JP2003266270A - スピンドル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 軸の径方向変位に対する気体軸受の追従性を
阻害することなくハウジング内への異物の侵入やハウジ
ング外へのダストの飛散を防止することのできるスピン
ドル装置を提供する。 【解決手段】 玉軸受１２を介してハウジング１１に支
持された軸１３と、軸受１２をハウジング１１の内面に
形成された段部１１ａに押圧する筒状の軸受押え１４と
の間に円筒状の多孔質体１７を設け、この多孔質体１７
の外周面と対向する軸受押え１４の内周面に気体供給孔
１８を設けたスピンドル装置において、多孔質体１７の
両端側に弾性体２２，２３を配置し、これら弾性体２
２，２３の弾性力により多孔質体１７を軸方向中央に位
置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工作機械、
半導体製造装置、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）製造装
置、ハードディスク用洗浄・乾燥及びコーター装置など
において、スピンドルを備えた軸受ユニットとして用い
られるスピンドル装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、スピンドルを備えた軸受装置とし
て、図８に示すようなスピンドル装置が知られている。
このスピンドル装置は、筒状（例えば円筒状）に形成さ
れたハウジング１１と、このハウジング１１内に設けら
れたラジアル軸受としての玉軸受１２と、この玉軸受１
２を介してハウジング１１に支持された軸（スピンド
ル）１３とを備えており、玉軸受１２はハウジング１１
の内面に形成された段部１１ａに軸受押え１４によって
押し付けられている。

【０００３】上記軸受押え１４は円筒状に形成されてお
り、この軸受押え１４と軸１３との間に形成された環状
空間には、磁極板１５ａ，１５ｂと永久磁石１５ｃとか
らなる磁気シール装置１５が設けられている。このよう
なスピンドル装置は、軸１３と磁気シール装置１５との
間に形成された微小間隙に磁性流体を充填するとハウジ
ング１１の内部と外部が磁性流体によって遮断されるた
め、ダスト等の異物がハウジング１１の内部に侵入した
り、あるいはグリース等のダストがハウジング１１の内
部から飛散したりすることを防止できる。しかし、液体
などのかかる所に使用できないとか、周速に限界があ
り、高速では使用できないなどの難点があった。

【０００４】そこで、軸受押え１４と軸１３との間に円
筒状の多孔質体（気体軸受）を設け、軸受押え１４の内
周面に開口する気体供給孔から多孔質体に空気等のシー
ル用気体を供給して異物の侵入やグリースの飛散を防止
するようにしたスピンドル装置が特開2001−221345号公
報に開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に開示されたスピンドル装置では、図９に示すよう
に、多孔質体１７の両端面から噴出する気体圧によって
多孔質体１７の中央部を気体供給孔１８に合わせるよう
にしている。このため、多孔質体１７の両端側に形成さ
れる間隙ｈ１を数μｍ〜数十μｍ程度に設定する必要が
あり、多孔質体１７の両端側に形成される間隙ｈ１が小
さくなるほど多孔質体１７の傾き許容角度が小さくなる
ため、軸１３の径方向変位に多孔質体１７が追従できな
くなり、軸１３と多孔質体１７との間にカジリが発生す
るなどの問題がある。

【０００６】また、上記公報に開示されたスピンドル装
置では、多孔質体１７と軸受押え１４との間にＯリング
等の弾性シールリング１９，２０を設け、気体供給孔１
８から多孔質体１７に供給される気体の回り込みを弾性
シールリング１９，２０で防止するようにしている。こ
のため、気体供給孔１８からの気体圧によって弾性シー
ルリング１９，２０の剛性が変化し、これに伴って軸１
３の変位に対する多孔質体１７の追従性が悪くなるた
め、多孔質体１７と軸１３が接触するという問題があっ
た。

【０００７】本発明は上述した問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的とするところは、軸の径方向変位
に対する気体軸受の追従性を阻害することなくハウジン
グ内への異物の侵入やハウジング外へのダストの飛散を
防止することのできるスピンドル装置を提供することに
ある。また、本発明の他の目的は、気体軸受の内周面か
ら噴出するシール用気体により異物の侵入やダストの飛
散を確実に防止することのできるスピンドル装置を提供
することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１の発明は、筒状に形成されたハウジング
と、このハウジング内に設けられた軸受と、この軸受を
介して前記ハウジングに支持された軸と、前記軸受を前
記ハウジングの内面に形成された段部に押圧する筒状の
軸受押えとを備え、前記軸受押えと前記軸との間に形成
された環状空間に円筒状の気体軸受を設け、前記軸受押
えの内周面に開口する気体供給孔から前記気体軸受に供
給されたシール用気体により前記ハウジング内への異物
の侵入又はハウジング内から外部への発塵を防止するよ
うにしたスピンドル装置において、前記気体軸受の両端
側に弾性体を配置し、これら弾性体の弾性力により前記
気体軸受を軸方向へ弾性支持したことを特徴とする。

