring 10 and the sliding surface 21 of the rotary seal ring 20 closely slide against each other.
  • the sliding surface 21 of the rotary seal ring 20 is a flat surface, and this flat surface is not provided with recesses such as grooves.
  • the stationary seal ring 10 and the rotary seal ring 20 are typically formed of a combination of SiC (hard material) or SiC (hard material) and carbon (soft material). Any material that is used as a sliding material for mechanical seals can be applied.
  • SiC include sintered bodies using boron, aluminum, carbon, etc. as sintering aids, and materials composed of two or more phases with different components and compositions, such as SiC and SiC in which graphite particles are dispersed.
  • Metal materials, resin materials, surface modification materials (coating materials), composite materials, etc. are also applicable in addition to the sliding materials described above.
  • the sliding surface 11 of the stationary seal ring 10 has a plurality of dynamic pressure generating grooves 13 (eight grooves in this embodiment) arranged evenly in the circumferential direction.
  • the portion of the sliding surface 11 other than the dynamic pressure generating grooves 13 is a land 12 forming a flat surface.
  • the land 12 has a land portion between the dynamic pressure generating grooves 13 adjacent in the circumferential direction and a land portion on the outer diameter side of the dynamic pressure generating groove 13. These land portions are coplanar. are arranged in the form of a flat surface of the land 12 .
  • the land portion on the outer diameter side of the dynamic pressure generating groove 13 forms an annular shape continuously in the circumferential direction.
  • the dynamic pressure generating groove 13 includes a fluid recovery groove portion 14 as a first groove portion, a positive pressure generating groove portion 15 as a second groove portion, an inclined groove portion 16 communicating between the positive pressure generating groove portion 15 and the fluid recovery groove portion 14, and an inclined groove portion 16. It is mainly composed of a fluid introduction groove portion 17 that communicates between the groove portion 16 and the inner space S1.
  • the fluid recovery groove portion 14 extends circumferentially concentrically with the stationary seal ring 10 .
  • the fluid recovery groove portion 14 mainly includes a bottom surface 14a extending in the circumferential direction parallel to the flat surface of the land 12, side surfaces 14b and 14c rising from both radial ends of the bottom surface 14a toward the flat surface of the land 12, and a start end surface 14d that rises from the circumferential edge of the bottom surface 14a on the upstream side in the relative rotation direction toward the flat surface of the land 12 and continues to the side surfaces 14b and 14c.
  • a portion of the fluid recovery groove portion 14 near the start end face 14d is hereinafter referred to as a start end portion 13A of the hydrodynamic groove 13. As shown in FIG.
  • the starting end 13A has a closed shape and is surrounded by the land 12. As shown in FIG.
  • the positive pressure generating groove portion 15 extends in the circumferential direction concentrically with the stationary seal ring 10 at a position displaced relative to the fluid recovery groove portion 14 to the downstream side of the relative rotation and to the inner diameter side.
  • the positive pressure generating groove portion 15 has a bottom surface 15a that extends in the circumferential direction mainly parallel to the flat surface of the land 12, and side surfaces 15b and 15c that rise from both radial edges of the bottom surface 15a toward the flat surface of the land 12. , and a terminal surface 15d that rises from the downstream circumferential edge of the bottom surface 15a toward the flat surface of the land 12 and continues to the side surfaces 15b and 15c.
  • a portion of the positive pressure generating groove portion 15 near the end face 15d is hereinafter referred to as a terminal end portion 13B of the dynamic pressure generating groove 13. As shown in FIG.
  • the end portion 13B has a closed shape and is surrounded by the land 12. As shown in FIG.
  • the inclined groove portion 16 extends linearly with an inclination toward the downstream side in the relative rotational direction from the fluid recovery groove portion 14 between the fluid recovery groove portion 14 and the positive pressure generating groove portion 15 . communicates with
  • the inclined groove portion 16 mainly includes a bottom surface 16a extending parallel to the flat surface of the land 12, and side surfaces 16b and 16c rising from both circumferential ends of the bottom surface 16a toward the flat surface of the land 12. there is The outer diameter edge portion of the bottom surface 16 a overlaps the end portion of the fluid recovery groove portion 14 on the downstream side of the relative rotation.
  • a side surface 14b on the outer diameter side of the fluid recovery groove portion 14 is continuous with the outer diameter side of the side surface 16b disposed on the downstream side of the inclined groove portion 16 in the relative rotation direction, that is, the upstream end of the side surface 16b.
  • the inner diameter side surface 14c of the fluid recovery groove portion 14 is continuous with the outer diameter side of the side surface 16c arranged on the upstream side in the relative rotation direction of the inclined groove portion 16, that is, the upstream end portion of the side surface 16c.
  • the side surface 15b on the outer diameter side of the positive pressure generating groove portion 15 is continuous with the inner diameter side of the side surface 16b of the inclined groove portion 16, that is, the downstream end portion of the side surface 16b.
  • a side surface 15c on the inner diameter side of the positive pressure generating groove portion 15 rising toward the land 12 is concentrically arc-shaped and continues to the inner diameter edge 16d of the inclined groove portion 16 in a stepped shape in the depth direction.
  • the upstream end of the positive pressure generating groove portion 15 and the downstream end of the inclined groove portion 16 are in communication with each other.
  • the fluid introduction groove portion 17 communicates with the inner diameter edge 16d of the bottom surface 16a of the inclined groove portion 16, that is, the end surface of the downstream end portion of the inclined groove portion 16, and extends from the inner diameter edge 16d to the inner peripheral surface 10a of the stationary seal ring 10. ing.
  • the fluid introduction groove portion 17 includes a bottom surface 17a extending mainly parallel to the flat surface of the land 12, side surfaces 17b and 17c rising from both circumferential ends of the bottom surface 17a toward the flat surface of the land 12, and a bottom surface 17a.
  • An end surface 17d that rises from the outer diameter edge to the inner diameter edge 16d and continues to the side surfaces 17b and 17c.
  • the side surface 17b continues flush with the side surface 16b of the inclined groove portion 16, and the side surface 17c continues flush with the side surface 16c of the inclined groove portion 16. That is, the fluid introduction groove portion 17 extends along the inclination of the inclined groove portion 16 from the inner diameter end edge 16d toward the downstream side in the relative rotation direction.
  • the fluid recovery groove portion 14 of one dynamic pressure generating groove 13 is arranged so as to radially overlap with the terminal end portion 13B of the other dynamic pressure generating groove 13 adjacent to the relative rotation upstream side on the outer diameter side.
  • the starting end surface 14d of the fluid recovery groove portion 14 of the dynamic pressure generating groove 13 is arranged near the side surface 16b of the inclined groove portion 16 of the dynamic pressure generating groove 13. As shown in FIG.
  • the fluid recovery groove portion 14 of the dynamic pressure generating groove 13 and the positive pressure generating groove portion 15 of the dynamic pressure generating groove 13 overlap in the radial direction over a wide range of length equal to or more than half the length in the circumferential direction.
  • FIG. 4(a) and 4(b) show cross sections cut along the arcuate fluid recovery groove 14 and the positive pressure generating groove 15, and FIG. A cross section cut parallel to the side surface 17b of the introduction groove portion 17 is shown.
  • the positive pressure generating groove portion 15 has a constant depth D1
  • the inclined groove portion 16 has a constant depth. has a height D2.
  • the depth D2 of the inclined groove portion 16 is deeper than the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15 (D1 ⁇ D2).
  • the depth D2 of the inclined groove portion 16 is approximately three to five times the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15 .
  • the fluid recovery groove portion 14 has a constant depth D2 that is the same as the depth D2 of the inclined groove portion 16. As shown in FIG. 4(b), the fluid recovery groove portion 14 has a constant depth D2 that is the same as the depth D2 of the inclined groove portion 16. As shown in FIG. 4(b), the fluid recovery groove portion 14 has a constant depth D2 that is the same as the depth D2 of the inclined groove portion 16. As shown in FIG. 4(b), the fluid recovery groove portion 14 has a constant depth D2 that is the same as the depth D2 of the inclined groove portion 16. As shown in FIG.
