JPH0769020B2 - メカニカルシール - Google Patents
メカニカルシールInfo
- Publication number
- JPH0769020B2 JPH0769020B2 JP26894192A JP26894192A JPH0769020B2 JP H0769020 B2 JPH0769020 B2 JP H0769020B2 JP 26894192 A JP26894192 A JP 26894192A JP 26894192 A JP26894192 A JP 26894192A JP H0769020 B2 JPH0769020 B2 JP H0769020B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal
- mechanical seal
- sealing
- sealing surface
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Mechanical Sealing (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえばブロアやエア
コンプレッサなどの高圧流体の軸封部に適用されるもの
で、詳しくは、被軸封機器の回転部材と同時回転する回
転密封環と、上記被軸封機器のケーシング側に保持され
て上記回転密封環側への付勢ばね力を受けた静止密封環
との対向面をそれぞれシール面とし、このシール面に外
部からシールガスを吹き込み供給するようになしたメカ
ニカルシールに関するものである。
コンプレッサなどの高圧流体の軸封部に適用されるもの
で、詳しくは、被軸封機器の回転部材と同時回転する回
転密封環と、上記被軸封機器のケーシング側に保持され
て上記回転密封環側への付勢ばね力を受けた静止密封環
との対向面をそれぞれシール面とし、このシール面に外
部からシールガスを吹き込み供給するようになしたメカ
ニカルシールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のメカニカルシール、たと
えばオリフィス絞り形非接触メカニカルシールとして、
図１０に示すような構成のものが知られている。
えばオリフィス絞り形非接触メカニカルシールとして、
図１０に示すような構成のものが知られている。
【０００３】図１０において、１は被軸封機器の回転部
材の一例である回転軸であり、この回転軸１と同時回転
する回転密封環２を設けた回転側シール要素３と、被軸
封機器のケーシング４に固定されたスプリングリテーナ
５に回転不能に保持され、かつスプリング６を介して上
記回転密封環２側に常時ばね力が付勢される静止密封環
７を設けた固定側シール要素８とを備え、上記回転密封
環２と静止密封環７との対向面にて構成されるシール面
２Ａ，７Ａの一方、たとえば静止密封環７のシール面７
Ａに円周方向に沿ったポケット状の溝９を形成し、外部
から供給されてオリフィス１０を経たＮ2 ガスのような
シールガスＱ１を上記溝９の底面に開口するガス吹出口
１１からシール面２Ａ，７Ａ間に吹き出させるように構
成している。
材の一例である回転軸であり、この回転軸１と同時回転
する回転密封環２を設けた回転側シール要素３と、被軸
封機器のケーシング４に固定されたスプリングリテーナ
５に回転不能に保持され、かつスプリング６を介して上
記回転密封環２側に常時ばね力が付勢される静止密封環
７を設けた固定側シール要素８とを備え、上記回転密封
環２と静止密封環７との対向面にて構成されるシール面
２Ａ，７Ａの一方、たとえば静止密封環７のシール面７
Ａに円周方向に沿ったポケット状の溝９を形成し、外部
から供給されてオリフィス１０を経たＮ2 ガスのような
シールガスＱ１を上記溝９の底面に開口するガス吹出口
１１からシール面２Ａ，７Ａ間に吹き出させるように構
成している。
【０００４】上記構成のメカニカルシールにおいては、
回転軸１および回転密封環２が回転した際に、上記シー
ル面２Ａ，７Ａ間に供給されるシールガスＱ１の圧力に
よって、スプリング６のばね力と拮抗するポケット圧が
生じて、上記両密封環２，７同士を非接触とするシール
状態が得られることになる。
回転軸１および回転密封環２が回転した際に、上記シー
ル面２Ａ，７Ａ間に供給されるシールガスＱ１の圧力に
よって、スプリング６のばね力と拮抗するポケット圧が
生じて、上記両密封環２，７同士を非接触とするシール
