JP5402002B2 - 回転軸のシール装置およびシール方法 - Google Patents

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Description

本発明は、工作機械において、外部から軸受へのクーラントの浸入を防止する回転軸のシール装置およびシール方法に関する。
従来より、マシニングセンタのような工作機械において、切削時の発熱を低減するために、ワークの切削箇所に向けて冷却媒体であるクーラントを供給している。供給されるクーラントは、ワークおよび工具の冷却効果を増大させるとともに、切削により発生する切屑を排出するために、切削部位に高圧噴射される場合が多い。高圧噴射されたクーラントは、工作機械の回転軸を支持している軸受に浸入しやすく、クーラントの浸入により軸受の寿命が低下する虞があった。
軸受へのクーラントの浸入を防ぐために、回転する主軸とハウジングとの間の微小隙間に高圧のエアを供給して、エア圧により外部から軸受へのクーラントの浸入を防止する回転軸に関する従来技術があった(例えば、特許文献1参照)。これは、軸受につながるラビリンスシール部に、エアシール構造を設けている。エアシール構造は、主軸とハウジングとの間の狭窄部からエアを外部に放出するものである。
これによれば、外部に放出されるエアが、内部に形成されたラビリンスシールと相俟ってシール効果を発生することができ、軸受へのクーラントの浸入を防止することができる。
特開2006−125554号公報
しかしながら、上述した従来技術においては、クーラントが浸入する虞のある主軸とハウジングとの間のクリアランスに特別な工夫があるものではなく、エアシール構造によるシール効果は、供給されるエアの流速に頼らざるを得ない。したがって、シール効果を高めようとすれば大量のエアを必要とし、エア供給のためのコンプレッサー装置の大型化およびエア供給のためのエネルギーの増大を招く。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、シール効果の大きい回転軸のシール装置およびシール方法を提供することにある。
上述した課題を解決するために、請求項1に係る回転軸のシール装置の発明の構成上の特徴は、内周部に収容空間を有することにより、軸方向に円筒状に延びるハウジングと、前記収容空間内に配置されることにより、前記ハウジングの内周面との間に微小隙間を有し、前記ハウジングに対して軸受を介して回転可能に取り付けられた主軸と、前記微小隙間に開口する気体通路と、該気体通路へ圧力気体を供給する圧力源とを備え、供給した圧力気体により、前記気体通路より内方にある前記微小隙間を外部からシールする回転軸のシール装置において、前記微小隙間は、前記ハウジングの端面から、前記主軸の外周面を軸方向内方に延びる入口部と、該入口部に接続されるとともに、半径方向内方へと延びる連結部と、該連結部から前記軸受に向かって、前記主軸の外周面に沿って軸方向内方へと延びた延在部とにより形成され、前記連結部上における前記主軸のフランジ部の後端面には、それぞれ前記微小隙間よりも大きな間隙を有し、回転軸回りに環状を呈するように形成された半径の異なる円周溝が同心状に複数個設けられ、前記気体通路は、前記ハウジング内を軸方向に延びて、各々の前記円周溝に対向するように前記連結部上における前記ハウジングの前記端面側に開口され、前記ハウジング内に、前記微小隙間よりも大きな流通面積を有し、前記円周溝よりも半径方向内方にある前記微少隙間から半径方向下方へと延びて、前記微少隙間を外部と接続するドレイン路が形成されていることである。
請求項2に係る発明の構成上の特徴は、請求項1の回転軸のシール装置において、
各々の前記円周溝に対し供給する圧力気体の圧力を、互いに異ならせることである。
請求項3に係る発明の構成上の特徴は、請求項2の回転軸のシール装置において、
各々の前記円周溝にそれぞれ独立した前記気体通路を接続し、各々の前記気体通路に互いに異なった前記圧力源を接続することである。
請求項4に係る発明の構成上の特徴は、請求項2の回転軸のシール装置において、
前記圧力源に対し、複数の前記気体通路を並列に接続し、前記気体通路のうちのいずれかに圧力制限手段を設けたことである。
請求項5に係る発明の構成上の特徴は、請求項1乃至のうちのいずれかの回転軸のシール装置において、前記気体通路は、前記円周溝の周方向の複数箇所において、均等間隔に開口するように形成されていることである。