  • the fluid introduction groove 17 has a constant depth D3.
  • the depth D3 of the fluid introduction groove portion 17 is deeper than the depth D2 of the inclined groove portion 16 (D2 ⁇ D3).
  • the depth D3 of the fluid introduction groove portion 17 is about 1.5 to 2 times the depth D2 of the inclined groove portion 16, that is, about 4.5 to 10 times the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15. It's becoming
  • the sealed fluid F moves from the starting end portion 13A toward the inclined groove portion 16 as indicated by the arrow F1.
  • the fluid pressure at the starting end 13A becomes relatively lower than the surrounding fluid pressure.
  • a relative negative pressure is generated at the starting end portion 13A, and the sealed fluid F between the sliding surfaces 11, 21 around the starting end portion 13A is sucked into the fluid recovery groove portion 14 as indicated by the arrow F2.
  • the sealed fluid F moves from the outer diameter side toward the positive pressure generating groove portion 15 on the inner diameter side as indicated by the arrow F3. Since the depth D2 of the inclined groove portion 16 is deeper than the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15, a large amount of the sealed fluid F can be held in the inclined groove portion 16, and the sealed fluid F supplied to the positive pressure generating groove portion 15 is insufficient. can be suppressed.
  • the sealed fluid F moves from the inclined groove portion 16 toward the end portion 13B as indicated by the arrow F4.
  • the pressure of the sealed fluid F that has moved toward the terminal end 13B is increased at and near the terminal end 13B. That is, a positive pressure is generated at the end portion 13B of the hydrodynamic groove 13 and its vicinity.
  • the sliding surfaces 11 and 21 are slightly separated from each other by the force of the positive pressure generated at the end portion 13B of the dynamic pressure generating groove 13 and its vicinity (not shown).
  • the sealed fluid F in the dynamic pressure generating groove 13 flows into between the sliding surfaces 11 and 21 as indicated by an arrow F5.
  • the sealed fluid F between the sliding surfaces 11 and 21 By interposing the sealed fluid F between the sliding surfaces 11 and 21 in this manner, lubricity is improved, and wear between the sliding surfaces 11 and 21 can be suppressed. Since the floating distance between the sliding surfaces 11 and 21 is small, the amount of the sealed fluid F that flows out from the dynamic pressure generating groove 13 between the sliding surfaces 11 and 21 is small, Even if it flows out, it is recovered by the fluid recovery groove portion 14, so that it hardly leaks into the outer space S2.
  • the sealed fluid F moves from the inner space S1 toward the inclined groove portion 16 as indicated by an arrow F6. Since the depth D3 of the fluid introduction groove portion 17 is deeper than the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15 and the depth D2 of the inclined groove portion 16, a large amount of the sealed fluid F can be retained. Insufficient supply of the sealed fluid F to the can be suppressed.
  • the shear force of the sliding surface 21 is less likely to act on the sealed fluid F in the fluid introduction groove portion 17 than on the sealed fluid F in the positive pressure generating groove portion 15 and the inclined groove portion 16 .
  • the sealed fluid F flows more easily from the inclined groove portion 16 than from the fluid introduction groove portion 17 . Therefore, the sealed fluid F smoothly flows from the inclined groove portion 16 to the positive pressure generating groove portion 15 .
  • the fluid recovery groove portion 14 and the positive pressure generating groove portion 15 are communicated with each other by the inclined groove portion 16 extending from the fluid recovery groove portion 14 toward the downstream side in the relative rotation direction. According to this, when the stationary seal ring 10 and the rotary seal ring 20 rotate relative to each other, the sealed fluid F recovered in the fluid recovery groove portion 14 on the side of the starting end portion 13A tilts toward the downstream side in the relative rotation direction. Since it smoothly moves along the extending inclined groove portion 16 and is introduced into the positive pressure generating groove portion 15 , positive pressure can be reliably generated at the end portion 13B of the dynamic pressure generating groove 13 .
  • the downstream end of the fluid recovery groove portion 14 and the upstream end of the positive pressure generation groove portion 15 are communicated by the inclined groove portion 16 . According to this, the fluid to be sealed F can be smoothly moved without stagnation in the communicating portion between the fluid recovery groove portion 14 and the inclined groove portion 16 and the communicating portion between the positive pressure generating groove portion 15 and the inclined groove portion 16 .
  • the depth D2 of the inclined groove portion 16 is deeper than the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15, and a large amount of the sealed fluid F can be held in the inclined groove portion 16. Insufficient sealing fluid F can be suppressed. Furthermore, since the sealed fluid F in the inclined groove portion 16 is not depleted due to the relative rotation, cavitation is less likely to occur in the positive pressure generating groove portion 15 .
  • the sealed fluid F is introduced into the positive pressure generation groove portion 15 from the inclined groove portion 16, and the sealed fluid F is also introduced from the inner space S1 through the fluid introduction groove portion 17.
  • a sufficient positive pressure can be generated at the end portion 13B of the pressure generating groove 13 .
  • the positive pressure generating groove portion 15 communicates with the side surface 16b of the inclined groove portion 16 on the downstream side, and the fluid introduction groove portion 17 communicates with the inner diameter edge 16d of the inclined groove portion 16. According to this, since a large communication area between the inclined groove portion 16 and the positive pressure generating groove portion 15 can be secured, the flow of the sealed fluid F flowing from the inclined groove portion 16 toward the positive pressure generating groove portion 15 is inclined from the fluid introducing groove portion 17. It is possible to suppress obstruction by the flow of the sealed fluid F introduced into the groove portion 16 .
  • the fluid introduction groove portion 17 is inclined toward the downstream side in the relative rotation direction. That is, since the opening of the fluid introduction groove portion 17 on the inner space S1 side faces the downstream side in the relative rotation direction, the sealed fluid F is excessively introduced into the inclined groove portion 16 through the fluid introduction groove portion 17 from the inner space S1. can be suppressed, and the flow of the sealed fluid F introduced from the inclined groove portion 16 into the positive pressure generating groove portion 15 can be prevented from being obstructed.
  • the sealed fluid F in the fluid introduction groove portion 17 has a greater impact on the sliding surface than the sealed fluid F in the inclined groove portion 16.
  • the shearing force of 21 is less likely to act, and the positive pressure generation groove 15 is more likely to flow from the inclined groove 16 than from the fluid introduction groove 17 . That is, it is possible to prevent the flow of the sealed fluid F flowing from the fluid introduction groove portion 17 to the inclined groove portion 16 from obstructing the flow of the sealed fluid F introduced from the inclined groove portion 16 into the positive pressure generating groove portion 15.
  • the sealed fluid F smoothly flows from the inclined groove portion 16 toward the positive pressure generating groove portion 15 .
  • the fluid recovery groove portion 14 of one dynamic pressure generating groove 13 is arranged so as to radially overlap with the terminal end portion 13B of the other dynamic pressure generating groove 13 adjacent to the relative rotation upstream side on the outer diameter side. Therefore, the fluid recovery groove portion 14 of one dynamic pressure generating groove 13 can easily recover the sealed fluid F moving from the end portion 13B of the other dynamic pressure generating groove 13 toward the outer space S2.
  • the fluid recovery groove portion 14 of the dynamic pressure generating groove 13 is arranged close to the side surface 16b of the inclined groove portion 16 of the dynamic pressure generating groove 13', the fluid recovery groove portion 14 of the dynamic pressure generating groove 13 and the positive pressure generating groove portion 15 of the dynamic pressure generating groove 13 are overlapped in the radial direction over a wide range that is more than half the length in the circumferential direction.
  • the sealed fluid F moving toward S ⁇ b>2 can be reliably recovered by the fluid recovery groove portion 14 of the one dynamic pressure generating groove 13 .
  • the inner space S1 on the inner diameter side serves as a sealed fluid space
  • the outer space S2 on the outer diameter side serves as a leakage space.
  • the fluid recovery groove portion 14 is formed to be longer in the circumferential direction than the positive pressure generation groove portion 15 , so that the sealed fluid F can be easily recovered in the fluid recovery groove portion 14 .