状態が得られることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した構成の従来の
メカニカルシールでは、シール面２Ａ，７Ａの一方にポ
ケット状の溝９を形成しているだけであり、機内圧やオ
リフィス１０へのガス供給圧などが決定すると、各圧力
のバランスからシール面２Ａ，７Ａ間の隙間Ｈが自動的
に設定され、機内側および大気側への各漏れ量Ｑ２，Ｑ
３も一義的に決まってしまい、それらの調整が不可能と
なる。
メカニカルシールでは、シール面２Ａ，７Ａの一方にポ
ケット状の溝９を形成しているだけであり、機内圧やオ
リフィス１０へのガス供給圧などが決定すると、各圧力
のバランスからシール面２Ａ，７Ａ間の隙間Ｈが自動的
に設定され、機内側および大気側への各漏れ量Ｑ２，Ｑ
３も一義的に決まってしまい、それらの調整が不可能と
なる。
【０００６】ところで、たとえば機内側を真空あるいは
減圧空間とするものにおいて、上記機内側へのガスの漏
れ量Ｑ２があると、機内側の圧力を保てなくなるため
に、その漏れ量Ｑ２に相当するガスを吸引し続けなけれ
ばならず、そのためには真空ポンプの容量を大きくする
必要があるが、現実には、真空ポンプの大容量化は難し
い。
減圧空間とするものにおいて、上記機内側へのガスの漏
れ量Ｑ２があると、機内側の圧力を保てなくなるため
に、その漏れ量Ｑ２に相当するガスを吸引し続けなけれ
ばならず、そのためには真空ポンプの容量を大きくする
必要があるが、現実には、真空ポンプの大容量化は難し
い。
【０００７】また、機内側が真空あるいは減圧空間でな
い一般的なシールの場合でも、被軸封機器が、例えば攪
拌容器のように有限容器である場合、その内部へのガス
漏れ量Ｑ２により内部圧が異常に上昇するという不都合
があるばかりでなく、シールガスとして一般に使用され
るガスは不活性な不純物であり、密封流体がガス体の場
合、その不純物を取り除く必要があるが、その取り除き
は技術的に非常に困難である。
い一般的なシールの場合でも、被軸封機器が、例えば攪
拌容器のように有限容器である場合、その内部へのガス
漏れ量Ｑ２により内部圧が異常に上昇するという不都合
があるばかりでなく、シールガスとして一般に使用され
るガスは不活性な不純物であり、密封流体がガス体の場
合、その不純物を取り除く必要があるが、その取り除き
は技術的に非常に困難である。
【０００８】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、圧力条件が設定されていても、簡単な構成改
良により機内側もしくは大気側への漏れ量を可能な限り
少なくすることができて、特に機内側が真空あるいは減
圧空間とされるものに有効に適用することができるメカ
ニカルシールを提供することを目的としている。
たもので、圧力条件が設定されていても、簡単な構成改
良により機内側もしくは大気側への漏れ量を可能な限り
少なくすることができて、特に機内側が真空あるいは減
圧空間とされるものに有効に適用することができるメカ
ニカルシールを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るメカニカルシールは、被軸封機器の回
転部材と同時回転する回転密封環と、上記被軸封機器の
ケーシング側に保持されて上記回転密封環側への付勢ば
ね力を受けた静止密封環との対向面をそれぞれシール面
とし、そのうち一方のシール面に円周方向に沿ったポケ
ット状の溝を形成し、外部から供給されるシールガスを
上記溝の底面に開口する吹出口から上記シール面に吹き
出させるようにしたメカニカルシールにおいて、上記溝
を境にしてシール面の内周側と外周側のうち少なくとも
いずれか一方の周側に開口する軸方向に一様な段差を形
成したものである。
に、本発明に係るメカニカルシールは、被軸封機器の回
転部材と同時回転する回転密封環と、上記被軸封機器の
ケーシング側に保持されて上記回転密封環側への付勢ば
ね力を受けた静止密封環との対向面をそれぞれシール面
とし、そのうち一方のシール面に円周方向に沿ったポケ
ット状の溝を形成し、外部から供給されるシールガスを
上記溝の底面に開口する吹出口から上記シール面に吹き
出させるようにしたメカニカルシールにおいて、上記溝
を境にしてシール面の内周側と外周側のうち少なくとも
いずれか一方の周側に開口する軸方向に一様な段差を形
成したものである。
【００１０】上記段差を円周方向に沿って複数に分割し
