JP4119398B2 - 非接触形メカニカルシール - Google Patents
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- 回転軸側に設けられた回転密封環と回転軸が洞貫するシールケースに設けられた静止密封環とを、シールガスを静止密封環に形成されたシールガス通路から両密封環の対向端面たる密封端面間に供給することにより、非接触状態に保持するように構成された非接触形メカニカルシールにおいて、
静止密封環を、基体をカーボンで構成すると共に、密封端面を形成する部分を除く基体の表面層を、シールガス通路の内周面層を含めて、ガラス状炭素層又は合成樹脂層で構成した複合材構造物として、シールガスとの接触による静止密封環からのパーティクルの発生を防止するように構成したことを特徴とする非接触形メカニカルシール。 - 一方の密封環の密封端面に動圧発生溝を形成して、密封端面間にシールガスによる静圧に加えて動圧発生溝による動圧を作用させることにより、密封端面間を非接触状態に保持するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載する非接触形メカニカルシール。
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