  • the downstream end of the fluid recovery groove portion 14 and the upstream end of the positive pressure generating groove portion 15 are communicated with each other by the inclined groove portion 16 .
  • a portion of the fluid recovery groove portion 14 may extend to the downstream side of the relative rotation relative to the inclined groove portion 16 .
  • a part of the positive pressure generating groove portion 15 may extend to the relative rotation upstream side of the inclined groove portion 16 .
  • a part of the inclined groove portion 16 may extend to the outer diameter side of the fluid recovery groove portion 14 or to the inner diameter side of the positive pressure generating groove portion 15 .
  • the inclined groove portion 16 extends linearly between the fluid recovery groove portion 14 and the positive pressure generating groove portion 15. 15 and may extend curvedly.
  • the fluid recovery groove portion 14 may be shallower or deeper toward the inclined groove portion 16, for example.
  • the fluid recovery groove portion 14 may be gradually shallower or deeper in the shape of an inclined surface, or may be shallower or deeper in the shape of a step.
  • the inclined groove portion 16 may be shallower or deeper from the outer diameter to the inner diameter, for example.
  • the inclined groove portion 16 may be gradually shallower or deeper like an inclined plane, or may be shallower or deeper like a step.
  • the fluid introduction groove portion 17 may be shallower or deeper toward the inclined groove portion 16, for example.
  • the fluid introduction groove portion 17 may be gradually shallower or deeper in the shape of an inclined surface, or may be shallower or deeper in the shape of a step.
  • the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15 is constant, but for example, the positive pressure generating groove portion 15 may be shallower toward the end portion 13B.
  • the positive pressure generating groove portion 15 may be gradually shallowed like an inclined surface, or may be shallowed stepwise.
  • the stationary seal ring 210 of the second embodiment differs from that of the first embodiment in that the fluid introduction groove portion 217 extends in the radial direction. ing.
  • the fluid introduction groove portion 217 extends radially. That is, since the opening of the fluid introduction groove portion 217 on the side of the inner space S1 faces the center of the stationary seal ring 210, the sealed fluid F moves from the inner space S1 through the fluid introduction groove portion 217 as compared with the first embodiment. It is easily introduced into the pressure generating groove 13 (that is, the inclined groove portion 16), and a high positive pressure is generated at the end portion 13B.
  • the stationary seal ring 310 of Example 3 differs from Examples 1 and 2 in that the fluid introduction groove portion 317 is inclined toward the upstream side in the relative rotation direction. It has the same configuration as the first and second embodiments.
  • the fluid introduction groove portion 317 is inclined toward the upstream side in the relative rotation direction. That is, since the opening of the fluid introduction groove portion 317 on the inner space S1 side faces the upstream side in the relative rotation direction, the sealed fluid F flows from the inner space S1 through the fluid introduction groove portion 317 as compared with the first and second embodiments. It is easily introduced into the dynamic pressure generating groove 13 (that is, the inclined groove portion 16), and a high positive pressure is generated at the end portion 13B.
  • the dynamic pressure generating groove 413 of the stationary seal ring 410 of the fourth embodiment includes a fluid recovery groove portion 414 as a first groove portion extending in the circumferential direction on the starting end portion 413A side and a fluid recovery groove portion 414 on the terminal end portion 413B side.
  • a fluid recovery groove portion 414 as a first groove portion extending in the circumferential direction on the starting end portion 413A side and a fluid recovery groove portion 414 on the terminal end portion 413B side.
  • the second groove portion 413C extends downstream in the relative rotation direction from the inner diameter side end of the inclined groove portion 416, and includes a deep groove portion 418 having the same depth as the inclined groove portion 416, and a deep groove portion 418 extending downstream in the relative rotation direction from the deep groove portion 418. and a positive pressure generating groove portion 415 shallower than the portion 418 .
  • the fluid introduction groove portion 417 radially extends from the downstream end portion of the deep groove portion 418 in the relative rotation direction toward the inner space S1.
  • the sealed fluid recovered in the fluid recovery groove portion 414 F smoothly moves along the inclined groove portion 16 to the deep groove portion 418 and is smoothly introduced into the positive pressure generating groove portion 415 .
  • the stationary seal ring 510 of Example 5 differs from Example 1 in the depth of the inclined groove portion 516, and has the same configuration as Example 1 in other respects.
  • the inclined groove portion 516 of the stationary seal ring 510 of Embodiment 5 has a constant depth D4.
  • the depth D4 of the inclined groove portion 516 is deeper than the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15 and shallower than the depth D2 of the fluid recovery groove portion 14 and the depth D3 of the fluid introduction groove portion 17 (D1 ⁇ D4 ⁇ D2 ⁇ D3 ).
  • the depth D4 of the inclined groove portion 516 is about two to three times the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15. Further, the depth D4 of the inclined groove portion 516 is about 1/2 to 1/3 of the depth D2 of the fluid recovery groove portion 14. As shown in FIG.
  • the depth D4 of the inclined groove portion 516 is deeper than the depth D1 of the positive pressure generating groove portion 15, shortage of the sealed fluid F supplied to the positive pressure generating groove portion 15 can be suppressed.
  • the sealed fluid F in the inclined groove portion 516 is more sensitive to the sealed fluid F in the fluid introduction groove portion 17 than the sealed fluid F in the fluid introduction groove portion 17. Shear force acts easily.
  • Example 6 differs from Example 1 in that no fluid introduction groove is provided, and otherwise has the same configuration as Example 1.
  • the dynamic pressure generating groove 613 of the stationary seal ring 610 of the sixth embodiment has a dimple shape that does not communicate with the inner space S1 and the outer space S2. According to this, the sealed fluid F that has flowed between the sliding surfaces 11 and 21 is sucked in the vicinity of the starting end 613A, moves in the dynamic pressure generating groove 613, and concentrates in the vicinity of the terminal end 613B, generating a positive pressure. It is supposed to occur.
  • the dynamic pressure generating grooves and the fluid introduction grooves are provided in the stationary seal ring, but the dynamic pressure generating grooves and the fluid introduction grooves may be provided in the rotary seal ring.
  • the sliding component of the present invention may be a stationary seal ring or a rotating seal ring.
  • the sealed fluid space side has been described as the high pressure side and the leak space side has been described as the low pressure side, but the sealed fluid side and the leak side may have substantially the same pressure.
  • the inner diameter side is the sealed fluid space side and the outer diameter side is the leakage space side
  • the outer diameter side may be the sealed fluid space side and the inner diameter side may be the leakage space side.
  • the second groove is arranged on the outer diameter side and the first groove is arranged on the inner diameter side.
  • Fig. 11 shows a modified example 1-1 in which the arrangement of the dynamic pressure generating grooves 13' and the fluid introducing grooves 17' of the first embodiment is opposite to that of the first embodiment in the radial direction.
  • FIG. 12 shows a modified example 1-2 in which another dynamic pressure generating groove 99 is provided in addition to the dynamic pressure generating groove 13 of the first embodiment.
  • the second groove is arranged on the sealed fluid space side and the first groove is arranged on the leakage space side, but sufficient negative pressure is applied to the first groove.
  • the first groove may be arranged on the sealed fluid space side, and the second groove may be arranged on the leakage space side of the first groove, as long as the leakage occurs.
  • the sealed fluid F is described as a high-pressure liquid, but it is not limited to this, and may be a gas or a low-pressure liquid, or may be a mist mixture of liquid and gas. good too.
  • the fluid on the side of the leakage space was explained to be the atmosphere A, which is a low-pressure gas. It may be in the form of a mixed mist.
  • the first groove and the second groove are not limited to being provided concentrically with the stationary seal ring, and may be inclined in the circumferential direction and the radial direction. That is, the first groove portion and the second groove portion have a component extending in the circumferential direction, and may be communicated with each other by the inclined groove portion that is inclined in the circumferential direction and the radial direction.
  • the inclined groove is formed at least deeper than the portion near the terminal end of the second groove, but the inclined groove is formed to the same depth as the second groove. good too.
  • the slanted groove is shallower than the fluid introduction groove, but the slanted groove may be formed to the same depth as the fluid introduction groove.