てもよく、また、上記段差はポケット状の溝が形成され
ているシール面もしくはこのシール面と対向するシール
面のいずれに形成してもよい。
てもよく、また、上記段差はポケット状の溝が形成され
ているシール面もしくはこのシール面と対向するシール
面のいずれに形成してもよい。
【００１１】また、上記段差を、シール面の最内周から
最外周に至るにつれて対向シール面間の距離が次第に大
きくなるようなテーパ状に構成してもよい。
最外周に至るにつれて対向シール面間の距離が次第に大
きくなるようなテーパ状に構成してもよい。
【００１２】さらに、上記被軸封機器の機内側が減圧空
間に設定されているものに適用することが有効である。
間に設定されているものに適用することが有効である。
【００１３】
【作用】本発明によれば、機内圧やシールガスの供給圧
などの圧力条件が決定されていても、シール面の内周側
と外周側とで軸方向に一様な段差を形成したので、この
段差によってポケット状の溝からシール面間に供給され
るガスを内周側と外周側とのいずれか一方向へ多く漏出
させることができる。したがって、たとえば機内側が減
圧空間である場合、その機内側への漏れ量を著しく少な
くして減圧状態を小容量の真空ポンプの使用によって、
維持させることが可能となり、また、一般的なシールの
場合、漏れガスによる機内側の圧力の上昇を極力抑制で
きるとともに、不純物の流入を抑制することが可能であ
る。
などの圧力条件が決定されていても、シール面の内周側
と外周側とで軸方向に一様な段差を形成したので、この
段差によってポケット状の溝からシール面間に供給され
るガスを内周側と外周側とのいずれか一方向へ多く漏出
させることができる。したがって、たとえば機内側が減
圧空間である場合、その機内側への漏れ量を著しく少な
くして減圧状態を小容量の真空ポンプの使用によって、
維持させることが可能となり、また、一般的なシールの
場合、漏れガスによる機内側の圧力の上昇を極力抑制で
きるとともに、不純物の流入を抑制することが可能であ
る。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。図１は、本発明の一実施例によるメカニカルシ
ールを適用したオリフィス絞り形非接触メカニカルシー
ルを示す縦断面図であり、同図において、図１０に示す
従来例と同一部所には、同一符号を付して、それらの説
明を省略する。
明する。図１は、本発明の一実施例によるメカニカルシ
ールを適用したオリフィス絞り形非接触メカニカルシー
ルを示す縦断面図であり、同図において、図１０に示す
従来例と同一部所には、同一符号を付して、それらの説
明を省略する。
【００１５】図１において、シール面２Ａ，７Ａ間の間
隙Ｈに対して、一方のシール面、たとえば静止密封環７
側のシール面７Ａには、ポケット状の溝９を境にして外
周側に軸方向での深さδＨが５〜３０μｍの段差１２が
形成されている。
隙Ｈに対して、一方のシール面、たとえば静止密封環７
側のシール面７Ａには、ポケット状の溝９を境にして外
周側に軸方向での深さδＨが５〜３０μｍの段差１２が
形成されている。
【００１６】このような構成においては、被軸封機器の
回転部材１が回転した際、外部から供給されたＮ2 ガス
のようなシールガスＱ１がオリフィス１０を経て吹出口
１１からポケット状の溝９に吹き出され、シール面２
Ａ，７Ａ間にスプリング６のばね力と拮抗したポケット
圧が生じることで、シールが達成される。この時、機内
側および大気側への各漏れ量をそれぞＱ２，Ｑ３とする
と、上記シール面７Ａの外径側に段差１２を設けている
ので、大気側への漏れ量Ｑ３が多くなる一方、機内側へ
の漏れ量Ｑ３が著しく少なくなる。
回転部材１が回転した際、外部から供給されたＮ2 ガス
のようなシールガスＱ１がオリフィス１０を経て吹出口
１１からポケット状の溝９に吹き出され、シール面２
Ａ，７Ａ間にスプリング６のばね力と拮抗したポケット
圧が生じることで、シールが達成される。この時、機内
側および大気側への各漏れ量をそれぞＱ２，Ｑ３とする
と、上記シール面７Ａの外径側に段差１２を設けている
ので、大気側への漏れ量Ｑ３が多くなる一方、機内側へ
の漏れ量Ｑ３が著しく少なくなる。
【００１７】このため、上記機内側が減圧空間に設定さ
れていた場合、漏れ量Ｑ２をパージするための真空ポン
プの容量を大きくする必要がなくなり、減圧状態の維持
が容易となる。
れていた場合、漏れ量Ｑ２をパージするための真空ポン
プの容量を大きくする必要がなくなり、減圧状態の維持
