JPH1113764A - 静圧空気軸受 - Google Patents

静圧空気軸受

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JPH1113764A
JPH1113764A JP9165734A JP16573497A JPH1113764A JP H1113764 A JPH1113764 A JP H1113764A JP 9165734 A JP9165734 A JP 9165734A JP 16573497 A JP16573497 A JP 16573497A JP H1113764 A JPH1113764 A JP H1113764A
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bearing
bearing sleeve
air
sleeve
housing
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JP9165734A
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Shoji Fujii
章二 藤井
Yoshio Fujikawa
芳夫 藤川
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NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F16C32/0614Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0681Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
    • F16C32/0696Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for both radial and axial load

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スラスト軸受絞り孔へ供給される圧縮空気の
圧力で軸受スリーブの変形や移動が生じず、また圧縮空
気が軸受スリーブとハウジングの接触面で漏れることの
ないものとする。 【解決手段】 ハウジング1の内径面に接して固定され
た軸受スリーブ2を備える静圧空気軸受スピンドルにお
いて、スラスト軸受絞り孔22aに連通し軸受スリーブ
2の内部を通って軸受スリーブ2の外径面に開口する給
気路22bを設ける。軸受スリーブ2は、複数の微細な
スラスト軸受絞り孔22aを有するスラスト軸受面によ
り、静圧空気を介して主軸3を軸方向に支持する部品で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、精密加工機や精
密検査装置に用いられる静圧空気軸受スピンドル等の静
圧空気軸受に関する。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】静圧空気
軸受スピンドルは、主軸を軸受に対して非接触で支持す
るため、回転精度が高く、精密加工機や精密検査装置等
のワークスピンドルまたは工具スピンドル等に使用され
る。これら静圧空気軸受スピンドルは、何らかのトラブ
ルで軸と軸受が接触した場合の耐久性(耐焼き付き性)
を考慮して、構造材で形成したハウジング内部に空気軸
受に適した材料で形成した軸受スリーブを締まり嵌めに
より固定して、ハウジングアセンブル部品を構成するも
のが多い。このようなスピンドルでは次のような問題が
ある。一例を図4に示す。同図の例は、ハウジング1に
一対の軸受スリーブ2を締まり嵌めにより組み付けてハ
ウジングアセンブル部品とした構成である。空気軸受へ
の圧縮空気の供給は、ハウジングの給気孔11から、孔
12、ハウジングに形成された円周溝13,14を経
て、軸受スリーブ2に円周上に複数形成されたジャーナ
ル軸受給気孔21およびスラスト軸受給気孔22に供給
される。