請求項6に係る回転軸のシール方法の発明の構成上の特徴は、内周部に収容空間を有することにより、軸方向に円筒状に延びるハウジングと、前記収容空間内に配置されることにより、前記ハウジングの内周面との間に微小隙間を有し、前記ハウジングに対して軸受を介して回転可能に取り付けられた主軸と、前記微小隙間に開口する気体通路と、前記気体通路へ圧力気体を供給する圧力供給手段とを備えた回転軸のシール方法において、前記微小隙間を、前記ハウジングの端面から、前記主軸の外周面を軸方向内方に延びる入口部と、該入口部に接続されるとともに、半径方向内方へと延びる連結部と、該連結部から前記軸受に向かって、前記主軸の外周面に沿って軸方向内方へと延びた延在部とにより形成し、前記連結部上における前記主軸のフランジ部の後端面には、それぞれ前記微小隙間よりも大きな間隙を有し、回転軸回りに環状を呈するように形成された半径の異なる円周溝を同心状に複数個設け、前記気体通路は、前記ハウジング内を軸方向に延びて、各々の前記円周溝に対向するように前記連結部上における前記ハウジングの前記端面側に開口しており、前記ハウジング内に、前記微小隙間よりも大きな流通面積を有し、前記円周溝よりも半径方向内方にある前記微少隙間から半径方向下方へと延びて、前記微少隙間を外部と接続するドレイン路が形成され、前記円周溝に供給した圧力気体により、前記円周溝より内方にある前記微小隙間を外部からシールすることである。
請求項1に係る回転軸のシール装置によれば、気体通路が、円周溝に対向するように連結部上における軸方向内方側に開口していることにより、供給された圧力気体により円周溝より内方がシールされる。それとともに、連結部に浸入したクーラントが毛細管現象によって微小隙間に留まろうとするため、入口部および連結部により形成されたラビリンス状の隙間と相俟って、そのシール効果を向上させることができる。
また、連結部に浸入したクーラントは、主軸の回転にともなう遠心力によって、連結部を半径方向外方へと戻るため、内部へのクーラントの浸入を防ぐことができる。
また、連結部上には複数の円周溝が形成され、各々の円周溝に気体通路が開口していることにより、連結部上にむらなく圧力気体を供給することができる。
しかも、微小隙間を介して円周溝よりも半径方向内方にクーラントが浸入しても、半径方向下方へ延びるドレイン路によってクーラントを外部に容易に排出することができる。
請求項2に係る回転軸のシール装置によれば、各々の円周溝に対し供給する圧力気体の圧力を互いに異ならせることにより、それぞれの円周溝が形成された部位へのクーラントの浸入具合に応じて、シール性能を設定することができる。
請求項3に係る回転軸のシール装置によれば、各々の円周溝にそれぞれ独立した気体通路を接続し、各々の気体通路に互いに異なった圧力源を接続することにより、各々の円周溝に対し供給する圧力気体の圧力を容易に異ならせることができる。
請求項4に係る回転軸のシール装置によれば、圧力源に対し複数の気体通路を並列に接続し、気体通路のうちのいずれかに圧力制限手段を設けることにより、各々の円周溝に対し供給する圧力気体の圧力を容易に異ならせることができる。
また、圧力源を1つ使用するのみでよいため、小型で低コストのシール装置にすることができる。
請求項5に係る回転軸のシール装置によれば、気体通路は、円周溝の周方向の複数箇所において、均等間隔に開口するように形成されていることにより、大量の圧力気体を消費しなくても、円周上に均一に圧力気体を供給して、シール性能のむらをなくすことができる。
請求項6に係る回転軸のシール方法によれば、気体通路が、円周溝に対向するように連結部上における軸方向内方側に開口していることにより、供給された圧力気体によって円周溝より内方がシールされる。それとともに、連結部に浸入したクーラントが毛細管現象によって微小隙間に留まろうとするため、そのシール効果を向上させることができる。
また、連結部に浸入したクーラントは、主軸の回転にともなう遠心力によって、連結部を半径方向外方へと戻るため、内部へのクーラントの浸入を防ぐことができる。
また、連結部上には複数の円周溝が形成され、各々の円周溝に気体通路が開口していることにより、連結部上にむらなく圧力気体を供給することができる。
しかも、微小隙間を介して円周溝よりも半径方向内方にクーラントが浸入しても、半径方向下方へ延びるドレイン路によってクーラントを外部に容易に排出することができる。