【０００９】このような構成によると、気体軸受の両端
側に配置された弾性体の弾性力によって気体軸受の中央
部が気体供給孔と対向する位置に弾性的に位置決めされ
る。これにより、気体軸受の両端側に形成される隙間を
数μｍ〜数十μｍ程度に設定する必要がないため、軸の
径方向変位に対する気体軸受の追従性を阻害することな
くハウジング内への異物の侵入やハウジング外へのダス
トの飛散を防止することができる。

【００１０】請求項２の発明は、筒状に形成されたハウ
ジングと、このハウジング内に設けられた軸受と、この
軸受を介して前記ハウジングに支持された軸と、前記軸
受を前記ハウジングの内面に形成された段部に押圧して
固定する筒状の軸受押えとを備え、前記軸受押えと前記
軸との間に形成された環状空間に円筒状の気体軸受を設
け、前記軸受押えの内周面に開口する気体供給孔から前
記気体軸受に供給されたシール用気体により前記ハウジ
ング内への異物の侵入を防止するようにしたスピンドル
装置において、前記気体軸受を前記軸の外周面と対向す
る内周面を有する多孔質円筒体と、この多孔質円筒体の
外周面に内周面を固定された内筒と、この内筒の外周に
設けられた外筒と、この外筒と前記内筒との間に密閉空
間を形成する一対のベローズとから構成し、前記気体供
給孔からの気体を前記密閉空間に導入する気体導入孔を
前記外筒に設けるとともに、前記密閉空間に導入された
気体を前記多孔質円筒体に供給する給気孔を前記内筒に
設けたことを特徴とする。

【００１１】このような構成によると、気体軸受の外筒
がベローズの弾性力によって軸受押えの内周面に支持さ
れる。これにより、気体供給孔から気体軸受に供給され
るシール用気体の一部が気体軸受の端面側へ回り込むこ
とを防止されるため、気体供給孔から気体軸受に供給さ
れたシール用気体によってハウジング内への異物の侵入
又はハウジング内から外部への発塵を確実に防止するこ
とができる。請求項３の発明は、筒状に形成されたハウ
ジングと、このハウジング内に設けられた軸受と、この
軸受を介して前記ハウジングに支持された軸と、前記軸
受を前記ハウジングの内面に形成された段部に押圧する
筒状の軸受押えと、この軸受押えと前記軸との間に設け
られた円筒状の気体軸受とを備え、前記軸受押えの内周
面に開口する気体供給孔から前記気体軸受に供給される
気体の回り込みを前記気体軸受と前記軸受押えとの間に
設けた弾性シールリングにより防止するようにしたスピ
ンドル装置において、前記気体軸受を多孔質内筒部と非
多孔質外筒部とから構成し、前記非多孔質外筒部の外周
面及び内周面に開口する通気孔と前記気体供給孔とを前
記軸受押えの内周面若しくは前記気体軸受の外周面から
突出するノズルにより接続したことを特徴とする。

【００１２】このような構成によると、気体供給孔から
のシール用気体は軸受押えの内周面若しくは気体軸受の
外周面から突出するノズル内を通って気体軸受の多孔質
内筒部に供給される。これにより、気体軸受と軸受押え
との間に設けられた弾性シールリングがシール用気体の
圧力を受けることがないため、シール用気体の圧力によ
って弾性シールリングの剛性が変化することを防止する
ことができる。請求項４の発明は、筒状に形成されたハ
ウジングと、このハウジング内に設けられた軸受と、こ
の軸受を介して前記ハウジングに支持された軸と、前記
軸受を前記ハウジングの内面に形成された段部に押圧す
る筒状の軸受押えとを備え、前記軸受押えと前記軸との
間に形成された環状空間に円筒状の気体軸受を設け、前
記軸受押えの内周面に開口する気体供給孔から前記気体
軸受に供給されたシール用気体により前記ハウジング内
への異物の侵入又はハウジング内から外部への発塵を防
止するようにしたスピンドル装置において、前記気体軸
受の外周面を前記軸受押えの内面に固着したことを特徴
とする。