【0003】この構造は、ハウジング1と軸受スリーブ
2の接触面を密着させて圧縮空気のシール効果を持たせ
る構造である。ジャーナル軸受部分の接触面Bは、ハウ
ジング1と軸受スリーブ2の締まり嵌めにより面を密着
させることができ、良好なシール効果が得られる。とこ
ろが、スラスト軸受部分の接触面Aでハウジング1と軸
受スリーブ2を密着させることは難しく(密着させる方
向に力が働かないためで、特に径が大きいものは接触面
の精度を出し難く密着は難しい)、円周溝14部分のシ
ールが不十分になることがある。シールが不十分で圧縮
空気漏れが起こった場合、軸受空気消費流量の増大、軸
受負荷容量の減少につながり、軸受として性能上問題と
なる。また、この構造では、円周溝14に圧縮空気が供
給されたとき、軸受スリーブ2のスラスト軸受部分の接
触面Aに圧縮空気の圧力により軸方向の力(圧縮空気圧
×接触面A上の円周溝面積)が発生する。この力は、軸
受スリーブ2のスラスト軸受部分を変形させる力、およ
びハウジング1からスリーブ2が抜ける方向の力として
働く。軸受スリーブ2のスラスト軸受部分の変形は、ス
ラスト軸受隙間を不均一にして軸受性能に影響を及ぼ
し、また円周溝14部分のシール効果を落とすことにも
なる。さらに、シール不十分によりスラスト軸受部分側
の接触面Aの全体に圧縮空気が漏れ出した場合、その圧
力により軸受スリーブ1の接触面Aには前述の力よりさ
らに大きな軸方向の力(圧縮空気圧×接触面Aの全体面
積)が働き、問題はより深刻になる。
【0004】また、現在空気軸受の軸受スリーブの材料
としては、砲金、鉛青銅、ベリリウム銅等の銅系の合金
が多く使用されているが、これらの金属よりも耐焼き付
き性が優れた材料として黒鉛が注目され使用が広まって
いる。黒鉛のような強度と弾性率の低い材料を前記従来
例のような構造で軸受スリーブとして使用する場合に
は、前述した圧縮空気により軸受スリーブに働く力の影
響は金属の場合より大きなものとなる。圧縮空気により
軸受スリーブに働く軸方向の力で、軸受スリーブのスラ
スト軸受部分に変形が起こった場合、その変形は金属よ
り大きく、軸受性能への影響も大きいものとなる。
【0005】図4の例の黒鉛のスリーブを用いた場合、
黒鉛の強度と弾性率が低いことから、軸受スリーブ2と
ハウジング1の締まり嵌めで、ジャーナル軸受部の接触
面Bの面圧は、金属の場合ほど上げられない。すなわ
ち、締めしろが同じ場合には弾性率が低い黒鉛の方が金
属より面圧が低くなる。また、面圧を上げるために締め
しろを大きくとると、強度が低い黒鉛の方が金属よりも
小さい締めしろで破壊限界に達する。これらのことと、
黒鉛の摩擦係数が低いことにより、締まり嵌めによる軸
受スリーブ2の保持力が金属の場合に比べて低い。すな
わち、圧縮空気により軸受スリーブに働く軸方向の力
で、ハウジングから軸受スリーブが抜ける可能性が高く
なる。黒鉛を同図の従来例のような構造で軸受スリーブ
2として使用する場合は、前述の問題点に関して金属以
上の考慮が必要となる。しかし、軸受の径が大きい場合
は、スラスト軸受部側の接触面Aでの圧縮空気のシール
が難しく、圧縮空気による影響が大きくなるので、従来
例のようなハウジングアセンブル部品の内部構造で、機
能を満足するスピンドルを設計することは事実上困難で
ある。
【0006】この発明は、上記課題を解消するものであ
り、スラスト軸受絞り孔へ供給される圧縮空気の圧力で
軸受スリーブの変形や移動が生じず、また圧縮空気が軸
受スリーブとハウジングの接触面で漏れることのない静
圧空気軸受を提供することを目的とする。この発明の他
の目的は、軸受スリーブの圧縮空気による変形防止を確
実にし、かつ耐焼き付き性の向上を図ることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の静圧空気軸受
は、ハウジングの内径面に接して固定された軸受スリー
ブを備え、この軸受スリーブに設けられて複数の微細な
絞り孔を有するスラスト軸受面により静圧空気を介して
主軸を軸方向に支持するものに適用される。この構成の
静圧空気軸受において、軸受スリーブの外径面から供給