本発明の実施形態1による回転軸のシール装置の軸方向断面図 図1に示したシール装置の要部拡大図 図1に示したシール装置の他の部位を示した要部拡大図 図1のA−A断面図 実施形態2によるシール装置の簡略化した断面図 実施形態3によるシール装置の簡略化した断面図 実施形態4によるシール装置の簡略化した図 実施形態5によるシール装置の簡略化した図
<実施形態1>
図1乃至図4に基づき、本発明の実施形態1による回転軸のシール装置1(以下、シール装置1という)について説明する。尚、説明中において、図1における左右方向を、シール装置1の回転軸方向または軸方向といい、図1における左方をシール装置1の前方ということがあるが、シール装置1の実際の前後方向とは無関係である。
図1において、主軸装置の前方に形成されたシール装置1は、内周部に収容空間21を有するハウジング2と、収容空間21内に配置された主軸3とを備えている。ハウジング2は、軸方向に延びるほぼ円筒形をしており、収容空間21が形成されたハウジングコア22、ハウジングコア22の外周面に嵌合したハウジングカバー23およびハウジングコア22の前端面に装着されたハウジングキャップ24とを有している。ハウジングコア22およびハウジングカバー23は、ともにスリーブ状を呈しており、ハウジングキャップ24は円環状をしている。ハウジングコア22、ハウジングカバー23およびハウジングキャップ24は、互いに気密的に嵌合している。
一方、主軸3は、ハウジングコア22の内部に配置され略円筒形状の主軸ボデー31、主軸ボデー31の内周部に取り付けられた長尺状のクランプ装置32、主軸ボデー31の先端のテーパ孔に装着されたツールホルダー34とを備えている。また、主軸ボデー31の前端面には、円盤状の主軸壁体35が、軸方向前方に取り外し可能なように気密的に固定されている。
クランプ装置32には、図示しないドローバー、皿ばねなどから構成される公知のクランプ機構321が設けられている。クランプ機構321はプッシュロッド322に収容されており、ツールホルダー34をクランプするように形成されている。ツールホルダー34は、その先端に、図示しない工具が保持されるように形成されている。更に、主軸3の後方端部には、図示しないロータースリーブを介してビルトインモータのローターが固定されており、主軸装置はビルトインモータによって主軸3を回転させ、工具によりワークの加工を行う。
主軸ボデー31の外周面とハウジングコア22の内周面との間には、一対の軸受4が設けられている。軸受4を構成する前方軸受41および後方軸受42は、内輪間座43を挟んで軸方向に並んでおり、主軸3をハウジング2に対して回転可能に支持している。
図2に示すように、ハウジングキャップ24の内周部に形成された真円状の凹部241には、エア供給ブロック25が取り付けられている。エア供給ブロック25はほぼリング状をしており、その断面は略正方形を呈している。エア供給ブロック25は、その外周面および後端面が凹部241に気密的に固着されている。
エア供給ブロック25がハウジングキャップ24に取り付けられることにより、その前端面251は、主軸壁体35のフランジ部351と対向している。また、エア供給ブロック25の内周面252は、主軸壁体35の軸部352および主軸ボデー31の前方外周面311と対向している。また、ハウジングキャップ24の前端には、断面が矩形状の内周切欠部242が形成されており、主軸壁体35のフランジ部351は、内周切欠部242とも対向している。
上述した構成により、ハウジング2と主軸3との間には、双方の相対回転を許容するように、シール装置1の外部と軸受4とをつなぐ微小隙間5が形成されている。微小隙間5は、回転軸回りに環状に形成されている。微小隙間5は、入口部51、入口部51と接続された連結部52および連結部52と接続され軸受4に到達する延在部53とにより形成されている。
入口部51は、ハウジングキャップ24の内周切欠部242と、主軸壁体35のフランジ部351の外周端351aとの間に形成されている。入口部51は、ハウジングキャップ24の端面から、主軸壁体35の外周部を軸方向内方に延びている。
連結部52は、フランジ部351の後端面351bと、ハウジングキャップ24の内周切欠部242およびエア供給ブロック25の前端面251との間に形成されている。連結部52は、入口部51の端部から半径方向内方へと延びている。
延在部53は、エア供給ブロック25の内周面252およびハウジングキャップ24の内周面243と、主軸壁体35の軸部352の外周面352aおよび主軸ボデー31の前方外周面311との間に形成されている。延在部53は、連結部52から軸受4に向かって、主軸3の外周面に沿って軸方向内方へと延びている。また、エア供給ブロック25の角部を切欠くことにより、連結部52と延在部53との接続部には、クーラント溜り部54が形成されている。クーラント溜り部54は、回転軸回りに環状に形成されている。