が容易となる。
【００１８】上記段差の寸法δＨと漏れ量Ｑ２との関係
を計算したところ、図８に示すような結果が得られた。
この図８の表からも明らかなように、段差１２の深さδ
Ｈが零の場合は、機内側の漏れ量Ｑ２が多くなっている
が、段差１２を設けることによって上記漏れ量Ｑ２を零
近くに少なくすることができた。この結果から、上記段
差１２の深さδＨは、５〜３０μｍの範囲で、好ましく
は１４μｍ以上に設定するのが好ましい。
を計算したところ、図８に示すような結果が得られた。
この図８の表からも明らかなように、段差１２の深さδ
Ｈが零の場合は、機内側の漏れ量Ｑ２が多くなっている
が、段差１２を設けることによって上記漏れ量Ｑ２を零
近くに少なくすることができた。この結果から、上記段
差１２の深さδＨは、５〜３０μｍの範囲で、好ましく
は１４μｍ以上に設定するのが好ましい。
【００１９】また、上記段差１２の深さδＨの漏れ量Ｑ
２との関係をポケット圧Ｐｓをパラメータとして測定し
た結果を図９に示す。同図から明らかなように、ポケッ
ト圧Ｐｓを大きく設定した場合は、上記深さδＨが小さ
くても漏れ量Ｑ２を少なくさせることができることが分
かる。
２との関係をポケット圧Ｐｓをパラメータとして測定し
た結果を図９に示す。同図から明らかなように、ポケッ
ト圧Ｐｓを大きく設定した場合は、上記深さδＨが小さ
くても漏れ量Ｑ２を少なくさせることができることが分
かる。
【００２０】ところで、上記実施例では、静止密封環７
のシール面７Ａに段差１２を形成したもので説明した
が、図２に示すように回転密封環２のシール面２Ａに段
差１２を形成しても、上記と同様な結果が得られる。
のシール面７Ａに段差１２を形成したもので説明した
が、図２に示すように回転密封環２のシール面２Ａに段
差１２を形成しても、上記と同様な結果が得られる。
【００２１】また、図３に示すように、上記シール面２
Ａ，７Ａの最内周から最外周に至る程、対向シール面２
Ａ、７Ａの距離が次第に大きくなるように、一方のシー
ル面２Ａをテーパ面３２に形成して段差を構成してもよ
い。
Ａ，７Ａの最内周から最外周に至る程、対向シール面２
Ａ、７Ａの距離が次第に大きくなるように、一方のシー
ル面２Ａをテーパ面３２に形成して段差を構成してもよ
い。
【００２２】さらにまた、図４および図５に示すよう
に、シール面２Ａの外周側に設けた段差１２に円周方向
で間欠的に堰部４１を設けて、円周方向に沿って複数に
分割した構成とすることもでき、この場合は、シール面
２Ａ，７Ａの摩耗による圧力特性の変化を抑制すること
ができる。
に、シール面２Ａの外周側に設けた段差１２に円周方向
で間欠的に堰部４１を設けて、円周方向に沿って複数に
分割した構成とすることもでき、この場合は、シール面
２Ａ，７Ａの摩耗による圧力特性の変化を抑制すること
ができる。
【００２３】なお、上記ポケット状の溝９を、図６およ
び図７に示すように、円周方向で等間隔に配置される複
数の円弧状溝６１から構成し、各溝９毎に径方向へ延び
て外端に開放される浅溝６２を形成し、この浅溝６２を
段差としてもよい。
び図７に示すように、円周方向で等間隔に配置される複
数の円弧状溝６１から構成し、各溝９毎に径方向へ延び
て外端に開放される浅溝６２を形成し、この浅溝６２を
段差としてもよい。
【００２４】また、機内側が減圧空間に設定されない一
般的なガスシールの場合には、上記シール面２Ａ（７
Ａ）の内径側に段差１２（３２），（６２）を設けるこ
とも可能である。
般的なガスシールの場合には、上記シール面２Ａ（７
Ａ）の内径側に段差１２（３２），（６２）を設けるこ
とも可能である。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、請求項１〜５に記載され
た本発明によれば、互いに対向するシール面の一方に、
ポケット溝を境にして内周側と外周側のうち少なくとも
いずれか一方の周側に開口する軸方向に一様な段差を設
けたので、ポケット状の溝からシール面間に供給される
シールガスを上記内径側と外径側とで選択的に一方へ多
く漏らして、他方への漏れを極端に少なくすることがで
きる。したがって、機内側を減圧空間に設定して使用す
るものにおいては、上記機内側への漏れを零近くにし
て、真空ポンプの大容量化を要することなく、機内側の
減圧維持を容易に実現することができ、また、一般的な
ガスシールの場合は、漏れガスによる機内側の圧力の上
昇を極力抑制できるとともに、不純物の流入を抑制する