され軸受スリーブの内部を通ってスラスト軸受絞り孔に
連通する給気路を設けたことを特徴とする。すなわち、
軸受スリーブ内の給気路は、軸受スリーブ端面に開口を
持たず、外径面のみに開口する。この構成によると、圧
縮空気は軸受スリーブの径方向のみから給気され、ハウ
ジングから軸受スリーブへ軸方向の給気がないため、軸
受スリーブに圧縮空気による軸方向の力が働かない。ま
た、ハウジングから給気される軸受スリーブ外径面は、
締まりばめによりハウジングに密着させることができる
ため、圧縮空気の径方向加圧力にかかわらず、良好なシ
ール効果を得ることができる。したがって、ハウジング
と軸受スリーブの間での圧縮空気漏れにより軸受スリー
ブに軸方向の力が働くこともない。すなわち、軸受スリ
ーブが圧縮空気による軸方向の力で変形や移動して軸受
性能を低下させることがない。なお、この構造は、主軸
径に関係なく適用できる。
【0008】上記構成において、軸受スリーブ内部の給
気路が、半径方向の孔と軸方向の孔とから構成されるも
のとしても良い。また、軸受スリーブ内の給気路は、前
記の2方向の孔とする代わりに、軸受スリーブ外径面に
沿って設けられた溝と軸方向の孔とで構成しても良い。
この構成の場合、給気路の一部を溝加工で形成できるた
め、前記の2方向の孔で給気路を形成する場合に比べ
て、給気路の形成が簡単である。
【0009】上記各構成の静圧空気軸受において、軸受
スリーブの内径面にジャーナル軸受面を設け、この軸受
面にジャーナル軸受絞り孔を開口させ、前記軸受スリー
ブ内のスラスト軸受への給気路を経由してジャーナル軸
受絞り孔に連通する給気路を設けても良い。この構成と
することにより、主軸のスラスト方向の支持と半径方向
の支持とが共に行える。
【0010】さらに、前記各構成の静圧空気軸受におい
て、軸受スリーブの材質を黒鉛としても良い。このよう
に軸受スリーブの材質を黒鉛とした場合、耐焼き付き性
が優れたものとなるが、黒鉛の持つ強度と弾性率が低い
ことから、圧縮空気が軸受スリーブに及ぼす影響は金属
の場合よりも大きなものとなる。そのため、この発明の
前記の圧縮空気の圧力に対する変形防止効果が、このよ
うに黒鉛を材質とする場合に一層効果的となる。また、
前記いずれかの構成において、軸受スリーブがハウジン
グと端面で接触する接触面を持つものとしても良い。
【0011】
【発明の実施の形態】この発明の一実施形態を図1と共
に説明する。ハウジング1に一対の軸受スリーブ2,2
を締まり嵌めにより組み付け、ハウジングアセンブル部
品とする。各スリーブ2は、外側端部の外周に鍔部2a
を有するものであり、鍔部2aはハウジング1の内径面
の開口縁に形成された座繰り状の大径孔部に嵌合する。
ハウジングアセンブル部品の軸受スリーブ2の内径面を
ジャーナル軸受の軸受面、両端面をスラスト軸受の軸受
面とし、これらハウジングアセンブル部品と主軸3と一
対のスラスト板4,4とを組合せて静圧空気軸受スピン
ドルにおける静圧空気軸受を構成する。軸受スリーブ2
に鍔部2aを設ける構造にすることで、スラスト軸受が
過負荷を受けた場合も軸受スリーブ2の鍔部2aがハウ
ジング1に形成された座繰り状の大径孔部に支持され、
軸受スリーブ2がハウジング1内に押し込まれることが
ない。一対のスラスト板4,4は、主軸3の両端面に各
々ボルト固定された円板状の部品であり、軸受スリーブ
2の端面からなる軸受面に空気層となる隙間を介して対
面する。主軸3は、軸受スリーブ2の内径面からなる軸
受面に軸受隙間を介して嵌合する。
【0012】各軸受スリーブ2には、円周方向の複数箇
所に、径方向に貫通した複数のジャーナル軸受給気孔2
1を設け、この孔21に交差するように、軸方向に貫通
したスラスト軸受給気孔22を設ける。各孔21,22
の各軸受面に開口する部分は、各々ジャーナル軸受絞り
孔21aおよびスラスト軸受絞り孔22aに形成され
る。スラスト軸受給気孔22の不要部分、つまりジャー
ナル軸受給気孔21よりもスラスト軸受面から離れた部
分は、埋め栓32を施してあり、これにより、孔21か