  • the fluid introduction groove portion does not directly communicate with the second groove portion, but part or all of the end opening of the fluid introduction groove portion directly communicates with the second groove portion.

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Abstract

動圧発生溝の終端部で正圧を確実に生じさせることができる摺動部品を提供する。　回転機械の相対回転する箇所に配置され他の摺動部品２０と相対摺動し、その摺動面１１には、始端部１３Ａ及び終端部１３Ｂを有する動圧発生溝１３が設けられた摺動部品１０であって、動圧発生溝１３は、始端部１３Ａ側で周方向に延びる第１溝部１４と終端部１３Ｂ側で周方向に延びる第２溝部１５が周方向および径方向にずれて配置されており、第１溝部１４と第２溝部１５は、第１溝部１４から相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びる傾斜溝部１６により連通されている。

Description

摺動部品
　本発明は、相対回転する摺動部品に関し、例えば自動車、一般産業機械、あるいはその他のシール分野の回転機械の回転軸を軸封する軸封装置に用いられる摺動部品、または自動車、一般産業機械、あるいはその他の軸受分野の機械の軸受に用いられる摺動部品に関する。
　回転機械において回転軸周辺の被密封流体の漏れを防止する軸封装置として、例えば相対回転し摺動面同士が摺動する一対の環状の摺動部品からなるメカニカルシールが知られている。このようなメカニカルシールにおいては、近年、環境対策等のために摺動により失われるエネルギーの低減が望まれており、摺動部品の摺動面に正圧発生溝を設けているものがある。
　例えば、特許文献１に示されるメカニカルシールは、一方の摺動部品の摺動面に動圧発生溝が周方向に複数設けられている。この動圧発生溝は、相対回転上流側の始端部を有し周方向に延びる第１溝部と、相対回転下流側の終端部を有し周方向に延びる第２溝部と、を備えている。第１溝部と第２溝部とは、径方向にずれており、第１溝部の下流側の端部と第２溝部の上流側の端部が径方向に連通している。すなわち、動圧発生溝は平面視クランク状をなしている。
　摺動部品の相対回転時には、動圧発生溝内に存在する被密封流体が終端部に向けて移動し、該終端部で被密封流体が集中して正圧が発生することで摺動面同士が離間するとともに、摺動面に被密封流体の流体膜が形成されることで潤滑性が向上し、低摩擦化を実現している。一方、動圧発生溝の始端部近傍では相対的な負圧が生じ、摺動面に流出した被密封流体が動圧発生溝内に吸い込まれるため、漏れ空間への被密封流体の漏れを少なくすることができるようになっている。
国際公開第２０１４／０５０９２０号（第８頁、第２図）
　特許文献１の摺動部品にあっては、動圧発生溝の始端部で生じる相対的な負圧により動圧発生溝内に吸い込まれた摺動面間の被密封流体が動圧発生溝の終端部に移動して正圧が発生するようになっている。しかしながら、特許文献１のような摺動部品にあっては、動圧発生溝の第１溝部と第２溝部を繋ぐ連通部分が第１溝部及び第２溝部と略直交するように径方向に延びているため、第１溝部と連通部分との境界部分及び第２溝部と連通部分との境界部分には平面視で略直角をなす角部が形成され、この角部近傍で渦が生じやすくなっている。これにより動圧発生溝内に吸い込まれた被密封流体が終端部に移動しにくくなり、動圧発生溝の終端部に供給される被密封流体が不足して正圧が生じにくくなってしまう虞があった。
　本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、動圧発生溝の終端部で正圧を確実に生じさせることができる摺動部品を提供することを目的とする。
　前記課題を解決するために、本発明の摺動部品は、
　回転機械の相対回転する箇所に配置され他の摺動部品と相対摺動し、その摺動面には、始端部及び終端部を有する動圧発生溝が設けられた摺動部品であって、
　前記動圧発生溝は、前記始端部側で周方向に延びる第１溝部と前記終端部側で周方向に延びる第２溝部が周方向および径方向にずれて配置されており、
　前記第１溝部と前記第２溝部は、該第１溝部から相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びる傾斜溝部により連通されている。
　これによれば、摺動部品の相対回転時には、始端部側の第１溝部で回収された被密封流体が、相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びる傾斜溝部に沿って円滑に移動し第２溝部に導入されるため、動圧発生溝の終端部で正圧を確実に生じさせることができる。
　前記第１溝部の相対回転下流側の端部と、前記第２溝部の相対回転上流側の端部と、が前記傾斜溝部により連通されていてもよい。
　これによれば、第１溝部と傾斜溝部との連通部分、第２溝部と傾斜溝部との連通部分で被密封流体が淀むことなく円滑に移動させることができる。
　前記傾斜溝部は前記第２溝部よりも深くてもよい。
　これによれば、傾斜溝部から第１溝部に供給される被密封流体が不足することを抑制できる。また、第１溝部においてキャビテーションが発生しにくい。
　前記第２溝部と被密封流体空間とを連通する流体導入溝部を有していてもよい。
　これによれば、第２溝部には、傾斜溝部から被密封流体が導入されることに加え、被密封流体空間からも流体導入溝部を通じて被密封流体が導入されるため、動圧発生溝の終端部で十分な正圧を発生させることができる。
　前記第２溝部は前記傾斜溝部の下流側端部の側面に連通されており、
　前記流体導入溝部は前記傾斜溝部の下流側端部の端面に連通されていてもよい。
　これによれば、傾斜溝部と第２溝部との連通領域を大きく確保できるため、傾斜溝部から第２溝部に向けて流れる被密封流体の流れが流体導入溝部から傾斜溝部内に導入される被密封流体の流れにより阻害されることを抑制できる。
　前記流体導入溝部は、相対回転方向下流側に向けて傾斜していてもよい。
　これによれば、被密封流体が被密封流体空間から流体導入溝部を通じて傾斜溝部内に過剰に導入されることを抑制でき、傾斜溝部から第２溝部内に導入される被密封流体の流れが阻害されることを回避できる。
　前記流体導入溝部は前記傾斜溝部よりも深くてもよい。
　これによれば、傾斜溝部は流体導入溝部よりも浅いため、流体導入溝部内の被密封流体よりも傾斜溝部内の被密封流体に摺動面のせん断力が作用しやすく、傾斜溝部から第２溝部内に被密封流体が優位に流れやすい。
　一の前記動圧発生溝の前記第１溝部は、相対回転上流側に隣接する他の前記動圧発生溝の前記終端部よりも漏れ空間側で径方向に重畳するように配置されていてもよい。
　これによれば、他の動圧発生溝の終端部から漏れ空間に向かって移動する被密封流体を一の動圧発生溝の第１溝部で回収しやすい。
本発明の実施例１におけるメカニカルシールの一例を示す縦断面図である。 実施例１における静止密封環の摺動面を軸方向から見た図である。 実施例１における静止密封環の摺動面を軸方向から見た拡大図である。 （ａ）は図３のＡ－Ａ断面図、（ｂ）は同じくＢ－Ｂ断面図、（ｃ）は同じくＣ－Ｃ断面図である。 本発明の実施例２における静止密封環の摺動面を軸方向から見た拡大図である。 本発明の実施例３における静止密封環の摺動面を軸方向から見た拡大図である。 本発明の実施例４における静止密封環の摺動面を軸方向から見た拡大図である。 本発明の実施例５における静止密封環の摺動面を軸方向から見た拡大図である。 （ａ）は図８のＤ－Ｄ断面図、（ｂ）は同じくＥ－Ｅ断面図である。 本発明の実施例６における静止密封環の摺動面を軸方向から見た拡大図である。 実施例１の変形例１－１の静止密封環の摺動面を軸方向から見た図である。 実施例１の変形例１－２の静止密封環の摺動面を軸方向から見た図である。