フランジ部351の後端面351bには、一対のエア供給用円周溝353a、353b(本発明の円周溝に該当する)が形成されている。エア供給用円周溝353a、353bは、回転軸回りに環状に形成されている。図4に示すように、エア供給用円周溝353a、353bは互いに半径が異なっており、ともに同心上に位置するように形成されている。
また、エア供給用円周溝353aと353bとの半径方向の間には、ドレイン用円周溝354aが形成されている。ドレイン用円周溝354aも、回転軸回りに環状に形成されている。図4に示すように、ドレイン用円周溝354aは、エア供給用円周溝353a、353bに対し半径が異なっており、同心上に位置するように形成されている。
図2に示すように、連結部52において、エア供給用円周溝353a、353bおよびドレイン用円周溝354aの形成された部位は、フランジ部351とエア供給ブロック25との間において、入口部51よりも大きな間隙を有している。
一方、ハウジングコア22には、エア供給路221が後方から前端まで軸方向に延びるように形成されている。また、ハウジングキャップ24には、ハウジングコア22に形成されたエア供給路221と連通するように、略T字状のエア通路244が設けられている。エア通路244は、軸方向に延びる軸通路244aと、半径方向に延びるラジアル通路244bとにより形成されている。軸通路244aは、エア供給路221と連通している。ラジアル通路244bは軸通路244aと接続されており、ラジアル通路244bの外方端には、封止栓244cが気密的に装着されている。エア供給路221、軸通路244aおよびラジアル通路244bは、回転軸回りの円周上の少なくとも1か所に形成されていればよい。
さらに、エア通路244は、ラジアル通路244bの内方端と接続されるように、連通溝244dを有している。連通溝244dは、円周上に連続することにより円環状に形成されており、円周上の1か所においてラジアル通路244bと接続されている。
エア供給ブロック25には、ハウジングキャップ24に形成された連通溝244dと連通するように、複数のエア分配路253が形成されている。エア分配路253は、回転軸回りの円周上において均等間隔に形成されている。円周上に1つおきに形成されたエア分配路253からは、一対の吐出路254a、254b(本発明の気体通路に該当する)が前方に向かって軸方向に延びている。吐出路254a、254bは、前端面251において、エア供給用円周溝353a、353bに向けて開口している。吐出路254a、254bは、エア供給路221に供給された高圧のエアを、エア供給用円周溝353a、353bに向けて噴出する機能を有する。図4に示すように、吐出路254a、254bは、それぞれエア供給用円周溝353a、353bの周方向において、互いに均等間隔に開口するように形成されている。
図3に示すように、エア供給ブロック25において、微小隙間5のクーラント溜り部54と連通するように、排出路255が形成されている。排出路255は、クーラント溜り部54において、その円周上の下端部に接続されている。排出路255は、クーラント溜り部54から下方へと延びている。また、排出路255は途中から枝分かれして、ドレイン用円周溝354aと対向するように、エア供給ブロック25の前端面251において開口している。排出路255は、ドレイン用円周溝354aの円周上の下端部と対向している。
また、ハウジングキャップ24には、エア供給ブロック25に形成された排出路255と連通するように、クーラント通路245(排出路255およびクーラント通路245を包括したものが、本発明のドレイン路に該当する)が形成されている。クーラント通路245は、ハウジングキャップ24の内周面から下方へと延びており、排出路255を介して微小隙間5を外部と接続している。排出路255およびクーラント通路245は、ともに微小隙間5よりも大きな流通面積を有している。
上述したエア供給路221には、エア供給装置6により圧縮された高圧のエアが導入可能に形成されている。エア供給装置6は、大気を圧縮して吐出するエアポンプ61(本発明の圧力源または圧力供給手段に該当する)、エアポンプ61により発生された高圧エアを所定の圧力に減圧するレギュレータバルブ62、およびレギュレータバルブ62の作動を制御する制御回路63を備えている。図1に示すように、エア供給路221には、レギュレータバルブ62により調圧された後のエアが印加される。