ら分岐したスラスト軸受側の給気路22b、およびジャ
ーナル軸受側の給気路21bが複数形成される。
【0013】ハウジング1には、軸受スリーブ2をハウ
ジング1に組み付けたときのジャーナル軸受給気孔21
と軸方向の同一位置(孔21と連通する内径面の位置)
に円周溝13を設け、この円周溝13を軸方向の孔12
で圧縮空気の給気孔11とつないで圧縮空気給気路を形
成する。孔12の不要部分に埋め栓31を施す。圧縮空
気は給気孔11から供給され、孔12および円周溝13
を経て、円周上に複数配置された軸受給気孔21,22
に供給される。スラスト軸受給気孔22を軸受スリーブ
2の内部でジャーナル軸受給気孔21の途中から分岐す
る構造とすることで、図1の従来例における円周溝14
を省いた。
【0014】この構成によると、軸受スリーブ2のスラ
スト軸受部分のハウジング1との接触面A(鍔部2aの
ハウジング1との接触面)に軸受給気用の円周溝が必要
ないため、従来のように圧縮空気により軸受スリーブに
働く軸方向の力は発生しない。そのため、軸受スリーブ
2が圧縮空気の圧力で軸方向に変形することがなく、ス
ラスト軸受部の適正な軸受隙間が維持される。また、圧
縮空気のシールが必要な箇所は、軸受スリーブ2のジャ
ーナル軸受部分のハウジング接触面Bのみであり、この
内外径面の接触面Bでは締まり嵌めにより良好なシール
効果が得られるので、圧縮空気漏れもなく、軸受性能に
影響を及ぼすこともない。この構造は主軸3の径に関係
なく適用でき、特に、軸受スリーブ2に黒鉛を用いた場
合に有効である。軸受スリーブ2に黒鉛を用いた場合
は、耐焼き付き性が向上する。また、スピンドルの軸受
負荷容量を大きくしたい場合、軸受に供給する圧縮空気
圧によって軸受スリーブ2がハウジング1から抜けるな
どの心配がないので、軸受給気圧を上げることで対応す
ることも可能となる。そのため設計の自由度が広がる。
【0015】この発明の第2の実施形態を図2に示す。
この実施形態では、互いに軸方向に分割された分割ハウ
ジング41,42のうち、第1の分割ハウジング41に
軸受スリーブ43を締まり嵌めにより組み付けて第1の
ハウジングアセンブル部品P1とする。同様に第2の分
割ハウジング42と軸受スリーブ44を締まり嵌めによ
り組み付けて第2のハウジングアセンブル部品P2とす
る。第1のハウジングアセンブル部品P1の軸受スリー
ブ43にはスラスト軸受が、第2のハウジングアセンブ
ル部品P2にはスラスト軸受およびジャーナル軸受が形
成されている。
【0016】第2のハウジングアセンブル部品P2側に
は、図1の実施形態と同様に、軸受スリーブ44内に、
径方向に複数のジャーナル軸受給気孔63と、この孔6
3に交差するよう軸方向にスラスト軸受給気孔64を設
ける。各孔63,64の軸受面開口部は各々ジャーナル
軸受絞り孔63aおよびスラスト軸受絞り孔64aとな
る。孔64の不要部分に埋め栓72を施し、孔63から
分岐した孔64が複数形成される。圧縮空気は、圧縮空
気給気孔51から軸方向の孔52,53およびハウジン
グ42に形成した円周溝56を経て複数の軸受給気孔6
3,64に供給される。第2のハウジングアセンブル部
品P2側には、さらに、分割ハウジング42の孔53か
ら径方向の孔66および内径面の円周溝67を介して、
軸受スリーブ44のジャーナル軸受給気孔68に連通す
る給気路が形成されている。第1のハウジングアセンブ
ル部品P1側は、軸受スリーブ43内に、径方向に複数
の孔61と、この孔61に交差するよう軸方向にスラス
ト軸受給気孔62を設ける。孔62の不要部分に埋め栓
71を施し、孔61から分岐した孔62が複数形成され
る。孔62の軸受面側の開口部は、スラスト軸受絞り孔
62aとなる。圧縮空気は、給気孔51から孔52、お
よびハウジング41に形成した円周溝55および孔61
を経てスラスト軸受給気孔62に供給される。
【0017】第1,第2のハウジングアセンブル部品P
1,P2と、軸端にスラスト軸受を構成するフランジを
形成した主軸45を組み合わせて、静圧空気軸受スピン
ドルの静圧空気軸受を構成する。このように構成した場