　本発明に係る摺動部品を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
　実施例１に係る摺動部品につき、図１から図４を参照して説明する。尚、本実施例においては、メカニカルシールの内空間Ｓ１に被密封流体Ｆが存在し、外空間Ｓ２に大気Ａが存在しており、メカニカルシールを構成する摺動部品の内径側を被密封流体空間側（高圧側）、外径側を漏れ空間側（低圧側）として説明する。また、説明の便宜上、図面において、摺動面に形成される溝等にドットを付すこともある。
　図１に示される自動車用のメカニカルシールは、摺動面の内径側から外径側に向かって漏れようとする内空間Ｓ１内の被密封流体Ｆを密封し外空間Ｓ２が大気Ａに通ずるアウトサイド形のものである。尚、本実施例では、被密封流体Ｆが高圧の液体であり、大気Ａが被密封流体Ｆよりも低圧の気体である形態を例示する。
　メカニカルシールは、回転軸１にスリーブ２を介して回転軸１と共に回転可能な状態で設けられた円環状の他の摺動部品としての回転密封環２０と、被取付機器のハウジング４に固定されたシールカバー５に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた摺動部品としての円環状の静止密封環１０と、から主に構成され、弾性部材７によって静止密封環１０が軸方向に付勢されることにより、静止密封環１０の摺動面１１と回転密封環２０の摺動面２１とが互いに密接摺動するようになっている。尚、回転密封環２０の摺動面２１は平坦面となっており、この平坦面には溝等の凹み部が設けられていない。
　静止密封環１０及び回転密封環２０は、代表的にはＳｉＣ（硬質材料）同士またはＳｉＣ（硬質材料）とカーボン（軟質材料）の組み合わせで形成されるが、これに限らず、摺動材料はメカニカルシール用摺動材料として使用されているものであれば適用可能である。尚、ＳｉＣとしては、ボロン、アルミニウム、カーボン等を焼結助剤とした焼結体をはじめ、成分、組成の異なる２種類以上の相からなる材料、例えば、黒鉛粒子の分散したＳｉＣ、ＳｉＣとＳｉからなる反応焼結ＳｉＣ、ＳｉＣ－ＴｉＣ、ＳｉＣ－ＴｉＮ等があり、カーボンとしては、炭素質と黒鉛質の混合したカーボンをはじめ、樹脂成形カーボン、焼結カーボン等が利用できる。また、上記摺動材料以外では、金属材料、樹脂材料、表面改質材料（コーティング材料）、複合材料等も適用可能である。
　図２及び図３に示されるように、静止密封環１０に対して回転密封環２０が実線矢印で示すように反時計回りに相対摺動するようになっている。
　静止密封環１０の摺動面１１には、複数の動圧発生溝１３が周方向に均等に配設（本実施例では８個）されている。
　また、摺動面１１における動圧発生溝１３以外の部分は平坦面を成すランド１２となっている。詳しくは、ランド１２は、周方向に隣接する動圧発生溝１３の間のランド部と、動圧発生溝１３の外径側のランド部と、を有し、これら各ランド部は、同一平面状に配置されランド１２の平坦面を構成している。さらに、動圧発生溝１３の外径側のランド部は周方向に途切れることなく環状をなしている。
　動圧発生溝１３は、第１溝部としての流体回収溝部１４と、第２溝部としての正圧発生溝部１５と、正圧発生溝部１５と流体回収溝部１４とを連通する傾斜溝部１６と、傾斜溝部１６と内空間Ｓ１とを連通する流体導入溝部１７と、から主に構成されている。
　図３に示されるように、流体回収溝部１４は、静止密封環１０と同心円状に周方向に延びている。
　詳しくは、流体回収溝部１４は、主にランド１２の平坦面と平行に周方向に延びる底面１４ａと、底面１４ａの径方向両端縁からランド１２の平坦面に向けて立ち上がる側面１４ｂ，１４ｃと、底面１４ａの相対回転方向上流側の周方向端縁からランド１２の平坦面に向けて立ち上がるととともに側面１４ｂ，１４ｃに連なる始端面１４ｄと、から構成されている。以下、流体回収溝部１４における始端面１４ｄ近傍の部位を、動圧発生溝１３の始端部１３Ａという。始端部１３Ａは閉塞形状をなしその周囲はランド１２に囲まれている。
　正圧発生溝部１５は、流体回収溝部１４よりも相対回転下流側、かつ内径側にずれた位置において静止密封環１０と同心円状に周方向に延びている。
　詳しくは、正圧発生溝部１５は、主にランド１２の平坦面と平行に周方向に延びる底面１５ａと、底面１５ａの径方向両端縁からランド１２の平坦面に向けて立ち上がる側面１５ｂ，１５ｃと、底面１５ａの相対回転方向下流側の周方向端縁からランド１２の平坦面に向けて立ち上がるととともに側面１５ｂ，１５ｃに連なる終端面１５ｄと、から構成されている。以下、正圧発生溝部１５における終端面１５ｄ近傍の部位を、動圧発生溝１３の終端部１３Ｂという。終端部１３Ｂは閉塞形状をなしその周囲はランド１２に囲まれている。
　傾斜溝部１６は、流体回収溝部１４と正圧発生溝部１５との間で流体回収溝部１４から相対回転方向下流側に向けて傾斜して直線状に延び、流体回収溝部１４と正圧発生溝部１５とを連通している。
　詳しくは、傾斜溝部１６は、主にランド１２の平坦面と平行に延びる底面１６ａと、底面１６ａの周方向両端縁からランド１２の平坦面に向けて立ち上がる側面１６ｂ，１６ｃと、から構成されている。底面１６ａの外径端縁部は、流体回収溝部１４の相対回転下流側の端部と重なり合っている。
　傾斜溝部１６の相対回転方向下流側に配置される側面１６ｂの外径側、すなわち側面１６ｂの上流側端部には流体回収溝部１４の外径側の側面１４ｂが連続している。
　傾斜溝部１６の相対回転方向上流側に配置される側面１６ｃの外径側、すなわち側面１６ｃの上流側端部には流体回収溝部１４の内径側の側面１４ｃが連続している。
　流体回収溝部１４の相対回転下流側の端部と、傾斜溝部１６の相対回転上流側の端部とは連通されている。
　傾斜溝部１６の側面１６ｂの内径側、すなわち側面１６ｂの下流側端部には正圧発生溝部１５の外径側の側面１５ｂが連続している。
　傾斜溝部１６の内径端縁１６ｄには、ランド１２に向けて立ち上がる正圧発生溝部１５の内径側の側面１５ｃが同心円弧状かつ深さ方向に段状に連続している。
　正圧発生溝部１５の相対回転上流側の端部と傾斜溝部１６の相対回転下流側の端部とは連通している。
　流体導入溝部１７は、傾斜溝部１６の底面１６ａの内径端縁１６ｄ、すなわち傾斜溝部１６の下流側端部の端面に連通し、該内径端縁１６ｄから静止密封環１０の内周面１０ａまで延びている。
　詳しくは、流体導入溝部１７は、主にランド１２の平坦面と平行に延びる底面１７ａと、底面１７ａの周方向両端縁からランド１２の平坦面に向けて立ち上がる側面１７ｂ，１７ｃと、底面１７ａの外径端縁から内径端縁１６ｄまで立ち上がり側面１７ｂ，１７ｃに連なる端面１７ｄと、から構成されている。
　側面１７ｂは、傾斜溝部１６の側面１６ｂと同一平面状に連続し、側面１７ｃは、傾斜溝部１６の側面１６ｃと同一平面状に連続している。すなわち、流体導入溝部１７は、傾斜溝部１６の傾斜に沿って内径端縁１６ｄから相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びている。