次に、本実施形態によるシール装置1の作用について説明する。エア供給路221に印加された高圧エアは、エア通路244およびエア分配路253を介して、吐出路254a、254bに導入される。吐出路254a、254bに進入した高圧エアは、それぞれエア供給用円周溝353a、353bに向けて噴出され、噴出された高圧エアは、エア供給用円周溝353a、353bを通って回転軸回りに充填される。これにより、エア供給用円周溝353a、353bより内方にある微小隙間5は、高圧エアによってシールされ、外部からのクーラントの浸入が防止される。
また、万が一、微小隙間5に外部からクーラントが浸入した場合、ドレイン用円周溝354aまたはクーラント溜り部54に貯留したクーラントは、ドレイン用円周溝354aまたはクーラント溜り部54を介して下方へと移動する。下方へと移動したクーラントは、排出路255およびクーラント通路245を介して外部へと排出される。
本実施形態によれば、吐出路254a、254bが、連結部52上に形成されたエア供給用円周溝353a、353bに開口していることにより、供給された高圧エアにより、エア供給用円周溝353a、353bより内方がシールされる。それとともに、連結部52に浸入したクーラントが毛細管現象によって微小隙間5に留まろうとするため、入口部51および連結部52により形成されたラビリンス状の隙間と相俟って、そのシール効果を向上させることができる。
また、連結部52に浸入したクーラントは、主軸3の回転にともなう遠心力によって、連結部52を半径方向外方へと戻るため、内部へのクーラントの浸入を防ぐことができる。
また、連結部52上には複数のエア供給用円周溝353a、353bが形成され、各々のエア供給用円周溝353a、353bに吐出路254a、254bが開口していることにより、連結部52上にむらなく高圧エアを供給することができる。
また、ハウジング2内に、微小隙間5よりも大きな流通面積を有する排出路255およびクーラント通路245が形成されることにより、エア供給用円周溝353a、353bよりも内方にクーラントが浸入しても、排出路255およびクーラント通路245を介して、クーラントを外部に容易に排出することができる。
また、吐出路254a、254bは、エア供給用円周溝353a、353bの周方向の複数箇所において、互いに均等間隔に開口するように形成されていることにより、大量の高圧エアを消費しなくても、円周上に均一に高圧エアを供給して、シール性能のむらをなくすことができる。
また、主軸壁体35が、軸方向前方に取り外し可能なように固定されていることにより、クーラントダスト等を取り除くメンテナンス作業を容易に行うことができる。
<実施形態2>
図5に基づき、本発明の実施形態2による回転軸のシール装置について説明する。尚、図5における左右方向を回転軸方向または軸方向とし、上方をシール装置の下方とする。本実施形態による回転軸のシール装置は、実施形態1による回転軸のシール装置と同様に、主軸壁体35のフランジ部351と、ハウジングキャップ24およびエア供給ブロック25との間には微小隙間5が形成されている。
フランジ部351の後端面351bには、単一のエア供給用円周溝353cが形成されている。エア供給用円周溝353cの半径方向外方には、ドレイン用円周溝354bが形成されている。ドレイン用円周溝354bおよびエア供給用円周溝353cは、ともに回転軸回りに環状に形成されている。ドレイン用円周溝354bおよびエア供給用円周溝353cは、互いに半径が異なるとともに、同心上に配置されている。また、エア供給ブロック25には、エア供給用円周溝353cに向けて開口した吐出路254cが形成されている。
さらに、エア供給ブロック25においては、クーラント溜り部54と連通するように排出路255が形成されている。排出路255は途中から枝分かれして、半径方向外方に位置するドレイン用円周溝354bと対向するように、エア供給ブロック25の前端面251において開口している。
また、ハウジングキャップ24には、エア供給ブロック25に形成された排出路255と連通するように、クーラント通路245が形成されている。クーラント通路245は、ハウジングキャップ24の内周面から下方へと延びて、排出路255を介して微小隙間5を外部と接続している。本実施形態においても、排出路255およびクーラント通路245は、微小隙間5よりも大きな流通面積を有している。
