JP4722113B2 - 回転継手 - Google Patents
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Description
前記シール機構Sが、前記回転軸3の他端に一体回転状態で装備される回転密封輪6と、前記支承体1に軸封状態で前記軸心P方向に相対移動可能で、かつ、前記回転軸3に向けて押圧付勢される静止密封輪9,10とで成る環状シール部25,26を有する接触型のメカニカルシールsi,soを、前記軸心Pに対する径方向に重複する状態で一対設けて構成されるとともに、径内側の前記メカニカルシールsiの回転密封輪6と、径外側の前記メカニカルシールsoの回転密封輪6とがSic製で一体のものに形成され、
前記回転密封輪6の下面には、径内側の前記静止密封輪9と対を成す第1摺動面6Aと、径外側の前記静止密封輪10と対を成す第2摺動面6Bと、それら両者6A,6Bの径方向の間にて上方に凹入する環状凹み部6bとが形成され、
前記回転密封輪6のボス部6aに一体回転状態に外嵌される駆動フランジ7が、キー8を介して前記回転軸3に相対回転不能に遊外嵌されていることを特徴とするものである。
実施例1による回転継手Aは、図1に示すように、下ケース部1Aと上ケース部1Bとの嵌合連結で成る軸受ケース(支承体の一例)1には転がり軸受2,2を介して縦軸心P回りで転自在に回転軸3が支承されており、回転軸3の上端部には円形のプレート4がボルト止めされるとともに、回転軸3の下部と軸受ケース1とに亘って形成されるシール機構Sを有して構成されている。
1a,1b 空間部
1k 環状堰
1s 横側面
2 軸受
3 回転軸
3A 貫通流路
6 回転密封輪
9,10 静止密封輪
12 流体路
20a 流体路の開口部
22a 洗浄液の供給口
23a 洗浄液の排出口
25,26 環状シール部
B 液洗浄機構
P 軸心
S シール機構
si,so 接触型のメカニカルシール
Claims (4)
- 一端に回転部材を取付可能で、かつ、軸心方向に沿う貫通流路を有する回転軸と、この回転軸を軸受を介して回転自在に支持し、かつ、前記回転軸の他端における前記貫通流路に対向して開口する流体路を備える支承体と、前記貫通流路と前記流体路とを軸封状態で連通接続させるためのシール機構と、を有して成る回転継手であって、
前記シール機構が、前記回転軸の他端に一体回転状態で装備される回転密封輪と、前記支承体に軸封状態で前記軸心方向に相対移動可能で、かつ、前記回転軸に向けて押圧付勢される静止密封輪とで成る環状シール部を有する接触型のメカニカルシールを、前記軸心に対する径方向に重複する状態で一対設けて構成されるとともに、径内側の前記メカニカルシールの回転密封輪と、径外側の前記メカニカルシールの回転密封輪とがSic製で一体のものに形成され、
前記回転密封輪の下面には、径内側の前記静止密封輪と対を成す第1摺動面と、径外側の前記静止密封輪と対を成す第2摺動面と、それら両者の径方向の間にて上方に凹入する環状凹み部とが形成され、
前記回転密封輪のボス部に一体回転状態に外嵌される駆動フランジが、キーを介して前記回転軸に相対回転不能に遊外嵌されている回転継手。 - 前記各メカニカルシールの前記環状シール部どうしの間の空間部に洗浄液を供給及び排出する液洗浄機構が装備されている請求項1に記載の回転継手。
- 前記空間部に、内外の前記環状シール部を連通させる径方向の経路を前記軸心方向に迂回させる環状堰が設けられている請求項2に記載の回転継手。
- 前記流体路の反回転軸側の開口部が前記支承体における前記軸心に対する横側面に形成されるとともに、前記支承体における前記洗浄液の供給口及び排出口が、前記流体路の前記開口部と前記軸心方向の位置が同等で、かつ、前記軸心に対する径方向の角度が互いに異なる状態で前記横側面に形成されている請求項2又は3に記載の回転継手。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6356825B2 (ja) * | 1986-04-04 | 1988-11-09 | Nippon Electron Optics Lab | |
JPH0250792B2 (ja) * | 1985-01-30 | 1990-11-05 | Nippon Electron Optics Lab | |
JP2918874B1 (ja) * | 1998-02-18 | 1999-07-12 | 日本ピラー工業株式会社 | スラリ流体用メカニカルシール及びロータリジョイント |
JP3148452B2 (ja) * | 1992-03-27 | 2001-03-19 | ハイデルベルガー ドルツクマシーネン アクチエンゲゼルシヤフト | 回転機構 |
JP2001141149A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ロータリジョイント |
JP2002005365A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 多流路形ロータリジョイント |
JP2006095616A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Eagle Ind Co Ltd | ロータリージョイント |
JP2007005661A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Ses Co Ltd | ベベル研磨方法及びベベル研磨装置 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0250792B2 (ja) * | 1985-01-30 | 1990-11-05 | Nippon Electron Optics Lab | |
JPS6356825B2 (ja) * | 1986-04-04 | 1988-11-09 | Nippon Electron Optics Lab | |
JP3148452B2 (ja) * | 1992-03-27 | 2001-03-19 | ハイデルベルガー ドルツクマシーネン アクチエンゲゼルシヤフト | 回転機構 |
JP2918874B1 (ja) * | 1998-02-18 | 1999-07-12 | 日本ピラー工業株式会社 | スラリ流体用メカニカルシール及びロータリジョイント |
JP2001141149A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ロータリジョイント |
JP2002005365A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 多流路形ロータリジョイント |
JP2006095616A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Eagle Ind Co Ltd | ロータリージョイント |
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