　また、一の動圧発生溝１３の流体回収溝部１４は、相対回転上流側に隣接する他の動圧発生溝１３の終端部１３Ｂよりも外径側で径方向に重畳するように配置されている。また、動圧発生溝１３の流体回収溝部１４の始端面１４ｄは、動圧発生溝１３の傾斜溝部１６の側面１６ｂに近くに配置されている。動圧発生溝１３の流体回収溝部１４と動圧発生溝１３の正圧発生溝部１５とは、周方向の長さの半分以上の長さの広い範囲で径方向に重畳している。
　次いで、図４に基づいて、動圧発生溝１３の各部位の深さ関係について説明する。尚、図４（ａ）（ｂ）では、円弧状を成す流体回収溝部１４および正圧発生溝部１５に沿って切断した断面を図示し、図４（ｃ）では傾斜溝部１６の側面１６ｂ、流体導入溝部１７の側面１７ｂと平行に切断した断面を図示している。
　図４（ａ）に示されるように、正圧発生溝部１５は一定の深さＤ１を有しているとともに、図４（ａ）（ｂ）に示されるように、傾斜溝部１６は一定の深さＤ２を有している。
　傾斜溝部１６の深さＤ２は、正圧発生溝部１５の深さＤ１よりも深い（Ｄ１＜Ｄ２）。例えば、傾斜溝部１６の深さＤ２は正圧発生溝部１５の深さＤ１の３倍～５倍程度の深さとなっている。
　また、図４（ｂ）に示されるように、流体回収溝部１４は傾斜溝部１６の深さＤ２と同じ一定の深さＤ２を有している。
　また、図４（ｃ）に示されるように、流体導入溝部１７は、一定の深さＤ３を有している。この流体導入溝部１７の深さＤ３は、傾斜溝部１６の深さＤ２よりも深い（Ｄ２＜Ｄ３）。例えば、流体導入溝部１７の深さＤ３は傾斜溝部１６の深さＤ２の１．５倍～２倍程度、すなわち正圧発生溝部１５の深さＤ１の４．５倍～１０倍程度の深さとなっている。
　次いで、静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転時の動作について図３を用いて説明する。尚、図３の被密封流体Ｆの流れについては、わかりやすく説明するために、動圧発生溝１３の上流側の流れを白太矢印Ｆ１～３で示し、動圧発生溝１３の下流側の流れを黒太矢印Ｆ４，Ｆ５で示し、内空間Ｓ１から動圧発生溝１３内に導入される流れを黒細矢印Ｆ６で示している。
　まず、回転密封環２０が回転していない停止時には、被密封流体Ｆが動圧発生溝１３内に流入している。尚、弾性部材７によって静止密封環１０が回転密封環２０側に付勢されているので摺動面１１，２１同士は接触状態となっており、摺動面１１，２１間の被密封流体Ｆが外空間Ｓ２に漏れ出す量はほぼない。
　図３に示されるように、回転密封環２０が静止密封環１０に対して相対回転すると、動圧発生溝１３内の被密封流体Ｆが摺動面２１とのせん断により回転密封環２０の回転方向に追随移動する。
　具体的には、流体回収溝部１４内では、被密封流体Ｆが矢印Ｆ１に示すように始端部１３Ａから傾斜溝部１６に向かって移動する。これにより始端部１３Ａの流体圧は、周辺の流体圧よりも相対的に低くなる。言い換えれば、始端部１３Ａには相対的な負圧が生じ、始端部１３Ａの周辺の摺動面１１，２１間の被密封流体Ｆが矢印Ｆ２に示すように流体回収溝部１４内に吸い込まれる。
　また、傾斜溝部１６内では、被密封流体Ｆが矢印Ｆ３に示すようにその外径側から内径側の正圧発生溝部１５に向かって移動する。傾斜溝部１６の深さＤ２は正圧発生溝部１５の深さＤ１よりも深いため、傾斜溝部１６に多く被密封流体Ｆを保持でき、正圧発生溝部１５に供給される被密封流体Ｆが不足することを抑制できる。
　また、正圧発生溝部１５内では、被密封流体Ｆが矢印Ｆ４に示すように傾斜溝部１６から終端部１３Ｂに向かって移動する。終端部１３Ｂに向かって移動した被密封流体Ｆは、終端部１３Ｂ及びその近傍で圧力が高められる。すなわち動圧発生溝１３の終端部１３Ｂ及びその近傍で正圧が発生する。
　正圧発生溝部１５の深さＤ１は浅いため、回転密封環２０の回転速度が低速につき被密封流体Ｆの移動量が少なくても動圧発生溝１３の終端部１３Ｂ及びその近傍にて正圧が発生する。
　また、動圧発生溝１３の終端部１３Ｂ及びその近傍で発生した正圧による力により、摺動面１１，２１間が若干離間される（図示略）。これにより、摺動面１１，２１間には、主に矢印Ｆ５に示すように動圧発生溝１３内の被密封流体Ｆが流入する。このように摺動面１１，２１間に被密封流体Ｆが介在することにより潤滑性が向上し、摺動面１１，２１同士の摩耗を抑制することができる。尚、摺動面１１，２１同士の浮上距離が僅かであるため、動圧発生溝１３から摺動面１１，２１間に流出する被密封流体Ｆは少なく、かつ摺動面１１，２１間に流出しても流体回収溝部１４により回収されるため、外空間Ｓ２にはほとんど漏れ出さないようになっている。
　また、流体導入溝部１７内では、被密封流体Ｆが矢印Ｆ６に示すように内空間Ｓ１から傾斜溝部１６に向かって移動する。流体導入溝部１７の深さＤ３は、正圧発生溝部１５の深さＤ１、傾斜溝部１６の深さＤ２よりも深いので、被密封流体Ｆを多量に保持することができ、正圧発生溝部１５への被密封流体Ｆの供給が不足することを抑制できる。
　さらに、流体導入溝部１７内の被密封流体Ｆには、正圧発生溝部１５および傾斜溝部１６内の被密封流体Ｆに比べ摺動面２１のせん断力が作用しにくく、正圧発生溝部１５には流体導入溝部１７からよりも傾斜溝部１６から被密封流体Ｆが流れやすくなっている。そのため、被密封流体Ｆが傾斜溝部１６から正圧発生溝部１５に円滑に流れる。
　以上説明したように、流体回収溝部１４と正圧発生溝部１５は、該流体回収溝部１４から相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びる傾斜溝部１６により連通されている。これによれば、静止密封環１０と回転密封環２０との相対回転時には、始端部１３Ａ側の流体回収溝部１４で回収された被密封流体Ｆが、相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びる傾斜溝部１６に沿って円滑に移動し正圧発生溝部１５に導入されるため、動圧発生溝１３の終端部１３Ｂで正圧を確実に生じさせることができる。
　また、流体回収溝部１４の相対回転下流側の端部と、正圧発生溝部１５の相対回転上流側の端部と、が傾斜溝部１６により連通されている。これによれば、流体回収溝部１４と傾斜溝部１６との連通部分、正圧発生溝部１５と傾斜溝部１６との連通部分で被密封流体Ｆが淀むことなく円滑に移動させることができる。
　また、傾斜溝部１６の深さＤ２は正圧発生溝部１５の深さＤ１よりも深くなっており、傾斜溝部１６に多く被密封流体Ｆを保持できるため、正圧発生溝部１５に供給される被密封流体Ｆが不足することを抑制できる。さらに、傾斜溝部１６内の被密封流体Ｆが相対回転により枯渇しないため、正圧発生溝部１５においてキャビテーションが発生しにくい。
　また、正圧発生溝部１５と内空間Ｓ１とを連通する流体導入溝部１７を有している。これによれば、正圧発生溝部１５には、傾斜溝部１６から被密封流体Ｆが導入されることに加え、内空間Ｓ１からも流体導入溝部１７を通じて被密封流体Ｆが導入されるため、動圧発生溝１３の終端部１３Ｂで十分な正圧を発生させることができる。
　また、正圧発生溝部１５は傾斜溝部１６の下流側端部の側面１６ｂに連通されており、流体導入溝部１７は傾斜溝部１６の内径端縁１６ｄに連通されている。これによれば、傾斜溝部１６と正圧発生溝部１５との連通領域を大きく確保できるため、傾斜溝部１６から正圧発生溝部１５に向けて流れる被密封流体Ｆの流れが流体導入溝部１７から傾斜溝部１６内に導入される被密封流体Ｆの流れにより阻害されることを抑制できる。
　また、流体導入溝部１７は、相対回転方向下流側に向けて傾斜している。すなわち、流体導入溝部１７の内空間Ｓ１側の開口は、相対回転方向下流側を向いているため、被密封流体Ｆが内空間Ｓ１から流体導入溝部１７を通じて傾斜溝部１６内に過剰に導入されることを抑制でき、傾斜溝部１６から正圧発生溝部１５内に導入される被密封流体Ｆの流れが阻害されることを回避できる。