【００１３】このような構成によると、気体供給孔から
気体軸受に供給されるシール用気体の一部が気体軸受の
端面側へ回り込むことを防ぐために、気体軸受と軸受押
えとの間に弾性シールリングを設ける必要がないため、
弾性シールリングの剛性変化によるシール機能の低下及
び軸に対する追従性の悪化を防止することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１及び図２に、本発明の第１の
実施形態を示す。図１に示されるように、第１の実施形
態に係るスピンドル装置１０は筒状（例えば円筒状）に
形成されたハウジング１１と、このハウジング１１内に
設けられたアンギュラ玉軸受１２と、このアンギュラ玉
軸受１２を介してハウジング１１に支持された軸（スピ
ンドル）１３とを備えており、アンギュラ玉軸受１２は
ハウジング１１の内面に形成された段部１１ａに軸受押
え１４によって押し付けられている。

【００１５】軸受押え１４は軸方向に貫通する複数の取
付け孔（図示せず）を有しており、これらの取付け孔に
はハウジング蓋１６をハウジング１１に取り付けるため
の取付けボルトが貫挿されている。また、軸受押え１４
は円筒状に形成されており、この軸受押え１４と軸１３
との間に形成された環状空間部には、気体軸受である多
孔質体１７が設けられている。多孔質体１７は円筒状に
形成されており、この多孔質体１７の外周面には、軸受
押え１４の内周面に開口する気体供給孔１８から空気等
のシール用気体が供給されるようになっている。

【００１６】多孔質体１７の両端側には、図２に示すよ
うに、複数個のＯリング２１が相対向して設けられてい
る。これらのＯリング２１は多孔質体１７を軸方向に付
勢する弾性体を構成しており、多孔質体１７の中央部は
上記Ｏリング２１の弾性力によって気体供給孔１８と対
向する位置に位置決めされている。なお、多孔質体１７
と軸受押え１４との間には、気体供給孔１８から多孔質
体１７に供給されるシール用気体の一部が多孔質体１７
の端面側に回り込むことを防ぐために、Ｏリング等の弾
性シールリング１９，２０が設けられている。

【００１７】このような構成において、多孔質体１７の
両端側に複数個のＯリング２１を配置すると、Ｏリング
２１の弾性力によって多孔質体１７の中央部が気体供給
孔１８と対向する位置に位置決めされる。これにより、
前述した従来技術のように、多孔質体１７の両端面から
噴出する気体圧で多孔質体１７を軸方向中央に位置合せ
するために、多孔質体１７の両端側に形成される間隙を
数μｍ〜数十μｍ程度に設定しなくてもよいので、多孔
質体１７の傾き許容角度を大きくすることができる。従
って、上述した第１の実施形態では軸１３の径方向変位
に対する多孔質体１７の追従性を阻害することなくハウ
ジング１１内への異物の侵入やハウジング１１外へのダ
ストの飛散を防止することができる。また、ゴム材のＯ
リング２１を使用することにより、軸受押え１４と多孔
質体１７とを電気的導通のない状態にできるため、多孔
質体１７と軸１３の接触を電気的に確認することが可能
である。

【００１８】なお、上述した第１の実施形態では多孔質
体１７の両端側にそれぞれ複数個のＯリング２１を設
け、これらＯリング２１の弾性力で多孔質体１７の中央
部を気体供給孔１８と対向する位置に位置決めするよう
にしたが、図３に示す第２の実施形態のように、多孔質
体１７の両端側にそれぞれリング状の弾性部材２２を設
け、これら弾性部材２２の弾性力で多孔質体１７を軸方
向中央に位置決めするようにしてもよい。また、上述し
た第１の実施形態では多孔質体１７の両側に配置される
弾性体としてＯリング２１を用いたが、例えばＯリング
の代わりにバネを用いても同様の効果を得ることができ
る。

【００１９】次に、図４を参照して本発明の第３の実施
形態について説明する。図４において、第３の実施形態
に係るスピンドル装置２５は筒状（例えば円筒状）に形
成されたハウジング１１と、このハウジング１１内に設
けられた軸受としてのアンギュラ玉軸受１２と、この玉
軸受１２を介してハウジング１１に支持された軸（スピ
ンドル）１３とを備えており、玉軸受１２はハウジング
１１の内面に形成された段部１１ａに軸受押え１４によ
って押し付けられている。