<実施形態3>
図6に基づき、本発明の実施形態3による回転軸のシール装置について説明する。尚、図6における左右方向を回転軸方向または軸方向とし、上方をシール装置の下方とする。本実施形態による回転軸のシール装置は、実施形態1による回転軸のシール装置と同様に、主軸壁体35のフランジ部351と、ハウジングキャップ24およびエア供給ブロック25との間には微小隙間5が形成されている。
フランジ部351の後端面351bには、単一のエア供給用円周溝353cが形成されている。また、エア供給ブロック25には、エア供給用円周溝353cに向けて開口した吐出路254cが形成されている。
さらに、エア供給ブロック25およびハウジングキャップ24には、実施形態2による回転軸のシール装置と同様に、クーラント溜り部54と連通した排出路255およびクーラント通路245が形成されている。クーラント通路245は、ハウジングキャップ24の内周面から下方へと延びて、排出路255を介して微小隙間5を外部と接続している。本実施形態においても、排出路255およびクーラント通路245は、微小隙間5よりも大きな流通面積を有している。
<実施形態4>
図7に基づき、本発明の実施形態4による回転軸のシール装置について説明する。本実施形態による回転軸のシール装置は、実施形態1による回転軸のシール装置と同様に、主軸壁体35のフランジ部351と、ハウジングキャップ24およびエア供給ブロック25との間には微小隙間5が形成されている。また、説明の便宜上、フランジ部351の後端面351bには、一対のエア供給用円周溝353a、353bが形成されているものとしているが、3個以上のエア供給用円周溝が形成されていてもよい。
エア供給ブロック25には、エア供給用円周溝353a、353bに向けてそれぞれ開口した吐出路254a、254bが形成されている。それぞれの吐出路254a、254bには、単独のエアポンプ61が接続されている。これにより、エア供給用円周溝353a、353bに向けて噴出させる高圧エアの圧力は、互いに独立して設定することができる。
本実施形態によれば、各々のエア供給用円周溝353a、353bに対し供給する高圧エアの圧力を互いに異ならせることにより、それぞれのエア供給用円周溝353a、353bが形成された部位へのクーラントの浸入具合に応じて、シール性能を設定することができる。
また、各々のエア供給用円周溝353a、353bにそれぞれ独立した吐出路254a、254bを接続し、各々の吐出路254a、254bに互いに異なったエアポンプ61を接続している。このため、各々のエアポンプ61の作動状態を制御することにより、エア供給用円周溝353a、353bに対し供給する高圧エアの圧力を、容易に異ならせることができる。
<実施形態5>
図8に基づき、本発明の実施形態5による回転軸のシール装置について説明する。本実施形態による回転軸のシール装置は、実施形態4による回転軸のシール装置と異なり、一対の吐出路254a、254bに、共通のエアポンプ61が接続されている。また、一方の吐出路254b上には、高圧エアの流量を制限する絞り管路部256(本発明における圧力制限手段に該当する)が形成されている。これにより、吐出路254bからエア供給用円周溝353bに向けて噴出させる高圧エアの圧力を、エア供給用円周溝353aに向けて噴出させる高圧エアの圧力に対して減圧することができる。
本実施形態によれば、共通のエアポンプ61に対し、複数の吐出路254a、254bを並列に接続し、一方の吐出路254b上に絞り管路部256を設けることにより、各々のエア供給用円周溝353a、353bに対し供給する高圧エアの圧力を、容易に異ならせることができる。
また、エアポンプ61を1つ使用するのみでよいため、小型で低コストのシール装置にすることができる。
<他の実施形態>
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、次のように変形または拡張することができる。
エア供給用円周溝353a、353bに向けて噴出させる圧力気体は、空気でなくともよく、微小隙間5をシール可能な高圧気体であれば、あらゆる種類のものが適用可能である。
エア供給用円周溝353a、353bは必ずしも真円状に形成されていなくてもよく、例えば、楕円、長円状であってもよい。
エア供給用円周溝353a、353bは主軸壁体35に形成する代わりに、エア供給ブロック25の前端面251に設けてもよい。また、主軸壁体35およびエア供給ブロック25の双方に、互いに対向するように形成してもよい。