合も、第1,第2のハウジングアセンブル部品P1,P
2のいずれにおいても、軸受スリーブ43,44に圧縮
空気による軸方向の力は発生しない。また、第1の実施
形態と同様の効果が得られる。
【0018】図3は、図2と共に前述した静圧空気軸受
における第1のハウジングアセンブル部品P1のスラス
ト軸受給気路を、前記の例と異なる構成にしたものであ
る。この例では、軸受スリーブ43内に円周溝79と、
この円周溝79に連通して軸方向に貫通する複数のスラ
スト軸受給気孔82とを設けて、孔82の不要部分に埋
め栓91を施したものである。円周溝79は、図2にお
けるハウジング側円周溝55と軸受スリーブ側の径方向
孔61を兼ねた役割を持つ。圧縮空気は、給気孔51か
ら孔52、孔58、および円周溝79を経て複数のスラ
スト軸受給気孔82に供給される。この構成において
も、軸受スリーブ43に圧縮空気による軸方向に力は発
生しない。
【0019】
【発明の効果】この発明の静圧空気軸受は、スラスト軸
受絞り孔に連通する給気路を軸受スリーブの外径面から
空気供給されるものとしたため、圧縮空気により軸受ス
リーブを軸方向に加圧する力が発生せず、軸受スリーブ
の変形や移動による軸受性能の低下の問題がない。圧縮
空気のシールは、軸受スリーブとハウジングの締まり嵌
めにより容易に良好なシールが得られるので、圧縮空気
漏れもなく、その漏れにより軸受性能に影響を及ぼすこ
とがない。さらに、軸受スリーブの材質を黒鉛とした場
合でも、前記の圧縮空気圧力による軸受スリーブの変形
を防止する効果により、軸受性能は低下しない。したが
って、黒鉛の良好な耐き焼き付き性により信頼性の高い
静圧空気軸受を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態にかかる静圧空気軸受の
断面図である。
【図2】この発明の第2の実施形態にかかる静圧空気軸
受の断面図である。
【図3】この発明の第3の実施形態にかかる静圧空気軸
受の断面図である。
【図4】従来例の断面図である。
【符号の説明】
1…ハウジング 21b,22b…給気
路 2…軸受スリーブ 41,42…分割ハウ
ジング 3…主軸 43,44…軸受スリ
ーブ 4…スラスト板 45…主軸 11…給気孔 62a,64a…ス
ラスト軸受絞り孔 21,22…孔 63a…ジャーナル
軸受絞り孔 21a…ジャーナル軸受絞り孔 79…溝 22a…スラスト軸受絞り孔

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハウジングの内径面に接して固定された
    軸受スリーブを備え、この軸受スリーブに設けられて複
    数の微細な絞り孔を有するスラスト軸受面により静圧空
    気を介して主軸を軸方向に支持する静圧空気軸受におい
    て、軸受スリーブの外径面から供給され軸受スリーブの
    内部を通ってスラスト軸受絞り孔に連通する給気路を設
    けたことを特徴する静圧空気軸受。
  2. 【請求項2】 軸受スリーブ内部の給気路が、半径方向
    の孔と軸方向の孔とから構成される請求項1記載の静圧
    空気軸受。
  3. 【請求項3】 軸受スリーブ内部の給気路が、この軸受
    スリーブ外径面に沿って設けられた溝と軸方向の孔とか
    ら構成される請求項1記載の静圧空気軸受。
  4. 【請求項4】 軸受スリーブの内径面にジャーナル軸受
    面を設け、この軸受面に絞り孔を開口させ、前記軸受ス
    リーブ内のスラスト軸受への給気路を経由してジャーナ
    ル軸受絞り孔に連通する給気路を設けた請求項1ないし
    請求項3に記載の静圧空気軸受。
  5. 【請求項5】 軸受スリーブの材質が黒鉛である請求項
    1ないし請求項4のいずれかに記載の静圧空気軸受。
  6. 【請求項6】 軸受スリーブがハウジングと端面で接触
    する接触面を持つ請求項1ないし請求項5のいずれかに
    記載の静圧空気軸受。
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