【００２０】軸受押え１４は軸方向に貫通する複数の取
付け孔（図示せず）を有しており、これらの取付け孔に
はハウジング蓋１６をハウジング１１に取り付けるため
の取付けボルトが貫挿されている。また、軸受押え１４
は円筒状に形成されており、この軸受押え１４と軸１３
との間に形成された環状空間部には気体軸受２６が設け
られている。気体軸受２６は円筒状に形成されており、
この多孔質体１７の外周面には、軸受押え１４の内周面
に形成された気体供給孔１８から空気等のシール用気体
が供給されるようになっている。さらに、気体軸受２６
は軸１３の外周面と対向する内周面を有する多孔質円筒
体２６１と、この多孔質円筒体２６１の外周面に内周面
を固定された内筒２６２と、この内筒２６２の外周に設
けられた外筒２６３とを備えており、外筒２６３と軸受
押え１４と間には、気体供給孔１８からの気体が気体軸
受２６の端面側に回り込むことを防ぐために、Ｏリング
等の弾性シールリング１９，２０が設けられている。

【００２１】また、気体軸受２６は内筒２６２と外筒２
６３との間に密閉空間２７を形成する一対のベローズ２
６４を備えており、外筒２６３には気体供給孔１８から
の気体を上記密閉空間２７に導入する気体導入孔２８が
設けられ、また内筒２６２には上記密閉空間２６７に導
入された気体を多孔質円筒体２６１に供給する給気孔２
９が設けられている。上記のように、気体軸受２６を軸
１３の外周面と対向する内周面を有する多孔質円筒体２
６１と、この多孔質円筒体２６１の外周面に内周面を固
定された内筒２６２と、この内筒２６２の外周に設けら
れた外筒２６３と、この外筒２６３と内筒２６２との間
に密閉空間２７を形成する一対のベローズ２６４とから
構成すると、気体軸受２６の外筒２６３がベローズ２６
４の弾性力によって軸受押え１４の内周面に押圧され
る。また、気体供給孔１８からのシール用気体を密閉空
間２７に導入する気体導入孔２８を外筒２６３に設ける
とともに、密閉空間２７に導入されたシール用気体を多
孔質円筒体２６１に供給する給気孔２９を内筒２６２に
設けると、気体供給孔１８からのシール用気体は気体導
入孔２８、密閉空間２７および給気孔２９を経て多孔質
円筒体２６１に供給される。

【００２２】従って、上述した第３の実施形態では、気
体供給孔１８から気体軸受２６に供給されるシール用気
体の一部が気体軸受２６の端面側へ回り込むことを防止
されるため、気体供給孔１８から気体軸受２６に供給さ
れたシール用気体によってハウジング１１内への異物の
侵入またはハウジング内から外部への発塵を確実に防止
することができる。次に、図５及び図６を参照して本発
明の第４の実施形態について説明する。図５において、
第４の実施形態に係るスピンドル装置３０は筒状（例え
ば円筒状）に形成されたハウジング１１と、このハウジ
ング１１内に設けられた軸受としてのアンギュラ玉軸受
１２と、この玉軸受１２を介してハウジング１１に支持
された軸（スピンドル）１３とを備えており、玉軸受１
２はハウジング１１の内面に形成された段部１１ａに軸
受押え１４によって押し付けられている。

【００２３】軸受押え１４は軸方向に貫通する複数の取
付け孔（図示せず）を有しており、これらの取付け孔に
はハウジング蓋１６をハウジング１１に取り付けるため
の取付けボルトが貫挿されている。また、軸受押え１４
は円筒状に形成されており、この軸受押え１４と軸１３
との間に形成された環状空間部には気体軸受３１が設け
られている。気体軸受３１は円筒状に形成されており、
この気体軸受３１の外周面には、軸受押え１４の内周面
に開口する気体供給孔１８から空気等の気体が供給され
るようになっている。また、気体軸受３１は、図６に示
されるように、多孔質内筒部３１１と非多孔質外筒部３
１２とから構成されており、非多孔質外筒部３１２と軸
受押え１４との間には、気体軸受３１を軸受押え１４に
対し弾性支持するために、Ｏリング等の弾性シールリン
グ１９，２０が設けられている。さらに、気体軸受３１
は非多孔質外筒部３１２の外周面と内周面とに開口する
通気孔３１３を有しており、この通気孔３１３は軸受押
え１４の内周面から突出するノズル３２により気体供給
孔１８と接続されている。