ことができるという効果を奏する。
た本発明によれば、互いに対向するシール面の一方に、
ポケット溝を境にして内周側と外周側のうち少なくとも
いずれか一方の周側に開口する軸方向に一様な段差を設
けたので、ポケット状の溝からシール面間に供給される
シールガスを上記内径側と外径側とで選択的に一方へ多
く漏らして、他方への漏れを極端に少なくすることがで
きる。したがって、機内側を減圧空間に設定して使用す
るものにおいては、上記機内側への漏れを零近くにし
て、真空ポンプの大容量化を要することなく、機内側の
減圧維持を容易に実現することができ、また、一般的な
ガスシールの場合は、漏れガスによる機内側の圧力の上
昇を極力抑制できるとともに、不純物の流入を抑制する
ことができるという効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例によるメカニカルシールを適
用したオリフィス絞り形非接触メカニカルシールを示す
縦断面図である。。
用したオリフィス絞り形非接触メカニカルシールを示す
縦断面図である。。
【図２】同上メカニカルシールにおける段差を回転密封
環側に設けた例を示す縦断面図である。
環側に設けた例を示す縦断面図である。
【図３】同上メカニカルシールにおける段差をテーパ面
で構成した例を示す縦断面図である。
で構成した例を示す縦断面図である。
【図４】同上メカニカルシールにおける段差を円周方向
で複数に分割した例を示す縦断面図である。
で複数に分割した例を示す縦断面図である。
【図５】図４の回転密封環のシール面の半分を示す側面
図である。
図である。
【図６】同上メカニカルシールにおける段差をポケット
状の溝に連通する浅溝で構成した例を示す縦断面図であ
る。
状の溝に連通する浅溝で構成した例を示す縦断面図であ
る。
【図７】図６の静止密封環のシール面の半分を示す側面
図である。
図である。
【図８】図１のメカニカルシールにおける段差の深さや
漏れ量などの計算例を示す図表である。
漏れ量などの計算例を示す図表である。
【図９】図１のメカニカルシールにおけるポケット圧を
パラメータとして段差の深さと機内側漏れ量との関係を
測定した結果を示す特性図である。。
パラメータとして段差の深さと機内側漏れ量との関係を
測定した結果を示す特性図である。。
【図１０】従来のメカニカルシールを示す縦断面図であ
る。
る。
１ 回転部材 ２ 回転密封環 ２Ａ，７Ａ シール面 ４ ケーシング ７ 静止密封環 ９ ポケット状の溝 １１ 吹出口 １２，３２，６２ 段差
Claims (5)
- 【請求項１】 被軸封機器の回転部材と同時回転する回
転密封環と、上記被軸封機器のケーシング側に保持され
て上記回転密封環側への付勢ばね力を受けた静止密封環
との対向面をそれぞれシール面とし、そのうち一方のシ
ール面に円周方向に沿ったポケット状の溝を形成し、外
部から供給されるシールガスを上記溝の底面に開口する
吹出口から上記シール面に吹き出させるようにしたメカ
ニカルシールにおいて、上記溝を境にしてシール面の内
周側と外周側のうち少なくともいずれか一方の周側に開
口する軸方向に一様な段差を形成したことを特徴とする
メカニカルシール。 - 【請求項２】 上記段差が、円周方向に沿って複数に分
割されている請求項１のメカニカルシール。 - 【請求項３】 上記段差が、ポケット状の溝の形成され
ているシール面もしくはこのシール面と対向するシール
面に形成されている請求項１のメカニカルシール。 - 【請求項４】 上記段差が、シール面の最内周から最外
周に至るにつれて対向シール面間の距離が次第に大きく
なるようなテーパ状に構成されている請求項１のメカニ
カルシール。 - 【請求項５】 上記被軸封機器の機内側が減圧空間に設
定されている請求項１のメカニカルシール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26894192A JPH0769020B2 (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | メカニカルシール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26894192A JPH0769020B2 (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | メカニカルシール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117547A JPH06117547A (ja) | 1994-04-26 |