エア供給ブロック25に形成されるエア供給用円周溝は、いくつあってもよい。
図8に示した絞り管路部256の代わりに、レギュレータバルブ等の圧力制限手段を設けてもよい。
図面中、1は回転軸のシール装置、2はハウジング、3は主軸、4は軸受、5は微小隙間、21は収容空間、51は入口部、52は連結部、53は延在部、61はエアポンプ(圧力源、圧力供給手段)、245はクーラント通路(ドレイン路)、254a,254b,254cは吐出路(気体通路)、255は排出路(ドレイン路)、256は絞り管路部(圧力制限手段)、353a,353b,353cはエア供給用円周溝(円周溝)を示している。

Claims (6)

  1. 内周部に収容空間を有することにより、軸方向に円筒状に延びるハウジングと、
    前記収容空間内に配置されることにより、前記ハウジングの内周面との間に微小隙間を有し、前記ハウジングに対して軸受を介して回転可能に取り付けられた主軸と、
    前記微小隙間に開口する気体通路と、
    該気体通路へ圧力気体を供給する圧力源と、
    を備え、
    供給した圧力気体により、前記気体通路より内方にある前記微小隙間を外部からシールする回転軸のシール装置において、
    前記微小隙間は、前記ハウジングの端面から、前記主軸の外周面を軸方向内方に延びる入口部と、該入口部に接続されるとともに、半径方向内方へと延びる連結部と、該連結部から前記軸受に向かって、前記主軸の外周面に沿って軸方向内方へと延びた延在部とにより形成され、
    前記連結部上における前記主軸のフランジ部の後端面には、それぞれ前記微小隙間よりも大きな間隙を有し、回転軸回りに環状を呈するように形成された半径の異なる円周溝が同心状に複数個設けられ、
    前記気体通路は、前記ハウジング内を軸方向に延びて、各々の前記円周溝に対向するように前記連結部上における前記ハウジングの前記端面側に開口され、
    前記ハウジング内に、前記微小隙間よりも大きな流通面積を有し、前記円周溝よりも半径方向内方にある前記微少隙間から半径方向下方へと延びて、前記微少隙間を外部と接続するドレイン路が形成されていることを特徴とする回転軸のシール装置。
  2. 各々の前記円周溝に対し供給する圧力気体の圧力を、互いに異ならせることが可能なことを特徴とする請求項1記載の回転軸のシール装置。
  3. 各々の前記円周溝にそれぞれ独立した前記気体通路を接続し、各々の前記気体通路に互いに異なった前記圧力源を接続することを特徴とする請求項2記載の回転軸のシール装置。
  4. 前記圧力源に対し、複数の前記気体通路を並列に接続し、前記気体通路のうちのいずれかに圧力制限手段を設けたことを特徴とする請求項2記載の回転軸のシール装置。
  5. 前記気体通路は、前記円周溝の周方向の複数箇所において、均等間隔に開口するように形成されていることを特徴とする請求項1乃至のうちのいずれか一項に記載の回転軸のシール装置。
  6. 内周部に収容空間を有することにより、軸方向に円筒状に延びるハウジングと、
    前記収容空間内に配置されることにより、前記ハウジングの内周面との間に微小隙間を有し、前記ハウジングに対して軸受を介して回転可能に取り付けられた主軸と、
    前記微小隙間に開口する気体通路と、
    前記気体通路へ圧力気体を供給する圧力供給手段と、
    を備えた回転軸のシール方法において、
    前記微小隙間を、前記ハウジングの端面から、前記主軸の外周面を軸方向内方に延びる入口部と、該入口部に接続されるとともに、半径方向内方へと延びる連結部と、該連結部から前記軸受に向かって、前記主軸の外周面に沿って軸方向内方へと延びた延在部とにより形成し、
    前記連結部上における前記前記主軸のフランジ部の後端面には、それぞれ前記微小隙間よりも大きな間隙を有し、回転軸回りに環状を呈するように形成された半径の異なる円周溝を同心状に複数個設け、
    前記気体通路は、前記ハウジング内を軸方向に延びて、各々の前記円周溝に対向するように前記連結部上における前記ハウジングの前記端面側に開口しており、
    前記ハウジング内に、前記微小隙間よりも大きな流通面積を有し、前記円周溝よりも半径方向内方にある前記微少隙間から半径方向下方へと延びて、前記微少隙間を外部と接続するドレイン路が形成され、