【００２４】上記のように、気体軸受３１を多孔質内筒
部３１１と非多孔質外筒部３１２とから構成し、非多孔
質外筒部３１１の外周面及び内周面に開口する通気孔３
１３と気体供給孔１８とを軸受押え１４の内周面から突
出するノズル３２により接続すると、気体供給孔１８か
らのシール用気体はノズル３２内を通って気体軸受３１
の多孔質内筒部３１１に供給される。これにより、気体
軸受３１と軸受押え１４との間に設けられた弾性シール
リング１９，２０がシール用気体の圧力を受けることが
ないため、シール用気体の圧力によって弾性シールリン
グ１９，２０の剛性特性が変化することを防止すること
ができる。

【００２５】なお、上述した第４の実施形態では、通気
孔３１３と気体供給孔１８とを軸受押え１４の内周面か
ら突出するノズル３２により接続したが、通気孔３１３
と気体供給孔１８とを非多孔質外筒部３１２の外周面か
ら突出するノズル３２により接続しても同様の効果が得
られる。次に、図７を参照して本発明の第５の実施形態
について説明する。図７において、第５の実施形態に係
るスピンドル装置３５は筒状（例えば円筒状）に形成さ
れたハウジング１１と、このハウジング１１内に設けら
れた軸受としてのアンギュラ玉軸受１２と、この玉軸受
１２を介してハウジング１１に支持された軸（スピンド
ル）１３とを備えており、玉軸受１２はハウジング１１
の内面に形成された段部１１ａに軸受押え１４によって
押し付けられている。

【００２６】軸受押え１４は軸方向に貫通する複数の取
付け孔（図示せず）を有しており、これらの取付け孔に
はハウジング蓋１６をハウジング１１に取り付けるため
の取付けボルトが貫挿されている。また、軸受押え１４
は円筒状に形成されており、この軸受押え１４と軸１３
との間に形成された環状空間部には、気体軸受である多
孔質体１７が設けられている。この方式は多孔質体１７
の内面と軸１３の外面との間に十分な隙間があり、軸１
３の変位に対して多孔質体１７が追従する必要のない場
合に使用する。

【００２７】多孔質体１７は円筒状に形成されており、
この多孔質体１７の外周面には、軸受押え１４の内周面
に開口する気体供給孔１８から空気等の気体が供給され
るようになっている。また、多孔質体１７の外周面は軸
受押え１４の内周面に焼嵌めによって固着されている。
上記のように構成される第５の実施形態では、前述した
従来技術のように、気体供給孔１８から多孔質体１７に
供給されるシール用気体の一部が多孔質体１７の端面側
へ回り込むことを防ぐために、多孔質体１７と軸受押え
１４との間に弾性シールリングを設ける必要がないた
め、弾性シールリングの剛性特性変化によるシール機能
の低下を防止することができる。

【００２８】なお、上述した第５の実施形態では多孔質
体１７の外周面を軸受押え１４の内周面に焼嵌めによっ
て固着したが、圧入あるいは接着等の方法で多孔質体１
７の外周面を軸受押え１４の内周面に固着してもよい。
また、上述した各実施形態ではハウジング１１内に設け
られるラジアル軸受として玉軸受１２を例示したが、例
えば玉軸受の代わりにころ軸受を用いてもよい。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、軸の径方向変位に対する気体軸受の追従性
を阻害することなくハウジング内への異物の侵入やハウ
ジング外へのダストの飛散を防止することのできるスピ
ンドル装置を提供できる。請求項２及び４記載の発明に
よれば、気体軸受と軸受押えとの間に設けた弾性シール
リングの剛性特性の変化による弊害を防止することので
きるスピンドル装置を提供できる。請求項３記載の発明
によれば、気体軸受と軸受押えとの間に設けた弾性シー
ルリングの剛性特性の変化を防止することのできるスピ
ンドル装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係るスピンドル装置
を示す図である。