| JPH0769020B2 true JPH0769020B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=17465415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26894192A Expired - Lifetime JPH0769020B2 (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | メカニカルシール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0769020B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6883897B1 (ja) * | 2020-10-20 | 2021-06-09 | 株式会社西三 | すきま型回転メカニカルシール |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5402002B2 (ja) * | 2009-01-13 | 2014-01-29 | 株式会社ジェイテクト | 回転軸のシール装置およびシール方法 |
| JP5475408B2 (ja) * | 2009-11-18 | 2014-04-16 | 株式会社北川鉄工所 | エアシール構造を有する回転テーブル |
| US11391376B2 (en) | 2016-08-15 | 2022-07-19 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
| KR102407098B1 (ko) | 2018-01-12 | 2022-06-10 | 이구루코교 가부시기가이샤 | 슬라이딩 부품 |
| EP3748205A4 (en) | 2018-02-01 | 2021-11-10 | Eagle Industry Co., Ltd. | SLIDING PARTS |
| KR102610648B1 (ko) | 2019-02-04 | 2023-12-07 | 이구루코교 가부시기가이샤 | 슬라이딩 부품 및 슬라이딩 부품의 제조 방법 |
| WO2020162349A1 (ja) * | 2019-02-04 | 2020-08-13 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| WO2020162352A1 (ja) | 2019-02-04 | 2020-08-13 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| WO2022009767A1 (ja) | 2020-07-06 | 2022-01-13 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| EP4177501A1 (en) | 2020-07-06 | 2023-05-10 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
| CN114060523B (zh) * | 2021-11-10 | 2024-05-17 | 浙江环誉泵业科技有限公司 | 一种结构紧凑的阶梯机械密封 |
-
1992
- 1992-10-07 JP JP26894192A patent/JPH0769020B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6883897B1 (ja) * | 2020-10-20 | 2021-06-09 | 株式会社西三 | すきま型回転メカニカルシール |
| JP2022067422A (ja) * | 2020-10-20 | 2022-05-06 | 株式会社西三 | すきま型回転メカニカルシール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06117547A (ja) | 1994-04-26 |
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