　また、流体導入溝部１７の深さＤ３は傾斜溝部１６の深さＤ２よりも深いため、流体導入溝部１７内の被密封流体Ｆには、傾斜溝部１６内の被密封流体Ｆに比べ摺動面２１のせん断力が作用しにくく、正圧発生溝部１５には流体導入溝部１７からよりも傾斜溝部１６から流れやすくなっている。すなわち、流体導入溝部１７から傾斜溝部１６に流れる被密封流体Ｆの流れにより、傾斜溝部１６から正圧発生溝部１５内に導入される被密封流体Ｆの流れが阻害されることを回避できるため、被密封流体Ｆが傾斜溝部１６から正圧発生溝部１５に向けて円滑に流れる。
　また、一の動圧発生溝１３の流体回収溝部１４は、相対回転上流側に隣接する他の動圧発生溝１３の終端部１３Ｂよりも外径側で径方向に重畳するように配置されているため、他の動圧発生溝１３の終端部１３Ｂから外空間Ｓ２に向かって移動する被密封流体Ｆを一の動圧発生溝１３の流体回収溝部１４で回収しやすい。
　また、動圧発生溝１３の流体回収溝部１４の始端面１４ｄは、動圧発生溝１３’の傾斜溝部１６の側面１６ｂに近付けて配置されているので、動圧発生溝１３の流体回収溝部１４と動圧発生溝１３の正圧発生溝部１５とは、周方向の長さの半分以上の長さの広い範囲で径方向に重畳されており、動圧発生溝１３の終端部１３Ｂから外空間Ｓ２に向かって移動する被密封流体Ｆを一の動圧発生溝１３の流体回収溝部１４で確実に回収できる。
　また、内径側の内空間Ｓ１が被密封流体空間、外径側の外空間Ｓ２が漏れ空間となっており、流体回収溝部１４は正圧発生溝部１５よりも外径側に配置されている。流体回収溝部１４は正圧発生溝部１５よりも周方向に長く形成されており、被密封流体Ｆを流体回収溝部１４で回収しやすい。
　尚、本実施例１では、流体回収溝部１４の相対回転下流側の端部と、正圧発生溝部１５の相対回転上流側の端部と、が傾斜溝部１６により連通されている形態を例示したが、これに限られず、例えば、傾斜溝部１６よりも相対回転下流側に流体回収溝部１４の一部が延びていてもよい。また、傾斜溝部１６よりも相対回転上流側に正圧発生溝部１５の一部が延びていてもよい。また、流体回収溝部１４よりも外径側または正圧発生溝部１５よりも内径側に傾斜溝部１６の一部が延びていてもよい。
　また、本実施例１では、傾斜溝部１６が流体回収溝部１４と正圧発生溝部１５との間で直線状に延びている形態を例示したが、傾斜溝部は流体回収溝部１４と正圧発生溝部１５との間で湾曲して延びていてもよい。
　また、本実施例１では、流体回収溝部１４の深さＤ２が一定である形態を例示したが、例えば、流体回収溝部１４が傾斜溝部１６に向けて浅くまたは深くなっていてもよい。尚、流体回収溝部１４は傾斜面状に漸次浅くまたは深くなっていてもよいし、階段状に浅くまたは深くなっていてもよい。
　また、本実施例１では、傾斜溝部１６の深さＤ２が一定である形態を例示したが、例えば、傾斜溝部１６が外径から内径に向けて浅くまたは深くなっていてもよい。尚、傾斜溝部１６は傾斜面状に漸次浅くまたは深くなっていてもよいし、階段状に浅くまたは深くなっていてもよい。
　また、本実施例１では、流体導入溝部１７の深さＤ３が一定である形態を例示したが、例えば、流体導入溝部１７が傾斜溝部１６に向けて浅くまたは深くなっていてもよい。尚、流体導入溝部１７は傾斜面状に漸次浅くまたは深くなっていてもよいし、階段状に浅くまたは深くなっていてもよい。
　また、本実施例１では、正圧発生溝部１５の深さＤ１が一定である形態を例示したが、例えば、正圧発生溝部１５が終端部１３Ｂに向けて浅くなっていてもよい。尚、正圧発生溝部１５は傾斜面状に漸次浅くなっていてもよいし、階段状に浅くなっていてもよい。
　次に、実施例２に係る摺動部品につき、図５を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図５に示されるように、本実施例２の静止密封環２１０は、流体導入溝部２１７が径方向に延びている点で実施例１と異なり、その他の点は実施例１と同一構成となっている。
　本実施例２の静止密封環２１０は、流体導入溝部２１７が径方向に延びている。すなわち、流体導入溝部２１７の内空間Ｓ１側の開口は、静止密封環２１０の中心を向いているため、実施例１の形態に比べて被密封流体Ｆが内空間Ｓ１から流体導入溝部２１７を通じて動圧発生溝１３内（すなわち傾斜溝部１６内）に導入されやすく、終端部１３Ｂで高い正圧が生じるようになっている。
　次に、実施例３に係る摺動部品につき、図６を参照して説明する。尚、前記実施例１，２と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図６に示されるように、本実施例３の静止密封環３１０は、流体導入溝部３１７が相対回転方向上流側に向けて傾斜している点で実施例１，２と異なり、その他の点は実施例１，２と同一構成となっている。
　本実施例３の静止密封環３１０は、流体導入溝部３１７が相対回転方向上流側に向けて傾斜している。すなわち、流体導入溝部３１７の内空間Ｓ１側の開口は、相対回転方向上流側を向いているため、実施例１，２の形態に比べて被密封流体Ｆが内空間Ｓ１から流体導入溝部３１７を通じて動圧発生溝１３内（すなわち傾斜溝部１６内）に導入されやすく、終端部１３Ｂで高い正圧が生じるようになっている。
　次に、実施例４に係る摺動部品につき、図７を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図７に示されるように、本実施例４の静止密封環４１０の動圧発生溝４１３は、始端部４１３Ａ側で周方向に延びる第１溝部としての流体回収溝部４１４と、終端部４１３Ｂ側で周方向に延びる第２溝部４１３Ｃと、流体回収溝部４１４と第２溝部４１３Ｃとを連通する傾斜溝部４１６と、第２溝部４１３Ｃと内空間Ｓ１とを連通する流体導入溝部４１７と、から主に構成されている。
　第２溝部４１３Ｃは、傾斜溝部４１６の内径側端部から相対回転方向下流側に延び、該傾斜溝部４１６と同じ深さの深溝部４１８と、深溝部４１８から相対回転方向下流側に延び、深溝部４１８よりも浅い正圧発生溝部４１５と、から構成されている。流体導入溝部４１７は、深溝部４１８の相対回転方向下流側の端部から内空間Ｓ１に向けて径方向に延びている。
　流体回収溝部４１４と第２溝部４１３Ｃとは、流体回収溝部４１４から相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びる傾斜溝部４１６により連通されているため、流体回収溝部４１４で回収された被密封流体Ｆが傾斜溝部１６に沿って深溝部４１８に円滑に移動し、正圧発生溝部４１５にスムーズに導入されるようになっている。
　次に、実施例５に係る摺動部品につき、図８および図９を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図８および図９に示されるように、本実施例５の静止密封環５１０は、傾斜溝部５１６の深さが実施例１と異なり、その他の点は実施例１と同一構成となっている。
　本実施例５の静止密封環５１０の傾斜溝部５１６は、一定の深さＤ４を有している。傾斜溝部５１６の深さＤ４は、正圧発生溝部１５の深さＤ１よりも深く、流体回収溝部１４の深さＤ２、流体導入溝部１７の深さＤ３よりも浅い（Ｄ１＜Ｄ４＜Ｄ２＜Ｄ３）。
　例えば、傾斜溝部５１６の深さＤ４は正圧発生溝部１５の深さＤ１の２倍～３程度の深さとなっている。また、傾斜溝部５１６の深さＤ４は流体回収溝部１４の深さＤ２の１／２～１／３程度の深さとなっている。