【図２】図１に示す多孔質体の正面図である。

【図３】本発明の第２の実施形態に係るスピンドル装置
を示す図である。

【図４】本発明の第３の実施形態に係るスピンドル装置
を示す図である。

【図５】本発明の第４の実施形態に係るスピンドル装置
を示す図である。

【図６】本発明の第４の実施形態に係るスピンドル装置
の要部を示す図である。

【図７】本発明の第５の実施形態に係るスピンドル装置
を示す図である。

【図８】第１の従来例を示す図である。

【図９】第２の従来例を示す図である。

【符号の説明】

１１ ハウジング １１ａ 段部 １２ 玉軸受 １３ 軸 １４ 軸受押え １６ ハウジング蓋 １７ 多孔質体 １８ 気体供給孔 １９，２０ シールリング ２１ Ｏリング ２２ リング状弾性部材 ２６ 気体軸受 ２６１ 多孔質円筒体 ２６２ 内筒 ２６３ 外筒 ２６４ ベローズ ２７ 密閉空間 ２８ 気体導入孔 ２９ 給気孔 ３１ 気体軸受 ３１１ 多孔質内筒部 ３１２ 非多孔質外筒部 ３１３ 通気孔 ３２ ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 均 群馬県前橋市鳥羽町78番地 日本精工株式 会社内 (72)発明者 岩崎 修 群馬県前橋市鳥羽町78番地 日本精工株式 会社内 (72)発明者 藤崎 輝彦 群馬県前橋市鳥羽町78番地 日本精工株式 会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筒状に形成されたハウジングと、このハ
   ウジング内に設けられた軸受と、この軸受を介して前記
   ハウジングに支持された軸と、前記軸受を前記ハウジン
   グの内面に形成された段部に押圧する筒状の軸受押えと
   を備え、前記軸受押えと前記軸との間に形成された環状
   空間に円筒状の気体軸受を設け、前記軸受押えの内周面
   に開口する気体供給孔から前記気体軸受に供給されたシ
   ール用気体により前記ハウジング内への異物の侵入又は
   ハウジング内から外部への発塵を防止するようにしたス
   ピンドル装置において、 前記気体軸受の両端側に弾性体を配置し、これら弾性体
   の弾性力により前記気体軸受を軸方向に弾性支持したこ
   とを特徴とするスピンドル装置。
2. 【請求項２】 筒状に形成されたハウジングと、このハ
   ウジング内に設けられた軸受と、この軸受を介して前記
   ハウジングに支持された軸と、前記軸受を前記ハウジン
   グの内面に形成された段部に押圧する筒状の軸受押えと
   を備え、前記軸受押えと前記軸との間に形成された環状
   空間に円筒状の気体軸受を設け、前記軸受押えの内周面
   に開口する気体供給孔から前記気体軸受に供給されたシ
   ール用気体により前記ハウジング内への異物の侵入又は
   ハウジング内から外部への発塵を防止するようにしたス
   ピンドル装置において、 前記気体軸受を前記軸の外周面と対向する内周面を有す
   る多孔質円筒体と、この多孔質円筒体の外周面に内周面
   を固定された内筒と、この内筒の外周に設けられた外筒
   と、この外筒と前記内筒との間に密閉空間を形成する一
   対のベローズとから構成し、前記気体供給孔からの気体
   を前記密閉空間に導入する気体導入孔を前記外筒に設け
   るとともに、前記密閉空間に導入された気体を前記多孔
   質円筒体に供給する給気孔を前記内筒に設けたことを特
   徴とするスピンドル装置。
3. 【請求項３】 筒状に形成されたハウジングと、このハ
   ウジング内に設けられた軸受と、この軸受を介して前記
   ハウジングに支持された軸と、前記軸受を前記ハウジン
   グの内面に形成された段部に押圧する筒状の軸受押え
   と、この軸受押えと前記軸との間に設けられた円筒状の
   気体軸受とを備え、前記軸受押えの内周面に開口する気
   体供給孔から前記気体軸受に供給される気体の回り込み
   を前記気体軸受と前記軸受押えとの間に設けた弾性シー
   ルリングにより防止するようにしたスピンドル装置にお
   いて、 前記気体軸受を多孔質内筒部と非多孔質外筒部とから構
   成し、前記非多孔質外筒部の外周面及び内周面に開口す
   る通気孔と前記気体供給孔とを前記軸受押えの内周面若
   しくは前記気体軸受の外周面から突出するノズルにより
   接続したことを特徴とするスピンドル装置。
4. 【請求項４】 筒状に形成されたハウジングと、このハ
   ウジング内に設けられた軸受と、この軸受を介して前記
   ハウジングに支持された軸と、前記軸受を前記ハウジン
   グの内面に形成された段部に押圧する筒状の軸受押えと
   を備え、前記軸受押えと前記軸との間に形成された環状
   空間に円筒状の気体軸受を設け、前記軸受押えの内周面
   に開口する気体供給孔から前記気体軸受に供給されたシ
   ール用気体により前記ハウジング内への異物の侵入又は
   ハウジング内から外部への発塵を防止するようにしたス
   ピンドル装置において、 前記気体軸受の外周面を前記軸受押えの内面に固着した
   ことを特徴とするスピンドル装置。