    前記円周溝に供給した圧力気体により、前記円周溝より内方にある前記微小隙間を外部からシールすることを特徴とする回転軸のシール方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107255166A (zh) * 2017-07-20 2017-10-17 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 一种半导体专用设备轴密封结构

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107511497B (zh) * 2017-09-29 2023-09-08 纳载智能科技(浙江)有限公司 带自动卡盘的数控机床主轴箱系统

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2610045C2 (de) * 1976-03-11 1982-06-16 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 4200 Oberhausen Gasgesperrte Wellendichtung
DE3223703C2 (de) * 1982-06-25 1984-05-30 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 4200 Oberhausen Gasgesperrte Wellendichtung mit radialem Dichtspalt
JPS6326605Y2 (ja) * 1984-11-01 1988-07-19
JPH0128374Y2 (ja) * 1985-06-03 1989-08-29
JPH0614150Y2 (ja) * 1988-03-17 1994-04-13 イーグル工業株式会社 ドライ摺動型メカニカルシール
JPH02199375A (ja) * 1989-01-27 1990-08-07 Nippon Pillar Packing Co Ltd 複合式非接触シール装置
JPH04203529A (ja) * 1990-11-29 1992-07-24 Shin Meiwa Ind Co Ltd シール装置
JPH04133068U (ja) * 1991-05-31 1992-12-10 エヌテイエヌ株式会社 ロール回転用軸受のシール装置
JPH0769020B2 (ja) * 1992-10-07 1995-07-26 日本ピラー工業株式会社 メカニカルシール
US5769604A (en) * 1995-05-04 1998-06-23 Eg&G Sealol, Inc. Face seal device having high angular compliance
JP3008013B2 (ja) * 1996-01-24 2000-02-14 日本ピラー工業株式会社 流体機器用軸封装置
JP2000088114A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Nippon Seiko Kk エアシール装置
JP4069435B2 (ja) * 1999-11-30 2008-04-02 日本精工株式会社 スピンドルシール装置
JP2002061750A (ja) * 2000-08-24 2002-02-28 Mitsutoyo Corp 非接触シール装置
JP4205913B2 (ja) * 2002-08-22 2009-01-07 株式会社荏原製作所 差動排気シール装置
JP4199167B2 (ja) * 2004-07-02 2008-12-17 日本ピラー工業株式会社 処理装置用シール装置
JP4719448B2 (ja) * 2004-10-29 2011-07-06 株式会社松浦機械製作所 回転軸のための非接触シール構造

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107255166A (zh) * 2017-07-20 2017-10-17 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 一种半导体专用设备轴密封结构
CN107255166B (zh) * 2017-07-20 2019-01-01 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 一种半导体专用设备轴密封结构

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