JP4199167B2 - 処理装置用シール装置 - Google Patents
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Description
回転テーブルにその回転軸線と同心状に固定された回転密封環と、
プラスチックカバー内に配して駆動部の支持機枠に取り付けられた円筒状のシールケースと、
回転密封環と同心状をなして当該回転密封環に直対向する状態で、シールケースの内周部に軸線方向移動可能に保持された静止密封環と、
シールケースと静止密封環との間に介装されて、静止密封環を回転密封環へと押圧附勢するスプリング部材と、
プラスチックカバーの内周部に形成されてシールケースの下端部に衝合する環状のカバー段部と、
プラスチックカバー、シールケース及び静止密封環を貫通して両密封環の対向端面である密封端面間に開口する一連のシールガス通路であって、プラスチックカバーに形成されて当該カバーの軸線方向に延びる第1シールガス通路部分とシールケースに形成される第2シールガス通路部分とがカバー段部とシールケースの下端部との衝合部分において連通接続されているシールガス通路と、を具備して、
密封端面間を、これにシールガス通路からシールガスを噴出させることにより、非接触状態に保持しつつ、前記両領域間を遮蔽シールする非接触形メカニカルシールに構成されている。
2 駆動部
2a 回転軸
2b 支持機枠
3 プラスチックカバー
3a カバー段部
4 シール装置(静圧形ノンコンタクトガスシール)
5 回転密封環
5a 回転密封環の密封端面
6 シールケース
6a シールケースの下端部
7 静止密封環
7a 静止密封環の密封端面
8 スプリング部材
9 シールガス通路
10 シールガス
19 動圧発生溝
91 第1シールガス通路部分
92 第2シールガス通路部分
104 シール装置(複合形ノンコンタクトガスシール)
A 処理領域
B プラスチックカバー内の領域(カバー内領域)
Claims (2)
- 上下方向に延びる回転軸(2a)を具備する回転テーブルの駆動部(2)を軸線が上下方向に延びる筒状をなす耐薬品性のプラスチックカバー(3)で覆ってある処理装置において回転テーブル(1)が配置された処理領域(A)とプラスチックカバー内の領域(B)との間を遮蔽すべく設けられるシール装置であって、
回転テーブル(1)にその回転軸線と同心状に固定された回転密封環(5)と、
プラスチックカバー(3)内に配して駆動部(2)の支持機枠(2b)に取り付けられた円筒状のシールケース(6)と、
回転密封環(5)と同心状をなして当該回転密封環(5)に直対向する状態で、シールケース(6)の内周部に軸線方向移動可能に保持された静止密封環(7)と、
シールケース(6)と静止密封環(7)との間に介装されて、静止密封環を回転密封環へと押圧附勢するスプリング部材(8)と、
プラスチックカバー(3)の内周部に形成されてシールケース(6)の下端部(6a)に衝合する環状のカバー段部(3a)と、
プラスチックカバー(3)、シールケース(6)及び静止密封環(7)を貫通して両密封環(5,7)の対向端面である密封端面(5a,7a)間に開口する一連のシールガス通路(9)であって、プラスチックカバー(3)に形成されて当該カバー(3)の軸線方向に延びる第1シールガス通路部分(91)とシールケース(6)に形成される第2シールガス通路部分(92)とがカバー段部(3a)とシールケースの下端部(6a)との衝合部分において連通接続されているシールガス通路(9)と、を具備して、
密封端面(5a,7a)間を、これにシールガス通路(9)からシールガス(10)を噴出させることにより、非接触状態に保持しつつ、前記両領域(A,B)間を遮蔽シールする非接触形メカニカルシールに構成されていることを特徴とする処理装置用シール装置。 - 一方の密封環の密封端面に動圧発生溝(19)を形成して、密封端面(5a,7a)間にシールガス(10)による静圧に加えて動圧発生溝(19)による動圧を作用させることにより、密封端面(5a,7a)間を非接触状態に保持するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載する処理装置用シール装置。
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