　傾斜溝部５１６の深さＤ４は正圧発生溝部１５の深さＤ１よりも深いので、正圧発生溝部１５に供給される被密封流体Ｆが不足することを抑制できる。また、傾斜溝部５１６の深さＤ４は流体導入溝部１７の深さＤ３よりも浅いので、流体導入溝部１７内の被密封流体Ｆに比べ傾斜溝部５１６内の被密封流体Ｆに摺動面２１のせん断力が作用しやすくなっている。
　次に、実施例６に係る摺動部品につき、図１０を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図１０に示されるように、本実施例６の静止密封環６１０は、流体導入溝部が設けられていない点で実施例１と異なり、その他の点は実施例１と同一構成となっている。
　本実施例６の静止密封環６１０の動圧発生溝６１３は、内空間Ｓ１および外空間Ｓ２に連通しないディンプル形状を成している。これによれば、摺動面１１，２１間に流入した被密封流体Ｆが始端部６１３Ａの近傍で吸い込まれ、動圧発生溝６１３内を移動して終端部６１３Ｂの近傍で集中し正圧が発生するようになっている。
　以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
　例えば、前記実施例では、摺動部品として、自動車用のメカニカルシールを例に説明したが、一般産業機械等の他のメカニカルシールであってもよい。
　また、前記実施例１～６では、動圧発生溝及び流体導入溝を静止密封環に設ける例について説明したが、動圧発生溝及び流体導入溝を回転密封環に設けてもよい。言い換えると、本発明の摺動部品は静止密封環でもあっても回転密封環であってもよい。
　また、前記実施例１～６では、被密封流体空間側を高圧側、漏れ空間側を低圧側として説明してきたが、被密封流体側と漏れ側とは略同じ圧力であってもよい。
　また、前記実施例１～６では、内径側が被密封流体空間側、外径側が漏れ空間側として説明してきたが、外径側が被密封流体空間側、内径側が漏れ空間側であってもよく、この場合、外径側に第２溝部が配置され、内径側に第１溝部が配置されることが好ましい。参考までに実施例１の動圧発生溝１３’、流体導入溝１７’の配置が径方向において実施例１とは反対となった変形例１－１を図１１に示す。
　また、前記実施例１～６では、被密封流体により終端部で正圧を生じさせる１種類の動圧発生溝が設けられる形態を例示したが、上記動圧発生溝に加え、漏れ空間内の流体により終端部で正圧を生じさせる例えばスパイラル溝等の別の動圧発生溝が設けられていてもよい。参考までに実施例１の動圧発生溝１３に加え、別の動圧発生溝９９を設けた変形例１－２を図１２に示す。
　また、前記実施例１～６では、被密封流体空間側に第２溝部が配置され、漏れ空間側に第１溝部が配置されている形態を例示したが、第１溝部に十分な負圧が生じるものであれば、被密封流体空間側に第１溝部が配置され、第１溝部よりも漏れ空間側に第２溝部が配置されていてもよい。
　また、前記実施例１～６では、相対回転時には、動圧発生溝の始端部に相対的な負圧が発生する形態を例示したが、第１溝部を十分に深く形成し、相対回転時に積極的に負圧が発生しないようになっていてもよい。この場合であっても、第１溝部が十分に深いため、漏れ側に移動する被密封流体を第１溝部で回収できる。
　また、前記実施例１～６では、被密封流体Ｆは高圧の液体と説明したが、これに限らず気体または低圧の液体であってもよいし、液体と気体が混合したミスト状であってもよい。
　また、前記実施例１～６では、漏れ空間側の流体は低圧の気体である大気Ａであると説明したが、これに限らず液体または高圧の気体であってもよいし、液体と気体が混合したミスト状であってもよい。
　また、前記実施例１～６では、第１溝部および第２溝部が静止密封環と同心状に設けられるものに限られず、周方向および径方向に傾斜していてもよい。すなわち、第１溝部および第２溝部は周方向に延びる成分を有し、周方向および径方向に傾斜する傾斜溝部により連通されていればよい。
　また、前記実施例１～６では、傾斜溝部が少なくとも第２溝部における終端部近傍部位よりも深く形成されている形態を例示したが、傾斜溝部が第２溝部と同じ深さに形成されていてもよい。
　また、前記実施例１～５では、傾斜溝部が流体導入溝部よりも浅い形態を例示したが、傾斜溝部が流体導入溝部と同じ深さに形成されていてもよい。
　また、前記実施例１～５では、流体導入溝部が第２溝部に直接連通していない形態を例示したが、流体導入溝部の端部開口の一部または全部が第２溝部に直接連通していてもよい。
１　　　　　　　　回転軸
２　　　　　　　　スリーブ
４　　　　　　　　ハウジング
１０　　　　　　　静止密封環（摺動部品）
１１　　　　　　　摺動面
１２　　　　　　　ランド
１３　　　　　　　動圧発生溝
１３Ａ　　　　　　始端部
１３Ｂ　　　　　　終端部
１４　　　　　　　流体回収溝部（第１溝部）
１５　　　　　　　正圧発生溝部（第２溝部）
１６　　　　　　　傾斜溝部
１６ａ　　　　　　底面
１６ｂ，１６ｃ　　側面
１６ｄ　　　　　　内径端縁（端面）
１７　　　　　　　流体導入溝部
２０　　　　　　　回転密封環（他の摺動部品）
２１　　　　　　　摺動面
２１０　　　　　　静止密封環（摺動部品）
２１７　　　　　　流体導入溝部
３１０　　　　　　静止密封環（摺動部品）
３１７　　　　　　流体導入溝部
４１０　　　　　　静止密封環（摺動部品）
４１３　　　　　　動圧発生溝
４１３Ａ　　　　　始端部
４１３Ｂ　　　　　終端部
４１３Ｃ　　　　　第２溝部
４１４　　　　　　流体回収溝部（第１溝部）
４１５　　　　　　正圧発生溝部（第２溝部）
４１６　　　　　　傾斜溝部
４１７　　　　　　流体導入溝部
４１８　　　　　　深溝部（第２溝部）
５１０　　　　　　静止密封環（摺動部品）
５１６　　　　　　傾斜溝部
６１０　　　　　　静止密封環（摺動部品）
６１３　　　　　　動圧発生溝
６１３Ａ　　　　　始端部
６１３Ｂ　　　　　終端部
Ａ　　　　　　　　大気
Ｆ　　　　　　　　被密封流体
Ｓ１　　　　　　　内空間（被密封流体空間）
Ｓ２　　　　　　　外空間（漏れ空間

Claims (8)

  1. 　回転機械の相対回転する箇所に配置され他の摺動部品と相対摺動し、その摺動面には、始端部及び終端部を有する動圧発生溝が設けられた摺動部品であって、
    　前記動圧発生溝は、前記始端部側で周方向に延びる第１溝部と前記終端部側で周方向に延びる第２溝部が周方向および径方向にずれて配置されており、
    　前記第１溝部と前記第２溝部は、該第１溝部から相対回転方向下流側に向けて傾斜して延びる傾斜溝部により連通されている摺動部品。
  2. 　前記第１溝部の相対回転下流側の端部と、前記第２溝部の相対回転上流側の端部と、が前記傾斜溝部により連通されている請求項１に記載の摺動部品。
  3. 　前記傾斜溝部は前記第２溝部よりも深い請求項１または２に記載の摺動部品。
  4. 　前記第２溝部と被密封流体空間とを連通する流体導入溝部を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の摺動部品。
  5. 　前記第２溝部は前記傾斜溝部の下流側端部の側面に連通されており、
    　前記流体導入溝部は前記傾斜溝部の下流側端部の端面に連通されている請求項４に記載の摺動部品。
  6. 　前記流体導入溝部は、相対回転方向下流側に向けて傾斜している請求項４または５に記載の摺動部品。
  7. 　前記流体導入溝部は前記傾斜溝部よりも深い請求項４ないし６のいずれかに記載の摺動部品。
  8. 　一の前記動圧発生溝の前記第１溝部は、相対回転上流側に隣接する他の前記動圧発生溝の前記終端部よりも漏れ空間側で径方向に重畳するように配置されている請求項１ないし７のいずれかに記載の摺動部品。
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